JPH0384885A - 気密端子の製造方法 - Google Patents
気密端子の製造方法Info
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- JPH0384885A JPH0384885A JP22056889A JP22056889A JPH0384885A JP H0384885 A JPH0384885 A JP H0384885A JP 22056889 A JP22056889 A JP 22056889A JP 22056889 A JP22056889 A JP 22056889A JP H0384885 A JPH0384885 A JP H0384885A
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Landscapes
- Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、がラス表面に撥水膜を設けた気密端子の製造
方法に関するものである。
方法に関するものである。
気密端子は各種の分野の電気機器に広く用いられており
、その形状や構造も用途に応じて各種のものがあるが、
基本的には第1図に示すように、金属外環1内にがラス
2を介してリード3を気密的に封着させるようにしたも
のであり、金属外環1とリード3との絶縁性はがラス2
によって確保されている。 この気W!!端子においては、圧縮封止型と称されるも
のと、整合封止型と称されるものとがある。 府者は気密外環1を鉄または低炭素鋼で形成すると共に
、ガラス2としてソーダバリウムガラス又はシーグライ
ムガラス等のソーダガラスを用い、リード3として鉄◆
ニッケル合金(Fe50%、Ni50%)を用いたもの
で、金属外環1の線膨張係数αとガラスの線膨張係数a
2とをaI>a2の関係にして、金属外環1によってガ
ラス2に強い圧縮応力が加えられるようにしたものであ
る。がラス2としてホウケイ酸ガラスを用いると共にリ
ード3として鉄・ニッケル・コバルト合金(Fe53%
、Ni28%、Co18%)を用いた圧縮封止型のもの
も現在実用化されている。一方、後者は金属外環1とリ
ード3とを鉄・ニッケル・コバルト合金(Fe53%、
N128%、Co18%)で形成すると共にガラス2と
してホウケイ酸ガラスを用いたもので、金属外環1及び
リード3のMll張係数a3、a3及C#+’?X2の
線膨張係数α2とをα1=α、#a2の関係に設定した
ものである。そして前者は安価で機械的強度が大きいと
いう長所がある反面、がラス2に同心円状の圧縮歪みが
入る、封着部分に設計上の制約がある、ガラス2の表面
の絶縁性が温度によって変化し易いという短所がある。 後者は広い温度範囲で無歪のため安定である、形状が任
意に設計できる、気密性の信頼性が大きい、f?ラスの
表面の絶縁性の安定性が良い等の長所がある反面、高価
で比較的機械的強度が劣るという短所がある。 このように圧縮封止型のものと整合封止型のものとは長
所及び短所が異なるために、用途に応じて使い分けるこ
とがおこなわれているが、いずれの型の気密端子にあっ
ても、ソーダバリウムガラスやホウケイl!!ガラスは
高温高温中に放置されると絶縁抵抗や耐電圧が低下し、
特にソーダバリウムガラスでは成分のソーダが水分と結
合し易いためにこれらの傾向が大きく、ガラス2による
金属外環1とリード3との間の絶縁性能が低下するおそ
れがあるという問題があった。このことは第5図のガラ
スの表面抵抗と湿度との関係を示すグラフに和実に表れ
ている。 そこで、従来からがラス2の表面にツメチルシロキサン
などのシリコンオイルを被着して撥水膜4を設けたり、
あるいは特公昭64−796号公報に開示されているよ
うにジエチルシクロルシランやジエチルシクロルシラン
などのクロルシランを被着して撥水Q4を設けたりする
ことがなされている。
、その形状や構造も用途に応じて各種のものがあるが、
基本的には第1図に示すように、金属外環1内にがラス
2を介してリード3を気密的に封着させるようにしたも
のであり、金属外環1とリード3との絶縁性はがラス2
によって確保されている。 この気W!!端子においては、圧縮封止型と称されるも
のと、整合封止型と称されるものとがある。 府者は気密外環1を鉄または低炭素鋼で形成すると共に
、ガラス2としてソーダバリウムガラス又はシーグライ
ムガラス等のソーダガラスを用い、リード3として鉄◆
ニッケル合金(Fe50%、Ni50%)を用いたもの
で、金属外環1の線膨張係数αとガラスの線膨張係数a
2とをaI>a2の関係にして、金属外環1によってガ
ラス2に強い圧縮応力が加えられるようにしたものであ
る。がラス2としてホウケイ酸ガラスを用いると共にリ
ード3として鉄・ニッケル・コバルト合金(Fe53%
、Ni28%、Co18%)を用いた圧縮封止型のもの
も現在実用化されている。一方、後者は金属外環1とリ
ード3とを鉄・ニッケル・コバルト合金(Fe53%、
N128%、Co18%)で形成すると共にガラス2と
してホウケイ酸ガラスを用いたもので、金属外環1及び
リード3のMll張係数a3、a3及C#+’?X2の
線膨張係数α2とをα1=α、#a2の関係に設定した
ものである。そして前者は安価で機械的強度が大きいと
いう長所がある反面、がラス2に同心円状の圧縮歪みが
入る、封着部分に設計上の制約がある、ガラス2の表面
の絶縁性が温度によって変化し易いという短所がある。 後者は広い温度範囲で無歪のため安定である、形状が任
意に設計できる、気密性の信頼性が大きい、f?ラスの
表面の絶縁性の安定性が良い等の長所がある反面、高価
で比較的機械的強度が劣るという短所がある。 このように圧縮封止型のものと整合封止型のものとは長
所及び短所が異なるために、用途に応じて使い分けるこ
とがおこなわれているが、いずれの型の気密端子にあっ
ても、ソーダバリウムガラスやホウケイl!!ガラスは
高温高温中に放置されると絶縁抵抗や耐電圧が低下し、
特にソーダバリウムガラスでは成分のソーダが水分と結
合し易いためにこれらの傾向が大きく、ガラス2による
金属外環1とリード3との間の絶縁性能が低下するおそ
れがあるという問題があった。このことは第5図のガラ
スの表面抵抗と湿度との関係を示すグラフに和実に表れ
ている。 そこで、従来からがラス2の表面にツメチルシロキサン
などのシリコンオイルを被着して撥水膜4を設けたり、
あるいは特公昭64−796号公報に開示されているよ
うにジエチルシクロルシランやジエチルシクロルシラン
などのクロルシランを被着して撥水Q4を設けたりする
ことがなされている。
しかし、前者のようなシリコンオイルの撥水膜4では絶
縁抵抗の低下を防ぐ効果は殆どなく、そのために後者の
特公昭64−796号公報のものではクロルシランの撥
水@4をガラス2の表面に設けて湿気の影響を遮断し、
絶縁抵抗の低下を防ぐようにしているのであるが、クロ
ルシランは塩素〃スを発生するおそれがあって人体に対
する影響の問題がありだ、またクロルシランによる撥水
1llI4がガラス2の表面以外の金属外環1の表面や
リード3の表面に付着していると、気密層子をリレーな
どの電気機器に取り付ける際に溶接不良や半田付は不良
が発生するおそれがあるために、金属外環1の表面やり
−ド3の表面の撥水114を除去するための特別な工夫
が必要になるものであった。 本発明は上記の点に鑑みて為されたものであり、撥水膜
から有毒がスが発生するようなおそれがなく、しかも撥
水膜を金属外環やリードから除去するような必要のない
気密端子の製造方法を提供することを目的とするもので
ある。
縁抵抗の低下を防ぐ効果は殆どなく、そのために後者の
特公昭64−796号公報のものではクロルシランの撥
水@4をガラス2の表面に設けて湿気の影響を遮断し、
絶縁抵抗の低下を防ぐようにしているのであるが、クロ
ルシランは塩素〃スを発生するおそれがあって人体に対
する影響の問題がありだ、またクロルシランによる撥水
1llI4がガラス2の表面以外の金属外環1の表面や
リード3の表面に付着していると、気密層子をリレーな
どの電気機器に取り付ける際に溶接不良や半田付は不良
が発生するおそれがあるために、金属外環1の表面やり
−ド3の表面の撥水114を除去するための特別な工夫
が必要になるものであった。 本発明は上記の点に鑑みて為されたものであり、撥水膜
から有毒がスが発生するようなおそれがなく、しかも撥
水膜を金属外環やリードから除去するような必要のない
気密端子の製造方法を提供することを目的とするもので
ある。
本発明に係る気密層子の製造方法は、金属外環1とリー
ド3とをガラス2を介して気密かつ絶縁して封着し、金
属外環1とリード3に金メツキ等の仕上げメツキを形威
した後に、ガラス2の表面にアルコキシシラン又はシラ
ザンを被着して撥水114を形成することを特徴とする
ものである。
ド3とをガラス2を介して気密かつ絶縁して封着し、金
属外環1とリード3に金メツキ等の仕上げメツキを形威
した後に、ガラス2の表面にアルコキシシラン又はシラ
ザンを被着して撥水114を形成することを特徴とする
ものである。
+fiOR+−4L −r陽AhWkm 1 し11−
vす?9ムメッキ等の仕上げメツキを形威した後に、が
ラス2の表面にアルコキシシラン又はシラザンを被着し
て撥水1lI4を形威しており、アルコキシシラン又は
シラザンは有毒がスを発生するようなおそれはない、*
たアルコキシシランやシラザンによる撥水lI4は除去
しなくとも仕上げメツキしたり−ド3に半田付けをおこ
なったり金属外環1に溶接をおこなったりすることがで
きる。
vす?9ムメッキ等の仕上げメツキを形威した後に、が
ラス2の表面にアルコキシシラン又はシラザンを被着し
て撥水1lI4を形威しており、アルコキシシラン又は
シラザンは有毒がスを発生するようなおそれはない、*
たアルコキシシランやシラザンによる撥水lI4は除去
しなくとも仕上げメツキしたり−ド3に半田付けをおこ
なったり金属外環1に溶接をおこなったりすることがで
きる。
以下本発明を実施例によって詳述する。
第2図は整合封止型の気密層子を製造する工程のブロッ
ク図を示すものであり、まず金属外環1とリード3に酸
化処理を施して表面に酸化膜を形威し、がラス2との密
着性を高めるようにする。 ガラス2としてはソーダバリウムガラス又はソーダライ
ムガラス等のソーダグラスやホウケイ酸ガラスなどを用
いることができるものであり、ガラス粉末をバインダー
等と混疎しで成形・加熱することによって、バインダー
を焼失させると共に〃9!躯mA島黙ぬL啼鈷善う赫f
がう叉タブレットを作成し、そして金属外環1の内側に
がラスタプレットとリード3を配置すると共に加熱する
ことによってグラスタブレットを溶融させて、第1図に
示すようにがラス2を介して金属外!311とリード3
とを気密かつ絶縁して封着する。次に金属外環1とリー
ド3の露出する表面の酸化膜を除去した後に、金属外環
1の露出表面とり一ド3の露出表面に電気メツキもしく
は化学メツキを施してNiメツキ層を形成し、次でさら
に電気メツキもしくは化学メツキを施してAuメツキし
、仕上げメツキ層を形成する。この後に、がラス2の表
面に撥水膜4を形成する。撥水膜4は、ジメチルメトキ
シシラン((CH=)2S i(OCH3)21等のフ
ルフキジシランやヘキサメチルジシラザンE(CH3)
3SrN HS i(CH=)sl等のシラザンによっ
て形成されるものであり、これらアルコキシシランやシ
ラザンを塗布、スプレー、浸漬等することによってガラ
ス2の表面に被着させ、約200℃で1時間程度加熱乾
燥処理をして撥水84をガラス2の表面に形成させるも
のである。検水膜4は金属外環1やリード3の露出表面
も含めた密封端子の全体に形成されるようにして差し支
えないものであり、金属外環1やリード3の露出表面に
付着した撥水膜4を待に除去する必要はない。 第3図は圧縮封止型の気密端子を製造する工程のブロッ
ク図を示すものであり、まず金属外環1に電気メツキを
施してNiメツキ層を形成し、あとは整合封止型の場合
と同様にして金属外環1の内側にガラスタブレットとり
−ド3を配置すると共に加熱することによってガラス2
を介して金属外環1とリード3とを気密かつ絶縁して封
着する。 そしてさらに整合封止型の場合と同様にして金属外環1
の露出表面とり一ド3の露出表面に電気メツキもしくは
化学メツキを施してNiメツキ層を形成し、次で電気メ
ツキもしくは化学メツキを施してAuメツキし、仕上げ
メツキ層を形成する。この後に、さらに整合封止型の場
合と同様にしてがラス2の表面にアルコキシシラン又は
シラザンの撥水[14を形成するものである。 しかして、上記のように気密端子のガラス2の表面にア
ルコキシシラン又はシラザンの撥水膜4を形成したもの
について、高温・高湿条件下に放置したのちのがラス2
の絶縁抵抗の変化を測定する試験をおこなったところ、
第4図に示すグラフのような結果が得られた。第4図に
おいて、・実施例1はlラス2としてホウケイeがラス
を用い、撥水膜4をツメチルメトキシシランで形成する
ようにしたもの ・実施例2はがラス2としてホウケイ酸ガラスを用い、
撥水膜4をヘキサメチルジシラザンで形成するよらにし
たもの ・比較例1はがラス2としてホウケイ酸ガラスを用い、
撥水膜4を形成しなかったもの ・実施例3はガラス2としてソーダバリウムがラスを用
い、撥水膜4をツメチルメトキシシランで形成するよう
にしたもの ・実施例4はガラス2としてソーダバリウムグラスを用
い、撥水膜4をヘキサメチルジシラザンで形成するよう
にしたもの ・比較例2はガラス2としてソーダバリウムがラスを用
い、撥水膜4を形成しなかったものをそれぞれ示すもの
であり、撥水膜4の形成は、気密端子の全体をツメチル
メトキシシランやヘキサメチルジシラザンに浸漬して引
き上げた後に、直ちに20°Cで1時間加熱して乾燥す
ることによっておこなった。 試験は、40℃、90%RHの高温・高温条件下に50
0時間放置する前と放置した後の気密端子のガラス2の
絶縁抵抗を25°C160%RH1DC500Vの条件
で測定することによっておこなった。第4図のグラフに
見られるように、がラス2の表面にアルコキシシラン又
はシラザンの撥水膜4を形成することによって、撥水膜
4を形成しないものに比べて絶縁抵抗の低下を大幅に防
止できることが確認される。 また、撥水膜4を形成するアルフキジシランやシラザン
は、塩素ガスのような有毒がスを発生することはないも
のであり、人体に悪影響を及ぼすおそれはなく、取り扱
いが容易である。′!−らにアルコキシシランやシラザ
ンは180℃程度に加熱されてもSiが揮発するような
ことはなく、リレー等に気密端子を使用する場合にSi
の揮発で接点障害を発生させるようなおそれもない。そ
して、気密端子をリレー等のミス機器に取り付けるにあ
たって、アルコキシシランやシラザンで形成した撥水膜
4によって不良を起こされることなく、リード3の半田
付けや金属外環1の溶接をおこなうことができる。従っ
て、リード3の露出表面や金属外環1の露出表面に撥水
膜4が付着していても、これらの表面から撥水膜4を除
去する必要は特にないものである。ここで、撥水膜4を
除去しないでリード3や金属外環1に半田付けするため
には、リード3や金属外環1にAu/ツキなどの仕上げ
メツキ層を施しておく必要がある。また撥水膜4を除去
しないで溶接する際には、レーザー溶接によっておこな
うことが好ましく、抵抗溶接の場合にはへラグ−やケー
スにプロジェクシヨンを設けておこなうことが好ましい
、これらの方法で溶接をおこなうと撥水膜4を容易に破
って確実な溶接をおこなうことができる。
ク図を示すものであり、まず金属外環1とリード3に酸
化処理を施して表面に酸化膜を形威し、がラス2との密
着性を高めるようにする。 ガラス2としてはソーダバリウムガラス又はソーダライ
ムガラス等のソーダグラスやホウケイ酸ガラスなどを用
いることができるものであり、ガラス粉末をバインダー
等と混疎しで成形・加熱することによって、バインダー
を焼失させると共に〃9!躯mA島黙ぬL啼鈷善う赫f
がう叉タブレットを作成し、そして金属外環1の内側に
がラスタプレットとリード3を配置すると共に加熱する
ことによってグラスタブレットを溶融させて、第1図に
示すようにがラス2を介して金属外!311とリード3
とを気密かつ絶縁して封着する。次に金属外環1とリー
ド3の露出する表面の酸化膜を除去した後に、金属外環
1の露出表面とり一ド3の露出表面に電気メツキもしく
は化学メツキを施してNiメツキ層を形成し、次でさら
に電気メツキもしくは化学メツキを施してAuメツキし
、仕上げメツキ層を形成する。この後に、がラス2の表
面に撥水膜4を形成する。撥水膜4は、ジメチルメトキ
シシラン((CH=)2S i(OCH3)21等のフ
ルフキジシランやヘキサメチルジシラザンE(CH3)
3SrN HS i(CH=)sl等のシラザンによっ
て形成されるものであり、これらアルコキシシランやシ
ラザンを塗布、スプレー、浸漬等することによってガラ
ス2の表面に被着させ、約200℃で1時間程度加熱乾
燥処理をして撥水84をガラス2の表面に形成させるも
のである。検水膜4は金属外環1やリード3の露出表面
も含めた密封端子の全体に形成されるようにして差し支
えないものであり、金属外環1やリード3の露出表面に
付着した撥水膜4を待に除去する必要はない。 第3図は圧縮封止型の気密端子を製造する工程のブロッ
ク図を示すものであり、まず金属外環1に電気メツキを
施してNiメツキ層を形成し、あとは整合封止型の場合
と同様にして金属外環1の内側にガラスタブレットとり
−ド3を配置すると共に加熱することによってガラス2
を介して金属外環1とリード3とを気密かつ絶縁して封
着する。 そしてさらに整合封止型の場合と同様にして金属外環1
の露出表面とり一ド3の露出表面に電気メツキもしくは
化学メツキを施してNiメツキ層を形成し、次で電気メ
ツキもしくは化学メツキを施してAuメツキし、仕上げ
メツキ層を形成する。この後に、さらに整合封止型の場
合と同様にしてがラス2の表面にアルコキシシラン又は
シラザンの撥水[14を形成するものである。 しかして、上記のように気密端子のガラス2の表面にア
ルコキシシラン又はシラザンの撥水膜4を形成したもの
について、高温・高湿条件下に放置したのちのがラス2
の絶縁抵抗の変化を測定する試験をおこなったところ、
第4図に示すグラフのような結果が得られた。第4図に
おいて、・実施例1はlラス2としてホウケイeがラス
を用い、撥水膜4をツメチルメトキシシランで形成する
ようにしたもの ・実施例2はがラス2としてホウケイ酸ガラスを用い、
撥水膜4をヘキサメチルジシラザンで形成するよらにし
たもの ・比較例1はがラス2としてホウケイ酸ガラスを用い、
撥水膜4を形成しなかったもの ・実施例3はガラス2としてソーダバリウムがラスを用
い、撥水膜4をツメチルメトキシシランで形成するよう
にしたもの ・実施例4はガラス2としてソーダバリウムグラスを用
い、撥水膜4をヘキサメチルジシラザンで形成するよう
にしたもの ・比較例2はガラス2としてソーダバリウムがラスを用
い、撥水膜4を形成しなかったものをそれぞれ示すもの
であり、撥水膜4の形成は、気密端子の全体をツメチル
メトキシシランやヘキサメチルジシラザンに浸漬して引
き上げた後に、直ちに20°Cで1時間加熱して乾燥す
ることによっておこなった。 試験は、40℃、90%RHの高温・高温条件下に50
0時間放置する前と放置した後の気密端子のガラス2の
絶縁抵抗を25°C160%RH1DC500Vの条件
で測定することによっておこなった。第4図のグラフに
見られるように、がラス2の表面にアルコキシシラン又
はシラザンの撥水膜4を形成することによって、撥水膜
4を形成しないものに比べて絶縁抵抗の低下を大幅に防
止できることが確認される。 また、撥水膜4を形成するアルフキジシランやシラザン
は、塩素ガスのような有毒がスを発生することはないも
のであり、人体に悪影響を及ぼすおそれはなく、取り扱
いが容易である。′!−らにアルコキシシランやシラザ
ンは180℃程度に加熱されてもSiが揮発するような
ことはなく、リレー等に気密端子を使用する場合にSi
の揮発で接点障害を発生させるようなおそれもない。そ
して、気密端子をリレー等のミス機器に取り付けるにあ
たって、アルコキシシランやシラザンで形成した撥水膜
4によって不良を起こされることなく、リード3の半田
付けや金属外環1の溶接をおこなうことができる。従っ
て、リード3の露出表面や金属外環1の露出表面に撥水
膜4が付着していても、これらの表面から撥水膜4を除
去する必要は特にないものである。ここで、撥水膜4を
除去しないでリード3や金属外環1に半田付けするため
には、リード3や金属外環1にAu/ツキなどの仕上げ
メツキ層を施しておく必要がある。また撥水膜4を除去
しないで溶接する際には、レーザー溶接によっておこな
うことが好ましく、抵抗溶接の場合にはへラグ−やケー
スにプロジェクシヨンを設けておこなうことが好ましい
、これらの方法で溶接をおこなうと撥水膜4を容易に破
って確実な溶接をおこなうことができる。
上述のように本発明にあっては、金属外環とリードに金
7?キ等の仕上げメツキを形成した後に、ガラスの表面
にアルコキシシラン又はシラザンを被着して撥水膜を形
成するようにしたので、アルコキシシラン又はシラザン
は有毒がスを発生することがなく、ム、体に対する影響
のおそれなく撥水膜の形成をおこなうことができるもの
ぐあり、虫たアルコキシシランやシラザンによる撥水膜
は除去しなくとも仕上げメツキしたリードや金属外環に
半田付けや溶接をおこなうことができるものであって、
撥水膜をリードや金属外環の表面から除去するための作
業工程を不要にすることがでさるものである。
7?キ等の仕上げメツキを形成した後に、ガラスの表面
にアルコキシシラン又はシラザンを被着して撥水膜を形
成するようにしたので、アルコキシシラン又はシラザン
は有毒がスを発生することがなく、ム、体に対する影響
のおそれなく撥水膜の形成をおこなうことができるもの
ぐあり、虫たアルコキシシランやシラザンによる撥水膜
は除去しなくとも仕上げメツキしたリードや金属外環に
半田付けや溶接をおこなうことができるものであって、
撥水膜をリードや金属外環の表面から除去するための作
業工程を不要にすることがでさるものである。
第1図は本発明の一実施例の断面図、第2図はは同上の
整合封止型の気密端子の製造の工程を示すブロック図、
第3図は同上の圧縮封止型の気密端子の製造の工程を示
すブロック図、第4図はガラスを高温高温条件下に置い
たときの絶縁抵抗の変化を示すグラフ、第5図はガラス
の表面抵抗率と湿度との関係を示すグラフである。 1は金属外環、2はガラス、3はリード、4は撥水膜で
ある。
整合封止型の気密端子の製造の工程を示すブロック図、
第3図は同上の圧縮封止型の気密端子の製造の工程を示
すブロック図、第4図はガラスを高温高温条件下に置い
たときの絶縁抵抗の変化を示すグラフ、第5図はガラス
の表面抵抗率と湿度との関係を示すグラフである。 1は金属外環、2はガラス、3はリード、4は撥水膜で
ある。
Claims (1)
- (1)金属外環とリードとをガラスを介して気密かつ絶
縁して封着し、金属外環とリードに金メツキ等の仕上げ
メッキを形成した後に、ガラスの表面にアルコキシシラ
ン又はシラザンを被着して撥水膜を形成することを特徴
とする気密端子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1220568A JP3012255B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | 気密端子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1220568A JP3012255B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | 気密端子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0384885A true JPH0384885A (ja) | 1991-04-10 |
JP3012255B2 JP3012255B2 (ja) | 2000-02-21 |
Family
ID=16753030
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1220568A Expired - Lifetime JP3012255B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | 気密端子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3012255B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008083008A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-10 | Citizen Fine Tech Co Ltd | カバー付センサ及びその製造方法 |
JP2016151484A (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-22 | アズビル株式会社 | 電極リード部の貫通気泡検査方法 |
US10414900B2 (en) | 2013-12-17 | 2019-09-17 | Byk Usa Inc. | Pre-exfoliated layered material |
CN114069273A (zh) * | 2020-08-07 | 2022-02-18 | 肖特日本株式会社 | 气密端子及气密端子的制造方法 |
-
1989
- 1989-08-28 JP JP1220568A patent/JP3012255B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008083008A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-10 | Citizen Fine Tech Co Ltd | カバー付センサ及びその製造方法 |
US10414900B2 (en) | 2013-12-17 | 2019-09-17 | Byk Usa Inc. | Pre-exfoliated layered material |
JP2016151484A (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-22 | アズビル株式会社 | 電極リード部の貫通気泡検査方法 |
CN114069273A (zh) * | 2020-08-07 | 2022-02-18 | 肖特日本株式会社 | 气密端子及气密端子的制造方法 |
JP2022030371A (ja) * | 2020-08-07 | 2022-02-18 | ショット日本株式会社 | 気密端子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3012255B2 (ja) | 2000-02-21 |
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