JPH0372165B2 - - Google Patents
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- JPH0372165B2 JPH0372165B2 JP58098255A JP9825583A JPH0372165B2 JP H0372165 B2 JPH0372165 B2 JP H0372165B2 JP 58098255 A JP58098255 A JP 58098255A JP 9825583 A JP9825583 A JP 9825583A JP H0372165 B2 JPH0372165 B2 JP H0372165B2
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- dielectric
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- dielectric constant
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
産業上の利用分野
本発明は誘電体磁器組成物、とくに酸化バリウ
ム(BaO)、酸化マグネシウム(MgO)、酸化タ
ンタル(Ta2O5)および酸化チタン(TiO2)の
成分で構成される誘電体共振器用磁器に関するも
のである。 従来例の構成とその問題点 近年、波長が数cm以下のマイクロ波やミリ波
(以下これらをマイクロ波と総称する)を取扱う
高周波回路の技術の進展にともない、この回路を
小形化することが積極的に進められている。これ
までは、この高周波回路には空胴共振器、アンテ
ナなどが使用されてきたが、これらの大きさはマ
イクロ波の波長と同程度となるため、小形化に対
する障害となつていた。これを解決するために、
誘電率の大きい誘電体磁器を使用することによつ
て波長そのものを短縮する方法がとられてきた。
このような用途に適する材料としてはTiO2系の
ものがよく使用され、たとえばTiO2−ZrO2−
SnO2系、CaTiO3−MgTiO3−La2O3・2TiO2系
最近ではBa((Zn1/3Nb2/3)O3−Ba(Zn1/3Ta1/3)
O3などの誘電体磁器が知られている。しかしな
がら、これらの材料で誘電体共振器を作つた場合
には比誘電率が20〜40程度と低いため、たとえば
共振周波数が約11GHzのX帯の誘電体共振器では
比誘電率εr=30の材料を使用したとき直径5.6mm、
厚さ2.2mm程度の小さなユニツトになるが、周波
数が下つて2GHz程度のUH帯での使用となると、
同じ比誘電率εr=30の材料の場合には直径が30.7
mm、厚さが12.3mm程度と形状がいちじるしく大き
くなる。ここで、使用する材料の比誘電率が80程
度に大きくなれば、その大きさを直径18.8mm、厚
さ7.5mm程度と小形化することができるが、従来
の材料ではこのような要望を満足させることはで
きなかつた。 発明の目的 本発明は比誘電率(εr)が大きく、無負荷Q
(Qu)が大きく、安定した温度係数を広範囲に変
化させうる誘電体磁器を提供しようとするもので
ある。 発明の構成 本発明は、Ba(Mg1/3Ta2/3)1-xTixO3と表わさ
れる組成物であつて、その組成が0.01≦x≦0.5
(モル分率)の範囲にあることを特徴とするもの
で、上述の問題点を解決した高周波用誘電体磁器
を提供する。 実施例の説明 出発原料には化学的に高純度のBaCO3、MgO、
Ta2O5およびTiO2を所定の組成になるよう秤量
し、めのうボールを備えたゴム内張りのボールミ
ルで純水とともに湿式混合した。この混合物をボ
ールミルからとり出して乾燥したのち、空気中に
おいて1100℃の温度で2時間仮焼した。仮焼物を
純水とともに前記のボールミル中で湿式粉砕し
た。粉砕泥しようを脱水乾燥したのち、粉末にバ
インダーとして濃度6%のポリビニールアルコー
ル溶液を8重量%添加して均質としたのち、32メ
ツシユのふるいを通して整粒した。整粒粉体は金
型と油圧プレスを用いて成形圧力800Kg/cm2で直
径20mm、厚さ約8mmの円板に成形した。成形体を
高純度のアルミナさや鉢の中に入れ、組成に応じ
て空気中において1200〜1600℃を範囲内の温度で
2時間保持して焼成し、下表に示す配合組成の誘
電体磁器を得た。得られた磁器素子を使用して誘
電体共振器法による測定から共振周波数と無負荷
Q(Qu)と比誘電率(εr)を求めた。共振周波数
の温度依存性は−30℃から70℃の範囲で測定し温
度係数(τf)を求めた。共振周波数は2〜4GHz
であつた。これらの実験結果を下表に示す。な
お、表において*印をした試料は本発明の範囲外
の比較例であり、こえ以外の試料が本発明の範囲
内の実施例である。
ム(BaO)、酸化マグネシウム(MgO)、酸化タ
ンタル(Ta2O5)および酸化チタン(TiO2)の
成分で構成される誘電体共振器用磁器に関するも
のである。 従来例の構成とその問題点 近年、波長が数cm以下のマイクロ波やミリ波
(以下これらをマイクロ波と総称する)を取扱う
高周波回路の技術の進展にともない、この回路を
小形化することが積極的に進められている。これ
までは、この高周波回路には空胴共振器、アンテ
ナなどが使用されてきたが、これらの大きさはマ
イクロ波の波長と同程度となるため、小形化に対
する障害となつていた。これを解決するために、
誘電率の大きい誘電体磁器を使用することによつ
て波長そのものを短縮する方法がとられてきた。
このような用途に適する材料としてはTiO2系の
ものがよく使用され、たとえばTiO2−ZrO2−
SnO2系、CaTiO3−MgTiO3−La2O3・2TiO2系
最近ではBa((Zn1/3Nb2/3)O3−Ba(Zn1/3Ta1/3)
O3などの誘電体磁器が知られている。しかしな
がら、これらの材料で誘電体共振器を作つた場合
には比誘電率が20〜40程度と低いため、たとえば
共振周波数が約11GHzのX帯の誘電体共振器では
比誘電率εr=30の材料を使用したとき直径5.6mm、
厚さ2.2mm程度の小さなユニツトになるが、周波
数が下つて2GHz程度のUH帯での使用となると、
同じ比誘電率εr=30の材料の場合には直径が30.7
mm、厚さが12.3mm程度と形状がいちじるしく大き
くなる。ここで、使用する材料の比誘電率が80程
度に大きくなれば、その大きさを直径18.8mm、厚
さ7.5mm程度と小形化することができるが、従来
の材料ではこのような要望を満足させることはで
きなかつた。 発明の目的 本発明は比誘電率(εr)が大きく、無負荷Q
(Qu)が大きく、安定した温度係数を広範囲に変
化させうる誘電体磁器を提供しようとするもので
ある。 発明の構成 本発明は、Ba(Mg1/3Ta2/3)1-xTixO3と表わさ
れる組成物であつて、その組成が0.01≦x≦0.5
(モル分率)の範囲にあることを特徴とするもの
で、上述の問題点を解決した高周波用誘電体磁器
を提供する。 実施例の説明 出発原料には化学的に高純度のBaCO3、MgO、
Ta2O5およびTiO2を所定の組成になるよう秤量
し、めのうボールを備えたゴム内張りのボールミ
ルで純水とともに湿式混合した。この混合物をボ
ールミルからとり出して乾燥したのち、空気中に
おいて1100℃の温度で2時間仮焼した。仮焼物を
純水とともに前記のボールミル中で湿式粉砕し
た。粉砕泥しようを脱水乾燥したのち、粉末にバ
インダーとして濃度6%のポリビニールアルコー
ル溶液を8重量%添加して均質としたのち、32メ
ツシユのふるいを通して整粒した。整粒粉体は金
型と油圧プレスを用いて成形圧力800Kg/cm2で直
径20mm、厚さ約8mmの円板に成形した。成形体を
高純度のアルミナさや鉢の中に入れ、組成に応じ
て空気中において1200〜1600℃を範囲内の温度で
2時間保持して焼成し、下表に示す配合組成の誘
電体磁器を得た。得られた磁器素子を使用して誘
電体共振器法による測定から共振周波数と無負荷
Q(Qu)と比誘電率(εr)を求めた。共振周波数
の温度依存性は−30℃から70℃の範囲で測定し温
度係数(τf)を求めた。共振周波数は2〜4GHz
であつた。これらの実験結果を下表に示す。な
お、表において*印をした試料は本発明の範囲外
の比較例であり、こえ以外の試料が本発明の範囲
内の実施例である。
【表】
*印は本発明範囲外の比較例であ
る。
**印は周波数1MHzでの値を示す。
表から明らかなように、本発明の範囲内の誘電
体磁器はマイクロ波周波数帯において、比誘電率
を大きくすることができるとともに無負荷Qも大
きい値を示し、しかも安定した温度特性を示して
いる。したがつて、本発明の誘電体磁器は発振器
や共振器の温度依存性を安定化するのに有用であ
り、とくに比誘電率が大きいことからUHF帯で
の使用に適し、小形で高性能の電子回路部品を作
ることができる。また、材料組成を変えることに
よつて広い範囲で任意のτfを選択できるので、こ
の磁器で誘電体共振器を組立てたとき周囲の金属
板などによる温度特性におよぼす影響をなくする
温度補償作用をもたせることができる。 以上のような顕著な効果が得られるのは、本発
明が、ABO3で表わされるペロブスカイトのBサ
イトを、MgとTaの複合体(Mg1/3Ta2/3)で置換
するという、従来にない概念に基づくことによ
る。すなわち、従来知られた単元素による置換か
らは予測できない新たな効果が、複合体による置
換で得られたものである。 本発明の組成範囲を限定した理由を説明する
と、TiO2量(x)が0.5モル分率を超える組成の
磁器では比誘電率(εr)の向上がみられるが、マ
イクロ周波数帯での共振が微弱となり、無負荷Q
(Qu)の低下がいちじるしくなるため、本発明の
範囲から除かれる。また、x<0.01の磁器は比誘
電率(εr)が小さくて、本発明の目的に合致しな
いために、本発明の範囲から除かれる。 発明の効果 本発明の誘電体磁器組成物はマイクロ波周波数
帯において比誘電率が大きく、無負荷Qが大き
く、さらに共振周波数の温度係数が安定した値を
示すので、発振器や共振器などの温度依存性を安
定化するのに有用なものである。また、比誘電率
が大きいことからUHF帯での使用に適し、小形
で高性能の電子回路部分を作ることができる。ま
た、組成によつて所望の共振周波数の温度係数を
選択できるので温度補償作用を利用することがで
きる。 以上のように本発明の誘電体磁器組成物はマイ
クロ波の誘電体共振器として有用であるばかりで
なく、マイクロ波IC用基板や誘電体調整棒など
にも有用な素材を提供することができ、工業的に
利用価値の大きいものである。
る。
**印は周波数1MHzでの値を示す。
表から明らかなように、本発明の範囲内の誘電
体磁器はマイクロ波周波数帯において、比誘電率
を大きくすることができるとともに無負荷Qも大
きい値を示し、しかも安定した温度特性を示して
いる。したがつて、本発明の誘電体磁器は発振器
や共振器の温度依存性を安定化するのに有用であ
り、とくに比誘電率が大きいことからUHF帯で
の使用に適し、小形で高性能の電子回路部品を作
ることができる。また、材料組成を変えることに
よつて広い範囲で任意のτfを選択できるので、こ
の磁器で誘電体共振器を組立てたとき周囲の金属
板などによる温度特性におよぼす影響をなくする
温度補償作用をもたせることができる。 以上のような顕著な効果が得られるのは、本発
明が、ABO3で表わされるペロブスカイトのBサ
イトを、MgとTaの複合体(Mg1/3Ta2/3)で置換
するという、従来にない概念に基づくことによ
る。すなわち、従来知られた単元素による置換か
らは予測できない新たな効果が、複合体による置
換で得られたものである。 本発明の組成範囲を限定した理由を説明する
と、TiO2量(x)が0.5モル分率を超える組成の
磁器では比誘電率(εr)の向上がみられるが、マ
イクロ周波数帯での共振が微弱となり、無負荷Q
(Qu)の低下がいちじるしくなるため、本発明の
範囲から除かれる。また、x<0.01の磁器は比誘
電率(εr)が小さくて、本発明の目的に合致しな
いために、本発明の範囲から除かれる。 発明の効果 本発明の誘電体磁器組成物はマイクロ波周波数
帯において比誘電率が大きく、無負荷Qが大き
く、さらに共振周波数の温度係数が安定した値を
示すので、発振器や共振器などの温度依存性を安
定化するのに有用なものである。また、比誘電率
が大きいことからUHF帯での使用に適し、小形
で高性能の電子回路部分を作ることができる。ま
た、組成によつて所望の共振周波数の温度係数を
選択できるので温度補償作用を利用することがで
きる。 以上のように本発明の誘電体磁器組成物はマイ
クロ波の誘電体共振器として有用であるばかりで
なく、マイクロ波IC用基板や誘電体調整棒など
にも有用な素材を提供することができ、工業的に
利用価値の大きいものである。
Claims (1)
- 1 酸化バリウムと酸化マグネシウムと酸化タン
タルと酸化チタンとからなり、その組成式をBa
(Mg1/3Ta2/3)1-xTixO3と表わしたとき、その成分
組成がモル分率で0.01≦x≦0.5の範囲にあるこ
とを特徴とする誘電体磁器組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58098255A JPS59224005A (ja) | 1983-06-01 | 1983-06-01 | 誘電体磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58098255A JPS59224005A (ja) | 1983-06-01 | 1983-06-01 | 誘電体磁器組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59224005A JPS59224005A (ja) | 1984-12-15 |
JPH0372165B2 true JPH0372165B2 (ja) | 1991-11-15 |
Family
ID=14214846
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58098255A Granted JPS59224005A (ja) | 1983-06-01 | 1983-06-01 | 誘電体磁器組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59224005A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007116471A1 (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Fujitsu Limited | 容量素子 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5360544A (en) * | 1976-11-11 | 1978-05-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Dielectric resonator |
-
1983
- 1983-06-01 JP JP58098255A patent/JPS59224005A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5360544A (en) * | 1976-11-11 | 1978-05-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Dielectric resonator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS59224005A (ja) | 1984-12-15 |
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