JPH0380217A - 液晶表示パネルの位置合わせ機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ＬＣＤパネルと７ＰＯとの位置合わせな光学
的に行う位置合わせ機構に関する。

［発明の概要］ 本発明は、ＬＣＤパネルのＩＴＯ膜パターンとＰＰｏに
設けられた銅箔パターンとを、光学的に位置合わせを行
５ＬＣＤパネルの位置合わせ機構において、ＩＴＯ膜パ
ターン側の画像認識位置と銅箔パターン側の画像認識位
置とを別々の顕微鏡軸で構成することにより、それぞれ
の材質の特性にあった最適な光学系を構築したものであ
る。

［従来の技術］ 従来の光学的に位置合わせを行５ＬＣＤパネルの位置合
わせ機構は、第１図に示す様に、ＬＣＤパネル１側の工
Ｔｅｌ膜２のパターンの画像認識位置とＩＦＦ’０４１
１１の銅箔３のパターンの画像認識位置とが顕微鏡５の
軸に対して同軸であった。

［発明が解決しようと、する課題］ しかし、前述の従来技術では、顕微鏡５はＩＴＯ膜２の
パターンと銅箔３のパターンとを一つの顕＠鏡で認識し
なげればならなかったので、処理速度が遅い、焦点深度
を深くしなげればならない、透過形式にできない、圧着
時のＬＣＤパネル受台６を可動式にしなげればならない
等の多くの問題点を有する。

そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、ＩＴＯ膜２，１ｒＰＯ４それぞ
れの材質の特性に合った最適な光学系を提供することに
ある。

［課題を解決するための手段］ 本発明の液晶表示パネルの位置合わせ機構はＬＣＤパネ
ルの工Ｔｏ膜パターンとｙｐｏに設けられた銅箔パター
ンとを、光学的に位置合わせを行５ＬｏＤパネルの位置
合わせ機構において、ＩＴＯ膜パターン側の画像認識位
置と銅箔パターン側の画像認識位置とを別々の顕微鏡軸
で構成するこｋを特徴とする。

［作用］ 本発明の上記の構成によれば、工Ｔｏ膜パターン側の光
学系と銅箔パターン側の光学系とはそれぞれ独立した光
学系として存在するため、画像処理としては並列処理が
できるので処理速度を早くすることができるとともに、
それぞれの対象物の分散分だけを考慮した焦点深度があ
ればよい。又、第２図に示すように光学系を配置するこ
とで、ＬＣＤパ、ネル側は直接工Ｔｏ膜を同軸落射方式
で見ることができ、ＰＰ０ＩＤＩ＋は貫通穴の認識マー
クを設けることで透過形式の光学系とすることができる
。又更には、ＬＣＤパネル受台側に光学系が存在し々い
ので、圧着時のＬＣＤパネル受台を固定にすることがで
きる。

［実施例コ 第５図は本発明の実施例に於げるＬＣＤパネルの位置合
わせ機構の主要見取図である。

第３図に示す様なＬＣＤパネルの位置合わせ機構におい
て、Ｘ軸１０のスライダ一部に取り付けられたパネルセ
ット台１１には、適当な位置に吸着パッド７が配置され
ており、ＬＣＤパネル１はこの吸着パッド７によりパネ
ルセット台１１に真空吸着される。このようにしてセッ
トされたＬＣＤパネル１はＸ軸１０の駆動によりＬＣＤ
パネル側顕ｍ鏡１９にＬ（７Ｄパネル側認識マーク１２
の画像が取り込める位置まで移動する。又、θ軸１゜５
は２軸１６を介してＹ軸１７に取り付けられており、こ
のθ軸１５に取り付けられた吸着治具１４により真空吸
着されたＦＰＯ４は、Ｙ軸１７の駆動によりＩＦＰＯ側
顕微鏡２３に？ＰＯ側認識マーク１３の画像が取り込め
る位置まで移動する。

移動が終了したら、同時に画像処理を行い、Ｘ方向、Ｙ
方向、θ方向それぞれの位置補正量を算出し、それぞれ
Ｘ軸１０．Ｙ軸１７．θ・軸１５ヘフィードバックする
。この時の移動量は、Ｘ軸１０はＹ軸１７とのオフセッ
ト量とＸ方向補正量を加味した分、Ｙ軸１７はＦＰＯ側
顕微鏡２３の位置からＬＣＤパネル１の位置までの移動
量とＸ方向補正量を加味した分、θ軸１５はθ方向補正
量分移動する。このように並列に画像処理ができるので
処理速度を早くすることができるのである。更に、７２
０４は２軸１６の下降によりＬＧＤパネル１に接触し、
この状態で圧着ヘッド２２が前進して更に、下降してＩ
ＦＰＯ４とＴ、＋ＯＤパネル１とを仮接合しサイクルを
終了する。

尚１、画像の取り込みはそれぞれの顕微鏡に取り付けら
れたＯＯＤカメラ°８により行う。透過光用照明１８は
７ＰＯｆｉｌ詔識マーン１３を検出するための照明であ
り、このようにＰ　Ｐ−Ｏｉｌｌ認識マーク１３を貫通
穴とするという工夫により透過形式の光学系、とするこ
とができ、透過形式とすることで？ＰＯ４の表面状態の
影響を受けないから確実に画像を取り込むことができる
のである。落射照明用光源２１はＬＧＤパネル側認識マ
ーク１２の検出用でＬＣＤパネル側顕微！１９にファイ
バーケーブル２０によって連結されている。このように
ＬＣＤパネル１上の工’ｌ’ＯＭ２のパターンを直接落
射照明にて見ることができ′る。

このようにＬＣＤパネル側顕微鏡１９とＰＰ。

側顕微鏡２３゛とが分離独立して存在するので、それぞ
れの顕微鏡の焦点深度はＬＣＤパネル１及び？ＰＯ４の
厚みの分散分のみを考慮すればよいので浅くてよい。更
に、ＦＰＯ側顕微鏡２３はパネルセット台１１及びＸ軸
１０より離して配置できるので圧着時のＬＣＤバネ°ル
受台６をパネルセット台１１へ固定することができる。

［発明の効果］ 以上述べた様に本発明によれば、ＬＣＤパネル１の工Ｔ
ｏ膜２のパターン側の画像認識位置とＩＰＯＡ上の銅箔
３のパターン側の画像認識位置とを、別々の顕微鏡軸で
構成することにより、画像処理速度を早くすることがで
きる。焦点深度を浅くすることができる、それぞれの材
質の特質に合った光学系を構成することができる、又、
ＬＣＤパネル受台６を固定化する等の構造の簡略化が図
れるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来技術の光学軸が同軸の場合の簡略図。 第２図は本発明の光学軸を別々の顕微鏡軸で構成する場
合の簡略図。 第３図は本発明の光学軸を別々の顕微鏡軸で構成する場
合の一実施例を示すＴ、＋ＯＤパネルの位置合わせ機構
の主要見取図。 １・・・・・・・・・ＬＣＤパネル ２・・・・・・・・・ＩＴＯＭ ３・・・・・・・・・銅　箔 ４　・・・・・・・・・　ｙｐ。 ５・・・・・・・・・顕微鏡 ６・・・・・・・・・ＬＣＤパネル受台７・・・・・・
・・・吸着パッド ８・・・・・・・・・ＯＯＤカメラ ９・・・・・・・・・光　源 １０・・・・・・・・・Ｘ軸 １１・・・・・・・−・パネルセット台１２・・・・・
・・・・ＬＣＤパネル（［認識マーク１３・・・・・・
・・・７ＰＯ側認識マーク１４・・・・・・・・・吸着
治具 １５・・・・・・・・・θ軸 １６・・・・・・・・・２軸 ７・・・・・・・・・Ｙ軸 ８・・・・・・・・・透過光用照明 ９・・・・・・・・・ＬＣＤパネル側顕微鏡０・・・・
・・・・・ファイバーケーブルト・・・・・・・・落射
照明用光源 ２・・・・・・・・・圧着ヘッド

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　液晶表示パネル（以下、ＬＣＤパネルと称す）のＩＴ
   Ｏ膜パターンとＦＰＣに設けられた銅箔パターンとを、
   光学的に位置合わせを行うＬＣＤパネルの位置合わせ機
   構において、ＩＴＯ膜パターン側の画像認識位置を鋼箔
   パターン側の画像認識位置とを別々の顕微鏡軸で構成す
   ることを特徴とする液晶表示パネルの位置合わせ機構。