JPH0321843U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0321843U JPH0321843U JP1989082518U JP8251889U JPH0321843U JP H0321843 U JPH0321843 U JP H0321843U JP 1989082518 U JP1989082518 U JP 1989082518U JP 8251889 U JP8251889 U JP 8251889U JP H0321843 U JPH0321843 U JP H0321843U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm part
- glass substrate
- arm
- tunnel
- come
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 5
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
第１図ａは本考案のスピンナーチヤツクの平面
図、ｂはガラス基板を乗せて横からみたところの
断面図、第２図は吸着部分を拡大した断面図であ
り、第３図ａは従来のスピンナーチヤツクの平面
図、ｂは従来のスピンナーチヤツクにガラス基板
を乗せ横からみた状態の断面図である。 １…たわみ防止テーブル、２…腕部、３…吸着
部、４…横滑り防止ピン、５…バキユームトンネ
ル、６…ガラス基板、７…高さ調節ピン、８…シ
ール用リング、９…従来のスピンナーチヤツク、
１０…バキユーム溝。
図、ｂはガラス基板を乗せて横からみたところの
断面図、第２図は吸着部分を拡大した断面図であ
り、第３図ａは従来のスピンナーチヤツクの平面
図、ｂは従来のスピンナーチヤツクにガラス基板
を乗せ横からみた状態の断面図である。 １…たわみ防止テーブル、２…腕部、３…吸着
部、４…横滑り防止ピン、５…バキユームトンネ
ル、６…ガラス基板、７…高さ調節ピン、８…シ
ール用リング、９…従来のスピンナーチヤツク、
１０…バキユーム溝。
Claims (1)
- 素子基板となる方形のガラス基板６の中央部を
載置して回転し、内部にバキユームトンネル５を
有する円板型のたわみ防止テーブル１と、テーブ
ル１の内周面を４分割する位置に設けられた４本
の腕部２と、腕部２の外端に設けられ、腕部２を
介してバキユームトンネル５に通じている吸着部
３と、腕部２の外端に設けられ、ガラス基板６の
コーナーを挾受する一対のピンからなる横滑り防
止ピン４とを有し、腕部２はガラス基板６に当接
しないようにテーブル１の上面よりも下方に配置
されており、吸着部３はバキユームトンネル５に
通ずる孔を有する高さ調節ピン７とピン７の周囲
に配置されて吸着力を高める気密性弾性体からな
るシール用リング８からなつていることを特徴と
するＭＩＭ素子基板製造用のスピンナーチヤツク
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989082518U JPH0321843U (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989082518U JPH0321843U (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0321843U true JPH0321843U (ja) | 1991-03-05 |
Family
ID=31629405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989082518U Pending JPH0321843U (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0321843U (ja) |
-
1989
- 1989-07-13 JP JP1989082518U patent/JPH0321843U/ja active Pending