JPH0378156B2 - - Google Patents
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- JPH0378156B2 JPH0378156B2 JP60126922A JP12692285A JPH0378156B2 JP H0378156 B2 JPH0378156 B2 JP H0378156B2 JP 60126922 A JP60126922 A JP 60126922A JP 12692285 A JP12692285 A JP 12692285A JP H0378156 B2 JPH0378156 B2 JP H0378156B2
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Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、水中の有機物成分（TOC）を効率
よく、かつ経済的に除去する超純水の製造方法お
よび製造装置に関する。さらに詳しくは、膜電位
の異なつた多段の分離膜を使用することにより、
著しくTOCを減少できる技術に関するものであ
る。
よく、かつ経済的に除去する超純水の製造方法お
よび製造装置に関する。さらに詳しくは、膜電位
の異なつた多段の分離膜を使用することにより、
著しくTOCを減少できる技術に関するものであ
る。
TOCが低い超純水は、高品位な水を必要とす
る超LSI製造などの電気、電子分野での洗浄工程
で必須のものとして要求されている。また、これ
ら製造分野で使用する、原料薬品希釈水および製
薬工業分野におけるプロセス水等でも要求が高
い。
る超LSI製造などの電気、電子分野での洗浄工程
で必須のものとして要求されている。また、これ
ら製造分野で使用する、原料薬品希釈水および製
薬工業分野におけるプロセス水等でも要求が高
い。
これらの要求に応えるべく、膜分離技術やイオ
ン交換分離技術が応用されている（たとえば特開
昭59−112890号公報）。逆浸透法の原理を利用し
た半透膜による分離技術は、従来から、海水やカ
ン水からの純水の製造、染料および電着塗料など
の各種工業廃水からの有価物質回収、濃縮、また
は汚染物質の選択分離、除去などの多くの分野で
工業的に利用されているものである。
ン交換分離技術が応用されている（たとえば特開
昭59−112890号公報）。逆浸透法の原理を利用し
た半透膜による分離技術は、従来から、海水やカ
ン水からの純水の製造、染料および電着塗料など
の各種工業廃水からの有価物質回収、濃縮、また
は汚染物質の選択分離、除去などの多くの分野で
工業的に利用されているものである。
電子工業の分野でも、逆浸透法を利用し、供給
水中のイオンの排除を行ない、後工程におけるイ
オン交換樹脂の負荷を低減させている。このよう
な利用方法は、水の純化方法として一般的であ
る。
水中のイオンの排除を行ない、後工程におけるイ
オン交換樹脂の負荷を低減させている。このよう
な利用方法は、水の純化方法として一般的であ
る。
最近ではLSIの高密度化に伴い、従来非常に分
離しにくかつた水中の有機物質除去方法の開発が
要求されている。これら水中の有機物質とは、水
中に溶解している低分子量物質で、分子量約500
以下のものである。これらは、フミン酸分解、微
生物代謝物、農薬、および産業廃棄物などに由来
するものが代表的である。
離しにくかつた水中の有機物質除去方法の開発が
要求されている。これら水中の有機物質とは、水
中に溶解している低分子量物質で、分子量約500
以下のものである。これらは、フミン酸分解、微
生物代謝物、農薬、および産業廃棄物などに由来
するものが代表的である。
しかし従来これらの低分子物質に由来する
TOCを除去し、超純水を安価に得る技術はなく、
かかる技術の改良が望まれていた。
TOCを除去し、超純水を安価に得る技術はなく、
かかる技術の改良が望まれていた。
しかしながら前記した特開昭59−112890号公報
では、硅酸の析出を防止することはできるが、低
分子量物質に由来するTOCを有効に除去するこ
とは困難であつた。
では、硅酸の析出を防止することはできるが、低
分子量物質に由来するTOCを有効に除去するこ
とは困難であつた。
本発明は上記従来技術の問題点を改善し、膜電
位の異なつた膜素材を組合わせて多段処理するこ
とにより、フミン酸などに起因する有機低分子量
化合物を有効に除去し、TOCの極端に少ない超
純水の製造技術を提供する。すなわち、TOCの
増大を招くフミン酸などに起因する有機低分子量
化合物は、プラス荷電を有するもの、マイナス荷
電を有するもの、および中性の物質が混合した状
態で存在している。従つて含有する物質の荷電状
態に対応させて膜を選択することが有効であるこ
とを本発明者らは見い出し、本発明に至つたもの
である。
位の異なつた膜素材を組合わせて多段処理するこ
とにより、フミン酸などに起因する有機低分子量
化合物を有効に除去し、TOCの極端に少ない超
純水の製造技術を提供する。すなわち、TOCの
増大を招くフミン酸などに起因する有機低分子量
化合物は、プラス荷電を有するもの、マイナス荷
電を有するもの、および中性の物質が混合した状
態で存在している。従つて含有する物質の荷電状
態に対応させて膜を選択することが有効であるこ
とを本発明者らは見い出し、本発明に至つたもの
である。
上記目的を達成するため本発明は下記の構成か
らなる。
らなる。
「(1) 原水から超純水を製造する方法において、
２段以上の多段の分離膜を用い、かつその少な
くとも２段の分離膜が、下記の測定条件におい
て５ミリボルト以上異なつた膜電位の膜である
ことを特徴とする超純水の製造方法。
２段以上の多段の分離膜を用い、かつその少な
くとも２段の分離膜が、下記の測定条件におい
て５ミリボルト以上異なつた膜電位の膜である
ことを特徴とする超純水の製造方法。
（ただし膜電位とは、25℃において、KCl水溶
液の濃度が、低濃度側の濃度10-3モル／、高
濃度側の濃度４×10-3モル／における膜電位
をいう。） (2) 原水から超純水を製造する装置において、第
１段目原水ポンプ、第１段目分離膜、第２段目
原水ポンプ、第２段目分離膜を少なくとも設
け、かつその少なくとも２段の分離膜として、
下記の測定条件において５ミリボルト以上異な
つた膜電位の膜を設けたことを特徴とする超純
水の製造装置。
液の濃度が、低濃度側の濃度10-3モル／、高
濃度側の濃度４×10-3モル／における膜電位
をいう。） (2) 原水から超純水を製造する装置において、第
１段目原水ポンプ、第１段目分離膜、第２段目
原水ポンプ、第２段目分離膜を少なくとも設
け、かつその少なくとも２段の分離膜として、
下記の測定条件において５ミリボルト以上異な
つた膜電位の膜を設けたことを特徴とする超純
水の製造装置。
（ただし膜電位とは、25℃において、KCl水溶
液の濃度が、低濃度側の濃度10-3モル／、高
濃度側の濃度４×10-3モル／における膜電位
をいう。）」 まず、本発明の基本的構成を図面を用いて説明
する。第１図は本発明の基本プロセスの１実施態
様である２段の処理技術である。原水ライン１か
ら第１段目原水ポンプ２により、第１段目分離膜
３に原水を供給し、ここで第１段の純水化処理を
行う。廃液はライン５から排出する。次いで第１
段処理水ラインより取り出された処理水を好まし
くは中間槽４（必ずしも槽でなくともよく、パイ
プを太くしたものでもよい）に溜め、第２段目原
水ポンプ６を用いて第２段目分離膜７に供給し、
超純水を取り出しライン８から得る。ライン９は
廃液パイプである。分離膜は２段以上であればい
かなる数の段であつてもよい。
液の濃度が、低濃度側の濃度10-3モル／、高
濃度側の濃度４×10-3モル／における膜電位
をいう。）」 まず、本発明の基本的構成を図面を用いて説明
する。第１図は本発明の基本プロセスの１実施態
様である２段の処理技術である。原水ライン１か
ら第１段目原水ポンプ２により、第１段目分離膜
３に原水を供給し、ここで第１段の純水化処理を
行う。廃液はライン５から排出する。次いで第１
段処理水ラインより取り出された処理水を好まし
くは中間槽４（必ずしも槽でなくともよく、パイ
プを太くしたものでもよい）に溜め、第２段目原
水ポンプ６を用いて第２段目分離膜７に供給し、
超純水を取り出しライン８から得る。ライン９は
廃液パイプである。分離膜は２段以上であればい
かなる数の段であつてもよい。
そして前記少なくとも２段の分離膜として、25
℃において、KCl水溶液の濃度が、低濃度側の濃
度10-3モル／、高濃度側の濃度４×10-3モル／
における膜電位が、５ミリボルト以上異なつた
膜を用いるのである。
℃において、KCl水溶液の濃度が、低濃度側の濃
度10-3モル／、高濃度側の濃度４×10-3モル／
における膜電位が、５ミリボルト以上異なつた
膜を用いるのである。
ここで膜電位が、５ミリボルト以上異なつた膜
とは、いかなるものの組み合わせであつてもよ
く、具体的には、酢酸セルロース系（ほぼ中性）、
ポリアミド系、架橋ポリアミン系、架橋ポリアミ
ン／ポリエーテル系、架橋ポリエーテル系（以上
プラス荷電性）、ポリアクリロニトリル、ポリエ
ーテル、スルホン化ポリスルホン（以上マイナス
荷電性）などを適宜組み合わせて用いる。これら
の膜素材から作られる逆浸透膜の膜形態として
は、非対称膜および複合膜などがある。純水装置
において利用できる膜のエレメント構造として
は、スパイラル型、中空糸型、チユーブラー型、
プレートアンドフレーム型などがある。
とは、いかなるものの組み合わせであつてもよ
く、具体的には、酢酸セルロース系（ほぼ中性）、
ポリアミド系、架橋ポリアミン系、架橋ポリアミ
ン／ポリエーテル系、架橋ポリエーテル系（以上
プラス荷電性）、ポリアクリロニトリル、ポリエ
ーテル、スルホン化ポリスルホン（以上マイナス
荷電性）などを適宜組み合わせて用いる。これら
の膜素材から作られる逆浸透膜の膜形態として
は、非対称膜および複合膜などがある。純水装置
において利用できる膜のエレメント構造として
は、スパイラル型、中空糸型、チユーブラー型、
プレートアンドフレーム型などがある。
このようにすると、TOCの増大を招くフミン
酸などに起因する荷電特性の異なる有機低分子量
化合物は、各々これに対応する荷電を有する膜に
よつて効率よく分離され、100ppb以下、好まし
くは50ppb以下のTOC濃度の超純水を得ることが
できる。さらに附随して無機イオンも有効に除去
できる。
酸などに起因する荷電特性の異なる有機低分子量
化合物は、各々これに対応する荷電を有する膜に
よつて効率よく分離され、100ppb以下、好まし
くは50ppb以下のTOC濃度の超純水を得ることが
できる。さらに附随して無機イオンも有効に除去
できる。
本発明のより好ましい態様としては、前記ほぼ
中性の膜と、プラス荷電を有する膜と、マイナス
荷電を有する膜から選ばれる２種以上の膜を用い
る。荷電特性の異なる有機低分子量化合物により
対応させるためである。
中性の膜と、プラス荷電を有する膜と、マイナス
荷電を有する膜から選ばれる２種以上の膜を用い
る。荷電特性の異なる有機低分子量化合物により
対応させるためである。
本発明において、膜電位を25℃、KCl水溶液の
濃度が、低濃度側の濃度10-3モル／、高濃度側
の濃度４×10-3モル／で求めた理由は、膜電位
は第２図のとおり、測定液の塩の濃度（原水の
TOCに対応する）の変化により相対的に異なる
ものであるので、原水（通常のTOC濃度は第２
図のC2濃度10-2の近辺）から超純水に処理される
際に必らず通過する代表的な値としたためであ
る。
濃度が、低濃度側の濃度10-3モル／、高濃度側
の濃度４×10-3モル／で求めた理由は、膜電位
は第２図のとおり、測定液の塩の濃度（原水の
TOCに対応する）の変化により相対的に異なる
ものであるので、原水（通常のTOC濃度は第２
図のC2濃度10-2の近辺）から超純水に処理される
際に必らず通過する代表的な値としたためであ
る。
本発明の逆浸透膜に供給する原水としては、市
水、凝集過水、活性炭過水、紫外照射分解水
などが使用できる。１段目逆浸透膜処理と２段目
逆浸透膜処理の間にはイオン交換処理、活性炭処
理、紫外照射分解および他の方法による工程があ
つても良い。
水、凝集過水、活性炭過水、紫外照射分解水
などが使用できる。１段目逆浸透膜処理と２段目
逆浸透膜処理の間にはイオン交換処理、活性炭処
理、紫外照射分解および他の方法による工程があ
つても良い。
水中の有機物の分析は、市販されている微量有
機物分析計を使用した。分析計はアストロ社製
（米国）高感度TOC計モデル1800ppb、レンジ範
囲：０〜500ppb、再現性：±２％（±10ppb）。
レンジ範囲：０〜2500ppb、再現性：±２％（±
50ppb）。膜電位測定条件は、温度25℃、KCl水溶
液の濃度が、低濃度側の濃度10-3モル／、高濃
度側の濃度４×10-3モル／。
機物分析計を使用した。分析計はアストロ社製
（米国）高感度TOC計モデル1800ppb、レンジ範
囲：０〜500ppb、再現性：±２％（±10ppb）。
レンジ範囲：０〜2500ppb、再現性：±２％（±
50ppb）。膜電位測定条件は、温度25℃、KCl水溶
液の濃度が、低濃度側の濃度10-3モル／、高濃
度側の濃度４×10-3モル／。
測定方法は第３図に示すとおりである。
実施例 １
第１図のプロセスにおいて、前段逆浸透膜エレ
メントとしてスパイラル型酢酸セルロース非対称
膜（東レ株式会社製CA膜、膜電位＋14ミリボル
ト）、後段逆浸透膜エレメントとして、スパイラ
ル型芳香族ポリアミド複合膜（東レ株式会社製
膜、膜電位−12ミリボルト）を使用し、市水を前
段逆浸透膜に圧力15Kg／cm2で供給し、前段逆浸透
透過水を圧力15Kg／cm2で後段逆浸透膜に供給し
た。このときの前段逆浸透膜に供給した市水中の
有機物濃度は1200ppb、前段逆浸透膜透過水中の
有機物濃度は92ppbであつた。また前段逆浸透膜
透過水を後段逆浸透膜に供給したときの後段逆浸
透膜透過水中の有機物濃度は30ppbであつた。こ
こで使用したエレメントの脱塩性能は酢酸セルロ
ース膜が96％、造水量は1T／m2・日
（NaCl1500ppm、圧力30Kg／cm2）である。また芳
香族ポリアミド複合膜エレメントの脱塩性能は80
％、造水量は2T／m2・日（NaCl 2000ppm、圧
力20Kg／cm2）である。
メントとしてスパイラル型酢酸セルロース非対称
膜（東レ株式会社製CA膜、膜電位＋14ミリボル
ト）、後段逆浸透膜エレメントとして、スパイラ
ル型芳香族ポリアミド複合膜（東レ株式会社製
膜、膜電位−12ミリボルト）を使用し、市水を前
段逆浸透膜に圧力15Kg／cm2で供給し、前段逆浸透
透過水を圧力15Kg／cm2で後段逆浸透膜に供給し
た。このときの前段逆浸透膜に供給した市水中の
有機物濃度は1200ppb、前段逆浸透膜透過水中の
有機物濃度は92ppbであつた。また前段逆浸透膜
透過水を後段逆浸透膜に供給したときの後段逆浸
透膜透過水中の有機物濃度は30ppbであつた。こ
こで使用したエレメントの脱塩性能は酢酸セルロ
ース膜が96％、造水量は1T／m2・日
（NaCl1500ppm、圧力30Kg／cm2）である。また芳
香族ポリアミド複合膜エレメントの脱塩性能は80
％、造水量は2T／m2・日（NaCl 2000ppm、圧
力20Kg／cm2）である。
以上の結果好ましい低濃度のTOCの超純水を
得ることができた。さらに無機イオンも有効に除
去できた。
得ることができた。さらに無機イオンも有効に除
去できた。
実施例 ２
実施例１に使用した膜を、前段と後段で入れ換
えて実験した。すなわち前段逆浸透膜エレメント
として、スパイラル型芳香族ポリアミド複合膜を
使用し、後段逆浸透膜エレメントとして、スパイ
ラル型酢酸セルロース非対称膜を使用した。前段
および後段逆浸透膜運転条件は実施例１と同条件
で行なつた。このときの前段透過水中の有機物濃
度は94ppb、また前段逆浸透膜透過水を後段逆浸
透膜に供給したときの後段逆浸透膜透過水中の有
機物濃度は42ppbであつた。ここで使用した前段
エレメントの脱塩性能は80％、造水量は2.5T／
m2・日（NaCl2000ppm、圧力20Kg／cm2）後段エ
レメントの段塩性能は97％、造水量は0.7T／
m2・日（NaCl1500ppm、圧力30Kg／cm2）である。
えて実験した。すなわち前段逆浸透膜エレメント
として、スパイラル型芳香族ポリアミド複合膜を
使用し、後段逆浸透膜エレメントとして、スパイ
ラル型酢酸セルロース非対称膜を使用した。前段
および後段逆浸透膜運転条件は実施例１と同条件
で行なつた。このときの前段透過水中の有機物濃
度は94ppb、また前段逆浸透膜透過水を後段逆浸
透膜に供給したときの後段逆浸透膜透過水中の有
機物濃度は42ppbであつた。ここで使用した前段
エレメントの脱塩性能は80％、造水量は2.5T／
m2・日（NaCl2000ppm、圧力20Kg／cm2）後段エ
レメントの段塩性能は97％、造水量は0.7T／
m2・日（NaCl1500ppm、圧力30Kg／cm2）である。
この結果好ましい低濃度のTOCの超純水を得
ることができた。さらに無機イオンも有効に除去
できた。
ることができた。さらに無機イオンも有効に除去
できた。
比較例 ２
前段逆浸透膜エレメントとして、スパイラル型
芳香族ポリアミド複合膜を使用し、後段浸透膜エ
レメントとして、前段に使用した同種膜エレメン
トを使用した。前段および後段逆浸透膜運転条件
は実施例１と同条件で行なつた。このときの前段
逆浸透膜透過水中の有機物濃度は180ppbであつ
た。また前段逆浸透膜透過水を、後段逆浸透膜に
供給したときの後段逆浸透膜透過水中の有機物濃
度は120ppbであつた。
芳香族ポリアミド複合膜を使用し、後段浸透膜エ
レメントとして、前段に使用した同種膜エレメン
トを使用した。前段および後段逆浸透膜運転条件
は実施例１と同条件で行なつた。このときの前段
逆浸透膜透過水中の有機物濃度は180ppbであつ
た。また前段逆浸透膜透過水を、後段逆浸透膜に
供給したときの後段逆浸透膜透過水中の有機物濃
度は120ppbであつた。
ここで使用した前段エレメントの脱塩性能は、
75％、造水量は2.5T／m2・日（NaCl2000ppm、
圧力20Kg／cm2）後段エレメントの脱塩性能は80
％、造水量は2.5T／m2・日（NaCl2000ppm、圧
力20Kg／cm2）である。
75％、造水量は2.5T／m2・日（NaCl2000ppm、
圧力20Kg／cm2）後段エレメントの脱塩性能は80
％、造水量は2.5T／m2・日（NaCl2000ppm、圧
力20Kg／cm2）である。
実施例１、２に比べて大幅に悪い結果となつ
た。
た。
本発明は上記の技術のとおり、TOCの増大を
招くフミン酸などに起因するプラス、マイナス、
中性のイオンを持つ有機低分子量化合物に対応さ
せて、分離膜を選択し、膜電位の異なつた膜素材
を組合わせて多段処理することにより、有機低分
子量化合物を有効に除去し、TOCの極端に少な
い超純水の製造が達成できたという顕著な効果を
奏する。さらに附随する効果として無機イオンも
有効に除去できるという効果を奏する。
招くフミン酸などに起因するプラス、マイナス、
中性のイオンを持つ有機低分子量化合物に対応さ
せて、分離膜を選択し、膜電位の異なつた膜素材
を組合わせて多段処理することにより、有機低分
子量化合物を有効に除去し、TOCの極端に少な
い超純水の製造が達成できたという顕著な効果を
奏する。さらに附随する効果として無機イオンも
有効に除去できるという効果を奏する。
そして装置の運転コストは低廉で、また膜の再
生も簡単であることなど、工業的に実用性が大で
ある。また高品位な水を工業的に安定して作れる
ことができ、当業界に貢献する度合は大きい。
生も簡単であることなど、工業的に実用性が大で
ある。また高品位な水を工業的に安定して作れる
ことができ、当業界に貢献する度合は大きい。
第１図は本発明の基本プロセスの１実施態様で
ある２段の処理技術である。第２図は膜電位差と
溶液濃度の関係を示す。第３図は膜電位差測定方
法を示す。 ２：第１段目原水ポンプ、３：第１段目分離
膜、４：中間槽、６：第２段目原水ポンプ、７：
第２段目分離膜、８：超純水取り出しライン。
ある２段の処理技術である。第２図は膜電位差と
溶液濃度の関係を示す。第３図は膜電位差測定方
法を示す。 ２：第１段目原水ポンプ、３：第１段目分離
膜、４：中間槽、６：第２段目原水ポンプ、７：
第２段目分離膜、８：超純水取り出しライン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 原水から超純水を製造する方法において、２
段以上の多段の分離膜を用い、かつその少なくと
も２段の分離膜が、下記の測定条件において５ミ
リボルト以上異なつた膜電位の膜であることを特
徴とする超純水の製造方法。 （ただし膜電位とは、25℃において、KCl水溶液
の濃度が、低濃度側の濃度10-3モル／、高濃度
側の濃度４×10-3モル／における膜電位をい
う。） ２ 特許請求の範囲第１項記載の方法において、
少なくとも２段の分離膜が、ほぼ中性の膜と、プ
ラス荷電を有する膜と、マイナス荷電を有する膜
から選ばれる２種以上の膜を用いることを特徴と
する超純水の製造方法。 （ただしプラス荷電を有する膜とは、同一条件に
おける膜電位でマイナス電位を示すものをいい、
マイナス荷電を有する膜とは同一条件における膜
電位でプラス電位を示すものをいい、ほぼ中性の
膜とはその中間の値の膜をいう。） ３ 原水から超純水を製造する装置において、第
１段目原水ポンプ、第１段目分離膜、第２段目原
水ポンプ、第２段目分離膜を少なくとも設け、か
つその少なくとも２段の分離膜として、下記の測
定条件において５ミリボルト以上異なつた膜電位
の膜を設けたことを特徴とする超純水の製造装
置。 （ただし膜電位とは、25℃において、KCl水溶液
の濃度が、低濃度側の濃度10-3モル／、高濃度
側の濃度４×10-3モル／における膜電位をい
う。） ４ 特許請求の範囲第３項記載の装置において、
少なくとも２段の分離膜が、ほぼ中性の膜と、プ
ラス荷電を有する膜と、マイナス荷電を有する膜
から選ばれる２種以上の膜であることを特徴とす
る超純水の製造装置。 （ただしプラス荷電を有する膜とは、同一条件に
おける膜電位でマイナス電位を示すものをいい、
マイナス荷電を有する膜とは同一条件における膜
電位でプラス電位を示すものをいい、ほぼ中性の
膜とはその中間の値の膜をいう。） ５ 特許請求の範囲第３項記載の装置において、
第１段目分離膜と第２段目原水ポンプとの間に中
間槽を設けたことを特徴とする超純水の製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12692285A JPS61287492A (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | 超純水の製造方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12692285A JPS61287492A (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | 超純水の製造方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61287492A JPS61287492A (ja) | 1986-12-17 |
| JPH0378156B2 true JPH0378156B2 (ja) | 1991-12-12 |
Family
ID=14947221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12692285A Granted JPS61287492A (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | 超純水の製造方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61287492A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69736172T2 (de) | 1996-03-18 | 2007-04-26 | Nitto Denko Corporation, Ibaraki | Verbundmembran fur umkehrosmose und methode zur wasserbehandlung mit umkehrosmose mit hilfe derselben |
| US6413425B1 (en) | 1997-04-10 | 2002-07-02 | Nitto Denko Corporation | Reverse osmosis composite membrane and reverse osmosis treatment method for water using the same |
| JP5670069B2 (ja) * | 2010-03-03 | 2015-02-18 | 三浦工業株式会社 | 純水製造システム |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS503968A (ja) * | 1973-05-11 | 1975-01-16 | ||
| JPS53132479A (en) * | 1977-04-25 | 1978-11-18 | Rohm & Haas | Coating membrane |
-
1985
- 1985-06-11 JP JP12692285A patent/JPS61287492A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS503968A (ja) * | 1973-05-11 | 1975-01-16 | ||
| JPS53132479A (en) * | 1977-04-25 | 1978-11-18 | Rohm & Haas | Coating membrane |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61287492A (ja) | 1986-12-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |