JPH0373351A - 液体噴射記録ヘッド用基体、該基体を用いた液体噴射記録ヘッド及び該液体噴射記録ヘッドを備えた液体噴射記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

［産業上の利用分野１ 本発明は、熱エネルギーによって液体中に気泡を形成し
、そのとき生じる圧力によって吐出口から液体を吐出さ
せて飛翔的液滴を形成し、この液滴を被記録面に付着さ
せて文字・画像等の情報の記録を行う液体噴射記録ヘッ
ド装置に関し、さらに、該装置に用いる液体噴射記録ヘ
ッド及び該液体噴射記録ヘッド形成用の基体に関する。 ［従来の技術］ 熱エネルギーを液体の吐出に利用する液体噴射記録ヘッ
ドの構造としては、例えば、第７図（Ａ）　、　　（Ｂ
）に示すものが知られている。 この記録ヘッドｌは、支持体２上に、下部層３、発熱抵
抗層４、電極ＪｉｉＦ　１　ｉ、１２および上部層５と
を設けた構成を有する基体１５上に、熱発生部６上方の
熱作用面８に対応させて、少なくとも吐出口１４、及び
該吐出口に連通ずる液路１３を設けた構成を有する。 この記録ヘッドにおける、熱エネルギー発生体は、発熱
抵抗層４及び電極層１１．１２により熱発生部６を形成
した構成を有する電気熱変換体である。 この電気熱変換体は、記録用の液滴の形成のための熱エ
ネルギー作用部である熱作用部７においｒ、エネルギー
作用面としての熱作用面８を介して、矢印へ方向から溝
付板部材９で形成された液吐出部１０に導入される液体
ヒ接触している。 このような構成は、発生される液滴形成エネルギーとし
ての熱エネルギーを熱作用部７にある液体に有効に、且
つ効率良く作用させる目的から採用されているものであ
る。 特に下部層３は、発熱抵抗層４で発生した熱エネルギー
を熱作用面８を介して効率よく液体に作用させる為に、
熱伝導性の低い材料であることが好ましい。 すなわち、下部層３は、発熱抵抗層４の熱発生部６で発
生した熱が、支持体２側へ逃げるのをある程度防ぐ役割
を持っている。この様な材料として例えば、　ＳｉＯ□
等の無機酸化物、酸化チタン、酸化ニオブ等の遷移金属
酸化物等が用いられている。 また、使用される記録用の液体の種類にもよるが、水を
液媒体とするような記録液を使用する場合には、その記
録液を通じた電極１１．１２間の電気的リークの防止、
発熱抵抗層４の記録液からの保護、記録液と接触するこ
とによる発熱抵抗層４の熱的酸化の防止などの目的から
、少なくとも発熱抵抗層４上に上部層５が設けられる。 この記録ヘッド１での液滴形成は、以下のようにして行
われる。 電極１１．１２によって、発熱抵抗層４のこれらの電極
の端部間に配置された熱発生部６に通電すると、液滴形
成のために利用されるエネルギーとしての熱エネルギー
が発生し、熱作用面８から熱作用部７にある記録液に伝
えられる。この熱エネルギーの作用を受けた熱作用部７
にある記録液は急激な体積の増大を伴う状態変化、即ち
、熱作用部７にある記録液が数μｓｅｃ程度という非常
に瞬時間の中に気化状態に達する状態変化を起こし、熱
作用部７において、瞬時の内に気泡の発生とその成長が
起り、その結果記録液が液滴として吐出口１４から吐出
される。 〔発明が解決しようとする課題） 上記従来例では、熱伝導率の低い下部層３が支持体２上
の全面に設けられていることによって、液滴を吐出させ
る為に熱発生部で生じさせた熱エネルギーは、熱作用面
８側に伝導され易くなり。 熱作用部７にある液体に効率よく作用させることが可能
となった。 ところが、このような効果が得られる反面、支持体２側
への放熱が悪くなるため、吐出周波数を上げたり、液路
をマルチ化した場合に、ヘッド内での蓄熱が起き、ヘッ
ドの駆動時間に応じてヘッド温度が上昇して充分な特性
が得られなくなったり、吐出液滴の容量や吐出速度が変
わる為に充分な画像品位が安定して得られなくなる等の
問題を生じる場合があった。 この蓄熱現象は、液滴を吐出させる為に発生する熱量が
、放熱する熱量よりも大きくなった際に生じるものと考
えられる。 このような蓄熱による問題を有する記録ヘッドは、高吐
出周波数を使用する記録方法や、液路の高マルチ化に十
分対応できるものとは言えなかった。 本発明の目的は、熱エネルギーを液体の吐出に利用する
タイプの液体噴射記録ヘッドにおける上述の蓄熱現象に
起因する問題を解決し得る構造を有する液体噴射記録ヘ
ッド、該記録ヘッド形成用基体及び該記録ヘッドを備え
た液体噴射記録装置を提供することにある。 〔課題を解決するあめの手段〕 本発明の液体噴射記録ヘッド用基体は。 １）支持体と、 ２）該支持体上に設けられ、インクなどの液体を吐出す
るために利用される熱エネルギーを熱発生部から発生す
る熱エネルギー発生体と、を有する液体噴射記録ヘッド
用基体において、前記支持体の前記熱エネルギー発生体
の熱発生部の下部領域の熱伝導率を、それ以外の領域の
熱伝導率よりも小さくしたことを特徴とする。 前記熱光生部下部領域の熱伝導率は、液滴吐出に際して
の良好な熱効率が得られる程度に設定され、熱発生部の
面積や発熱量によっても異なるが、例えば０．５Ｗ／ｍ
−に〜５００Ｗ／ｎ＋−ｋ（３００ｋｌとされる。 また、熱光生部下部領域の熱伝導率とその他の領域の熱
伝導率の差は、上述した蓄熱現象を効果的に防止できる
程度に設定すれば良く、例えば熱発生部の面積、発熱量
等に応じて適宜設定する。 例えば、前記熱光生部下部領域の熱伝導率をＡ、その周
囲の熱伝導率をＢとしたときに、１５×Ａ≧Ｂであるこ
とが望ましい。 熱光生部下部領域とそれ以外の領域の熱伝導率を異なら
せるには、例えば、 ａ）熱伝導率の高い支持体の熱光生部下部領域と成る部
分に、支持体よりも低い熱伝導率を有する下部層を更に
設ける、あるいは、 ｂ）熱光生部下部領域とそれ以外の領域で異なる熱伝導
率を有する下部層を支持体上に設ける等の方法を用いる
ことができる。 上記方法ａ）、で用いる下部層は、例えば、５ｉ０２等
の無機酸化物、酸化チタン、酸化ニオブ等の遷移金属酸
化物等から構成することができ、また、その際に用いる
支持体としては、ＳｉウェハやＳ　ｉ　Ｃ，アモルファ
スシリコン、ポリクリスタルシリコン等からなる支持体
などを利用することができる。 なお、支持体は、効果的な放熱を得るための熱伝導率を
有する部分を少なくとも熱発生部の下の熱伝導率の小さ
い領域に隣接して有していれば良いが、支持体全体が効
果的な放熱に寄与できる高い熱伝導率を有する十分な厚
さのものが良い。 上記方法ｂ）で用いる下部層は、熱光生部下部領域にお
いては前述の方法ａ）で述べたのと同じ材料を用いるこ
とができ、それ以外の領域の下部層としては、熱伝導性
の良い材料例えば、ルチル（ＴｉＯａＬ酸化ニッケル（
ＮｉＯ）、シリコン　（Ｓｉ）などから構成することが
できる。その際に用いる支持体としては、Ｓｉウェハや
アモルファスシリコン、セラミックス、ガラス、ポリク
リスタルシリコン等からなる支持体などを利用すること
ができる。 方法ｂ）を採用する場合は、熱光生部下部領域以外の下
部層は、熱伝導性の良い材料からなるので、支持体の熱
伝導率は、必ずしも高くなくとも良い。 上記構成の基体を用いて作製した液体噴射記録ヘッドに
おいては、熱エネルギー発生体の熱発生部から液体の吐
出のための熱エネルギーを発生させた際には、その下部
領域が、液体への効率良い熱エネルギーの伝達を可能と
する熱伝導率を有するので、熱効率良い液体の吐出操作
が行なえる。 更に、熱発生部から熱エネルギーを発生させていない状
態では、熱発生部及びその付近の熱が、熱伝導率の低い
熱光生部下部領域に隣接する熱伝導率の高い領域へ効果
的に放熱され、熱発生部及びその付近での先に述べた問
題の原因となり得る蓄熱が防止される。 本発明は、被記録部材の記録領域の全幅にわたって吐出
口が複数設けられた所謂フルラインタイプのインクジェ
ットヘッドに適用された場合に、その効果を最大限に発
揮することができる。 このフルラインヘッドの代表例は、複数の吐出口に対応
して熱発生部が設けられた液路が平行に複数設けられた
ものである。

【実施例】

以下、図面を参照し、液体吐出のための熱エネルギーの
発生に電気熱変換体を利用するものを代表例として本発
明の実施例を詳細に説明する。 実施例１ 第１図〜第３図は本発明の第１の実施例の基体作製の工
程を示し、第４図は本実施例の液体噴射記録ヘッドの構
成例を示す。 ここで、ｌｏｔは記録ヘッド用基体、＋１１は熱発生部
、１０３　、１０４は電極である。 本実施例による電気熱変換体を有する基体の作製工程の
一例を説明すると、まず、Ｓｉウェハ〈熱伝導率、１４
８Ｗ／ｍ−ｋ　（３００ｋ）　）からなる支持体１０５
上にＳｉＯｘ層（熱伝導率、１．３８Ｗ／ｍ−ｋ　（３
００ｋ）　）をＣＶＤ　（化学的気相成長）で０．２μ
ｍ厚に形成する。 なお、５ｉＣｈ層の層厚は、　０．１μ鳳〜５０μ鳳の
範囲とすることができる。 次に、フォトリソ（フォトリソグラフィ）工程により、
幅３４μｍ、長さ　１５４μｍの島状のＳｉＯ□層１０
６

【第１図及び第２図（Ａ）で破線で囲まれた部分］を
熱発生部（ヒータ）１１１と同じピッチに形成されるよ
うに他のＳｉＯｘ層部分を取り除く。 次に、この下部層１０６上にスパッタリングにより発熱
抵抗層＋０７形成用のＨｆＢ２１を１３００人の厚みに
形成する。 続いて、電子ビーム蒸着によりＴｉ層５０Ａ、、ＩＪｌ
　５０００Åを連続的に堆積して共通電極＋０３及び選
択電極１０４形成用の層を積層する。 次に、これらの層をフォトリソ工程によりバターニング
して第１図に示すような回路パターンを形成し、熱発生
部Ｉｌ＋の熱発生面１０２の寸法を３０μｒｎ幅で、　
１５０ｇｍ長にし、ｉ電極１０３、＋（＋４の抵抗を含
めて１００Ωの抵抗値にする。 次に、第２図（Ｂ）に示すように第１の上部保護Ｎ１０
８としてＳｉＯｘを１．０μｍ厚にスパッタ法によって
基板１０１の全面上に積層する。 続いて、第２図（Ａ）　、　　ＣＢ）に示す熱作用面１
１２を構成する第２の上部保護層１１０形成用の０．３
μ層厚のＴａ層をスパッタ法により積層した後、これを
フォトリソ工程により熱発生部分＋０２の上部を覆う所
定のパターンに形成する。 次に、第３図（Ａ）、（Ｂ）に示す第３の上部保護層１
０９形成のための感光性ポリイミド（商品名フォトニー
ス、東し四社製）を基板１０１の第１の上部保護層】０
８上に塗布し、フォトリソ工程により所定の形状にパタ
ーンマスクし、第３図に示す構成の基体１１１１を得る
。 なお、保護層の構成は図示した例に限定されず、必要に
応じて種々変更しつる。 このようにして液体噴射記録ヘッド用の基体１０１を作
製することができる。 更に、基体１０１上に厚さ５０μｍの感光性樹脂ドライ
フィルム４００を積層して所定のパターンマスクによる
露光と現像を行うことにより第４図に示すように、熱作
用面１１２に対応して、吐出口４０２、液路４０１及び
共通液室４０４を形成し、更にそのフィルム４００上に
エポキシ系接着剤を介してガラス製の天板４０５を積層
して液体噴射記録ヘッドを作製することができる。 なお、吐出口４０２の形成は、液路４０１及び共通液室
４０４を形成した基体】０１に天板４０５を積層した段
階で、熱作用面Ｎ２の液滴吐出時における液体の流れに
おける下流側所定位置を切断して行っでもよい。 なお、４０３は液路壁、４０６はインク供給口である。 以上説明した構成を有する液体噴射記録ヘッドにおいて
は、発熱抵抗層１０７の熱発生部１１１（こμｓｅｃ〜
数１０μｓｅｃ程度と常に短い時間で電流を印加して瞬
間的な発熱を起こした場合、支持体＋０５上の熱発生部
１１１の下側に熱伝導率の低い下部層１０６がある為、
支持体１０５側への熱の逃げを押えて、熱発生部＋１１
で発生した熱エネルギーを熱作用部にある液体に有効か
つ効率よく作用させることが可能となる。 他方、熱伝導性の低い下部層１０６の領域が最小限に構
成され、かつそれに隣接する支持体＋０５の熱伝導率が
高いので、熱発生部＋１１及びその近傍に残された熱の
支持体ｉｏｓ側への放熱性は、従来に比べ優れたものと
なっており、先に述べた問題の原因となる蓄熱を防止す
ることができる。 即ち、本発明によれば、熱伝導性の低い下部層１０６が
設けられていることによって、発熱部１１］における数
μｓｅｃ〜数ｌＯμｓｅｃ程度の非常に短い時間での発
熱時（液滴吐出のための発熱過程）には、支持体１０５
側への放熱が阻止され、効率良い熱作用面１１２側への
熱伝導が行われ易くなる。 更に、下部層１０６の周囲を熱伝導率の高い部分が取り
囲んでいるので、数１０μｓｅｃ〜数＋ｍ５ｅｃ程度の
比較的長い時間での放熱が効果的に行われ、記録ヘッド
全体の放熱性が向上している。 実施例２ 第５図及び第６図は、本発明による他の実施例を示すも
のである。 本実施例における電気熱変換体を有する基体の作製は、
例えば以下に述べる方法によって行なうことができる。 まず、支持体１０５であるＳｉウェハ（熱伝導率、１４
８Ｗ／ｍ・ｋ　（３［１０ｋｌ　）上に５ｉＯｚ層（熱
伝導率、１．３８Ｗ／ｍ−ｋ（３００ｋ））をＣＶＤ　
（化学的気相成長）で１ｕ厚に形成する。 この場合の５ｉＯｚ層の層厚は、０．１ｕ〜５０騨の範
囲とすることができる。 次にフォトリソ（フォトリソグラフィ）工程により、幅
３４μｍ、長さ１５４μｍの島状のＳｉＯ□層１０６（
第５図に破線で示す）を熱発生部（ヒータ）ｌ！１と同
じピッチに形成する。 次に、上述の島状のＳｉＯ□層１０６をフォトレジスト
でマスキングし、Ｓｉｎ、よりも熱伝導性の良い材料、
例えばＳｉＣの９１０６’　　（熱伝導率、７０Ｗ／ｍ
−ｋ　（３０Ｏｋ））をＣＶＤ　（化学的気相成長）で
Ｉμｍ厚に形成する。その後、前述の島状のＳｉＯ□に
マスキングしたフォトレジストを現像液で除去する。 更に、下部層１０６及び１０６゛上に実施例１と同じ方
法により、ＨｆＢ□の発熱抵抗８１０７　、続いてＴｉ
層、Ａ４層からなる共通電極１０３と選択電極１０４と
を形成する。 以下前述した実施例１と同じ方法により記録ヘッドを作
製できる。 この構成の記録ヘッドでは、熱発生部１１１及びその近
傍からの放熱は、下部層１０６゛を有する支持体側に効
果的に行われる。 なお、本発明の液体噴射ｉｃ！録ヘッド及び該記録ヘッ
ド用基体の構成は、熱発生部の下部に位置する支持体の
領域の熱伝導率と、それ以外の領域の熱伝導率とを異な
らせる構成以外は、上述の図示した例に限定されず、種
々の構成を取り得る。 例えば、上記の例は、熱発生部に液体が供給される方向
と、吐出口から液体が吐出される方向とがほぼ同一な構
成を有しているが、これらの方向が、例えば直角等、異
なるものであってもよい。 本発明の液体噴射記録ヘッドを搭載した液体噴射記録装
置の一例を第８図に示す。 図において、２０はプラテン２４上に送紙されてきた記
録紙の記録面に対向してインク吐出を行う吐出口群を備
えた液体噴射記録ヘッド（インクジェットヘッドカート
リッジ：ＩＪＣ）である。 １６は記録ヘッド２０を保持するキャリッジ（ＩＣ）で
あり、駆動モータ１７の駆動力を伝達する駆動ベルト１
８の一部と連結し、互いに平行に配設された２本のガイ
ドシャフト１９Ａおよび１９Ｂと摺動可能とすることに
より、記録ヘッド２０の記録紙の全幅にわたる往復運動
が可能となる。 ２６はヘッド回復装置であり、記録ヘッド２０の移動経
路の一端、例えばホームポジションと対向する位置に配
設される。伝導機構２３を介したモータ２２の駆動力に
よって、ヘッド回復装置２６を作動させ、記録ヘッド２
０のキャッピングを行う、このヘッド回復装置２６のキ
ャップ部２６Ａによる記録ヘッド２ｏへのキャッピング
に関連させて、ヘッド回復装置２６内に設けた適宜の吸
引手段によるインク吸引もしくは記録ヘッド２０へのイ
ンク供給経路に設けた適宜の加圧手段によるインク圧送
を行い、インクを吐出口より強制的に排出させることに
より記録ヘッドの吐出口や液路内からの増粘インクの除
去等の吐出回復処理を行う、また、記録終了時等にキャ
ッピングを施すことにより記録ヘッドが保護される。 ３１はヘッド回復ｌ［２６の側面に配設され、シリコン
ゴムで形成されるワイピング部材としてのブレードであ
る。ブレード３１はブレード保持部材３１Ａにカンチレ
バー形態で保持され、記録ヘッド回復装置２６と同様、
モータ２２及び伝導機構２３によって動作し、記録ヘッ
ド２０の吐出面との係合が可能となる。これにより、記
録ヘッド２０の記録動作における適切なタイミングで、
あるいはヘッド回復装置２６を用いた吐出回復処理後に
、ブレード３】を記録ヘッド２０の移動経路中に突出さ
せ、記録ヘッド２０の移動動作にともなって記録ヘッド
２ｏの吐出面における結露、濡れあるいは塵埃等をふき
取る。 本発明は、液体噴射記録方式のなかでも、特にキャノン
株式会社が提唱するところのバブルジェット方式の記録
ヘッド、記録装置において優れた効果をもたらすもので
ある。 その代表的な構成や原理については、例えば、米国特許
第４７２３１２９号明細書、同第４７４０７９６号明細
書に開示されている基本的な原理を用いて行うものが好
ましい、この方式は所謂オンデマンド型、コンティニュ
アス型のいずれにも適用可能出あるが、特に、オンデマ
ンド型の場合には、液体（インク）が保持されているシ
ートや液路に対応して配置されている電気熱変換体に、
記録情報に対応していて核沸騰を越える急速な温度上昇
を与える少なくとも一つの駆動信号を印加することによ
って電気熱変換体に熱エネルギーを発生させ、記録ヘッ
ドの熱作用面に膜沸騰させて、結果的にこの駆動信号に
一対一で対応した液体（インク）内の気泡を形成できる
ので有効出ある。この気泡の成長、収縮により吐出用開
口を介して液体（インク）を吐出させて、少なくとも一
つの液滴な形成する。この駆動信号をパルス形状とする
と、即時適切に気泡の成長、収縮が行われるので、特に
応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成でき、より
好ましい。このパルス形状の駆動信号としては、米国特
許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明
細書に記載されているようなものが適している。なお、
上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４
３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用する
と、更に優れた記録を行うことができる。 記録ヘッドの構成としては、上述の各明細書に開示され
ているような吐出口、液路、電気熱変換体の組合せ構成
（直線状液路または直角液路）の他に熱作用部が屈曲す
る領域に配置されている構成を開示する米国特許第４５
５８３３３号明細書、同第４４５’３６００号明細書の
構成も本発明に適用可能である。加えて、複数の電気熱
変換体に対して、共通するスリットを電気熱変換体の吐
出部とする構成を開示する特開昭５９−１２３６７０号
公報や熱エネルギーの圧力波を吸収する開孔な吐出部に
対応させた構成を開示する特開昭５９−１３８４６１号
公報に基いた構成としても本発明は有効である。 更に、記録装置が記録できる記録媒体の最大幅に対応し
た長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドとしては
、上述した明細書に開示されているような複数の記録ヘ
ッドの組合せによって、その長さを満たす構成や、一体
向に形成された一個の記録ヘッドとしての構成のいずれ
でもよいが、何れの構成においても本発明は上述した効
果を一層有効に発揮することができる。 加えて、装置本体に装着されることで、装置本体との電
気的な接続や装置本体からのインクの供給が可能になる
交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘ
ッド自体にインクタンクが一体的に設けられたカートリ
ッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効
である。 また、本発明の記録装置の構成として設けることができ
る、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助手段
等を付加することは本発明の効果を一層安定できるので
好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記録
ヘッドに対しての、キャッピング手段、クリーニング手
段、加圧または吸引手段、電気熱変換体またはこれとは
別の加熱素子、あるいはこれらの組合せによる予備加熱
手段等があり、また、記録とは別の吐出を行う予備吐出
モードを行う構成を付加することも安定した記録を行う
ために有効である。 更に、記録装置の記録モードとしては黒色等の主流色の
みの記録モードだけではなく、１つの記録ヘッド中に異
なる色の印字を行うヘッド部の複数を一体的に構成する
ことにより、あるいは異なる色を印字する複数個の記録
ヘッドを組合せることにより、異なる色の複色カラーま
たは、混色によるフルカラーの少なくとも１つを備えた
装置にも本発明は極めて有効である。 以上説明した本発明の実施例においては、インクを液体
として説明しているが、インクは固体状態や軟化状態に
ある、あるいはこれらの状態を取り得るもので、記録信
号付与時等の必要時に液状となるものであってもよい。 例えば、室温やそれ以下の温度で固化あるいは軟化状態
にあり、液体噴射記録において一般的に行われている温
度調整における３０℃〜７０℃の温度範囲で液滴吐出に
必要な液状となるものなどが利用できる。 なお、熱エネルギーの付与によって液化するインクとし
ては１、例えば、熱エネルギーによる記録ヘッドの昇温
を、昇温の原因となる熱エネルギーをインクの固形状態
から液体状態への態度化のエネルギーとして積極的に転
用することによってさらに確実に防止するためのに用い
るインクや、インクの蒸発防止を目的として放置状態で
固化するインク、記録信号に応じた熱エネルギーの付与
によって液化して吐出されるインク、記録媒体に到達す
る時点ではすでに固化するインクなどを挙げることがで
きる。 このような場合において、インクは、特開昭５４−５６
８４７号公報、あるいは特開昭６０−７１２６０号公報
に記載されているような多孔質シートの凹部または貫通
孔に液状または固形物として保持された状態で、電気熱
変換体に対して対向するような形態としても良い０本発
明においては、上述した各インクに対して最も有効なも
のは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。 ［発明の効果１ 本発明によれば、熱発生部の下に熱伝導率の低い下部層
が設けられていることによって、熱エネルギー発生体の
熱発生部から液体の吐出のための熱エネルギーを発生さ
せた際には、基体の支持体側への熱の逃げが効果的に阻
止され、熱作用面側に効率良くこれを伝導させ、記録ヘ
ッドの熱作用部にある液体に有効かつ効率よく作用させ
ることができる。 また、ヘッド内での蓄熱によるヘッド温度の昇温に関し
ては、熱伝導性の低い下部層の面積を熱発生部の下の領
域のみと必要最小限とし、かつそれに隣接する支持体領
域の熱伝導率を高くしたことにより、記録ヘッドの支持
体側への放熱性が良くなり、ヘッド温度の上昇を極めて
低くおさえることが可能となる。 この様に、記録ヘッド内での蓄熱による記録ヘッド温度
の上昇がない、あるいは十分に低く抑えられた記録ヘッ
ドでは、液滴を吐出させる駆動周波数を高くしても、ヘ
ッド温度の上昇が十分に小さく、従来の記録ヘッドにお
けるような発泡過大による不吐出等を防ぐことができ、
高周波数駆動においても、安定した記録が可能となる。 また、従来のヘッドでは、熱エネルギー発生体の熱発生
部（ヒーター）への印加パルス数に比例してヘッド温度
の上昇が著しい為に、行の「書き始めＪと「書き終わり
」で液滴吐出体積が異なっていたり、またマルチノズル
ヘッドでは、１本だけ吐出している場合と全ノズル吐出
している場合とで液滴吐出体積が異なり、印字濃度（オ
プティカルデンシティ）が変わり、それが印字品位を損
ねる原因となっていた。 これに対し、本発明では、前述の如くヘッド温度の上昇
を極めて低くおさえることが出来ろ為に、安定した液滴
吐出体積が得られ、濃度ムラ等のない高品位の画像を得
ることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本発明の第１実施例の基板作成の工程
を示し、第１図、第２図（Ａ）、第３図（Ａ）はその平
面図、第２図（８）、第３図（Ｂ）は対応する各図（＾
）のＸ−Ｙ線に沿う断面図、第４図は第１実施例の液体
噴射記録ヘッドの完成時の内部構成を示す斜視図、第５
図は本発明の第２実施例の基板作成工程の平面図、第６
図は第２実施例の基板作成工程の断面図、第７図（Ａ）
は従来の液体噴射記録ヘッドの一例の構成を示す要部正
面図、第７図（Ｂ）は第７図（Ａ）のＸ−Ｙ線に沿う要
部断面図、第８図は液体噴射記録の一例の斜視図である
。 １０１　、１５・・・基体　　　＋０２・・・熱発生面
ＩＩ、　１０３・・・共通電極　　１２．１０４・・・
選択電極２　、１０５・・・支持体　　　３　、１０６
．１０６’・・・下部層４　、１０７・・・発熱抵抗層 ５゜１０８・・・第１の上部保護層 １０９・・・第３の上部保護層 ＋１０・・・第２の上部保護層 ６　、　Ｉｌｌ・・・熱発生部 ４０１・・・液路 ４０２・・・吐出口　　　　４０３・・・液路壁４０４
・・・共通液室　　　４０５・・・天板４０６・・・液
体供給口

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、支持体と、該支持体上に設けられ、液体を吐出する
   ために利用される熱エネルギーを熱発生部から発生する
   熱エネルギー発生体とを有する液体噴射記録ヘッド用基
   体において、前記支持体の前記熱エネルギー発生体の熱
   発生部の下部領域の熱伝導率を、それ以外の領域の熱伝
   導率よりも小さくしたことを特徴とする液体噴射記録ヘ
   ッド用基体。 ２、請求項１に記載の液体噴射記録ヘッド用基体上に、
   該基体が有する熱発生部に対応して、液体の吐出口に連
   通する液路を設けた構成を有し、該熱発生部で発生する
   熱エネルギーを前記吐出口から液体を吐出するために利
   用することを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 ３、被記録部材の記録領域の全幅にわたって前記吐出口
   が複数設けられている請求項２に記載の液体噴射記録ヘ
   ッド。 ４、請求項２に記載の液体噴射記録ヘッドと該ヘッドを
   載置する部材とを有することを特徴とする液体噴射記録
   装置。