JPH0389488A - 有機発光素子及びその製造方法 - Google Patents
有機発光素子及びその製造方法Info
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- JPH0389488A JPH0389488A JP1227225A JP22722589A JPH0389488A JP H0389488 A JPH0389488 A JP H0389488A JP 1227225 A JP1227225 A JP 1227225A JP 22722589 A JP22722589 A JP 22722589A JP H0389488 A JPH0389488 A JP H0389488A
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Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
・本発明は、平面型表示装置として用いられる有機発光
素子の構成及びその製造方法に関する。
素子の構成及びその製造方法に関する。
[従来の技術]
従来、有機発光物質を用いた発光素子の発光層の形成法
としては、塗布法、蒸着法などがある(応用物理学会1
989年春季年会予稿集6−α−G−7など)。
としては、塗布法、蒸着法などがある(応用物理学会1
989年春季年会予稿集6−α−G−7など)。
塗布法は、発光物質を適当な溶媒に溶かし、これをスピ
ンコード法などにより基板に塗布して発光層を形成させ
る。蒸着法では、発光物質を真空中にて加熱することに
より基板上に蒸着膜を形成させ発光層を得る。
ンコード法などにより基板に塗布して発光層を形成させ
る。蒸着法では、発光物質を真空中にて加熱することに
より基板上に蒸着膜を形成させ発光層を得る。
[発明が解決しようとする課題]
しかし、これらの方法で形成した発光層は機械的強度に
欠け、基板との密着性も使用する発光物質に依存するな
ど材料選択上の自由度に制約があった。また、従来の技
術では発光層の微細パターニングが困難であり、表示装
置への応用といった観点からいえば多くの問題点をかか
えていた。
欠け、基板との密着性も使用する発光物質に依存するな
ど材料選択上の自由度に制約があった。また、従来の技
術では発光層の微細パターニングが困難であり、表示装
置への応用といった観点からいえば多くの問題点をかか
えていた。
そこで本発明では、従来のこのような問題点を解決すべ
く十分な強度及び基板との密着性を有し容易に所望のパ
ターンの発光層が得られるなど、表示装置への応用をよ
り確かなものにならしめる有機発光素子及びその製造方
法を提供することを目的とする。
く十分な強度及び基板との密着性を有し容易に所望のパ
ターンの発光層が得られるなど、表示装置への応用をよ
り確かなものにならしめる有機発光素子及びその製造方
法を提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段]
上記課題を解決するため、本発明の有機発光素子は、
(1) 有機発光層とこれを挾持してなる互いに直交す
るストライプ状の電極パターンを表面に有する一対の基
板とから成る有機発光素子において、前記有機発光層が
前記一対の基板のうちいずれか一方の基板表面の電極パ
ターン上に同一パターンで構成されていることを特徴と
する、(2)゛ 前記有機発光層が、感光性樹脂とこれ
に吸着された有機発光物質とから成ることを特徴とする
。
るストライプ状の電極パターンを表面に有する一対の基
板とから成る有機発光素子において、前記有機発光層が
前記一対の基板のうちいずれか一方の基板表面の電極パ
ターン上に同一パターンで構成されていることを特徴と
する、(2)゛ 前記有機発光層が、感光性樹脂とこれ
に吸着された有機発光物質とから成ることを特徴とする
。
本発明の有機発光素子の製造方法は、■感光性樹脂基板
表面に形成された平板電極上に塗布する工程と、■塗布
された前記感光性樹脂をフォトリングラフイー法でパタ
ーニングする工程と、■パターニング済前記感光性樹脂
に有機発光物質を含浸により吸着させる工程と、■得ら
れたパターニング済有機発光層をレジストとして平板電
極を腐食させることにより電極パターンを構成する工程
と、かうなることを特徴とする。
表面に形成された平板電極上に塗布する工程と、■塗布
された前記感光性樹脂をフォトリングラフイー法でパタ
ーニングする工程と、■パターニング済前記感光性樹脂
に有機発光物質を含浸により吸着させる工程と、■得ら
れたパターニング済有機発光層をレジストとして平板電
極を腐食させることにより電極パターンを構成する工程
と、かうなることを特徴とする。
[作用コ
本発明の上記の構成だと、有機発光物質の担体としての
感光性樹脂を適当に選択することにより機械的強度ある
いは基板との密着性に優れた構造とすることができる。
感光性樹脂を適当に選択することにより機械的強度ある
いは基板との密着性に優れた構造とすることができる。
また、感光性樹脂をパターニングした後これに有機発光
物質を含浸させるため、所望のパターンの有機発光層を
容易に構成することができる。更に本発明の製造方法に
よれば上述の工程でパターニングした後の有機発光層な
レジストとし、その下層の電極をパターニングするので
、表示素子を構築する際有機発光層パターンと電極パタ
ーンの位置合わせが不用となり製造工程の簡略化及び高
精度化に寄与するものである[実施例] (実施例1) 本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。第1図
(α)〜(f)は、本発明の一実施例を示す製造工程毎
の構造断面図である。先ず、工TOべた電極11を表面
に有するガラス下基板101上に感光性アクリル樹脂1
2をスピンコード法により塗布し、60″Oで1時間仮
焼成を行う(第1図(α))。これにフォトマスク31
を介して高圧水銀ランプを用いて紫外光(UV)を照射
しく第1図(h))これを現像することによりストライ
プ状のパターンを施した(第1図(C))。
物質を含浸させるため、所望のパターンの有機発光層を
容易に構成することができる。更に本発明の製造方法に
よれば上述の工程でパターニングした後の有機発光層な
レジストとし、その下層の電極をパターニングするので
、表示素子を構築する際有機発光層パターンと電極パタ
ーンの位置合わせが不用となり製造工程の簡略化及び高
精度化に寄与するものである[実施例] (実施例1) 本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。第1図
(α)〜(f)は、本発明の一実施例を示す製造工程毎
の構造断面図である。先ず、工TOべた電極11を表面
に有するガラス下基板101上に感光性アクリル樹脂1
2をスピンコード法により塗布し、60″Oで1時間仮
焼成を行う(第1図(α))。これにフォトマスク31
を介して高圧水銀ランプを用いて紫外光(UV)を照射
しく第1図(h))これを現像することによりストライ
プ状のパターンを施した(第1図(C))。
180″0で1時間焼成を行い、樹脂12を硬化させた
後、これをビニルアントラセンの10wt%トルエン溶
液に15分間浸漬し、乾燥を行うことにより発光層13
を形成させた(第1図(d))更にこの基板をエツチン
グ液(水:塩酸;硝酸=1:1:[11)に5分間浸漬
し]−TO!極ノエッチングを行った。この時、上層の
発光層13がレジストとして作用するので、第1図(g
)に示したように発光層パターンと同一の工TO電極パ
ターンが得られる。最後にアルミ電極パターン21を表
面に有した上基板102を、上下の電極パターンが互い
に直交するように重ね合わせ、周囲を光硬化型シール剤
で固定することにより第1図(1)の如き表示素子を構
成した。
後、これをビニルアントラセンの10wt%トルエン溶
液に15分間浸漬し、乾燥を行うことにより発光層13
を形成させた(第1図(d))更にこの基板をエツチン
グ液(水:塩酸;硝酸=1:1:[11)に5分間浸漬
し]−TO!極ノエッチングを行った。この時、上層の
発光層13がレジストとして作用するので、第1図(g
)に示したように発光層パターンと同一の工TO電極パ
ターンが得られる。最後にアルミ電極パターン21を表
面に有した上基板102を、上下の電極パターンが互い
に直交するように重ね合わせ、周囲を光硬化型シール剤
で固定することにより第1図(1)の如き表示素子を構
成した。
以上の実施例で得られた表示素子の対向する電極間に4
0V(P−P)の交流電界を印加したところ、青紫色発
光が観測された。また、発光、消光の応答速度は十分速
く、マルチプレックス駆動により基板面内の任意の画素
を選択的に発光させることができた。
0V(P−P)の交流電界を印加したところ、青紫色発
光が観測された。また、発光、消光の応答速度は十分速
く、マルチプレックス駆動により基板面内の任意の画素
を選択的に発光させることができた。
(実施例2)
ここでは有機発光物質として発光色が異る3種類の物質
を用いた。第1図に示した(α)〜(d)工程をフォト
マスクを1/3パターンづつずらしながら上記3種類の
有機発光物質ごとに各々行った後、(C)及び(f)工
程を経て表示素子を作製した。ここで用いた有機発光物
質はアントラセン(青色発光)、コロネン(緑色発光)
及びペリレン(赤色発光)である。
を用いた。第1図に示した(α)〜(d)工程をフォト
マスクを1/3パターンづつずらしながら上記3種類の
有機発光物質ごとに各々行った後、(C)及び(f)工
程を経て表示素子を作製した。ここで用いた有機発光物
質はアントラセン(青色発光)、コロネン(緑色発光)
及びペリレン(赤色発光)である。
電極間に50V(P−P)の交流電界を印加することに
より3色供発光が認められた。更にフィールド内時間分
割法により駆動を行ったところ、各色の発光とも階調表
示が得られた。応答速度も十分速いため、フルカラー動
面像に十分対応できるこが明らかとなった。
より3色供発光が認められた。更にフィールド内時間分
割法により駆動を行ったところ、各色の発光とも階調表
示が得られた。応答速度も十分速いため、フルカラー動
面像に十分対応できるこが明らかとなった。
[発明の効果]
以上述べたように、本発明の有機発光素子は、樹脂な担
体とし、これに有機発光物質を吸着させることにより有
機発光層を形成させているので、素子全体として非常に
強固な構造をとる。また、本発明の製造方法によれば、
従来困難とされていた発光の微細パターンが容易となり
、電極パターンもその製造工程を見れば明らかな通り発
光層パターンと位置ずれなおこすことがない。しかも、
発光層をレジストとして用いているので工程数も飛躍的
に減少し、そのもたらす効果は多大である
体とし、これに有機発光物質を吸着させることにより有
機発光層を形成させているので、素子全体として非常に
強固な構造をとる。また、本発明の製造方法によれば、
従来困難とされていた発光の微細パターンが容易となり
、電極パターンもその製造工程を見れば明らかな通り発
光層パターンと位置ずれなおこすことがない。しかも、
発光層をレジストとして用いているので工程数も飛躍的
に減少し、そのもたらす効果は多大である
第1図(α)〜(J’)は、本発明の有機発光素子の製
造方法の一実施例を示す製造工程毎の構造断面図。 11・・・・・・・・・工TO電極 2・・・・・・・・・感光性アクリル樹脂6・・・・・
・・・・発光層 1・・・・・・・・・アルミ電極 1・・・・・・・・・フォトマスク ド・・・・・・・・ガラス下基板 2・・・・・・・・・上基板
造方法の一実施例を示す製造工程毎の構造断面図。 11・・・・・・・・・工TO電極 2・・・・・・・・・感光性アクリル樹脂6・・・・・
・・・・発光層 1・・・・・・・・・アルミ電極 1・・・・・・・・・フォトマスク ド・・・・・・・・ガラス下基板 2・・・・・・・・・上基板
Claims (3)
- (1)有機発光層とこれを挾持してなる互いに直交する
ストライプ状の電極パターンを表面に有する一対の基板
とから成る有機発光素子において、前記有機発光層が前
記一対の基板のうちいずれか一方の基板表面の電極パタ
ーン上に同一パターンで構成されていることを特徴とす
る有機発光素子。 - (2)前記有機発光層が、感光性樹脂とこれに吸着され
た有機発光物質とから成ることを特徴とする請求項1記
載の有機発光素子。 - (3)(a)感光性樹脂基板表面に形成された平板電極
上に塗布する工程と、(b)塗布された前記感光性樹脂
をフォトリソグラフィー法でパターニングする工程と、
(c)パターニング済前記感光性樹脂に有機発光物質を
含浸により吸着させる工程と、(d)得られたパターニ
ング済有機発光層をレジストとして平板電極を腐食させ
ることにより電極パターンを構成する工程とから成るこ
とを特徴とする請求項1または請求項2記載の有機発光
素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1227225A JPH0389488A (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | 有機発光素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1227225A JPH0389488A (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | 有機発光素子及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0389488A true JPH0389488A (ja) | 1991-04-15 |
Family
ID=16857463
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1227225A Pending JPH0389488A (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | 有機発光素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0389488A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001027985A1 (fr) * | 1999-10-12 | 2001-04-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Procede d'extraction d'une substance organique presente sur un substrat, dispositif de mise en oeuvre, procede de fabrication d'un dispositif semi-conducteur, procede de fabrication d'un afficheur et appareil de fabrication correspondant |
WO2010073798A1 (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-01 | シャープ株式会社 | 表示装置用基板及びその製造方法並びに表示装置 |
-
1989
- 1989-09-01 JP JP1227225A patent/JPH0389488A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001027985A1 (fr) * | 1999-10-12 | 2001-04-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Procede d'extraction d'une substance organique presente sur un substrat, dispositif de mise en oeuvre, procede de fabrication d'un dispositif semi-conducteur, procede de fabrication d'un afficheur et appareil de fabrication correspondant |
WO2010073798A1 (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-01 | シャープ株式会社 | 表示装置用基板及びその製造方法並びに表示装置 |
US8670197B2 (en) | 2008-12-26 | 2014-03-11 | Sharp Kabushiki Kaisha | Substrate for display device, method for manufacturing same, and display device |
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