JPH0382209A - 音叉型水晶振動子の製造方法 - Google Patents
音叉型水晶振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPH0382209A JPH0382209A JP21918689A JP21918689A JPH0382209A JP H0382209 A JPH0382209 A JP H0382209A JP 21918689 A JP21918689 A JP 21918689A JP 21918689 A JP21918689 A JP 21918689A JP H0382209 A JPH0382209 A JP H0382209A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal resonator
- temperature
- tuning fork
- crystal
- fork type
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 10
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- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 abstract 1
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- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、時計、マイクロコンピュータ、コードレステ
レフォン、ファクタξり等の情報機器及び通信機等に使
用される数十ｋｌｌｚ〜数百ｋＨｚ帯の音叉型水晶振動
子に関する。
レフォン、ファクタξり等の情報機器及び通信機等に使
用される数十ｋｌｌｚ〜数百ｋＨｚ帯の音叉型水晶振動
子に関する。
本発明は、音叉型水晶振動子の製造において、水晶エツ
チングの時間をコントロールすることによって温度特性
の頂点温度のバラツキを少なくすることを特徴とした音
叉型水晶振動子の製造方法である。
チングの時間をコントロールすることによって温度特性
の頂点温度のバラツキを少なくすることを特徴とした音
叉型水晶振動子の製造方法である。
音叉型水晶振動子（以下簡単のために水晶振動子と略す
）の温度特性は、第１図に示すように２次の放物線を示
す。この時、第１図で示した放物線の頂点となる温度を
頂点温度Ｔｐと呼んでいる。
）の温度特性は、第１図に示すように２次の放物線を示
す。この時、第１図で示した放物線の頂点となる温度を
頂点温度Ｔｐと呼んでいる。
この頂点温度ｒｐは、主に水晶原石を切断するカットア
ングルによって、はぼ決定されることが知られている。
ングルによって、はぼ決定されることが知られている。
ところが、フォトリソグラフィ加工による水晶振動子の
製造においては、他の諸条件によって、この頂点温度Ｔ
ｐ点が、大きく変動してしまうことが知られていた。よ
って、水晶振動子の製造上大きな問題があったばかりで
なく、その品質においても大きな問題となっていた。
製造においては、他の諸条件によって、この頂点温度Ｔ
ｐ点が、大きく変動してしまうことが知られていた。よ
って、水晶振動子の製造上大きな問題があったばかりで
なく、その品質においても大きな問題となっていた。
以上のように従来の水晶振動子の製造方法においては、
頂点温度ｔｐが大きく変動してしまい、高精度が要求さ
れる情報機器等に使用するためには、大きな問題を抱え
ていたわけである。すなわち、本発明が解決しようとす
る問題点とは、前記した頂点温度Ｔｐの変動である。
頂点温度ｔｐが大きく変動してしまい、高精度が要求さ
れる情報機器等に使用するためには、大きな問題を抱え
ていたわけである。すなわち、本発明が解決しようとす
る問題点とは、前記した頂点温度Ｔｐの変動である。
（Ｕｌ［Ｉを解決するための手段〕
この発明は、フォトリソグラフィ加工を用いる音叉型水
晶振動子において、水晶エツチングの時間を調節するこ
とにより、温度特性の頂点温度を！ｌ１ｖＪするもので
ある。
晶振動子において、水晶エツチングの時間を調節するこ
とにより、温度特性の頂点温度を！ｌ１ｖＪするもので
ある。
この発明は、エツチング時間を調節する事によって、カ
ットアングル以外の因子で水晶１ＩＪＪ子の頂点温度Ｔ
ｐを自由に調節する事が可能である事が判明した０本発
明は、まさにこの効果を利用して、頂点温度？、の変動
を小さくすることを特徴としている。
ットアングル以外の因子で水晶１ＩＪＪ子の頂点温度Ｔ
ｐを自由に調節する事が可能である事が判明した０本発
明は、まさにこの効果を利用して、頂点温度？、の変動
を小さくすることを特徴としている。
次にこの発明の実施例について説明する。
まず、よく知られているように、フォトリソグラフィ加
工には、水晶振動子をエツチングする工程が含まれてい
る。第２図は、このエツチング加工時におけるエツチン
グ時間と水晶振動子の頂点温度Ｔｐの変化を示したもの
である。第２図かられかるように、領域（４）において
は、頂点温度Ｔｐは、エツチング時間に対して変化し、
領域りにおいては、殆ど変化しない事が判明した。よっ
て領域（４）の部分において、エツチング時間を調節す
れば、自由に頂点温度Ｔｐを変化させることができる。
工には、水晶振動子をエツチングする工程が含まれてい
る。第２図は、このエツチング加工時におけるエツチン
グ時間と水晶振動子の頂点温度Ｔｐの変化を示したもの
である。第２図かられかるように、領域（４）において
は、頂点温度Ｔｐは、エツチング時間に対して変化し、
領域りにおいては、殆ど変化しない事が判明した。よっ
て領域（４）の部分において、エツチング時間を調節す
れば、自由に頂点温度Ｔｐを変化させることができる。
第３図（ａ）はこの発明を実施した結果を示すもので、
エツチング時間を調節する前の度数分布表であり、第３
図山）はエツチング時間を調節した後の度数分布表であ
る。第３図の＋８）と伽）を比較するとエツチング時間
をｍｔｍすることで、水晶振動子の頂点温度Ｔｐ点のバ
ラツキが小さくなった。
エツチング時間を調節する前の度数分布表であり、第３
図山）はエツチング時間を調節した後の度数分布表であ
る。第３図の＋８）と伽）を比較するとエツチング時間
をｍｔｍすることで、水晶振動子の頂点温度Ｔｐ点のバ
ラツキが小さくなった。
今まで、水晶振動子の頂点温度Ｔｐ点は、水晶原石を切
断する時のカットアングルだけで調節してきた。しかし
、水晶振動子の頂点温度ＴＰ点は、水晶振動子の製造上
の他の諸条件で、バラツキを多く持っていた。そこで、
本発明を利用することによって、バラツキが小さくなり
、目的とする頂点温度の水晶振動子を作製するのが容易
になった。
断する時のカットアングルだけで調節してきた。しかし
、水晶振動子の頂点温度ＴＰ点は、水晶振動子の製造上
の他の諸条件で、バラツキを多く持っていた。そこで、
本発明を利用することによって、バラツキが小さくなり
、目的とする頂点温度の水晶振動子を作製するのが容易
になった。
第１図は本発明の前提となる音叉型水晶振動子の温度特
性図、第２図はエツチング時間と音叉型水晶振動子の頂
点温度ｔｐの関係を示す特性図、第３図はエツチング時
間を調節する前の音叉型水晶振動子の頂点温度Ｔρの度
数分布（ａｌとエツチング時間を調節した後の音叉型水
晶振動子の頂点温度Ｔｐ点の度数分布ｆｂｌを示す分布
図である。 以上
性図、第２図はエツチング時間と音叉型水晶振動子の頂
点温度ｔｐの関係を示す特性図、第３図はエツチング時
間を調節する前の音叉型水晶振動子の頂点温度Ｔρの度
数分布（ａｌとエツチング時間を調節した後の音叉型水
晶振動子の頂点温度Ｔｐ点の度数分布ｆｂｌを示す分布
図である。 以上
Claims (1)
- フォトリソグラフィ加工を用いる音叉型水晶振動子に
おいて、水晶エッチングの時間を調節することにより、
温度特性の頂点温度を調節することを特徴とする音叉型
水晶振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21918689A JPH0382209A (ja) | 1989-08-25 | 1989-08-25 | 音叉型水晶振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21918689A JPH0382209A (ja) | 1989-08-25 | 1989-08-25 | 音叉型水晶振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0382209A true JPH0382209A (ja) | 1991-04-08 |
Family
ID=16731552
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21918689A Pending JPH0382209A (ja) | 1989-08-25 | 1989-08-25 | 音叉型水晶振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0382209A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008126937A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Howa Kasei Kk | 空気吹出調整用レジスタ |
| US20100304655A1 (en) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Air conditioning register |
| US9764621B2 (en) | 2008-10-15 | 2017-09-19 | Honda Motor Co., Ltd. | Vehicle air-conditioning discharge port structure |
-
1989
- 1989-08-25 JP JP21918689A patent/JPH0382209A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008126937A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Howa Kasei Kk | 空気吹出調整用レジスタ |
| US9764621B2 (en) | 2008-10-15 | 2017-09-19 | Honda Motor Co., Ltd. | Vehicle air-conditioning discharge port structure |
| US20100304655A1 (en) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Air conditioning register |
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