JPS6175565U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6175565U JPS6175565U JP16042284U JP16042284U JPS6175565U JP S6175565 U JPS6175565 U JP S6175565U JP 16042284 U JP16042284 U JP 16042284U JP 16042284 U JP16042284 U JP 16042284U JP S6175565 U JPS6175565 U JP S6175565U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon wafer
- diaphragm
- glass plate
- check valve
- gas flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Check Valves (AREA)
Description
第1図は、本考案の逆止弁の内部の構造を示す
正面断面図であり、第2図は、本考案のシリコン
・ウエハーの平面図、第3図面は、本考案のガラ
ス板の平面図である。 1…ダイヤフラム、1a…リム部、2…ダイヤ
フラム・シート、3…ガラス板、4…ガス穴、5
…ダイヤフラム受皿、6…シリコン・ウエハー。
正面断面図であり、第2図は、本考案のシリコン
・ウエハーの平面図、第3図面は、本考案のガラ
ス板の平面図である。 1…ダイヤフラム、1a…リム部、2…ダイヤ
フラム・シート、3…ガラス板、4…ガス穴、5
…ダイヤフラム受皿、6…シリコン・ウエハー。
Claims (1)
- ダイヤフラム・シートに載置したシリコン・ウ
エハーで加工されたダイヤフラムのリム部とシリ
コン・ウエハーの一面とをガラス板に密着して成
るシリコン・ウエハーガス流逆止弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984160422U JPH0144861Y2 (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984160422U JPH0144861Y2 (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6175565U true JPS6175565U (ja) | 1986-05-21 |
JPH0144861Y2 JPH0144861Y2 (ja) | 1989-12-25 |
Family
ID=30718344
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1984160422U Expired JPH0144861Y2 (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0144861Y2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5864449U (ja) * | 1981-10-26 | 1983-04-30 | 日本電気株式会社 | マイクロ弁 |
JPS59110967A (ja) * | 1982-12-16 | 1984-06-27 | Nec Corp | 弁素子の製造方法 |
-
1984
- 1984-10-25 JP JP1984160422U patent/JPH0144861Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5864449U (ja) * | 1981-10-26 | 1983-04-30 | 日本電気株式会社 | マイクロ弁 |
JPS59110967A (ja) * | 1982-12-16 | 1984-06-27 | Nec Corp | 弁素子の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0144861Y2 (ja) | 1989-12-25 |