JPH04107409A - 共焦点型レーザ走査顕微鏡 - Google Patents
共焦点型レーザ走査顕微鏡Info
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- JPH04107409A JPH04107409A JP2225698A JP22569890A JPH04107409A JP H04107409 A JPH04107409 A JP H04107409A JP 2225698 A JP2225698 A JP 2225698A JP 22569890 A JP22569890 A JP 22569890A JP H04107409 A JPH04107409 A JP H04107409A
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- waveguide
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- scanning microscope
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は顕微鏡、詳しくは共焦点型レーザ走査顕微鏡に
関する。
関する。
従来、共焦点型レーザ走査顕微鏡は、顕微鏡光学系の他
に、レーザ光による照明系と試料面からの光を検出する
受光系とて構成されていた。そして、レーザ光発光点と
受光系の共焦点アパーチャ（ピンホール）の対応する点
が顕微鏡光学系に対し共役の位置になるように設定され
ていた。
に、レーザ光による照明系と試料面からの光を検出する
受光系とて構成されていた。そして、レーザ光発光点と
受光系の共焦点アパーチャ（ピンホール）の対応する点
が顕微鏡光学系に対し共役の位置になるように設定され
ていた。
従来の共焦点型レーザ走査顕微鏡では、顕微鏡光学系の
他に、レーザ光による照明系及び試料面からの光を検出
する受光系が別に必要であり、それらの光学系が大きく
複雑であった。又、レーザ光発光点と受光系の共焦点ア
パーチャ（ピンホル）の対応する点か共役な位置になけ
ればならず、両者の位置調整に多大な時間を要した。さ
らに顕微鏡光学系には高価な４分の１波長板が必要であ
った。
他に、レーザ光による照明系及び試料面からの光を検出
する受光系が別に必要であり、それらの光学系が大きく
複雑であった。又、レーザ光発光点と受光系の共焦点ア
パーチャ（ピンホル）の対応する点か共役な位置になけ
ればならず、両者の位置調整に多大な時間を要した。さ
らに顕微鏡光学系には高価な４分の１波長板が必要であ
った。
本発明は、前述の問題を解決し、小型で且つピンホール
の位置調整および４分の１波長板が不要な共焦点型レー
ザ走査顕微鏡を得ることを目的とする。
の位置調整および４分の１波長板が不要な共焦点型レー
ザ走査顕微鏡を得ることを目的とする。
前記問題解決のために、本発明の共焦点型レーザ走査顕
微鏡では、第１のシングルモードチャネル導波路（１３
）と、モードコンバータ（１８）及び位相シフタ（１９
）から構成されていて該導波路中を伝播するレーザ光の
偏光状態を制御する偏光制御手段と、前記第１のシング
ルモードチャネル導波路に接続されたモードスプリッタ
（１６）と、該モードスプリッタに接続された第２シン
グルモードチヤネル導波路（１４）、第３のシングルモ
ードチャネル導波路（１５）とを同一基板上に形成し、
前記第１のシングルモードチャネル導波路の端部（１３
ａ）にコリメータレンズ（２１）と、Ｘ−Ｙスキ中ニン
グデバイス（２２）と、対物レンズ（２３）とを含む顕
微鏡光学系（２）との光軸を合わせ、前記第２のシング
ルモードチャネル導波路の端部（１４ａ）にレーザ（１
１）を接続し、前記第３のシングルモードチャネルの端
部（１５ａ）に光検出器（１２）を接続した光導波路デ
バイス系（１）を具備した。
微鏡では、第１のシングルモードチャネル導波路（１３
）と、モードコンバータ（１８）及び位相シフタ（１９
）から構成されていて該導波路中を伝播するレーザ光の
偏光状態を制御する偏光制御手段と、前記第１のシング
ルモードチャネル導波路に接続されたモードスプリッタ
（１６）と、該モードスプリッタに接続された第２シン
グルモードチヤネル導波路（１４）、第３のシングルモ
ードチャネル導波路（１５）とを同一基板上に形成し、
前記第１のシングルモードチャネル導波路の端部（１３
ａ）にコリメータレンズ（２１）と、Ｘ−Ｙスキ中ニン
グデバイス（２２）と、対物レンズ（２３）とを含む顕
微鏡光学系（２）との光軸を合わせ、前記第２のシング
ルモードチャネル導波路の端部（１４ａ）にレーザ（１
１）を接続し、前記第３のシングルモードチャネルの端
部（１５ａ）に光検出器（１２）を接続した光導波路デ
バイス系（１）を具備した。
本発明によれば、レーザ走査顕微鏡の照明系と受光系を
一体化したので、極めて小さな光学系を組むことができ
、また、シングルモードチャネル導波路の端面が出射レ
ーザスポットと共焦点アパーチャを兼ねるため、−切の
ピンホール位置調整か不要となる。さらに従来の顕微鏡
光学系に必要であった４分の１波長板も光導波路デバイ
スに組み込むことができるため、４分の１波長板が不要
となる。
一体化したので、極めて小さな光学系を組むことができ
、また、シングルモードチャネル導波路の端面が出射レ
ーザスポットと共焦点アパーチャを兼ねるため、−切の
ピンホール位置調整か不要となる。さらに従来の顕微鏡
光学系に必要であった４分の１波長板も光導波路デバイ
スに組み込むことができるため、４分の１波長板が不要
となる。
〔第１実施例〕
第１図は本発明の第１の実施例であって、光源と受光系
を共通化した光導波路デバイス系（１）と、Ｘ−Ｙビー
ムスキャニングデバイスを組み込んだ顕微鏡光学系（２
）とか組み合わされて配置されている。
を共通化した光導波路デバイス系（１）と、Ｘ−Ｙビー
ムスキャニングデバイスを組み込んだ顕微鏡光学系（２
）とか組み合わされて配置されている。
光導波路デバイス系（１）において、（１１）はレーザ
ダイオード、（１２）は光検出器、（Ｉ３）、（Ｉ４）
および（１５）は夫々、リチウムナイオベート（Ｌ＋Ｎ
ｂ０３）等の電気光学効果を有する誘電体結晶の基板（
１０）上に形成された第１のシングルモードチャネル導
波路、第２のシングルモードチャネル導波路および第３
のシングルモードチャネル導波路、（１６）はダブルモ
ード領域を有するモートスプリ、ツタ、（１７）はモー
ドスプリッタ（１６）のモードスプリット比を微調整す
るためのモードスプリッタ用電極である。（１８）はモ
ードコンバータ、（１９）は位相シフタて、モードコン
バータ（１８）と位相シフタ（１９）とて偏光制御手段
を成している。レーザダイオード（１１）は、第２のシ
ングルモードチャネル導波路の端部（１４ａ）に光が入
射するように接合されている。第２のシングルモードチ
ャネル導波路（１４）に光を入射させる別の方法として
は、ヘリウムネオンレーザ（Ｈｅ−Ｎｅレーザ）等の光
を第２のシングルモードチャネル導波路の端部（１４ａ
）に結像したり、光の通っている偏波保持ファイバーを
接合してもよいが、小型化を狙う目的から、レーザダイ
オード（１１）を直接第２のシングルモードチャネル導
波路の端部（１４ａ）に接合するのか好ましい。
ダイオード、（１２）は光検出器、（Ｉ３）、（Ｉ４）
および（１５）は夫々、リチウムナイオベート（Ｌ＋Ｎ
ｂ０３）等の電気光学効果を有する誘電体結晶の基板（
１０）上に形成された第１のシングルモードチャネル導
波路、第２のシングルモードチャネル導波路および第３
のシングルモードチャネル導波路、（１６）はダブルモ
ード領域を有するモートスプリ、ツタ、（１７）はモー
ドスプリッタ（１６）のモードスプリット比を微調整す
るためのモードスプリッタ用電極である。（１８）はモ
ードコンバータ、（１９）は位相シフタて、モードコン
バータ（１８）と位相シフタ（１９）とて偏光制御手段
を成している。レーザダイオード（１１）は、第２のシ
ングルモードチャネル導波路の端部（１４ａ）に光が入
射するように接合されている。第２のシングルモードチ
ャネル導波路（１４）に光を入射させる別の方法として
は、ヘリウムネオンレーザ（Ｈｅ−Ｎｅレーザ）等の光
を第２のシングルモードチャネル導波路の端部（１４ａ
）に結像したり、光の通っている偏波保持ファイバーを
接合してもよいが、小型化を狙う目的から、レーザダイ
オード（１１）を直接第２のシングルモードチャネル導
波路の端部（１４ａ）に接合するのか好ましい。
顕微鏡光学系（２）において、（２１）はコリメータレ
ンズ、（２２）はＸ−Ｙビームスキャニングデバイス、
（２３）は対物レンズである。
ンズ、（２２）はＸ−Ｙビームスキャニングデバイス、
（２３）は対物レンズである。
第１図により本発明の詳細な説明する。第２のシングル
モードチャネル導波路の端部（１４ａ）に入射するレー
ザ光はたとえばＴ８モード光（偏光面か紙面内に振動し
ている光）であるものとする。第２のシングルモードチ
ャネル導波路（１４）を伝播したＴεモード光はダブル
モード領域を有するモードスプリッタ（１６）に入射す
る。ダブルモード領域を有するモードスプリッタ（１６
）は、第２のシングルモードチャネル導波路（１４）か
ら入射するＴＥモード光を第１のシングルモードチャネ
ル導波路（１３）に導波させるための、そして同時に第
３のシングルモードチャネル導波路（１５）から入射す
る１Ｍモード光（偏光面が紙面に垂直に振動している光
）を第１のシングルモードチャネル導波路（１３）に導
波させるための、公知のデバイスである。第１のシング
ルモード導波路（１３）側からモードスプリッタ（１６
）に光か入射する場合にはＴＥモード光か第２のシング
ルモードチャネル導波路（１４）へ、１Ｍモード光か第
３のシングルモードチャネル導波路（１５）へ導波され
る。モードスプリッタ用電極（１７）は省略してもよい
か、モードスプリッタ用電極（１７）への印加電圧を調
整することにより導波路製作プロセスのばらつきに帰因
するＴＥ／ＴＭモードスプリットの不完全性を除去でき
るため、設置しであるのが好ましい。
モードチャネル導波路の端部（１４ａ）に入射するレー
ザ光はたとえばＴ８モード光（偏光面か紙面内に振動し
ている光）であるものとする。第２のシングルモードチ
ャネル導波路（１４）を伝播したＴεモード光はダブル
モード領域を有するモードスプリッタ（１６）に入射す
る。ダブルモード領域を有するモードスプリッタ（１６
）は、第２のシングルモードチャネル導波路（１４）か
ら入射するＴＥモード光を第１のシングルモードチャネ
ル導波路（１３）に導波させるための、そして同時に第
３のシングルモードチャネル導波路（１５）から入射す
る１Ｍモード光（偏光面が紙面に垂直に振動している光
）を第１のシングルモードチャネル導波路（１３）に導
波させるための、公知のデバイスである。第１のシング
ルモード導波路（１３）側からモードスプリッタ（１６
）に光か入射する場合にはＴＥモード光か第２のシング
ルモードチャネル導波路（１４）へ、１Ｍモード光か第
３のシングルモードチャネル導波路（１５）へ導波され
る。モードスプリッタ用電極（１７）は省略してもよい
か、モードスプリッタ用電極（１７）への印加電圧を調
整することにより導波路製作プロセスのばらつきに帰因
するＴＥ／ＴＭモードスプリットの不完全性を除去でき
るため、設置しであるのが好ましい。
モードスプリッタ（１６）から第１のシングルモードチ
ャネル導波路（１３）へ入射したＴＥモード光は、モー
ドコンバータ（１８）および位相シフタ（１９）により
構成される偏光制御手段により偏光状態が制御される。
ャネル導波路（１３）へ入射したＴＥモード光は、モー
ドコンバータ（１８）および位相シフタ（１９）により
構成される偏光制御手段により偏光状態が制御される。
モードコンバータ（１８）は導波光のモードをＴＥモー
ドからＴＭモードへ或いはＴＭモードからＴＥモードへ
変換するための公知のデバイスであり、また位相シフタ
（１９）はＴＥモード光と１Ｍモード光に位相差を与え
るための公知のデバイスである。
ドからＴＭモードへ或いはＴＭモードからＴＥモードへ
変換するための公知のデバイスであり、また位相シフタ
（１９）はＴＥモード光と１Ｍモード光に位相差を与え
るための公知のデバイスである。
モードコンバータ（１８）および位相シフタ（１９）に
おける電極構成はＸカットてＹ伝播酸いはＸカットてＸ
伝播のリチウムナイオベート（Ｌ＋Ｎｂ０３）の基板（
１０）の場合に対応しており、その他の基板方位または
その他の伝播方向の場合には他の電極構成か用いられる
ことは言うまでもない。モードコンバータ（１８）の電
極には、入射したＴＥモード光の半分かＴＭモードに変
換されるようにある電圧が印加されている、すなわちモ
ードコンバータ（１８）の電極には、モードコンバータ
（１８）から出射する導波光のＴ８モード光と１Ｍモー
ド光の強度の比が１対１になるような電圧か印加されて
いる。位相シフタ（１９）には第１のシングルモードチ
ャネル導波路の端部（＋３ａ）から出射するレーザ光の
ＴＥモードとＴＭモードの間に９０°の位相差を与える
ような電圧が印加されている。このような構成にするこ
とによりモードスプリッタ（１６）から出射するＴＥモ
ード光はモードコンバータ（１８）および位相シフタ（
１９）により構成される偏光制御手段により円偏光に変
換されて第１のシングルモードチャネル導波路の端部（
１３ａ）より出射する。この時偏光制御手段は４分の１
波長板と同じ機能を果たしている。
おける電極構成はＸカットてＹ伝播酸いはＸカットてＸ
伝播のリチウムナイオベート（Ｌ＋Ｎｂ０３）の基板（
１０）の場合に対応しており、その他の基板方位または
その他の伝播方向の場合には他の電極構成か用いられる
ことは言うまでもない。モードコンバータ（１８）の電
極には、入射したＴＥモード光の半分かＴＭモードに変
換されるようにある電圧が印加されている、すなわちモ
ードコンバータ（１８）の電極には、モードコンバータ
（１８）から出射する導波光のＴ８モード光と１Ｍモー
ド光の強度の比が１対１になるような電圧か印加されて
いる。位相シフタ（１９）には第１のシングルモードチ
ャネル導波路の端部（＋３ａ）から出射するレーザ光の
ＴＥモードとＴＭモードの間に９０°の位相差を与える
ような電圧が印加されている。このような構成にするこ
とによりモードスプリッタ（１６）から出射するＴＥモ
ード光はモードコンバータ（１８）および位相シフタ（
１９）により構成される偏光制御手段により円偏光に変
換されて第１のシングルモードチャネル導波路の端部（
１３ａ）より出射する。この時偏光制御手段は４分の１
波長板と同じ機能を果たしている。
第１のシングルモードチャネル導波路の端部（１３ａ）
から出射した円偏光のレーザ光は顕微鏡光学系（２）に
入る。ここで円偏光は右回り円偏光とする。レーザ光は
顕微鏡光学系（２）に入ると、コリメータレンズ（２１
）、Ｘ−Ｙビームスキャニングデバイス（２２）、対物
レンズ（２３）を順次径て、試料面（３）に達する。試
料面（３）で反射すると右回り円偏光は左回り円偏光に
変わる。そして、試料面（３）で反射した光は対物レン
ズ（２３）、Ｘ−Ｙビームスキャニングデバイス（２２
）、コリメータレンズ（２１）と逆に辿って、第１のシ
ングルモードチャネル導波路の端部（１３ａ）より再び
第１のシングルモードチャネル導波路（１３）に入射す
る。この時、レーザ光は左回りの円偏光であるから、位
相シフタ（１９）およびモードコンバータ（１８）によ
り偏光制御され、モードスプリッタ（１６）に入射する
時にはＴＭモードに変換されている。よってこの光はモ
トスプリッタ（１６）により全て第３のシングルモード
チャネル導波路（１５）に導かれて光検出器に達する。
から出射した円偏光のレーザ光は顕微鏡光学系（２）に
入る。ここで円偏光は右回り円偏光とする。レーザ光は
顕微鏡光学系（２）に入ると、コリメータレンズ（２１
）、Ｘ−Ｙビームスキャニングデバイス（２２）、対物
レンズ（２３）を順次径て、試料面（３）に達する。試
料面（３）で反射すると右回り円偏光は左回り円偏光に
変わる。そして、試料面（３）で反射した光は対物レン
ズ（２３）、Ｘ−Ｙビームスキャニングデバイス（２２
）、コリメータレンズ（２１）と逆に辿って、第１のシ
ングルモードチャネル導波路の端部（１３ａ）より再び
第１のシングルモードチャネル導波路（１３）に入射す
る。この時、レーザ光は左回りの円偏光であるから、位
相シフタ（１９）およびモードコンバータ（１８）によ
り偏光制御され、モードスプリッタ（１６）に入射する
時にはＴＭモードに変換されている。よってこの光はモ
トスプリッタ（１６）により全て第３のシングルモード
チャネル導波路（１５）に導かれて光検出器に達する。
このとき第２のシングルモートチャネル導波路（１４）
へは進まないので、所謂戻り光はレーザダイオード（Ｉ
Ｉ）に悪影響を与えない。こうして、実絶倒の構成は共
焦点型レーザ走査顕微鏡をなしている。
へは進まないので、所謂戻り光はレーザダイオード（Ｉ
Ｉ）に悪影響を与えない。こうして、実絶倒の構成は共
焦点型レーザ走査顕微鏡をなしている。
〔第２実施例〕
第２図は本発明の第２の実施例で、第１図と同符号は同
効物を表す。第２図において、（１０ａ）は第１図と同
様に導波路の基板であるが、材料としてガリウム砒素（
ＧａＡ３）或いはインジウム燐（ｌｎＰ）等の化合物半
導体を用いている。（ｌｌａ）および（１２＆）は、前
記導波路の基板（］Ｏａ）の上にモノリシックに集積化
されたレーザダイオードおよび光検出器である。第２図
の光導波路デバイス系（１）の中の偏光制御手段として
は、＜１００＞ガリウム砒素（ＧａＡ３）基板を用い伝
播方向が＜１１０＞方向の場合の偏光制御手段すなわち
モードコンバータ（１８ａ）および位相シフタ（１９ａ
）の電極構成を示している。その他の構成と動作は第１
の実施例と同じである。
効物を表す。第２図において、（１０ａ）は第１図と同
様に導波路の基板であるが、材料としてガリウム砒素（
ＧａＡ３）或いはインジウム燐（ｌｎＰ）等の化合物半
導体を用いている。（ｌｌａ）および（１２＆）は、前
記導波路の基板（］Ｏａ）の上にモノリシックに集積化
されたレーザダイオードおよび光検出器である。第２図
の光導波路デバイス系（１）の中の偏光制御手段として
は、＜１００＞ガリウム砒素（ＧａＡ３）基板を用い伝
播方向が＜１１０＞方向の場合の偏光制御手段すなわち
モードコンバータ（１８ａ）および位相シフタ（１９ａ
）の電極構成を示している。その他の構成と動作は第１
の実施例と同じである。
このように、本発明によれば、レーザ走査顕微鏡の照明
系と受光系を一体化し、さらに偏光制御手段としてモー
ドコンバータおよび位相シフタを組み合わせることによ
り従来の顕微鏡光学系に必要であった４分の１波長板か
一体化され、極めて小型て安定な光学系を組むことがで
きる。またシングルモードチャネル導波路の端面（＋３
ａ）か出射レーザスポットと共焦点アパーチャを兼ねる
ため、−切のピンポール位置調整か不要となる。
系と受光系を一体化し、さらに偏光制御手段としてモー
ドコンバータおよび位相シフタを組み合わせることによ
り従来の顕微鏡光学系に必要であった４分の１波長板か
一体化され、極めて小型て安定な光学系を組むことがで
きる。またシングルモードチャネル導波路の端面（＋３
ａ）か出射レーザスポットと共焦点アパーチャを兼ねる
ため、−切のピンポール位置調整か不要となる。
さらに、本発明の照明系および受光系は、光導波路デバ
イス基板としてリチウムタンタレ−１・（ＬｉＮｂ０３
）、リチウムタンタレ−１＝ （ＬｉＴａ０３）等の電
気光学効果を有する誘電体結晶を使って集積化されてい
るので、バッチプロセスにより製造可能であり、共焦点
型レーザ走査顕微鏡全体を極めて安価に製作ができる。
イス基板としてリチウムタンタレ−１・（ＬｉＮｂ０３
）、リチウムタンタレ−１＝ （ＬｉＴａ０３）等の電
気光学効果を有する誘電体結晶を使って集積化されてい
るので、バッチプロセスにより製造可能であり、共焦点
型レーザ走査顕微鏡全体を極めて安価に製作ができる。
さらに、光導波路基板をガリウム砒素（ＧａＡ３）、イ
ンジウム燐（［ｎＰ）等の化合物半導体にすることによ
って、レーザダイオード（ｌｌａ）や光検出器（１２ａ
）もシングルモードチャネル導波路（１３）、（１４）
及び（１５）と同一基板上にモノシリツクに集積化が可
能となり、レーザダイオード（ｌｌａ）と第２のシング
ルモードチャネル導波路（１４）との接合、及び光検出
器（１２ａ）と第３のシングルモードチャネル導波路（
１５）との接合における、やっかいな位置合わせ作業が
全く不要になり、また信頼性も向上する。
ンジウム燐（［ｎＰ）等の化合物半導体にすることによ
って、レーザダイオード（ｌｌａ）や光検出器（１２ａ
）もシングルモードチャネル導波路（１３）、（１４）
及び（１５）と同一基板上にモノシリツクに集積化が可
能となり、レーザダイオード（ｌｌａ）と第２のシング
ルモードチャネル導波路（１４）との接合、及び光検出
器（１２ａ）と第３のシングルモードチャネル導波路（
１５）との接合における、やっかいな位置合わせ作業が
全く不要になり、また信頼性も向上する。
第１図は本発明による装置の第１の実施例の構成図、第
２図は本発明による装置の第２の実施例の構成図である
。 〔主要部分の符号の説明〕 （１）は光導波路デバイス系、（２）は顕微鏡光学系（
２） 、（１０）は光導波路の基板、（１１）はレーザ
ダイオード、（１２）は光検出器、（１３）、（１４）
および（１５）は共に基板（１０）上に形成されたシン
グルモードチャネル導波路、（１６）はモードスプリッ
タ、（１８）はモードコンバータ、（１９）は位相シフ
タ、（２Ｉ）はコリメータレンズ、（２２）はＸ−Ｙビ
ームスキャニングデバイス、（２３）は対物レンズであ
る。
２図は本発明による装置の第２の実施例の構成図である
。 〔主要部分の符号の説明〕 （１）は光導波路デバイス系、（２）は顕微鏡光学系（
２） 、（１０）は光導波路の基板、（１１）はレーザ
ダイオード、（１２）は光検出器、（１３）、（１４）
および（１５）は共に基板（１０）上に形成されたシン
グルモードチャネル導波路、（１６）はモードスプリッ
タ、（１８）はモードコンバータ、（１９）は位相シフ
タ、（２Ｉ）はコリメータレンズ、（２２）はＸ−Ｙビ
ームスキャニングデバイス、（２３）は対物レンズであ
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、第１のシングルモードチャネル導波路と、該導波路
中を伝播するレーザ光の偏光状態を制御する偏光制御手
段と、前記第１のシングルモードチャネル導波路に接続
されたモードスプリッタと、該モードスプリッタに接続
された第２、第３のシングルモードチャネル導波路とを
同一基板上に形成し、 前記第１のシングルモードチャネル導波路の端部にコリ
メータレンズと、Ｘ−Ｙビームスキャニングデバイスと
、対物レンズとを含む顕微鏡光学系を接合し、前記第２
のシングルモードチャネル導波路の端部にレーザを接合
し、前記第３のシングルモードチャネル導波路の端部に
光検出器を接合した光導波路デバイスを具備したことを
特徴とする、共焦点型レーザ走査顕微鏡。 ２、偏光制御手段はモードコンバータおよび位相シフタ
から構成されていることを特徴とする請求項１に記載の
共焦点型レーザ走査顕微鏡。 ３、光導波路デバイス基板は、リチウムナイオベート（
ＬｉＮｂＯ＿３）、リチウムタンタレート（ＬｉＴａＯ
＿３）等の電気光学効果を有する誘電体結晶であること
を特徴とする請求項１、２に記載の共焦点型レーザ走査
顕微鏡。 ４、光導波路デバイス基板はガリウム砒素 （ＧａＡｓ）、インジウム燐（ＩｎＰ）等の化合物半導
体であることを特徴とする請求項１、２に記載の共焦点
型レーザ走査顕微鏡。 ５、レーザおよび光検出器が光導波路デバイス基板上に
モノリシックに集積化されたことを特徴とする請求項４
に記載の共焦点型レーザ走査顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2225698A JPH04107409A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 共焦点型レーザ走査顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2225698A JPH04107409A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 共焦点型レーザ走査顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04107409A true JPH04107409A (ja) | 1992-04-08 |
Family
ID=16833397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2225698A Pending JPH04107409A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 共焦点型レーザ走査顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04107409A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994006041A1 (en) * | 1992-09-07 | 1994-03-17 | Nikon Corporation | Optical waveguide device and optical instrument using the same |
| EP0661562A3 (en) * | 1993-12-28 | 1997-06-11 | Nippon Kogaku Kk | Optical information capture device. |
-
1990
- 1990-08-28 JP JP2225698A patent/JPH04107409A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994006041A1 (en) * | 1992-09-07 | 1994-03-17 | Nikon Corporation | Optical waveguide device and optical instrument using the same |
| US5452382A (en) * | 1992-09-07 | 1995-09-19 | Nikon Corporation | Optical waveguide device and optical microscope using the same |
| EP0661562A3 (en) * | 1993-12-28 | 1997-06-11 | Nippon Kogaku Kk | Optical information capture device. |
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