JPH0410974B2 - - Google Patents

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JPH0410974B2
JPH0410974B2 JP28083484A JP28083484A JPH0410974B2 JP H0410974 B2 JPH0410974 B2 JP H0410974B2 JP 28083484 A JP28083484 A JP 28083484A JP 28083484 A JP28083484 A JP 28083484A JP H0410974 B2 JPH0410974 B2 JP H0410974B2
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 a 技術分野 本発明は光学式エンコーダ等の測角値に含まれ
る位相誤差を遂次自動的に補正しうる位相誤差の
補正装置に関するものである。
b 従来技術及びその問題点 光学式エンコーダは円周上に等間隔で配列され
た白黒パターンを有する円板と、これに対向して
回転する走査円板とから成り、光電検出された少
くとも一対の正弦波信号と余弦波信号から回転角
度を測定するものである。通常、この測角値には
角度誤差が含まれるが、これらの誤差原因は多種
多様である。その主たるものは、円板目盛のピツ
チ誤差、走査円板上の一対の検出スリツトの相対
的な位置ずれなどの円板製作上の誤差、円板の偏
芯や両円板が平行に配置されていないなどの機械
的誤差、円板を照明する光束の拡がり角や傾角な
どの光学的誤差である。市販されている光学式エ
ンコーダの場合には、光電検出された正、余弦波
を用いて目盛の1ピツチを4等分して測角する比
較的粗い精度であり、この場合の角度誤差は可成
りの程度許容される。これに反して、数秒単位の
測角精度を保証する精密なエンコーダにあつては
測角誤差をこの精度以下に抑制しなければなら
ず、誤差原因の排除は容易なことではない。上記
の誤差要因のうち、円板の製作上の誤差と組立調
整に係わる機械的誤差は極力排除しなければなら
ないが皆無にすることはできず、したがつてエン
コーダの測角精度、つまり目盛ピツチを何分割し
うるかはこれらの誤差によつて制限されてしま
う。
従来公知の誤差軽減法として円板の照明光束を
故意に斜入射させ、光電検出される正弦波信号に
対する余弦波信号の位相をπ/2に近づけるよう
に補正するものがある。また、走査格子を円板直
径上に対称に設けて所謂対角読みを行ない円板の
偏芯の影響を除去すると共に、走査信号に含まれ
る直流成分を相殺して信号振幅の平均化を行ない
両信号間の位相を補正する方法も遍く知られてい
る。しかし、このような位相補正法には限度があ
り、上述の如き精密エンコーダの場合には残留誤
差が測角精度を低下させることになる。
一方、目盛円板の全周に亘つてこの位相誤差が
ほぼ等量であるとすると、この位相差を予かじめ
測定しておき、正弦及び余弦波信号を用いてこれ
を補正することが考えられる。そのための具体的
手段としては。両信号のフーリエ解析を行い、そ
の0次及び1次成分から各信号の直流分、振幅及
び位相差を求め、これらの情報を予かじめ補正定
数として測角器の電子回路内に記憶させておき、
測角時にオンラインで補正操作を行なわせれば良
い。しかし、この補正操作は繁雑であり、処理回
路もやや複雑で費用も嵩む。
c 目的 本発明は上述の点に鑑みてなされたものであ
り、廉価なデータ処理系を用い簡単な補正操作
で、しかも実時間で高精度な位相補正が行なえる
位相誤差補正装置を提供することを目的とする。
d 実施例の構成 第1図は本発明の一実施例を示すブロツク図で
ある。光学式エンコーダ1に設けられた正弦波検
出器2、余弦波検出器3の出力は夫々A/D変換
器4,5に接続されており、これらA/D変換器
4,5の出力は角度演算器6に入力される。以上
の構成は従来公知の一般的な測角器に見られるも
のであるが、次に述べるデータ処理系が本実施例
の主要部分である。位相差設定スイツチ7は記憶
装置8に接続されている。この記憶装置8の出力
と正弦波信号のA/D変換器4の出力は共に乗算
器9に入力される。更に乗算器9の出力と角度演
算器6の出力は共に減算器10に接続され、減算
器10の出力は表示器11に接続されている。
e 実施例の作用 次に、上記構成の本発明一実施例を用いて正弦
波信号と余弦波信号の間の位相誤差を補正する方
法について説明する。ただし、このような位相誤
差の補正を可能とするためには、エンコーダの目
盛円板の1周(360゜)に亘つて、正弦波信号
asinθに対する余弦波信号bcos(θ+φ)の位相誤
差φがほぼ一定であり、しかもこの位相誤差φが
予かじめ計測されて既知であることが前提であ
る。尚、上記a,bは振幅、θは位相角である。
この位相誤差φの発生原因は、主として目盛円
板と操作格子の製作上の目盛誤差に依存するか
ら、エンコーダの機械的、光学的調整が高精度に
なされていれば、同一ロツトの目盛円板と走査格
子については位相誤差φはほぼ同一である。この
事は実験によつて充分に確かめられている。
第2図は目盛円板の1ピツチ(位相2πに相当)
内の位相誤差φの振舞を示す図である。
正弦波信号12に対して余弦波信号13が位相
誤差φだけ遅れているとき、刻線1ピツチ内での
位相誤差φに対する測角誤差曲線14はπ/2及
び3π/2近傍にピークを有する2周期の正弦波
状の変化を呈するが、0及びπにおける角度誤差
Δθは殆んどゼロである。簡単な計算から明らか
なように、位相誤差φ=1゜当りの測角誤差は約0
27%に相当する。上述のように、位相誤差φが
既知であればこの測角誤差曲線14を各位相角θ
について数値化し、この値Δθで実際の測角値
θ′=tan-1〔asinθ/bcos(θ+φ)〕を補正するこ
とは不可能ではない。しかし、位相角θを細分化
して膨大な量の全部のサンプリング点に関する補
正値Δθを装置内に記憶させる事は極めて非現実
的である。そこで本発明の位相誤差補正装置にお
いては、実際にリアルタイムで遂次計測される正
弦波信号を用いて測角誤差を補正しうることが示
されるが、これが本発明の本質的な特徴である。
この正弦波信号としては、第1図に示したA/D
変換器4でデイジタル化されたものを利用する。
第3図は正弦波信号と測角差曲線を対比させた
ものである。
正弦波信号15の絶対値(実線16)を測角誤
差曲線14と比較すると、双方の波系がほぼ類似
していることに気付く。したがつて次の乗算 (補正値Δθ)=|asinθ| ×(既知の位相誤差φ)×(係数k) ……(1) を行なうと、この量は近似的に測角誤差曲線に一
致することが判る。尚、この補正値の符号は位相
誤差設定値の符号と同一に選ぶ。
いま、エンコーダの目盛円板の一周に亘る総刻
線数を16200本とすると刻線1ピツチは角度80″に
相当する。上述のように位相誤差φ=1゜当たりの
測角誤差は約0.27%であるから、係数kは0.0027
×80″=0.22″となる。一方、|asinθのA/d変換
値)|は28ビツト内の定数であり、例えばこの
A/D変換の最大値を定数200に設定することが
できる。
再び第1図を参照して本発明一実施例の作用を
説明する。
位相差設定スイツチ7は符号(±)を含めて4
ビツトのデイジツトスイツチである。既知の位相
差φと設定ビツト値の対応は または のように設定する。ビツト値7には実際の装置に
関して考えうる最大位相値φmaxを対応させる。
この位相差φは上述の定数kと共に電源投入時に
記憶装置8に読込まれる。遂次入力する正弦波信
号は、A/D変換器4でデジタル化されて記憶装
置8の内容と共に乗算器9に入力し、乗算器9で
(1)式に示した補正値が計算される。一方、角度演
算6では位相誤差φを含む現実の測角値θ′=
tan-1〔asinθ/bcos(θ+φ)〕が計算される。こ
の測角値θ′は減算器10において、乗算器9の出
力を用いて減算θ0=〔(測角値θ′)−(補正値Δθ
)〕
がなされる。このθ0が位相誤差を補正した真の測
角値であり、表示器11によつてθ0が表示され
る。
先にも述べたように、本発明の位相誤差補正装
置の補正法は、正弦波信号を利用した近似解放で
ある。そこで、この方法によつても補正し切れな
い残留誤差を検討する。
第4図は測角誤差曲線と残留誤差曲線を示した
ものである。
いま第4図aにおいて、位相誤差が20゜の場合
の測角誤差曲線17から、上述の数値例(1ピツ
チ80″)を採用すると、補正前の角度誤差は最大
で4.4″に相当する。この誤差を係数k=0.22″/
degを用いて補正した後の残留誤差曲線18が示
されているが、この残留誤差は正値が小さく負値
側へ大きく偏倚している。これは、余弦波信号が
正弦波信号に対してφだけずれていることに加え
て、正弦波信号の絶対値を用いた近似補正が関与
して生じた現象である。そこで、残留誤差が正負
ともに平衡するように係数kを0.18″/deg、即ち
上述の係数k=0.22″/degの約80%に選ぶと、第
4図bの残留誤差曲線19を得る。この残留誤差
曲線19から、当初の測角誤差Δθ=4.4″が±1″に
軽減されている様子がうかがえる。仮に、刻線1
ピツチ(80″)を16分割して5秒読みのエンコー
ダを実現させたとすると、その測角精度は±1″で
ある。尚、ここに例示した位相誤差20゜は現行の
装置に関しては考えうる最悪条件下のものであ
り、目盛円板製作上の配慮、組立調整時の機械
的、光学的配慮等を払うならば残留誤差は更に軽
微なものとなり得る。
f 効果 以上のように本発明に係る位相誤差補正装置に
よれば、比較的簡単で廉価な電子回路系で、演算
時間もごく短かく測角値の補正をオンラインで実
現することができる。
尚、上記実施例では光学式エンコーダのみにつ
いて説明したが、本発明に係る位相誤差補正装置
は、一対の正弦波、余弦波の信号を処理する計測
装置、例えば磁気式エンコーダ、モアレ縞による
係数スケール、平渉縞計測器等に遍ねく応用しう
るものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明一実施例を示すブロツク図、第
2図は目盛円板1ピツチ内の位相誤差φの変化を
示す図、第3図は正弦波信号と測角誤差曲線を対
比させた図、第4図a,bは測角誤差曲線と残留
誤差曲線を示した図である。 1……エンコーダ、2……正弦波検出器、3…
…余弦波検出器、4,5……A/D変換器、6…
…角度演算器、7……位相差設定スイツチ、8…
…記憶装置、9……乗算器、10……減算器、1
1……表示器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 光学式エンコーダ等による回転角度の測定装
    置において、既知の位相差を入力する位相差設定
    スイツチと、前記エンコーダの回転に伴つて発生
    する正弦波信号をデジタル信号に変換するA/D
    変換器と、前記位相差設定スイツチの出力と補正
    係数を記憶する記憶装置と、該記憶装置の出力と
    前記A/D変換器の出力の乗算を行ない角度補正
    値を出力する乗算器と、該乗算器の出力で測角値
    を補正する減算器とより成る位相誤差補正装置。
JP28083484A 1984-12-24 1984-12-24 位相誤差補正装置 Granted JPS61149822A (ja)

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JPH07218288A (ja) * 1994-01-28 1995-08-18 Mitsubishi Electric Corp 絶対位置検出装置及びその誤差補正方法
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