JPH04106807A - マイクロ波用誘電体磁器組成物 - Google Patents
マイクロ波用誘電体磁器組成物Info
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- JPH04106807A JPH04106807A JP2406755A JP40675590A JPH04106807A JP H04106807 A JPH04106807 A JP H04106807A JP 2406755 A JP2406755 A JP 2406755A JP 40675590 A JP40675590 A JP 40675590A JP H04106807 A JPH04106807 A JP H04106807A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
[0001]
本発明は数GHz帯のマイクロ波領域で用いる共振器材
料に使用される誘電体磁器組成物に関する。 [0002]
料に使用される誘電体磁器組成物に関する。 [0002]
近年、数GHz帯のマイクロ波を利用した衛星通信・放
送、移動体通信、または移動体識別装置などの送受信器
において用いられる共振器やフィルタに誘電体材料を使
用する試みが為されている。 [0003] 従来、この種の誘電体磁器材料としては、例えば特開昭
61−8806号公報(HOIB 3/12)等で提
案されているBa0−T、102−Nd203−Bi2
03の組成物がある。 [0004] しかしながら、この従来の磁器組成物では、誘電率εは
70〜90と大きいがQ値が最高IGHzで4700程
度と小さく、また、共振周波数の温度係数τfも+10
〜+20PPM/℃と若干大きく、十分な特性が得られ
ていなかった。 [0005]
送、移動体通信、または移動体識別装置などの送受信器
において用いられる共振器やフィルタに誘電体材料を使
用する試みが為されている。 [0003] 従来、この種の誘電体磁器材料としては、例えば特開昭
61−8806号公報(HOIB 3/12)等で提
案されているBa0−T、102−Nd203−Bi2
03の組成物がある。 [0004] しかしながら、この従来の磁器組成物では、誘電率εは
70〜90と大きいがQ値が最高IGHzで4700程
度と小さく、また、共振周波数の温度係数τfも+10
〜+20PPM/℃と若干大きく、十分な特性が得られ
ていなかった。 [0005]
ところで、使用周波数が数GHz帯と高くなるとQ値の
大きな材料が必要となる。例えば、高Q値の材料を用い
た誘電体フィルタ等では線路間の結合が取り易くなり、
共振のピークが鋭く好都合である。 [0006] そこで、本発明は、Q値の向上を図ったマイクロ波誘電
体磁器組成物を提供することを目的とする。 [0007] また、本発明は、そのような誘電体磁器をできるだけ低
温の焼結によって実現することをも目的とする。 [0008]
大きな材料が必要となる。例えば、高Q値の材料を用い
た誘電体フィルタ等では線路間の結合が取り易くなり、
共振のピークが鋭く好都合である。 [0006] そこで、本発明は、Q値の向上を図ったマイクロ波誘電
体磁器組成物を提供することを目的とする。 [0007] また、本発明は、そのような誘電体磁器をできるだけ低
温の焼結によって実現することをも目的とする。 [0008]
本発明は上述の点に鑑みて為されたものであって、モル
分率をX、y、z(X+y+z=1)としたとき、組成
式が、X−Ti02−y−ZrO2−2−8no2(但
し、0.30≦X≦0.60.0.25≦y≦0.60
.0.025≦z≦020)で表される物質を主成分と
し、これに添加物として、Mn○、A1203CuOま
たはL t 20を5重量%以下で、Nb2O,を10
重量%以下で含有させてなるものである。 [0009] また、本発明は、上記添加物に代えて、L 120を5
重量%以下で、Ta205を10重量%以下で含有させ
てなるものである。 [00101 更に、本発明は、上記添加物の他に更にZn○を5重量
%以下含有させてなるものである。 [0011]
分率をX、y、z(X+y+z=1)としたとき、組成
式が、X−Ti02−y−ZrO2−2−8no2(但
し、0.30≦X≦0.60.0.25≦y≦0.60
.0.025≦z≦020)で表される物質を主成分と
し、これに添加物として、Mn○、A1203CuOま
たはL t 20を5重量%以下で、Nb2O,を10
重量%以下で含有させてなるものである。 [0009] また、本発明は、上記添加物に代えて、L 120を5
重量%以下で、Ta205を10重量%以下で含有させ
てなるものである。 [00101 更に、本発明は、上記添加物の他に更にZn○を5重量
%以下含有させてなるものである。 [0011]
上記組成の誘電体磁器は、Mn01A1203、CuO
またはL 120とNb2O5とを添加することにより
、Q値が向上する。また、Li2OとTa2O,とを添
加することにより、Q値が向上する。更に、ZnO添加
することにより、焼結性が向上する。 [0012]
またはL 120とNb2O5とを添加することにより
、Q値が向上する。また、Li2OとTa2O,とを添
加することにより、Q値が向上する。更に、ZnO添加
することにより、焼結性が向上する。 [0012]
まず、実施例に係るマイクロ波用誘電体磁器組成物の製
造方法について説明する。 [0013] 原料として、TiOZrOSnOの高純度粉末を所定の
モル分率になる2・ 2ゝ 2 ように秤量し、また、Mn01A 1 0 Cu o
、 L t 20の内1種(酸化物でも23゛ 炭酸塩でもよい)とNb2O,の高純度粉末を所定量秤
量する。これらの粉末を配合し、5〜10時間湿時間台
する。次にこれを脱水・乾燥し、900〜1200℃で
1〜2時間予備焼結を行う。そして、この予備焼結物を
20〜60時間湿式粉砕する。次いで、これを脱水・乾
燥し、2000〜3000 Kg/cm2の圧力で、直
径10mm、厚み6mmの円板に成形する。続いてこの
成形品を1350〜1500℃の温度で2〜5時間焼成
し、その焼成品を厚みが直径の2分の1になるように両
面研摩して測定試料を完成する。 [0014] このようにして完成された試料を、ハツキ・コールマン
法を用い、測定周波数7〜8.5GHzの範囲で誘電率
ε、Q値、並びに共振周波数の温度係数τfを測定した
。以下に測定結果について説明する。 [0015] 第1表は、主成分のTiOZrO及びS n 02がモ
ル分率でこの順に、0゜51:0.42=0.07のと
き、添加物として、MnOとN b 205を使用した
ときの測定結果である。 特開平4−1oに807 (5) [0016] 尚、表中、 *は本発明の範囲外のサンプルを示している。 [0017]
造方法について説明する。 [0013] 原料として、TiOZrOSnOの高純度粉末を所定の
モル分率になる2・ 2ゝ 2 ように秤量し、また、Mn01A 1 0 Cu o
、 L t 20の内1種(酸化物でも23゛ 炭酸塩でもよい)とNb2O,の高純度粉末を所定量秤
量する。これらの粉末を配合し、5〜10時間湿時間台
する。次にこれを脱水・乾燥し、900〜1200℃で
1〜2時間予備焼結を行う。そして、この予備焼結物を
20〜60時間湿式粉砕する。次いで、これを脱水・乾
燥し、2000〜3000 Kg/cm2の圧力で、直
径10mm、厚み6mmの円板に成形する。続いてこの
成形品を1350〜1500℃の温度で2〜5時間焼成
し、その焼成品を厚みが直径の2分の1になるように両
面研摩して測定試料を完成する。 [0014] このようにして完成された試料を、ハツキ・コールマン
法を用い、測定周波数7〜8.5GHzの範囲で誘電率
ε、Q値、並びに共振周波数の温度係数τfを測定した
。以下に測定結果について説明する。 [0015] 第1表は、主成分のTiOZrO及びS n 02がモ
ル分率でこの順に、0゜51:0.42=0.07のと
き、添加物として、MnOとN b 205を使用した
ときの測定結果である。 特開平4−1oに807 (5) [0016] 尚、表中、 *は本発明の範囲外のサンプルを示している。 [0017]
【表1】
[0018]
表1中の各試料について+20℃〜+70℃の範囲で共
振周波数の温度係数τfを測定したところ、 いずれも+8±10 (PPM/’C’)以内であった
。 [0019] この表1から明らかなようにMnOとNb2O5を加え
ることにより、誘電率ε及びQ値が向上する。 [0020] 一方、MnOにおいては5重量%を越えると、またN
b 20 sにおいては10重量%を越えると、誘電特
性が余り良くなく、また焼結不良となる場合がある。 [0021] ところで、主成分のTiOZrO及びS n 02の組
成比率によっても、誘電2ゝ 2 特性は変化する。そこで、次にMnOを1.0重量%、
Nb2O5を2.5重量%添加するものとし、TiOZ
rO及びS n 02の組成比率(モル比)を種々変え
て実験2ゝ 2 した結果を表2に示す。 [0022]
振周波数の温度係数τfを測定したところ、 いずれも+8±10 (PPM/’C’)以内であった
。 [0019] この表1から明らかなようにMnOとNb2O5を加え
ることにより、誘電率ε及びQ値が向上する。 [0020] 一方、MnOにおいては5重量%を越えると、またN
b 20 sにおいては10重量%を越えると、誘電特
性が余り良くなく、また焼結不良となる場合がある。 [0021] ところで、主成分のTiOZrO及びS n 02の組
成比率によっても、誘電2ゝ 2 特性は変化する。そこで、次にMnOを1.0重量%、
Nb2O5を2.5重量%添加するものとし、TiOZ
rO及びS n 02の組成比率(モル比)を種々変え
て実験2ゝ 2 した結果を表2に示す。 [0022]
【表2】
[0023]
この表2から明らかなように、TiOZrO2、S n
O2の組成比率によりε2゛ 、Q値、τfが変化する。本発明では、この組成比率を
先の特許請求の範囲に記1適さなくなるからである。 [0024]
O2の組成比率によりε2゛ 、Q値、τfが変化する。本発明では、この組成比率を
先の特許請求の範囲に記1適さなくなるからである。 [0024]
【表3】
【表4】
【表5】
[0028]
表3〜表5から明らかなように、先の表1に示した結果
と同様の結果が得られた。尚、共振周波数の温度係数τ
fはいずれも+10±10 (PPM/’C)以内であ
った。 [0029] 従って、主成分であるTiO2、ZrO2及びS n
O2を表2から、また、添加物であるMn○、A10C
u○またはLi OとNb2O5を表1、表3、表4
及23゛2 び表5から、それぞれ先の特許請求の範囲に記載された
範囲に限定することにより、εが約30〜50″rQ値
が約50.00以上の誘電体磁器が自由に得られる。 [0030] 次に、主成分に、添加物としてL 120とTaz○5
を添加したときの誘電特性を表6に示す。なお、主成分
のTiOZrO3及びS n 02の組成比率はモル分
率2ゝ でこの順に、0.51 :Q、42 :ては、上述の方
法と同様である。 [0031]
と同様の結果が得られた。尚、共振周波数の温度係数τ
fはいずれも+10±10 (PPM/’C)以内であ
った。 [0029] 従って、主成分であるTiO2、ZrO2及びS n
O2を表2から、また、添加物であるMn○、A10C
u○またはLi OとNb2O5を表1、表3、表4
及23゛2 び表5から、それぞれ先の特許請求の範囲に記載された
範囲に限定することにより、εが約30〜50″rQ値
が約50.00以上の誘電体磁器が自由に得られる。 [0030] 次に、主成分に、添加物としてL 120とTaz○5
を添加したときの誘電特性を表6に示す。なお、主成分
のTiOZrO3及びS n 02の組成比率はモル分
率2ゝ でこの順に、0.51 :Q、42 :ては、上述の方
法と同様である。 [0031]
【表6】
0゜
O7であり、
測定試料の製造方法につい
[0032]
表6において各試料の共振周波数の温度係数τfはいず
れも+10±10 (PPM/℃)以内であった。 [0033] 表6より、L 120とTa2O,を添加した場合、ε
及びQともに向上していることがわかる。また、上述の
添加物同様、L 120は5重量%を越えると、Ta2
O。 では10重量%を越えると焼結不可能となり、不都合で
ある。 [0034] ところで、上述の実施例においては、良好な誘電特性を
得るためには、製造工程において、焼結温度を1400
℃以上で行う必要がある。しかしながら、生産コストや
焼結炉の耐久性等を考慮すると、焼結温度はできるだけ
低いほうが良い。次に、焼結温度を低下し得るようにし
た実施例について説明する。 [0035] 表7は主成分子i○2、Z r 02及びSn○2(組
成比率:0.51 :Q、 42 :0.07)に、
Li ○を1.0重量%、Nb2O,を2.5重量%
添加したものにさらにZn○を添加して得られた試料の
誘電特性を示すものである。このとき、焼結温度を13
50℃または1400℃とし、焼結時間を5時間とした
。 [0036]
れも+10±10 (PPM/℃)以内であった。 [0033] 表6より、L 120とTa2O,を添加した場合、ε
及びQともに向上していることがわかる。また、上述の
添加物同様、L 120は5重量%を越えると、Ta2
O。 では10重量%を越えると焼結不可能となり、不都合で
ある。 [0034] ところで、上述の実施例においては、良好な誘電特性を
得るためには、製造工程において、焼結温度を1400
℃以上で行う必要がある。しかしながら、生産コストや
焼結炉の耐久性等を考慮すると、焼結温度はできるだけ
低いほうが良い。次に、焼結温度を低下し得るようにし
た実施例について説明する。 [0035] 表7は主成分子i○2、Z r 02及びSn○2(組
成比率:0.51 :Q、 42 :0.07)に、
Li ○を1.0重量%、Nb2O,を2.5重量%
添加したものにさらにZn○を添加して得られた試料の
誘電特性を示すものである。このとき、焼結温度を13
50℃または1400℃とし、焼結時間を5時間とした
。 [0036]
【表7】
[0037]
表7から分かるように、ZnOを添加することにより、
焼結温度を下げた場合でも、焼結温度が高い時と同等も
しくはそれ以上の良好な誘電特性が得られる。 [0038] 尚、ZnOの添加量が5重量%を越えると、焼結時に融
解物が析出し、逆に特性が悪くなる。 [0039] 表8は主成分に添加物として、以下の4種の組み合わせ
のものを使用したときのZnO添加の効果を示すもので
ある。尚、焼結温度は1350℃、焼結時間は5時間で
ある。 [0040] A;MnO=1.0重量%、Nb205=2.5重量%
B;A1203=1.0重量%、Nb205=2.5重
量%C;CuO=1.0重量%、Nb205=2.5重
量%D;Li20=1.0重量%、Ta203=2.5
重量%[0041]
焼結温度を下げた場合でも、焼結温度が高い時と同等も
しくはそれ以上の良好な誘電特性が得られる。 [0038] 尚、ZnOの添加量が5重量%を越えると、焼結時に融
解物が析出し、逆に特性が悪くなる。 [0039] 表8は主成分に添加物として、以下の4種の組み合わせ
のものを使用したときのZnO添加の効果を示すもので
ある。尚、焼結温度は1350℃、焼結時間は5時間で
ある。 [0040] A;MnO=1.0重量%、Nb205=2.5重量%
B;A1203=1.0重量%、Nb205=2.5重
量%C;CuO=1.0重量%、Nb205=2.5重
量%D;Li20=1.0重量%、Ta203=2.5
重量%[0041]
【表8】
[0042]
表8より分かるように、いずれの場合もZn○の添加に
より、低い焼結温度であっても誘電特性を向上させるこ
とができる。 [0043]
より、低い焼結温度であっても誘電特性を向上させるこ
とができる。 [0043]
以上のように本発明によれば、7〜8GHz程度のマイ
クロ波帯でQ値が5000以上、誘電率が30〜50程
度の誘電体磁器が得られる。また、主成分及び添加物の
組成比率を変えることにより、共振周波数の温度係数τ
fを、OPPM/’Cを中心に自由に制御できる。更に
、より低い焼結温度で良好な誘電特性が得られる。
クロ波帯でQ値が5000以上、誘電率が30〜50程
度の誘電体磁器が得られる。また、主成分及び添加物の
組成比率を変えることにより、共振周波数の温度係数τ
fを、OPPM/’Cを中心に自由に制御できる。更に
、より低い焼結温度で良好な誘電特性が得られる。
Claims (3)
- 【請求項1】モル分率をx、y、z(x+y+z=1)
としたとき、組成式が、x・TiO_2−y・ZrO_
2−z・SnO_2(但し、0.30≦x≦0.60、
0.25≦y≦0.60、0.025≦z≦0.20)
で表される物質を主成分とし、これに添加物として、M
nO、Al_2O_3、CuOまたはLi_2Oを5重
量%以下で、Nb_2O_5を10重量%以下で含有さ
せてなるマイクロ波用誘電体磁器組成物。 - 【請求項2】モル分率をx、y、z(x+y+z=1)
としたとき、組成式が、x・TiO_2−y・ZrO_
2−z・SnO_2(但し、0.30≦x≦0.60、
0.25≦y≦0.60、0.025≦z≦0.20)
で表される物質を主成分とし、これに添加物として、L
i_2Oを5重量%以下で、Ta_2O_5を10重量
%以下で含有させてなるマイクロ波用誘電体磁器組成物
。 - 【請求項3】請求項1または請求項2記載のマイクロ波
用誘電体磁器組成物において、更にZnOを5重量%以
下含有させてなるマイクロ波用誘電体磁器組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/747,571 US5132258A (en) | 1990-08-21 | 1991-08-20 | Microwave dielectric ceramic composition |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22035290 | 1990-08-21 | ||
JP2-220352 | 1990-08-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04106807A true JPH04106807A (ja) | 1992-04-08 |
Family
ID=16749793
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2406755A Pending JPH04106807A (ja) | 1990-08-21 | 1990-12-26 | マイクロ波用誘電体磁器組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04106807A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06295619A (ja) * | 1992-09-10 | 1994-10-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 誘電体磁器及び誘電体共振器 |
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JP2011162419A (ja) * | 2010-02-15 | 2011-08-25 | Ube Industries Ltd | 高周波用誘電体磁器並びにその製造方法およびそれを用いた高周波回路素子 |
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