JPH04104605A - 弾性表面波伝播素子 - Google Patents
弾性表面波伝播素子Info
- Publication number
- JPH04104605A JPH04104605A JP22285490A JP22285490A JPH04104605A JP H04104605 A JPH04104605 A JP H04104605A JP 22285490 A JP22285490 A JP 22285490A JP 22285490 A JP22285490 A JP 22285490A JP H04104605 A JPH04104605 A JP H04104605A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric substrate
- surface acoustic
- acoustic wave
- wire
- electrode
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、圧電性基板上にワイヤボンドのための接続
部を有する弾性表面波伝播素子に関するものである。
部を有する弾性表面波伝播素子に関するものである。
第３図は従来の弾性表面波伝播素子を示す概略斜視図で
あり１図において、１は弾性表面波を伝播する圧電性基
板、２はこの圧電性基板１上に設けられて、弾性表面波
を励振する電気／機械変換器としての電極、３はその励
振された弾性表面波を受けて、対応するレベルの電気信
号を出力する機械／電気変換器としての電極、４，５は
各電極２．３ごとに設けられ、これらにそれぞれ電気的
に接続された接続部で、通常は数１０００Ａ程度の膜厚
に、上記各電極２，３とともに成膜され、所定の形状に
パターニングされる。６，７は各電極２，３ごとの上記
接続部４，５にワイヤボンドされた配線用の線材、８は
圧電性基板１を収納する容器、９は圧電性基板１を容器
５に固定する接着剤である。なお、上記圧電性基板１の
表面は、弾性表面波が各電極２，３間を伝播するため、
非常に滑らかに形成されている。
あり１図において、１は弾性表面波を伝播する圧電性基
板、２はこの圧電性基板１上に設けられて、弾性表面波
を励振する電気／機械変換器としての電極、３はその励
振された弾性表面波を受けて、対応するレベルの電気信
号を出力する機械／電気変換器としての電極、４，５は
各電極２．３ごとに設けられ、これらにそれぞれ電気的
に接続された接続部で、通常は数１０００Ａ程度の膜厚
に、上記各電極２，３とともに成膜され、所定の形状に
パターニングされる。６，７は各電極２，３ごとの上記
接続部４，５にワイヤボンドされた配線用の線材、８は
圧電性基板１を収納する容器、９は圧電性基板１を容器
５に固定する接着剤である。なお、上記圧電性基板１の
表面は、弾性表面波が各電極２，３間を伝播するため、
非常に滑らかに形成されている。
次に動作について説明する。
まず、図示しない外部回路から弾性表面波発生のための
電圧を一対の線材６を介して各接続部４に印加する。こ
のため、各接続部４からの電圧を受けて電極２は弾性表
面波を励起し、この弾性表面波は圧電性基板１の表面を
伝播していく。一方、他方の電極３ではこの伝播してく
る弾性表面波を受けとり、これを電気信号に変換して各
接続部５およびこれにワイヤボンドされた線材７を介し
て外部回路に供給される。そして、このような動作によ
って、電極２に印加された入力信号を所定時間遅延させ
て電極３から出力する遅延線機能を持たせることができ
る。
電圧を一対の線材６を介して各接続部４に印加する。こ
のため、各接続部４からの電圧を受けて電極２は弾性表
面波を励起し、この弾性表面波は圧電性基板１の表面を
伝播していく。一方、他方の電極３ではこの伝播してく
る弾性表面波を受けとり、これを電気信号に変換して各
接続部５およびこれにワイヤボンドされた線材７を介し
て外部回路に供給される。そして、このような動作によ
って、電極２に印加された入力信号を所定時間遅延させ
て電極３から出力する遅延線機能を持たせることができ
る。
従来の弾性表面波伝播素子は以上のように構成されてい
るので、各接続部４，５と容器８側の外部回路との接続
を、ワイヤボンド、例えばウェッジボンド法などにて行
っているが、接続部４，５の膜厚が薄く、かつ圧電性基
板１の表面と接続部４．５との膜密着力が弱いために、
ワイヤボンド接続部の信頼性が悪く、しかも現実に歩留
りが悪いなどの課題があった。
るので、各接続部４，５と容器８側の外部回路との接続
を、ワイヤボンド、例えばウェッジボンド法などにて行
っているが、接続部４，５の膜厚が薄く、かつ圧電性基
板１の表面と接続部４．５との膜密着力が弱いために、
ワイヤボンド接続部の信頼性が悪く、しかも現実に歩留
りが悪いなどの課題があった。
この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、接続部の圧電性基板に対する密着力を高めるこ
とにより、ワイヤボンド接続の信頼性を向上させること
ができるとともに、密着部の品質および歩留りを向上さ
せることができる弾性表面波伝播素子を得ることを目的
とする。
もので、接続部の圧電性基板に対する密着力を高めるこ
とにより、ワイヤボンド接続の信頼性を向上させること
ができるとともに、密着部の品質および歩留りを向上さ
せることができる弾性表面波伝播素子を得ることを目的
とする。
この発明に係る弾性表面波伝播素子は、圧電性基板にお
ける接続部の密着部位を、該密着力強化のための粗面と
したものである。
ける接続部の密着部位を、該密着力強化のための粗面と
したものである。
この発明における圧電性基板における粗面ば、この上に
パターン化される接続部が容易に剥離しないように、該
接続部を大きな接触面積にて保持することとなり、従っ
てその接続部の膜厚が薄くても、これへの線材のワイヤ
ボンドに拘らず、接続部の圧電性基板に対する十分な密
着力を確保し。
パターン化される接続部が容易に剥離しないように、該
接続部を大きな接触面積にて保持することとなり、従っ
てその接続部の膜厚が薄くても、これへの線材のワイヤ
ボンドに拘らず、接続部の圧電性基板に対する十分な密
着力を確保し。
ワイヤボンド接続の信頼性を高め１歩留りの改善を図れ
るようにする。
るようにする。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図において、１は弾性表面波を伝播する圧電性基板
、２はこの圧電性基板１上に設けられて、弾性表面波を
励振する電気／機械変換器としての電極、３はその励振
された弾性表面波を受けて、対応するレベルの電気信号
を出力する機械／電気変換器としての電極、４，５は各
電極２，３ごとに設けられ、これらにそれぞれ電気的に
接続された接続部で、通常は数１０００Ａ程度の膜厚に
、上記各電極２，３とともに成膜され、所定の形状にパ
ターニングされる。６，７は各電極２，３ごとの上記接
続部４，５にワイヤボンドされた配線用の線材、８は圧
電性基板１を収納する容器、９は圧電性基板１を容器５
に固定する接着剤である。
、２はこの圧電性基板１上に設けられて、弾性表面波を
励振する電気／機械変換器としての電極、３はその励振
された弾性表面波を受けて、対応するレベルの電気信号
を出力する機械／電気変換器としての電極、４，５は各
電極２，３ごとに設けられ、これらにそれぞれ電気的に
接続された接続部で、通常は数１０００Ａ程度の膜厚に
、上記各電極２，３とともに成膜され、所定の形状にパ
ターニングされる。６，７は各電極２，３ごとの上記接
続部４，５にワイヤボンドされた配線用の線材、８は圧
電性基板１を収納する容器、９は圧電性基板１を容器５
に固定する接着剤である。
なお、かかる弾性表面波伝播素子の基本的構成は従来と
全く同一である。また、上記圧電性基板１として１例え
ば遅延時間の長いＢｉ工２Ｇｅ○２ｏなどの材料が用い
られる。
全く同一である。また、上記圧電性基板１として１例え
ば遅延時間の長いＢｉ工２Ｇｅ○２ｏなどの材料が用い
られる。
次に動作について説明する。
まず、図示しない外部回路から弾性表面波発生のための
電圧を一対の線材６を介して各接続部４に印加する。こ
のため、各接続部４からの電圧を受けて電極２は弾性表
面波を励起し、この弾性表面波は圧電性基板１の表面を
伝播していく。一方、他方の電極３ではこの伝播してく
る弾性表面波を受けとり、これを電気信号に変換して各
接続部５およびこれにワイヤボンドされた線材７を介し
て外部回路に供給する。そして、このような動作によっ
て、電極２に印加された入力信号を所定時間遅延させて
電極３から出力する遅延線機能を持たせることができる
。
電圧を一対の線材６を介して各接続部４に印加する。こ
のため、各接続部４からの電圧を受けて電極２は弾性表
面波を励起し、この弾性表面波は圧電性基板１の表面を
伝播していく。一方、他方の電極３ではこの伝播してく
る弾性表面波を受けとり、これを電気信号に変換して各
接続部５およびこれにワイヤボンドされた線材７を介し
て外部回路に供給する。そして、このような動作によっ
て、電極２に印加された入力信号を所定時間遅延させて
電極３から出力する遅延線機能を持たせることができる
。
、また、接続部４，５を形成するには、上記のようにＢ
ｉ、、ＧｅＯ２゜などからなる圧電性基板１上面のうち
、接続部４，５の設置部位を写真製版によって露出させ
、この露出部分に科学的エツチング処理を施して凹凸面
としての粗面Ｒを、第２図に示すように形成する。続い
て、圧電性基板１上面の非粗面および上記粗面Ｒに、第
１図に示すように、それぞれ電極２．３および接続部４
，５の成膜パターニングをそれぞれ実施し、圧電性基板
１の加工を完了する。また、この圧電性基板１を容器８
内に接着剤９にて固定した後、ワイヤボンド、例えば線
材としてアルミニウムを使用し、ウェッジワイヤボンド
法にて、接続部４，５に容器８側からの上記線材６，７
を接続することにより、所期の弾性表面波伝播素子が得
られる。
ｉ、、ＧｅＯ２゜などからなる圧電性基板１上面のうち
、接続部４，５の設置部位を写真製版によって露出させ
、この露出部分に科学的エツチング処理を施して凹凸面
としての粗面Ｒを、第２図に示すように形成する。続い
て、圧電性基板１上面の非粗面および上記粗面Ｒに、第
１図に示すように、それぞれ電極２．３および接続部４
，５の成膜パターニングをそれぞれ実施し、圧電性基板
１の加工を完了する。また、この圧電性基板１を容器８
内に接着剤９にて固定した後、ワイヤボンド、例えば線
材としてアルミニウムを使用し、ウェッジワイヤボンド
法にて、接続部４，５に容器８側からの上記線材６，７
を接続することにより、所期の弾性表面波伝播素子が得
られる。
以上のように、この発明によれば圧電性基板における接
続部の密着部位を、該密着力強化のための粗面となるよ
うに構成したので、電極とともに薄膜パターン化される
接続部が、上記圧電性基板に対し強く密着することとな
り、従って、線材のワイヤボンドを高信頼性で実施でき
、しかも歩留りの向上を図れるほか、一方、圧電性基板
における上記接続部設置部位以外は滑らかな表面を維持
させて、弾性表面波の伝播を高効能にて実現できるもの
が得られる効果がある。
続部の密着部位を、該密着力強化のための粗面となるよ
うに構成したので、電極とともに薄膜パターン化される
接続部が、上記圧電性基板に対し強く密着することとな
り、従って、線材のワイヤボンドを高信頼性で実施でき
、しかも歩留りの向上を図れるほか、一方、圧電性基板
における上記接続部設置部位以外は滑らかな表面を維持
させて、弾性表面波の伝播を高効能にて実現できるもの
が得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による弾性表面波伝播素子
を示す概略斜視図、第２図は第１図のＡ−Ａ線における
断面形状を示す断面図、第３図は従来の弾性表面波伝播
素子を示す概略斜視図である。 １は圧電性基板、２は電気／機械変換器（電極）、３は
機械／電気変換器（電極）、４．５は接続部、６，７は
線材、Ｒは粗面。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。 第１図 第２図
を示す概略斜視図、第２図は第１図のＡ−Ａ線における
断面形状を示す断面図、第３図は従来の弾性表面波伝播
素子を示す概略斜視図である。 １は圧電性基板、２は電気／機械変換器（電極）、３は
機械／電気変換器（電極）、４．５は接続部、６，７は
線材、Ｒは粗面。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。 第１図 第２図
Claims (1)
- 圧電性基板の表面に設けられ、入力された電気信号に
対応する弾性表面波を発生する電気／機械変換器と、上
記圧電性基板の表面に、上記電気／機械変換器に対して
所定間隔をおいて配置され、上記圧電性基板を伝播する
弾性表面波を受けてこれを電気信号に変換する機械／電
気変換器と、上記電気／機械変換器および機械／電気変
換器にそれぞれ独立して電気的に接続され、かつ外部か
らの線材をワイヤボンド可能に上記圧電性基板上に密着
した接続部とを備えた弾性表面波伝播素子において、上
記圧電性基板における上記接続部の密着部位を、該密着
力強化のための粗面としたことを特徴とする弾性表面波
伝播素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22285490A JPH04104605A (ja) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | 弾性表面波伝播素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22285490A JPH04104605A (ja) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | 弾性表面波伝播素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04104605A true JPH04104605A (ja) | 1992-04-07 |
Family
ID=16788942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22285490A Pending JPH04104605A (ja) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | 弾性表面波伝播素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04104605A (ja) |
-
1990
- 1990-08-24 JP JP22285490A patent/JPH04104605A/ja active Pending
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