JPS5963550A - Ｘ線分光計 - Google Patents

Ｘ線分光計

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JPS5963550A
JPS5963550A JP58090879A JP9087983A JPS5963550A JP S5963550 A JPS5963550 A JP S5963550A JP 58090879 A JP58090879 A JP 58090879A JP 9087983 A JP9087983 A JP 9087983A JP S5963550 A JPS5963550 A JP S5963550A
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JP
Japan
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ray
collimator
crystals
detector
crystal
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JP58090879A
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ロナルド・ジエンキンス
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Philips North America LLC
US Philips Corp
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US Philips Corp
North American Philips Corp
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
    • G01N23/2076—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions for spectrometry, i.e. using an analysing crystal, e.g. for measuring X-ray fluorescence spectrum of a sample with wavelength-dispersion, i.e. WDXFS
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
    • G01T1/36—Measuring spectral distribution of X-rays or of nuclear radiation spectrometry

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 を発生するＸ線源と、試料からの二次放射線を回折結晶
に導くコリメー夕と、前記二次放射線を検出する検出器
とを具えるＸ線分光計に関するものである。
従来のＸ線分光計はＸ線を被検体上（こ供給するＸ線犯
を具える。被検体から励起された特性Ｘ線フォトンを平
行板コリメータを通して回折結晶に当て、Ｘ線を検出器
に向は回折させる。従来のＸ線分光計は通常、単一の回
折結晶によりＸ線を単一のガス検出器に回折して試料情
報を電気的に読み取る単一の検出チャンネルを具えた構
造になっている。この従来のＸ５分光計の主な欠点は・
各種波長範囲の１ｉｌｌｌ定毎（こコリメーター検出器
−結晶の組合せ構外を交換する必要がある点にある。
リメーター演出器＋１η体を交換することなく行ない得
るようにしたＸ線分光ｄ１を掃供することにある。
この目的のために、本発明Ｘ線分光計はコリメータで平
行にされたＸ線を受ける、角度をつけて配置した２個の
回折結晶を具え、各結晶が回折Ｘ線スペクトルを各別の
検出器に通すようＧ、：＜４’ｌ　６したことを特徴と
する。
本発明によれば、一定の角度差で配置した２個の６ハー
フ″結晶と両結晶に個々に結合する２個の検出器を用い
るため、２つの一体化された走査チャンネルが得られ、
これらチャンネルにおいて長波長スペクトルと短波長ス
ペクトルを同時に得ることができる。本発明のこの構造
では通常のコリメータの代りに、片側の半部のブレード
を他側の半部のブレードより大きい間隔で配置して成る
コリメータを用いる。このようにすると・試料からのＸ
ｉは同時に２つの別々の分散チャンネルを鮮で２個の異
なる結晶上に入射し、２つの各別の検出計数器により両
結晶からの情報を読取ることができる。
以下、本発明゛を図面を参照して実施例につき詳細に説
明する。
４１図は本発明Ｘ線分光３１′の一例の一部の構成を示
し、Ｘ線管１０は一次Ｘ線を被検体１１に照射し、被検
体１］から発生する特性スペクトルはコリメータ１２を
経て１対の６ハーフ′″結晶ｌおよび２上に入射し、こ
れら結晶】および２は特性スペクトルをそれぞれ検出器
１′および２′に向は回折する。両結晶１および２はそ
れぞれの表面が約１５　の面角で接するよう装着する。
面検出器１／および２′は単一の組立体として装着し、
検出器１′はハーフ結晶１と、検出器２′はハーフ結晶
２と整列させる。
両結晶と面検出器はゴニオメータ（図示せず）により通
常２：１の関係で動かして２個の一体化した分光チャン
ネルＧこ対する幾何学条件を維持する。面検出器］′お
よび２′は代表的にはフロー計数器シＨおよび高圧密封
言１数器とし、フロー計数器は大きな格子間隔パｄ′″
のハーフ結晶と整列させ、高圧密封計数器は小ざな格子
間隔Ｉｔ　ｄ　ｌ＋のハーフ結晶と整列きせる。
上述の検出器とハーフ結晶の組立体は第２図に示すよう
にゴニオメータサークル２３上を回転自在に装着する。
例えば、ハーフ結晶３１および８２をそれぞれ検出器２
】および２２と整列させる。ハーフ結晶３］と整列する
検出器２１は密封δ１°数器とすることができる。この
ハーフ結晶３］はＸ線スペクトルをコリメータ（第３図
）の微小間隔部１２′を経て受ける。ハーフ結晶３２は
Ｘ線スペクトルをコリメータ１２の粗間隔部１２′を経
て受け、これをフロー計数器２２に反射する。
検出器２１と２２との間には８０°の固定の角度差があ
り、ハーフ結晶３】と３２との間には１５°の角度差が
ある。
第２図に示すように、これらの結晶および検出器はゴニ
オメータサークル上を回転することができるため、面検
出器２１および２２を位ｌｆ雫腎に、両ハーフ結晶３１
および３２を位置３１′および３２′にそれぞれ位置さ
せることができる。
これらの検出器および結晶は、雨検出器間の角度差を３
０に、両結晶間の角度差を１５に維持して２：１の関係
を維持しつつ多数の位置に動かすことができる。
小格子間隔″ｄ′″の結晶３］に関連する検出器２１は
キセノンのようなガスを♂封した高圧力゛ス計数器とす
ることができる。大格子間隔″′ｄ″のハーフ結晶３２
に関連する検出器２２はガスフロー比例計数器とするこ
とができる。これら検出器からの読取は通常の電気およ
び電子回路により達成きれ、保持される。
コリメータ２１はその断面を第３図に示すように異なる
間隔で配置された２群のブレードを具える。ブレード］
２′は微小間隔部分を構成し、ブレード１２′は相間隔
部分を構成する。このコリメータの粗［１旧Ｕ部分１２
′を構成するブレードの間隔は微小間隔部分１２′のブ
レードの間隔の約２．５倍〜３倍にすることができる。
−例として、部分］２′は約２００ミクロンのブレード
間隔を有し、部分１２′は約５００ミクロンのブレード
間隔を有するものとすることができる。
上述の幾何学構成は一体化された２つの別々のチャンネ
ルを提供する。一方のチャンネルは相間隔コリメータ部
分１２′と結晶３２および検出器２２から成り、他方の
チャンネルは微小［８」隔コリメータ部分１２′と結晶
３１および検出器２１から成る。このコリメータ構造に
よって長波長スペクトルと短波長スペクトルの両方を有
する２つの一体化された走査チャンネルを同時に得るこ
とができる。
試料１］は固体または液体試料とすることができる。
以上、本発明の種々の構成および特徴について説明した
が、本発明はこれに限定されず・多くの変更や変形が可
能であること勿論である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明Ｘ線分光計の分光検出部の構成を示す線
図、 第２図は本発明Ｘ１分光計の詳細構成図、第３図は本発
明Ｘ線分光計のコリメータの断面図である。 １．２・・・回折結・晶　　　　１．／、　２／・・・
検出器１０・・・Ｘ線管　　　　　　１１・・・試料１
２・・・コリメータ　　　　２１．２２・・・検出器３
］、、　３２・・・回折結晶　　　２３・・・ゴニオメ
ータサークル１２１・・・微小間隔コリメータ部 １２′・・・相間隔コリメータ部。 図面の４・、′：（内ｒｊ′に変更なし）ＦＩＧ、　ｌ
。 ＦＩＧ、　３゜ 手続補正書 昭和５８年　特３１−願第　９　（１８７り　　号２発
明の名称 Ｘ線分光、７１ ３、補正をする者 ・１「イ・１．−の関仔特訂出願人

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、　試料を照射するＸ線ビームを発生するＸ線源と、
    前記試料からの二次放射線を回折結晶上に導くコリメー
    タと、前記二次放射線を検出する検出器とを具えるＸ線
    分光計において・当該装置はコリメータで平行にされた
    Ｘ線を受ける・角度をつけて配置した２個の回折結晶を
    具え、該結晶の各々が回折Ｘ　ｆＱスペクトルを各別の
    検出器に通すように構成したことを特徴とするＸ線分光
    計。 ２、　特ｉｔ’　Ｅｆｉ求の範囲第１項記載のＸ線分光
    計において、前記コリメータは各々異なる間隔で配列さ
    れたブレードを有し、前記二次放射線を前記２個の結晶
    の各々に通ず２つの各別のブレード配列部分を具えるこ
    とを特徴とするＸ線分光計。 ３、’　　＋ｌ゛、！許請求の範囲第１項記載のＸ線分
    光計において、前記２個の検出器は第１格子間隔”　Ｃ
    １”の回折結晶からの回折Ｘ線スペクトルトルを受ける
    フロー計数器であることを特徴とするＸ線分光δＩ°。
JP58090879A 1982-05-26 1983-05-25 Ｘ線分光計 Granted JPS5963550A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/382,015 US4472825A (en) 1982-05-26 1982-05-26 Double crystal X-ray spectrometer
US382015 1999-08-24

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5963550A true JPS5963550A (ja) 1984-04-11
JPH0374360B2 JPH0374360B2 (ja) 1991-11-26

Family

ID=23507216

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58090879A Granted JPS5963550A (ja) 1982-05-26 1983-05-25 Ｘ線分光計

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4472825A (ja)
EP (1) EP0095207B1 (ja)
JP (1) JPS5963550A (ja)
DE (1) DE3373362D1 (ja)

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Publication number Publication date
DE3373362D1 (en) 1987-10-08
US4472825A (en) 1984-09-18
JPH0374360B2 (ja) 1991-11-26
EP0095207B1 (en) 1987-09-02
EP0095207A1 (en) 1983-11-30

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