JPH0374360B2 - - Google Patents

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JPH0374360B2
JPH0374360B2 JP58090879A JP9087983A JPH0374360B2 JP H0374360 B2 JPH0374360 B2 JP H0374360B2 JP 58090879 A JP58090879 A JP 58090879A JP 9087983 A JP9087983 A JP 9087983A JP H0374360 B2 JPH0374360 B2 JP H0374360B2
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ray spectrometer
detector
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JP58090879A
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
    • G01N23/2076—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions for spectrometry, i.e. using an analysing crystal, e.g. for measuring X-ray fluorescence spectrum of a sample with wavelength-dispersion, i.e. WDXFS
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
    • G01T1/36—Measuring spectral distribution of X-rays or of nuclear radiation spectrometry

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Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野および従来技術の説明 本発明は検査すべき試料を照射するＸ線ビーム
を発生するＸ線源と、試料からの二次放射線を回
折結晶に導くコリメータと、前記二次放射線を検
出する検出器とを具えるＸ線分光計に関するもの
である。
従来のＸ線分光計はＸ線を被検体上に供給する
Ｘ線管を具える。被検体から励起された特性Ｘ線
フオトンを平行板コリメータを通して回折結晶に
当て、Ｘ線を検出器に向け回折させる。従来のＸ
線分光計は通常、単一の回折結晶によりＸ線を単
一のガス検出器に回折して試料情報を電気的に読
み取る単一の検出チヤンネルを具えた構造になつ
ている。この従来のＸ線分光計の主な欠点は、各
種波長範囲の測定毎にコリメーター検出器−結晶
の組合せ構体を交換する必要がある点にある。
発明の概要 本発明の目的は広範囲の種々の波長における測
定をコリメーター検出器構体を交換することなく
行ない得るようにしたＸ線分光計を提供すること
にある。
本発明は、この目的のために、試料を照射する
Ｘ線ビームを発生するＸ線源と、前記試料からの
二次放射線を回折結晶手段に導くコリメータ手段
と、前記二次放射線を検出する検出器手段とを具
えるＸ線分光計において、前記コリメータ手段は
それぞれ異なる間隔で配列されたブレードを有す
る２つの各別のコリメータ部分を含むコリメータ
を具え、前記検出器手段は２つの各別の検出器を
具え、前期回折結晶手段はそれぞれの結晶表面が
所定の交差角で当接する２つの回折結晶を具え、
これら回折結晶の各々が前記コリメータの各別の
コリメータ部分で平行にされたＸ線を受け、回折
したＸ線スペクトルを前記各別の検出器に同時に
入射させるようにしたことを特徴とする。
本発明によれば、一定の角度差で配置した２個
の“ハーフ”結晶と両結晶に個々に結合する２個
の検出器を用いるため、２つの一体化された走査
チヤンネルが得られ、これらチヤンネルにおいて
長波長スペクトルと短波長スペクトルを同時に得
ることができる。本発明のこの構造では通常のコ
リメータの代りに、片側の半部のブレードを他側
の半部のブレードより大きい間隔で配置して成る
コリメータを用いる。このようにすると、試料か
らのＸ線は同時に２つの別々の分散チヤンネルを
経て２個の異なる結晶上に入射し、２つの各別の
検出計数器により両結晶からの情報を読取ること
ができる。
実施例の説明 以下、本発明を図面を参照して実施例につき詳
細に説明する。
第１図は本発明Ｘ線分光計の一例の一部の構成
を示し、Ｘ線管１０は一次Ｘ線を被検体１１に照
射し、被検体１１から発生する特性スペクトルは
コリメータ１２を経て１対の“ハーフ”結晶１お
よび２上に入射し、これら結晶１および２は特性
スペクトルをそれぞれ検出器１′および２′に向け
回折する。両結晶１および２はそれぞれの表面が
約15°の面角で接するよう装着する。両検出器
１′および２′は単一の組立体として装着し、検出
器１′はハーフ結晶１と、検出器２′はハーフ結晶
２と整列させる。
両結晶と両検出器はゴニオメータ（図示せず）
により通常２：１の関係で動かして２個の一体化
した分光チヤンネルに対する幾何学条件を維持す
る。両検出器１′および２′は代表的にはフロー計
数器および高圧密封計数器とし、フロー計数器は
大きな格子間隔“ｄ”のハーフ結晶と整列させ、
高圧密封計数器は小さな格子間隔“ｄ”のハーフ
結晶と整列させる。
上述の検出器とハーフ結晶の組立体は第２図に
示すようにゴニオメータサークル２３上を回転自
在に装着する。例えば、ハーフ結晶３１および３
２をそれぞれ検出器２１および２２と整列させ
る。ハーフ結晶３１と整列する検出器２１は密封
計数器とすることができる。このハーフ結晶３１
はＸ線スペクトルをコリメータ（第３図）の微小
間隔部１２′を経て受ける。ハーフ結晶３２はＸ
線スペクトルをコリメータ１２の粗間隔部１２″
を経て受け、これをフロー計数器２２に反射す
る。検出器２１と２２との間には30°の固定の角
度差があり、ハーフ結晶３１と３２との間には
15°の角度差がある。
第２図に示すように、これらの結晶および検出
器はゴニオメータサークル上を回転することがで
きるため、両検出器２１および２２を位置２１′
および２２′に、両ハーフ結晶３１および３２を
位置３１′および３２′にそれぞれ位置させること
ができる。
これらの検出器および結晶は、両検出器間の角
度差を30°に、両結晶間の角度差を15°に維持して
２：１の関係を維持しつつ多数の位置に動かすこ
とができる。
小格子間隔“ｄ”の結晶３１に関連する検出器
２１はキセノンのようなガスを密封した高圧ガス
計数器とすることができる。大格子間隔“ｄ”の
ハーフ結晶３２に関連する検出器２２はガスフロ
ー比例計数器とすることができる。これら検出器
からの読取は通常の電気および電子回路により達
成され、保持される。
コリメータ２１はその断面を第３図に示すよう
に異なる間隔で配置された２群のブレードを具え
る。ブレード１２′は微小間隔部分を構成し、ブ
レード１２′は粗間隔部分を構成する。このコリ
メータの粗間隔部分１２″を構成するブレードの
間隔は微小間隔部分１２′のブレードの間隔の約
2.5倍〜８倍にすることができる。
一例として、部分１２′は約200ミクロンのブレ
ード間隔を有し、部分１２″は約500ミクロンのブ
レード間隔を有するものとすることができる。
上述の幾何学構成は一体化された２つの別々の
チヤンネルを提供する。一方のチヤンネルは粗間
隔コリメータ部分１２″と結晶３２および検出器
２２から成り、他方のチヤンネルは微小間隔コリ
メータ部分１２′と結晶３１および検出器２１か
ら成る。このコリメータ構造によつて長波長スペ
クトルと短波長スペクトルの両方を有する２つの
一体化された走査チャンネルを同時に得ることが
できる。
試料１１は固体または液体試料とすることがで
きる。
以上、本発明の種々の構成および特徴について
説明したが、本発明はこれに限定されず、多くの
変更や変形が可能であること勿論である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明Ｘ線分光計の分光検出部の構成
を示す線図、第２図は本発明Ｘ線分光計の詳細構
成図、第３図は本発明Ｘ線分光計のコリメータの
断面図である。 １，２……回折結晶、１′，２′……検出器、１
０……Ｘ線管、１１……試料、１２……コリメー
タ、２１，２２……検出器、３１，３２……回折
結晶、２３……ゴニオメータサークル、１２′…
…微小間隔コリメータ部、１２″……粗間隔コリ
メータ部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 試料を照射するＸ線ビームを発生するＸ線源
    と、前記試料からの二次放射線を回折結晶手段に
    導くコリメータ手段と、前記二次放射線を検出す
    る検出器手段とを具えるＸ線分光計において、 前記コリメータ手段はそれぞれ異なる間隔で配
    列されたブレードを有する２つの各別のコリメー
    タ部分を含むコリメータを具え、前記検出器手段
    は２つの各別の検出器を具え、前記回折結晶手段
    はそれぞれの結晶表面が所定の交差角で当接する
    ２つの回折結晶を具え、これら回折結晶の各々が
    前記コリメータの各別のコリメータ部分で平行に
    されたＸ線を受け、回折したＸ線スペクトルを前
    記各別の検出器に同時に入射させるようにしたこ
    とを特徴とするＸ線分光計。 ２ 前記２つのコリメータ部分の一方の部分のブ
    レード間隔は他方の部分のブレード間隔の2.5〜
    ３倍であることを特徴とする特許請求の範囲１記
    載のＸ線分光計。 ３ 前記２つの検出器は第１格子間隔の回折結晶
    からの回折Ｘ線スペクトルを受ける高圧密封検出
    器及び前記第１格子間隔より大きい第２格子間隔
    の回折結晶からの回折Ｘ線スペクトルを受けるフ
    ロー検出器であることを特徴とする特許請求の範
    囲１又は２記載のＸ線分光計。 ４ 前記２つの回折結晶はそれらの表面が15°の
    角度をなすように維持したことを特徴とする特許
    請求の範囲１〜３の何れかに記載のＸ線分光計。 ５ 前記格別の検出器は互に固定の角度関係に維
    持したことを特徴とする特許請求の範囲１〜４の
    何れかに記載のＸ線分光計。 ６ 前記２つのコリメータ部分は互に平行な２つ
    の平行ブレード群を具えることを特徴とする特許
    請求の範囲１〜５の何れかに記載のＸ線分光計。 ７ 前記２つのブレード群の一方の群は200ミク
    ロンのブレード間隔を有し、他方の群は約500ミ
    クロンのブレード間隔を有することを特徴とする
    特許請求の範囲６記載のＸ線分光計。
JP58090879A 1982-05-26 1983-05-25 Ｘ線分光計 Granted JPS5963550A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/382,015 US4472825A (en) 1982-05-26 1982-05-26 Double crystal X-ray spectrometer
US382015 1999-08-24

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5963550A JPS5963550A (ja) 1984-04-11
JPH0374360B2 true JPH0374360B2 (ja) 1991-11-26

Family

ID=23507216

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58090879A Granted JPS5963550A (ja) 1982-05-26 1983-05-25 Ｘ線分光計

Country Status (4)

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US (1) US4472825A (ja)
EP (1) EP0095207B1 (ja)
JP (1) JPS5963550A (ja)
DE (1) DE3373362D1 (ja)

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DE3373362D1 (en) 1987-10-08
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