JPH0357417Y2 - - Google Patents

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JPH0357417Y2
JPH0357417Y2 JP1984111862U JP11186284U JPH0357417Y2 JP H0357417 Y2 JPH0357417 Y2 JP H0357417Y2 JP 1984111862 U JP1984111862 U JP 1984111862U JP 11186284 U JP11186284 U JP 11186284U JP H0357417 Y2 JPH0357417 Y2 JP H0357417Y2
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Japan
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workpiece
workpieces
tray
processed
unprocessed
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Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、ラツピングやポリツシング、研削な
どのようにワークの表裏両面を同時に精密加工す
るための平面研摩装置に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] Industrial Application Field The present invention relates to a flat surface polishing device for precision processing both the front and back surfaces of a workpiece at the same time, such as wrapping, polishing, and grinding.

従来の技術 従来のこの種研摩装置として、回転する内歯歯
車と太陽歯車との間にキヤリヤを噛合させ、この
キヤリヤに保持させたワークを上下の定盤によつ
て加工するようにしたものは知られているが、か
かる研摩装置は、ワークの保持にキヤリヤを使用
していたため、該キヤリヤばかりでなくそれを駆
動するための内歯歯車や太陽歯車及びそれらに関
連する部材を必要とし、構造が複雑化且つ大形化
すると同時に、ワークの装填及び取出しが煩雑で
その作業に非常に多くの手数を必要とするという
欠点があつた。
Prior Art A conventional polishing device of this type has a carrier meshed between a rotating internal gear and a sun gear, and the workpiece held by the carrier is processed by upper and lower surface plates. However, since such a polishing device uses a carrier to hold the workpiece, it requires not only the carrier but also an internal gear, a sun gear, and related parts to drive it, and the structure is poor. At the same time, the loading and unloading of workpieces is complicated and requires a great deal of effort.

ワークの装填及び取出しを自動化するについて
も、キヤリヤとワークとを同時にあるいは別々に
掴むようにする必要があるため、掴持機構やその
コントロール機構が複雑化し、簡易な構成でその
自動化を図ることは困難である。しかも、例えば
特開昭55−48573号広報に開示された公知のワー
ク自動交換装置に観られるように、ワーク(キヤ
リヤ)を一枚ずつ順次取出し且つ装填するように
したのでは、交換に時間がかかり、その間研摩が
中断されて非能率的である。
In order to automate the loading and unloading of workpieces, it is necessary to grip the carrier and the workpiece at the same time or separately, which makes the gripping mechanism and its control mechanism complicated, and it is difficult to automate it with a simple configuration. Have difficulty. Moreover, if the workpieces (carriers) are taken out and loaded one by one, as seen in the known automatic workpiece changer disclosed in JP-A No. 55-48573, for example, it takes time to change the workpieces (carriers) one by one. During this time, polishing is interrupted, which is inefficient.

考案が解決しようとする問題点 本考案は、キヤリヤを使用することなくワーク
の両面加工を可能にし、それによつて研摩装置の
構造の簡略化を図ると共に、ワークの装填及び取
出しの自動化を簡易な構造で効率的に実現できる
ようにすることを課題とする。
Problems to be Solved by the Invention The present invention enables double-sided machining of a workpiece without using a carrier, thereby simplifying the structure of the polishing device, and simplifying the automation of loading and unloading of the workpiece. The challenge is to make it possible to achieve this efficiently with the structure.

問題点を解決するための手段 上記課題を解決するため、本考案の平面研摩装
置は、駆動源により強制回転可能に配設され、一
定間隔で円周状且つ水平に配列された多数の円板
状のワークを片寄つた位置で加工面からはみ出し
た状態に挟持して加工する円環状の上下の定盤
と、上記ワークの側面に当接して各ワークを定位
置に支持する回転自在のガイドリング及びガイド
ローラと、定盤と同心位置において一定ピツチず
つ回転可能に配設され、上記ワークと同数のワー
ク収容部を円周状に備えた加工済ワーク取出用ト
レーと、定盤と同心位置において一定ピツチずつ
回転可能に配設され、上記ワークと同数のワーク
収容部を円周状に備えた未加工ワーク分配用トレ
ーと、定盤の回りに一定間隔で昇降自在に配設さ
れ、加工の終了したワークを掴持して上記加工済
ワーク取出用トレーに収容すると共に、上記未加
工ワーク分配用トレーに収容されている未加工ワ
ークを掴持して加工位置に装填するワークと同数
のワーク掴みアームと、上記加工済ワーク取出用
トレーの各収容部に収容された加工済ワークの搬
出と、未加工ワーク分配用トレーの各収容部への
未加工ワークの搬入とを行うワークの搬出搬入機
構とを有するものとして構成したことを特徴とす
るものである。
Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the surface polishing device of the present invention consists of a large number of circularly arranged horizontally arranged circular plates at regular intervals, which are arranged to be forcibly rotated by a drive source. Annular upper and lower surface plates that clamp and process workpieces in an offset position protruding from the processing surface, and rotatable guide rings that contact the sides of the workpieces and support each workpiece in a fixed position. and a guide roller, a tray for taking out processed workpieces, which is disposed so as to be rotatable by a constant pitch at a position concentric with the surface plate, and has the same number of workpiece accommodating parts as the workpieces in a circumferential shape, and a tray for taking out processed workpieces, which is arranged concentrically with the surface plate. A tray for distributing unprocessed workpieces is arranged so as to be rotatable at a constant pitch, and has the same number of workpiece accommodating parts as the above-mentioned workpieces in a circumferential shape. A number of works equal in number to the number of workpieces to be grasped and stored in the processed workpiece take-out tray, and to be loaded into the processing position by grasping the unprocessed workpieces accommodated in the unprocessed workpiece distribution tray. A gripping arm and a workpiece carrying/unloading unit that carries out the processed workpieces stored in the respective housing sections of the processed workpiece retrieval tray, and carries the unprocessed workpieces into the respective housing sections of the unprocessed workpiece distribution tray. The invention is characterized in that it is configured as having a mechanism.

作 用 ワークを挟持した状態で上下の定盤を同方向に
回転させると、該ワークには、それが片寄つた位
置で定盤に挟持されているため、該定盤の回転方
向に応じた回転が与えられ、該ワークは、ガイド
リング及びガイドローラに支持された状態で定位
置で自転しながら加工される。
Effect When the upper and lower surface plates are rotated in the same direction while holding a workpiece, the workpiece will rotate in accordance with the direction of rotation of the surface plate because it is held between the surface plates in an offset position. is given, and the workpiece is machined while rotating in a fixed position while being supported by a guide ring and guide rollers.

加工が終了して定盤が停止すると、各掴みアー
ムにおける掴持部が上下の定盤間にはみ出し状態
に挟持されているワークを一斉に掴持し、上定盤
が上昇した後該ワークを持上げて加工済ワーク取
出用トレーにおける収容部に収容する。続いて、
該掴みアームは、未加工ワーク分配用トレーに載
置されている未加工ワークを掴持し、該未加工ワ
ークを下定盤上の所定の位置に装填する。この装
填が完了すると、上定盤が下降し、ワークを挟持
してワークの加工が開始される。
When the processing is completed and the surface plate stops, the gripping parts of each gripping arm simultaneously grasp the workpieces that are sandwiched between the upper and lower surface plates, and after the upper surface plate rises, the workpieces are removed. It is lifted and stored in the storage section of the processed workpiece take-out tray. continue,
The gripping arm grips and holds the unprocessed workpiece placed on the unprocessed workpiece distribution tray, and loads the unprocessed workpiece into a predetermined position on the lower surface plate. When this loading is completed, the upper surface plate descends, clamps the workpiece, and begins machining the workpiece.

上記ワークの加工が行われている間、上記二つ
のトレーが1ピツチずつ回転し、搬出搬入機構に
よつて、加工済ワーク取出用トレーの各収容部に
収容されている加工済ワークの搬出と、未加工ワ
ーク分配用トレーの各収容部への未加工ワークの
搬入とが行われる。
While the workpiece is being processed, the two trays rotate one pitch at a time, and the unloading/unloading mechanism unloads the processed workpieces stored in each storage section of the processed workpiece take-out tray. , and the unprocessed work is carried into each storage section of the unprocessed work distribution tray.

効 果 ワークの支持にキヤリヤを使用する必要がない
ため、該キヤリヤを駆動するための内歯歯車や太
陽歯車、それらに関連する駆動源や動力伝達機構
等を全て省略することができ、しかも、上下の定
盤によりワークを片寄つた位置で加工面からはみ
出した状態に挟持して加工することにより、加工
力を利用してワークを自然に自転させるようにし
ているため、該ワークを強制的に回転させる機構
等を設ける必要もなく、その結果、装置の構成を
従来の両面研摩装置に比べて非常に簡略化するこ
とができると同時に小形化することができる。
Effects: Since there is no need to use a carrier to support the workpiece, the internal gear and sun gear for driving the carrier, as well as the related drive sources and power transmission mechanisms, etc., can all be omitted. By holding the workpiece in an offset position and protruding from the machining surface between the upper and lower surface plates, the workpiece is rotated naturally using machining force, so the workpiece is not forced to rotate. There is no need to provide a rotating mechanism or the like, and as a result, the configuration of the device can be much simpler and more compact than conventional double-side polishing devices.

さらに、キヤリヤを不要にしたことにより、ワ
ークの装填及び取出し時に従来のようにキヤリヤ
とワークとを同時に掴んで一緒に交換する必要が
なく、ワークだけを掴んで交換すればよく、しか
も、交換時のワークの位置決めをする場合に、キ
ヤリヤを使用する場合のように公転位置と自転角
度とを同時に検出する必要がなく、公転位置だけ
を検出すればよいため、簡単な掴持機構及びコン
トロール機構を備えた自動化装置によつてワーク
の装填及び取出しの自動化を実現することができ
る。
Furthermore, by eliminating the need for a carrier, when loading and unloading a workpiece, there is no need to grasp the carrier and the workpiece at the same time and replace them together, as was the case in the past, but only the workpiece can be grasped and replaced. When positioning a workpiece, there is no need to detect the revolution position and rotation angle at the same time as in the case of using a carrier, and only the revolution position needs to be detected, so a simple gripping mechanism and control mechanism can be used. The automation device provided can realize automation of workpiece loading and unloading.

また、ワークと同数のワーク収容部を備えた未
加工ワーク取出用トレー及び未加工ワーク分配用
トレーを設けると共に、ワークと同数のワーク掴
みアームを設け、これら掴みアームとトレーとに
よつて加工済ワークの取出し及び未加工ワークの
装填を一斉に行うようにしたので、従来は非常に
手数と時間とを必要としていた上記ワークの取出
し及び装填作業を短時間で効率的に行うことがで
きる。
In addition, a tray for taking out unprocessed workpieces and a tray for distributing unprocessed workpieces each having the same number of workpiece accommodating parts as the workpieces are provided, and workpiece gripping arms for the same number of workpieces are provided, and these gripping arms and trays allow processing Since the workpieces are taken out and the unprocessed workpieces are loaded all at once, the workpiece removal and loading operations, which conventionally required a great deal of effort and time, can be carried out efficiently in a short time.

実施例 以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に
説明するに、第1図及び第2図において、1,
1,……は一定間隔で円周状且つ水平に配列され
た多数の穴開き円板状のワーク、2,3はこれら
のワーク1の両面を同時に加工するための円環状
の上下の定盤であつて、これらの定盤2,3は、
同心状に位置する駆動軸4,5を介してそれぞれ
図示しない駆動源に接続され、該駆動源によつて
任意の速度及び方向に強制回転されるようになつ
ており、該定盤2,3における加工面2a,3a
の幅Wはワーク1の半径より小さく形成し、該ワ
ーク1を一側に片寄つた位置において両加工面2
a,3a間にはみ出した状態に挟持し、その状態
で該ワーク1の加工を行うように構成している。
Embodiments Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail based on the drawings. In FIGS. 1 and 2, 1,
1, ... are disk-shaped workpieces with a large number of holes arranged circumferentially and horizontally at regular intervals, and 2, 3 are annular upper and lower surface plates for simultaneously processing both sides of the workpiece 1. And these surface plates 2 and 3 are
The surface plates 2, 3 are connected to a drive source (not shown) through concentric drive shafts 4, 5, and are forcibly rotated at arbitrary speeds and directions by the drive source. Machining surfaces 2a, 3a in
The width W of the workpiece 1 is formed to be smaller than the radius of the workpiece 1, and when the workpiece 1 is shifted to one side, both machining surfaces 2
The workpiece 1 is held in a protruding state between a and 3a, and the workpiece 1 is processed in that state.

上記定盤2,3の内側には、ワーク1の側面に
当接してそれを支持するガイドリング6を、駆動
軸5にベアリング7を介して支持させることによ
り回転可能に配設し、一方定盤2,3の回りに
は、上記ワーク1の側面を定盤の外側から支持す
る多数のガイドローラ8,8,……を、機台9に
立設した竪軸10,10,……上にそれぞれ回転
自在に支持させることにより一定間隔で円周状に
配設している。
Inside the surface plates 2 and 3, a guide ring 6 that comes into contact with and supports the side surface of the workpiece 1 is rotatably disposed by being supported by the drive shaft 5 via a bearing 7. Around the plates 2 and 3, a large number of guide rollers 8, 8, . They are arranged in a circumferential manner at regular intervals by being rotatably supported by each of them.

上記ガイドローラ8の上面8aは、ワーク1と
の接触面積を小さくするために外下り状のテーパ
ー面となし、また、各ガイドローラ8,8,……
の配列間隔は、加工時にワーク1が隣接する二つ
のガイドローラ8,8に同時に当接しないような
大きさに設定している。従つて、加工時における
ワーク1の支持は、上記ガイドリング6と、定盤
2,3の回転方向側に位置するガイドローラ8と
によつて行われる。
The upper surface 8a of the guide roller 8 has an outwardly downwardly tapered surface in order to reduce the contact area with the workpiece 1, and each of the guide rollers 8, 8, . . .
The arrangement interval is set to such a size that the workpiece 1 does not come into contact with two adjacent guide rollers 8, 8 at the same time during machining. Therefore, the support of the workpiece 1 during processing is performed by the guide ring 6 and the guide roller 8 located on the rotational direction side of the surface plates 2 and 3.

支柱14によつて定盤2,3の中心線上に鉛直
に支承された軸杆15には、支持枠16を昇降機
構17を介して上下動自在に取付け、該支持枠1
6に、上記ワーク1と同数のワーク掴みアーム1
8を定盤2,3の回りに一定間隔で回転自在に吊
設し、該掴みアーム18の下端にワークの掴持部
19を設けている。この掴持部19は、第3図及
び第4図からも明らかなように、基板20に固定
爪21,21とシリンダ23によつて進退自在の
可動爪22とを設け、ワーク1の中心孔1aを利
用してこれらの爪21,22の間にワーク外側縁
と中心孔1aの孔縁とを挟持するようにしたもの
である。
A support frame 16 is attached to a shaft rod 15 vertically supported by a support 14 on the center line of the surface plates 2 and 3 so as to be vertically movable via an elevating mechanism 17.
6, the same number of workpiece gripping arms 1 as the workpieces 1 above.
8 is rotatably suspended around the surface plates 2 and 3 at regular intervals, and a workpiece gripping portion 19 is provided at the lower end of the gripping arm 18. As is clear from FIGS. 3 and 4, this gripping part 19 is provided with fixed claws 21, 21 and a movable claw 22 that can move forward and backward by a cylinder 23 on a base plate 20, and has a center hole in the workpiece 1. The outer edge of the workpiece and the edge of the center hole 1a are held between these claws 21 and 22 by using the outer edge of the center hole 1a.

上記支持枠16の昇降機構17は、軸杆15に
回転自在に装着されたねじ筒24と、該ねじ筒2
4を駆動するモータ25と、支持枠16に固定的
に取付けられ、上記ねじ筒24に噛合するねじリ
ング26と、支持枠16の回り止め27とによつ
て構成されている。
The elevating mechanism 17 of the support frame 16 includes a threaded cylinder 24 rotatably mounted on the shaft rod 15, and a threaded cylinder 24 rotatably mounted on the shaft rod 15.
4, a screw ring 26 that is fixedly attached to the support frame 16 and meshes with the threaded cylinder 24, and a rotation stopper 27 for the support frame 16.

また、上記各掴みアーム18を回転させること
によつて掴持部19を内外に旋回させるため、該
掴みアーム18の上端には、それぞれスプロケツ
ト28を固定し、これらのスプロケツト28に無
端状チエーン29を巻掛け、該チエーン29をモ
ータ30によつて正逆方向に駆動可能としてい
る。
Furthermore, in order to rotate the gripping portions 19 in and out by rotating each of the gripping arms 18, sprockets 28 are fixed to the upper ends of the gripping arms 18, respectively, and endless chains 29 are connected to these sprockets 28. The chain 29 can be driven in forward and reverse directions by a motor 30.

さらに、上記軸杆15の下端には、掴みアーム
18によつて加工位置から取出された加工済ワー
クを一時的に収容するための円環状の加工済ワー
ク取出用トレー31と、加工位置へ装填すべき未
加工ワークを掴みアーム18へ分配するための円
環状の未加工ワーク分配用トレー32とを回転自
在に取付けている。これらのトレー31,32
は、それぞれ上記ワーク1と同数のワーク収容部
34,35を一定間隔で円周状に備えたもので、
上下に間隔をおいて配置したこれらのトレー3
1,32を連結部材33によつて一体に連結し、
上方に位置するトレー31の上面には内歯歯車3
6を取付け、該内歯歯車36の駆動用モータ37
を軸杆15に取付け、このモータ37によつて両
トレー31,32を一定ピツチ(例えばθ°)ずつ
駆動するように構成している。そして、加工済ワ
ーク取出用トレー31における各収容部34に
は、取出した加工済ワークが乾燥するのを防止す
るため、それぞれ水を充填している。
Further, at the lower end of the shaft rod 15, there is provided an annular processed workpiece retrieval tray 31 for temporarily storing the processed workpiece taken out from the processing position by the gripping arm 18, and a tray 31 for taking out the processed workpiece that is loaded into the processing position. An annular raw work distribution tray 32 for grasping and distributing raw work to be processed to the arm 18 is rotatably attached. These trays 31, 32
is equipped with the same number of workpiece accommodating parts 34 and 35 as the workpieces 1 in a circumferential manner at regular intervals,
These trays 3 are arranged at intervals above and below.
1 and 32 are integrally connected by a connecting member 33,
An internal gear 3 is mounted on the upper surface of the tray 31 located above.
6, and a driving motor 37 for the internal gear 36.
is attached to the shaft 15, and the motor 37 is configured to drive both trays 31, 32 at a constant pitch (for example, θ°). Each accommodating portion 34 in the tray 31 for taking out processed workpieces is filled with water in order to prevent the taken out processed workpieces from drying out.

なお、未加工ワーク分配用トレー32における
収容部35は、上記掴みアーム18によるワーク
の掴持を確実にするため、第2図に示すように、
外壁に切欠き42を設けた構造とするのが望まし
い。
In addition, in order to ensure that the workpiece is gripped by the gripping arm 18, the storage section 35 in the unprocessed workpiece distribution tray 32 is configured as shown in FIG.
It is desirable to have a structure in which a notch 42 is provided in the outer wall.

また、上記機台9の一側には、上記加工済ワー
ク取出用トレー31に収容された加工済ワークの
搬出と、未加工ワーク分配用トレー32への未加
工ワークの搬入とを行うワークの搬出搬入機構3
8を設けている。この搬出搬入機構38は、第2
図から明らかなように、テーブル40の中央に旋
回可能に配設した機体41にシリンダ等の駆動手
段によつて昇降自在且つ進退自在の水平アーム4
2を設け、該水平アーム42の先端に上記掴みア
ーム18における掴持部19と同様に構成された
ワークの掴持部43を設けたもので、上記テーブ
ル40上には、ワーク1を多段状に収納可能なカ
セツト44a,44bを機体41の回りに配設
し、加工済ワーク取出用トレー31から搬出した
加工済ワークをこれからのカセツト44aに収納
すると共に、カセツト44bに収納されている未
加工ワークを未加工ワーク分配用トレー32に搬
入するようにしている。
Further, on one side of the machine stand 9, there is a workpiece for carrying out the processed workpieces accommodated in the processed workpiece retrieval tray 31 and carrying in the unprocessed workpieces to the unprocessed workpiece distribution tray 32. Carrying in/out mechanism 3
There are 8. This carry-out/carry-in mechanism 38 is a second
As is clear from the figure, a horizontal arm 4 which is movable up and down and can be moved back and forth by a driving means such as a cylinder is attached to a body 41 that is rotatably disposed in the center of a table 40.
2, and a workpiece gripping part 43 configured similarly to the gripping part 19 of the gripping arm 18 is provided at the tip of the horizontal arm 42. Cassettes 44a and 44b that can be stored in the machine body 41 are arranged around the machine body 41, and the processed workpieces carried out from the processed workpiece take-out tray 31 are stored in the cassette 44a, and the unprocessed workpieces stored in the cassette 44b are stored in the cassette 44a. The workpiece is carried into a tray 32 for distributing unprocessed workpieces.

上記構成を有する平面研摩装置において、第1
図の状態から上定盤2を下降させ、上下の定盤
2,3間にワーク1を挟持した状態でこれらの定
盤を第2図に矢印aで示す方向に等速で回転させ
ると、各ワーク1には、それが定盤2,3によつ
て片寄つた位置で挟持されているため、矢印bで
代表的に示す方向の回転が与えられ、該ワーク1
は、ガイドリング6と定盤2,3の回転方向側に
位置するガイドローラ8とに当接し、これらのガ
イドリング6及びガイドローラ8の従属回転によ
り定位置で自転しながらその両面が同時に加工さ
れる。このとき、ワーク1は、上定盤2によつて
下定盤3に押付けられるが、ワーク1がアルミニ
ウム製の薄板のように軽量である場合には、その
重量をほとんど無視することができるため該ワー
ク1の両面にはほぼ等しい加工圧が作用している
と考えられ、従つて、該ワーク1の両面は実質的
に同一条件で加工されることになる。
In the surface polishing apparatus having the above configuration, the first
If the upper surface plate 2 is lowered from the state shown in the figure, and the workpiece 1 is held between the upper and lower surface plates 2 and 3, these surface plates are rotated at a constant speed in the direction shown by arrow a in FIG. 2. Since each workpiece 1 is held in an offset position by the surface plates 2 and 3, rotation in the direction typically shown by arrow b is applied to the workpiece 1.
is brought into contact with the guide ring 6 and the guide roller 8 located on the side in the rotational direction of the surface plates 2 and 3, and both surfaces are simultaneously processed while rotating at a fixed position due to the subordinate rotation of the guide ring 6 and guide roller 8. be done. At this time, the workpiece 1 is pressed against the lower surface plate 3 by the upper surface plate 2, but if the workpiece 1 is lightweight such as a thin aluminum plate, its weight can be almost ignored. It is considered that substantially equal machining pressure is applied to both sides of the workpiece 1, and therefore both sides of the workpiece 1 are machined under substantially the same conditions.

ワーク1の加工が完了して定盤2,3が停止す
ると、モータ25によりねじ筒24が駆動され、
上限位置に待機していた各掴みアーム18がワー
クの取出位置よりやや上方位置まで下降する。そ
して、モータ30による掴みアーム18の駆動に
よつて掴持部19が旋回し、可動爪22がワーク
1の中心を向いた状態で、固定爪21,21と可
動爪22との間にワーク1が嵌合する位置まで該
掴みアーム18が下降した後、シリンダ23によ
り可動爪22が後退して固定爪21,21との間
に該ワーク1を掴持する。(第3図) 掴みアーム18がワークを掴持すると、上定盤
2が上昇し、次いで掴みアーム18が僅かに上昇
して第4図に示すようにワーク1を持上げ、掴持
部19が外側に旋回する。そして、該掴みアーム
が加工済ワーク取出用トレー31の位置まで上昇
し、その位置で再び掴持部19が旋回して掴持し
た加工済ワークを収容部34に収容する。
When the processing of the workpiece 1 is completed and the surface plates 2 and 3 are stopped, the screw cylinder 24 is driven by the motor 25,
Each gripping arm 18, which was waiting at the upper limit position, descends to a position slightly above the workpiece take-out position. Then, the gripping part 19 is rotated by the drive of the gripping arm 18 by the motor 30, and with the movable claw 22 facing the center of the workpiece 1, the workpiece is held between the fixed claws 21, 21 and the movable claw 22. After the gripping arm 18 is lowered to a position where the movable claws 22 and the fixed claws 21, 21 are moved back by the cylinder 23, the workpiece 1 is gripped and held between the movable claws 22 and the fixed claws 21, 21. (FIG. 3) When the gripping arm 18 grips the workpiece, the upper surface plate 2 rises, and then the gripping arm 18 rises slightly to lift the workpiece 1 as shown in FIG. Pivot outward. Then, the gripping arm moves up to the position of the tray 31 for taking out the processed workpiece, and at that position, the gripping section 19 rotates again and stores the gripped processed workpiece in the storage section 34.

その後掴みアーム18は若干下降し、未加工ワ
ーク分配用トレー32の収容部35内に収容され
ている未加工ワークを同様にして掴持し、それを
下定盤2上の加工位置へ装填する。そして、この
未加工ワークの装填が完了すると、上定盤2が下
降してワークの加工が開始され、掴みアーム18
は第1図の位置へ復帰する。
Thereafter, the gripping arm 18 descends slightly, similarly grips the unprocessed workpiece accommodated in the housing portion 35 of the unprocessed workpiece distribution tray 32, and loads it into the processing position on the lower surface plate 2. When the loading of this unprocessed workpiece is completed, the upper surface plate 2 is lowered to start processing the workpiece, and the gripping arm 18
returns to the position shown in FIG.

ワークの加工がおこなわれている間、モータ3
7によりトレー31,32が1ピツチ(θ°)ずつ
間欠的に駆動され、搬出搬入機構38によつて加
工済ワーク取出用トレー31上に載置されている
加工済ワークが取上げられてカセツト44aへ収
納されると共に、他のカセツト44bに収納され
ている未加工ワークが未加工分配用トレー32へ
搬入され、それらが完了すると、該トレー31,
32は停止して待機位置をとる。
While the workpiece is being processed, the motor 3
7 intermittently drives the trays 31 and 32 one pitch (θ°) at a time, and the machined workpiece placed on the machined workpiece take-out tray 31 is picked up by the carrying-out/carrying mechanism 38 and placed in the cassette 44a. At the same time, the unprocessed workpieces stored in the other cassettes 44b are carried into the unprocessed distribution tray 32, and when they are completed, the tray 31,
32 stops and takes a standby position.

上記加工済ワークの取出しに当たつては、任意
の位置で停止するワークを掴みアーム18との対
応位置に来るように位置調整する必要があるが、
このときのワークの位置検出は、リミツトスイツ
チや近接スイツチ等による電気的手段や、光電素
子を使用する光学的手段等によつて行うことがで
き、また、上述したように、掴みアーム18でワ
ークを掴んだ後に上定盤2を上昇させるようにす
れば、該ワークが上定盤2に付着して持上げられ
るのを確実に防止することができる。
When taking out the processed workpiece mentioned above, it is necessary to grab the workpiece that stops at an arbitrary position and adjust the position so that it comes to the corresponding position with the arm 18.
The position of the workpiece at this time can be detected by electrical means such as a limit switch or proximity switch, or optical means using a photoelectric element. If the upper surface plate 2 is raised after being grasped, it is possible to reliably prevent the workpiece from adhering to the upper surface plate 2 and being lifted.

而して、上記ワークの取出し及び装填に当つて
の該ワークの掴持は、該ワークがその中心から外
れた位置において定盤2,3に挟持されるように
なつているため、該定盤2,3の外側に少なくと
も半分が露出している中心孔1aを利用して上記
爪21,22により容易に行うことができる。
Therefore, when the workpiece is taken out and loaded, the workpiece is held between the surface plates 2 and 3 at a position away from the center of the workpiece. This can be easily done with the claws 21 and 22 by using the center hole 1a, at least half of which is exposed on the outside of the holes 2 and 3.

なお、上記定盤2,3は、第2図に示す場合と
逆向きに回転させることもでき、このような定盤
の反転は、特にポリツシングを行う場合にパツド
のドレツシングを同時に行うことができるので有
効である。
Incidentally, the above-mentioned surface plates 2 and 3 can also be rotated in the opposite direction to the case shown in FIG. 2, and such reversal of the surface plates allows dressing of pads to be performed at the same time, especially when performing polishing. Therefore, it is effective.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図及び第2図は本考案の一実施例を示す縦
断面図及びそのA−A線での断面図、第3図はワ
ークの掴持部の構成を示す要部平面図、第4図
は、同側面図である。 1……ワーク、2,3……定盤、2a,3a…
…加工面、6……ガイドリング、8……ガイドロ
ーラ、18……掴みアーム、19……掴持部、3
1……加工済ワーク取出用トレー、32……未加
工ワーク分配用トレー、34,35……収容部、
38……搬出搬入機構。
1 and 2 are a longitudinal sectional view and a sectional view taken along the line A-A of an embodiment of the present invention, FIG. The figure is the same side view. 1... Workpiece, 2, 3... Surface plate, 2a, 3a...
...Machining surface, 6...Guide ring, 8...Guide roller, 18...Gripping arm, 19...Gripping part, 3
1... Tray for taking out processed workpieces, 32... Tray for distributing unprocessed workpieces, 34, 35... Storage section,
38... Carrying in/out mechanism.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 駆動源により強制回転可能に配設され、一定間
隔で円周状且つ水平に配列された多数の円板状の
ワークを片寄つた位置で加工面からはみ出した状
態に挟持して加工する円環状の上下の定盤と、 上記ワークの側面に当接して各ワークを定位置
に支持する回転自在のガイドリング及びガイドロ
ーラと、 定盤と同心位置において一定ピツチずつ回転可
能に配設され、上記ワークと同数のワーク収容部
を円周状に備えた加工済ワーク取出用トレーと、 定盤と同心位置において一定ピツチずつ回転可
能に配設され、上記ワークと同数のワーク収容部
を円周状に備えた未加工ワーク分配用トレーと、 定盤の回りに一定間隔で昇降自在に配設され、
加工の終了したワークを掴持して上記加工済ワー
ク取出用トレーに収容すると共に、上記未加工ワ
ーク分配用トレーに収容されている未加工ワーク
を掴持して加工位置に装填するワークと同数のワ
ーク掴みアームと、 上記加工済ワーク取出用トレーの各収容部に収
容された加工済ワークの搬出と、未加工ワーク分
配用トレーの各収容部への未加工ワークの搬入と
を行うワークの排出搬入機構と、 を有することを特徴とする平面研摩装置。
[Claims for Utility Model Registration] A large number of disc-shaped workpieces arranged so as to be forcibly rotated by a driving source and arranged circumferentially and horizontally at regular intervals, protruding from the machining surface in an offset position. Annular upper and lower surface plates that are clamped and processed, rotatable guide rings and guide rollers that contact the sides of the workpieces and support each workpiece in a fixed position, and rotate at a constant pitch at a position concentric with the surface plate. A tray for taking out processed workpieces, which is arranged so that it can be rotated by a constant pitch at a position concentric with the surface plate, and which has the same number of workpiece storage sections as the above-mentioned workpieces in a circumferential shape; A tray for distributing unprocessed workpieces with a circumferential workpiece storage area, and a tray that can be raised and lowered at regular intervals around a surface plate.
The number of workpieces that have been processed is grabbed and stored in the processed workpiece take-out tray, and the same number of workpieces as the unprocessed workpieces that are stored in the unprocessed workpiece distribution tray are loaded into the processing position. a workpiece gripping arm, and a workpiece that carries out the processed workpieces stored in each storage section of the processed workpiece retrieval tray and carries the unprocessed workpieces into each storage section of the unprocessed workpiece distribution tray. A flat surface polishing device comprising: a discharge/carry-in mechanism;
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5133393A (en) * 1974-09-13 1976-03-22 Canon Kk
JPS5548573A (en) * 1978-09-26 1980-04-07 Fujikoshi Kikai Kogyo Kk Automatic work taking out equipment for lapping machine

Patent Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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