JPH0355931Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、無限遠補正式落射顕微鏡の落射照明
光学系に関するものである。

無限遠補正式落射顕微鏡は、対物レンズと結像
レンズとの間の平行光線部に照明光入射用のハー
フミラーを介在せしめているが、このハーフミラ
ーと対物レンズの間（平行光線部）にフイルター
等を挿入して平行光線部を伸縮せしめた場合、結
像位置には変化がないものの、照明光学系の開口
絞りの像が対物レンズの射出瞳の位置に正確に結
像しなくなつて該開口絞りの効果が弱まつてしま
うという問題があつた。これについて詳細に説明
すれば、第１図は無限遠補正式の落射顕微鏡を示
しており、基台１上にもうけられた顕微鏡アーム
２の下側には対物レンズ３が取付けられ且つ上側
には落射照明装置４が着脱自在に取付けられ、更
に落射照明装置の上側には接眼レンズ５を有する
鏡筒６が着脱自在に取付けられている。又、顕微
鏡アーム２と落射照明装置４との間は平行光線部
となつており、ここに種々の付属品例えばフイル
ター装置７、変倍レンズ８、デイスカツシヨン装
置（複数の鏡筒の取付けを可能にする装置）９、
レーザー照射等を行う他の落射照明装置が挿入さ
れ得るようになつている。そして、落射照明する
ための照明光は落射照明装置４の先端部に設けら
れたハーフミラーを介して対物レンズ３に導か
れ、落射照明装置４に内蔵されている開口絞りの
像は通常ある一定距離の対物レンズ３の射出瞳の
位置に投影されているが、上記附属品の挿入のた
めに平行光線部を伸縮すると、該開口絞りの像が
対物レンズ３の射出瞳の位置に正確に結像しなく
なる。平行光線部の伸縮量が僅かであれば問題な
いが、伸縮量が多い場合には開口絞りが視野絞り
のような働きをして本来の開口絞りとしての役割
を果たさず、更に極端な場合にはケラレが生じて
しまうという問題があつた。又、実際には開口絞
りの近傍にある光源像も対物レンズ３の射出瞳の
位置に結像しなくなるので、一様な照明光が得ら
れず、又周辺部に照明光がまわらないことにより
ケラレが生じるという問題があつた。

本考案は、上記問題点に鑑み、結像光学系の平
行光線部を伸縮する時その伸縮量に対応する量だ
け開口絞りと光源像を移動せしめるようにするこ
とにより、光源を移動させることなく開口絞りが
本来の役割を果たすようにした落射照明光学系を
提供することを目的とするものである。

次に本考案の一実施例を第２図に基づいて説明
する。

図中、１０は光源、１１ａは光源１０を発した
光を無限遠に結像せしめる即ち平行光線にするた
めの第一集光レンズ、１１ｂはその像即ち平行光
線を所定位置（後述の開口絞り上）に結像せしめ
るための第二集光レンズ、１２は光軸方向に移動
可能な開口絞りであり、開口絞り１２と第二集光
レンズ１１ｂは常に一定の関係を保ちつつ移動せ
しめられるようになつている。即ち、開口絞り１
２と光源像は常に同一方向に同一量づつ移動せし
められるようになつている。この場合、光源像の
倍率β₁は、第一及び第二集光レンズ１１ａ及び１
１ｂの焦点距離を夫々f₁及びf₂とすれば、β₁＝
f₁／f₂となり、両集光レンズ１１ａ，１１ｂの焦
点距離が変わらない限り倍率β₁は一定である。即
ち、光源像を開口絞り１２と一緒に移動さしめて
も光源像の倍率は変化しない。１３はリレーレン
ズ、１４はハーフミラーであつて、これらが落射
照明光学系を構成している。

又、１６は対物レンズ、１７は物体面であつて
第２図上方に接眼レンズ（図示されていない）が
配置されている。そして、光源１０を発した光は
第一及び第二集光レンズ１１ａ，１１ｂにより開
口絞り１２上又はその近傍に結像せしめられ、開
口絞り１２および光源像から発した光はリレーレ
ンズ１３、ハーフミラー１４を介して対物レンズ
１６の射出瞳の位置Ｐに結像せしめられている。

本考案による落射照明光学系は上述の如く構成
されているから、ハーフミラー１４と対物レンズ
１６との間にフイルター装置等の付属品が挿入さ
れて平行光線部の長さがｌだけ変化しこれに伴い
対物レンズ１６の射出瞳の位置Ｐが距離ｌだけ変
化して位置P′になつたとすると、開口絞り１２の
像及び光源像が射出瞳から外れてしまうが、点線
図示の如く開口絞り１２を距離ｌに対応する量Δ
だけ変位せしめ、これと同時に光源像も同一方向
へ同一量Δだけ変位するように第二集光レンズ１
１ｂを移動せしめれば、開口絞り１２の像と光源
像が対物レンズ１６の射出瞳の位置P′に結像せし
められる。

従つて、開口絞り１２は本来の開口絞りとして
の役割を果たすと共に、光源像の倍率が変化する
ことなく一様な照明光が得られ、周辺部に照明光
がまわるのでケラレも生じない。

尚、この場合の平行光線部の長さの変化量ｌと
開口絞り１２の変位量Δとの関係は、開口絞り１
２のリレーレンズ１３による投影倍率をβ₂とする
と、Δ＝ｌ／β₂ ²となる。

第３図は開口絞り移動装置の具体例を示してお
り、２０は上述の落射照明光学系が内蔵されてい
る鏡筒１５内に光軸方向に摺動可能に嵌挿された
移動枠、２１は移動枠２０に第３図右方向への移
動習性を付与するスプリング、２２は移動枠２０
に嵌合せしめられた絞り外枠、２３は絞り外枠２
２に回転可能に嵌挿せしめられた絞り内枠、２４
は移動枠２０に螺合していて絞り内枠２３の抜け
を防止し且つ絞り外枠２２を移動枠２０に固定せ
しめるための押えリングであつて、絞り外枠２２
と絞り内枠２３との間に開口絞り１２が保持され
且つ絞り内枠２３を絞り外枠２２に対して回転せ
しめることにより開口絞り１２が開閉せしめられ
るようになつている。２５は一端が移動枠２０に
固定され且つ他端が鏡筒１５に設けられた光軸と
平行な方向のスロツト１５ａに挿通されて外部に
突出せしめられたバー、２６は鏡筒１５の外周部
に螺合せしめられ且つ内側段部２６ａがバー２５
の他端に係合していて例えば時計方向に回転せし
められた時スプリング２１に抗して移動枠２０を
第３図左方へ移動せしめ得る移動環、２７は一端
が絞り内枠２３に植設され且つ他端が絞り外枠２
２及び移動枠２０に夫々設けられた円周方向のス
ロツト２２ａ及び２０ａと鏡筒１５に設けられた
円周方向のスロツト１５ｂとに挿通せしめられて
外部に突出せしめられたピン、２８は鏡筒１５の
外周部に回転可能に装架され且つ軸と平行な方向
のスロツト２８ａがピン２７の他端と係合してい
て回転せしめた時絞り内枠２３を回動せしめ得る
絞り環、２９は鏡筒１５の外周部に螺着されてい
て絞り環２８の軸方向の移動を防止している固定
環である。

この開口絞り移動装置は上述の如く構成されて
いるから、絞り環２８を回転せしめると、ピン２
７を介して絞り内枠２３が回転せしめられて開口
絞り１２が開閉せしめられる。又、移動環２６を
回転せしめると該移動環２６が光軸と平行な方向
に移動し、この移動によりバー２５を介して移動
枠２０が光軸方向に移動せしめられるので、開口
絞り１２も光軸方向に移動せしめられる。尚、こ
の場合バー２５及びピン２７が夫々スロツト１５
ａ及び２８ａにガタなく係合しているので、光軸
を中心として回転することはない。又、この装置
の移動環２６の外周面に対物レンズ１６とハーフ
ミラー１４との間に挿入される附属品の光軸方向
の長さに対応した開口絞り１２の移動量を表示し
ておけば一層便利である。

尚、第３図には第二集光レンズ１１ｂの移動装
置の具体例は示されていないが、開口絞り１２と
連動して或は独立して適宜の手段で所定量移動さ
せるようにすればよい。

上述の如く、本考案による無限遠補正式落射顕
微鏡の落射照明光学系は、結像光学系の平行光線
部に附属品を挿入せしめることにより該平行光線
部の距離が変化してもそれに対応して開口絞り及
び第二レンズを移動せしめることができるので、
光源を移動させることなく常に開口絞りに本来の
開口絞りの役割を果たさせることが出来ると共
に、光源像の倍率が変化することなく一様な照明
光が得られ、ケラレも生じない。しかも、光源と
第一レンズを移動させることなく開口絞りと第二
レンズの移動だけでこれを達成でき、移動が容易
で構造も簡単であるという実用上重要な利点を有
する。

【図面の簡単な説明】

第１図は無限遠補正式落射顕微鏡の分解側面
図、第２図は本考案による落射照明光学系の概略
図、第３図は開口絞り移動装置の縦断面図であ
る。 １０……光源、１１ｂ……第二集光レンズ、１
２……開口絞り、１３……リレーレンズ、１４…
…ハーフミラー。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 無限遠補正式落射顕微鏡の落射照明光学系にお
   いて、光源を発した光を無限遠に結像せしめる第
   一レンズと、その像を所定の位置に結像せしめ且
   つ移動することによつて光源像を倍率変化なしに
   移動せしめ得る第二レンズと、結像光学系の平行
   光線部を伸縮する時にその伸縮量に対応する量だ
   け移動する開口絞りとを備え、該開口絞りと光源
   像を同一方向に同一量だけ移動し得るようにした
   ことを特徴とする落射照明光学系。