JPH0379426U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の位置決めステージ
中央部の断面図、第２図は第１図の位置決めステ
ージ中央部の上方平面図、第３図は従来例の位置
決めステージ全体の上方平面図、第４図は従来例
の位置決めステージ中央部の断面図である。 １……半導体ペレツト、２……位置決めステー
ジ、３……吸着穴、４……位置決めピン、５……
エアー抜き穴、６……真空吸着式コレツト、７…
…真空切換弁、８……連通部、９……真空源。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 位置決めステージ上に供給された半導体ペレツ
   トを、上記位置決めステージ上の中央部に穿設さ
   れ、かつ、上記半導体ペレツトにより閉塞された
   吸着穴に作用する真空圧により吸引しながら、上
   記ステージ上に進退可能に配置された位置決め爪
   によつて位置決めを行なう半導体ペレツトの位置
   決め装置において、 上記位置決めステージ上で、かつ、半導体ペレ
   ツトによつて閉塞されない位置に、上記吸着穴と
   連通するエアー抜き穴を穿設したことを特徴とす
   る半導体ペレツトの位置決め装置。