JPH0356918A - 観察顕微鏡装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気現像処理された磁気テープ、磁気ディスク
等磁気記録媒体にかける録音トラック上の記録シマの位
置や寸法の誤差を光学的に観察する等の用に使う観察顕
微鏡装置に質するものである。

〔従来の技術〕

従来、電燈で被観察物を照射する状態で設けられた照射
ヘッドと、照射された投観察物を観察する状態で設けら
れた顕微鏡本体とをもつ電燈照明式観察顕微鏡装置は知
られている。

〔発明が解決しようとする課題〕

前記従来の技術に釦いて述べた電燈照明式観察顕微鏡装
置はこれを用いることで得た画像のコントラストが必ず
しも弦くぱなかった。

本発明は強い（高い）コントラストの画像を得るように
工夫された新規の観察顕微鏡装置を提供することを目的
とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的を達成するために本発明観察顕微鏡装置は、ス
テージ（５）上に置かれた被観察物を観察する状態で設
けられた顕微鏡本体（８）と、レーザ光源０３）等単色
光を出す光源を照射角度変更可能の状態で設けられた照
明ヘッドａ■と、照明ヘッド（１５）と被観察物との間
に円柱状屈折面が反対向きとなる状態で設けられた一対
のシリンドリカルレンズαａ舖′　とを・もつものであ
る。

〔実施例〕

図に示す実施例は後縁に支柱（１）を立設された台部（
２）の上にＸ軸方向移動可能ち・よびＹ釉方向移動可能
とされた状態でツマミ型Ｘ軸マイクロメータ（３）釦よ
びツマミ型Ｙ軸マイクロメータ（４）付きステージ（５
）を設け、支柱（１）の上端部に移動ノマミ付きフォー
カス用Ｚ軸方向移動台（７）を介して顕微鏡本体（８）
とＴＶカメラ（９）よシ構威された読取ヘッドｔｌｏｌ
を顕微鏡本体（８）がステージ（５）上の被観察個所（
１ｌ）の方を向ぐ状悪で設けると共｝て同支柱（１）の
上端部に左方に長いアーム＋１２）を設け、このアーム
叩の先端部にレーザ光源０３）とビームエキスパンダα
岨とより構或された黒明ヘッドαジをビーム１ｉ６）が
前記被観際個所αＤの方を向く状態あ・よび回転可能取
付台０３ｋ介して照射角度変更可能とした状態で設け、
１た支柱（１）の中間の高さ個所に左方への張出部Ｃｔ
７１−突設し、この張出？０７）に一対のシリンドリカ
ルレンズα旧１９′を柱状屈折面が反対向きとなる状態
訟よび照明ヘッド０５）と被観察個所αＤとの間に存す
る状態で設けたものである。

尚、図中■は照射幅を決めるスリット板を示す。

本発明はフィルターでつ〈られた単色光を出す照明ヘッ
ド等を用いて実施することがある。

〔作　用〕

本発明は前記の通りであるので、使用に犀しては先ず、
ステージ（５）上の被観察個所（１１１上に前以てトラ
ック（２２上の記録シマのを観察し易くする薬品処理を
施された磁気テープＣυを載置したのちレーザ光源０■
■■を点灯状態として単色のコヒーレント光のビームＣ
１６１を磁気テープ（２１）上に最も良い角度を調節し
て照射し、このビーム１１６｝により照明された個所を
顕微鏡本体（８）　．％−よびＴ　Ｖカメラ（９）を介
してテレビ（図示せず）に受１′象し、のって磁気テー
ブＣυのトラック上の記録ンマ（磁気反転部分）をコン
トラストの極めて良い画像で観察・測定する等の用法で
供するものである。

次いで、前記コントラストの極りで良い画像となる原浬
を箒２図に依拠して説明する。

磁気テープｊ２Ｄのトラックの上の記録シマＣ３｝にレ
ーザ・ビーム（１印による入射光ｃ＞−ｉ＋が照明され
ると、第２図に示すようにシマ（２３）による回折と干
歩による反射光のがいくつかの特定方向にのみ強く出る
。尚、ｄ：シマの間隔（工／記録密度）、λ：照射光の
波長、θ：入射角度とすると、これ等３要素で反射光の
方向が定塗り、 Ｎ．１　＝＝　ｄ　Ｘ　ＣＯＳ　ｆｌ　（　Ｎ　：整数
）の関係となる。従って、この反射光でとらえた記録面
の顕微鏡像は鮮明なものとなる。これはシマの部分のみ
が効果的に集めた光によって構成されることによると考
えられる。

１た、磁気テープ（２１）に対するビーム（ｌ０の照射
角度調節の原理を第ｌ図Ｖこ依拠して説明するに、５ｌ
］えば照明ヘノドＩ．１５）を同図に分いて一点鎖線で
示す向さとした時にはビームエクスノきンダ１１４）！
．！ｌ）出たビーム住６）は７リンドリカルレンズα８
１（１８）’　を経て被観察物である磁気テープ０１）
のトラック１２３に対して角度θ１で入射し、！た二点
鎖線で示す向きとした時には角度θ２で入射する。つ１
り、コントラストの最も良い画像全得る最も良い角度は
、照明ヘッド印の向きを変更する調節操作で可能となる
ものである。

〔発明の効果〕

本発明は前記のような構或であるので、レーザ光源（１
３１等の単色光を出す光源によう照明された被観察物の
画像は極めてコントラストがよく、所期の目的を完全に
達成することができる著効かあるは勿論であるが、特に
本発明はビーム０６）の黒射角度変更調節が黒明ヘッド
（１５）に回転操作を加えることで可能であるので、前
記コントラストの具合を環境等に合う状態に簡単に調整
できて極めて使い勝手がよい等の使い良さがあり、更に
前記従来の電燈照明式観察顕微鏡による画像はコントラ
ストが低く、肉眼による観察はできても機械による自動
読み取シ等が不十分な状態となっていたが、本発明観察
顕微鏡装置による画像はコントラストが高く（強く）機
械による自動読み取りをより十分たらしめる好壕しい効
果を発揮するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明観察顕微鏡装置の実施例を示す正面図、
第２図は記録シマによる回折と干渉による反射光の原理
図である。 ｍ・・・支柱、（２）・・・台部、＋３）（４）・・・
マクロメータ、（５）・・・ステージ、（６）・・・移
動ツマ■、（７）・・・移動台、（８）・・・顕微鏡本
体、（９）・・・ＴＶカメラ、００）・・・読取ヘッド
、αＤ・・・被観察個所、（１ｚ・・・アーム、叫・・
・レーザ光源、（１・υ・・・ビームエクスバンダ、（
１訃・・照明ヘッド、（１６）・・・ビーム、帥・・・
張出部、ｔｔｅ　ｔ．ｔｓ＋　’・・・ソリンドリカル
レンズ、！２０）・・・スリット板、ＣＩ）・・・磁気
テープ、 （２つ・・・トラック、 （２３）・・・記登／マ、 ｔ２→・・・入 射光、 （２５）・・・反射光。 特 許 出 願 人 株式会社オートプロセス ＋ミ＋）ｌ＋ 〜；：’：ｉｌ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ステージ（５）上に置かれた被観察物を観察する状態で
   設けられた顕微鏡本体（８）と、レーザ光源（１３）等
   単色光を出す光源を照射角度変更可能の状態で設けられ
   た照明ヘッド（１５）と、照明ヘッド（１５）と被観察
   物との間に円柱状屈折面が反対向きとなる状態で設けら
   れた一対のシリンドリカルレンズ（１８）（１８）′と
   をもつことを特徴とする観察顕微鏡装置。