JPH0353586B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0353586B2 JPH0353586B2 JP57172666A JP17266682A JPH0353586B2 JP H0353586 B2 JPH0353586 B2 JP H0353586B2 JP 57172666 A JP57172666 A JP 57172666A JP 17266682 A JP17266682 A JP 17266682A JP H0353586 B2 JPH0353586 B2 JP H0353586B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- liquid nitrogen
- edx
- cooling
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 54
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 25
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 9
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 claims description 9
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、Si（Li）半導体を用いたEDX
（Energy Dispersive−Ｘ−ray Analyzerの略称
でエネルギー分散形Ｘ線アナライザのこと）の冷
却用液体窒素容器の取付構造に関する。
（Energy Dispersive−Ｘ−ray Analyzerの略称
でエネルギー分散形Ｘ線アナライザのこと）の冷
却用液体窒素容器の取付構造に関する。
このようなEDX１を第１図に示すようにSEM
（Scanning Electron Microscopeの略称で走査
電子顕微鏡のこと）、EPMA（Electron Probe
Micro Analyzerの略称で電子線プローブマイク
ロアナライザのこと）の本体の真空容器２外に取
り付けた場合には、EDX１のSi（Li）検出器１ａ
や前置増幅器１ｂを冷却するための液体窒素容器
１ｃは大気中に置かれることになる。このため、
従来ではこの容器１ｃ内の液体窒素の蒸発を抑え
るために容器１ｃを断熱材で構成し魔法瓶のよう
にしている。ところが、この封入容器１ｃを完壁
な断熱作用を有するものにすることはできず、こ
のため容器１ｃ内の液体窒素は単にSi（Li）検出
器１ａや前置増幅器１ｂの冷却のために蒸発消失
するばかりでなく、外気温によつても蒸発消失し
てゆき、むしろこの外気温の方がその蒸発消失に
相当な影響を及ぼしている。
（Scanning Electron Microscopeの略称で走査
電子顕微鏡のこと）、EPMA（Electron Probe
Micro Analyzerの略称で電子線プローブマイク
ロアナライザのこと）の本体の真空容器２外に取
り付けた場合には、EDX１のSi（Li）検出器１ａ
や前置増幅器１ｂを冷却するための液体窒素容器
１ｃは大気中に置かれることになる。このため、
従来ではこの容器１ｃ内の液体窒素の蒸発を抑え
るために容器１ｃを断熱材で構成し魔法瓶のよう
にしている。ところが、この封入容器１ｃを完壁
な断熱作用を有するものにすることはできず、こ
のため容器１ｃ内の液体窒素は単にSi（Li）検出
器１ａや前置増幅器１ｂの冷却のために蒸発消失
するばかりでなく、外気温によつても蒸発消失し
てゆき、むしろこの外気温の方がその蒸発消失に
相当な影響を及ぼしている。
本発明は上述に鑑み外気温による液体窒素の蒸
発消失を減少させて液体窒素の消費量を削減でき
るようにすることを主たる目的とする。
発消失を減少させて液体窒素の消費量を削減でき
るようにすることを主たる目的とする。
本発明は、この目的を達成するため、SEM−
EPMAの本体の真空容器内にEDX冷却用液体窒
素容器を収納して構成され、この構成により液体
窒素がその封入容器を断熱材で構成することによ
る断熱作用の他に前記真空容器からの断熱作用も
受けることになり外気温による該液体窒素の蒸発
消失量が減少しその消費量が削減できるようにし
ている。また、液体窒素容器を非断熱材で構成す
ることにより、液体窒素容器の外周側の温度低下
をひきおこさせてコールドトラツプ効果による真
空容器内の真空度を向上させ、コンタミネーシヨ
ンを減少させることによりSEM−EPMAの性能
を向上させ得るようにしている。
EPMAの本体の真空容器内にEDX冷却用液体窒
素容器を収納して構成され、この構成により液体
窒素がその封入容器を断熱材で構成することによ
る断熱作用の他に前記真空容器からの断熱作用も
受けることになり外気温による該液体窒素の蒸発
消失量が減少しその消費量が削減できるようにし
ている。また、液体窒素容器を非断熱材で構成す
ることにより、液体窒素容器の外周側の温度低下
をひきおこさせてコールドトラツプ効果による真
空容器内の真空度を向上させ、コンタミネーシヨ
ンを減少させることによりSEM−EPMAの性能
を向上させ得るようにしている。
以下、本発明を第２図、第３図に示す実施例に
基づいて詳細に説明する。
基づいて詳細に説明する。
＜実施例 １＞
第２図は本発明の実施例の構成図であり、第１
図と対応する部分には同一の符号が付されてい
る。第２図において、２はSEM−EPMA本体の
真空容器、３は電子光学系、４はステージ５に載
置された試料、６は電子光学系３からの電子線、
７は電子線６の照射により試料４から発生する特
性Ｘ線である。
図と対応する部分には同一の符号が付されてい
る。第２図において、２はSEM−EPMA本体の
真空容器、３は電子光学系、４はステージ５に載
置された試料、６は電子光学系３からの電子線、
７は電子線６の照射により試料４から発生する特
性Ｘ線である。
１は真空容器２内に配置されたEDXであり、
このEDX１はSi（Li）検出器１ａと前置増幅器１
ｂと冷却用液体窒素容器１ｃとを備える。そし
て、この液体窒素容器１ｃは断熱材で構成され魔
法瓶のようになつている。このような構成におい
て、電子光学系３からの電子線６により試料４か
ら特性Ｘ線７が発生し、この特性Ｘ線７はEDX
１のSi（Li）検出器１ａと前置増幅器１ｂとを介
してメイン増幅器と多重波高分析器（いずれも図
示省略）などで処理されることにより試料４の元
素分析が行われる。なお、電子線６により試料４
から発生した２次電子の処理については本発明と
は直接には係わりがないので省略する。
このEDX１はSi（Li）検出器１ａと前置増幅器１
ｂと冷却用液体窒素容器１ｃとを備える。そし
て、この液体窒素容器１ｃは断熱材で構成され魔
法瓶のようになつている。このような構成におい
て、電子光学系３からの電子線６により試料４か
ら特性Ｘ線７が発生し、この特性Ｘ線７はEDX
１のSi（Li）検出器１ａと前置増幅器１ｂとを介
してメイン増幅器と多重波高分析器（いずれも図
示省略）などで処理されることにより試料４の元
素分析が行われる。なお、電子線６により試料４
から発生した２次電子の処理については本発明と
は直接には係わりがないので省略する。
このような構成において、EDX１の液体窒素
容器１ｃは真空容器２内に配置されているので、
液体窒素は両容器１ｃ，２により２重に外気から
断熱されることになり、外気温による蒸発消失量
が大幅に減少し、その消費量を削減することがで
きる。
容器１ｃは真空容器２内に配置されているので、
液体窒素は両容器１ｃ，２により２重に外気から
断熱されることになり、外気温による蒸発消失量
が大幅に減少し、その消費量を削減することがで
きる。
＜実施例 ２＞
第３図は本発明の他の実施例の構成図であり、
第２図と対応する部分には同一の符号が付され
る。この実施例において注目すべきは、EDX冷
却用液体窒素容器１c′が第２図とは異なり、非断
熱材例えば適当な伝熱性を有する材料で構成さ
れ、このためその断熱性が或る程度の範囲で低く
抑えられていることである。従つて、この容器１
c′の断熱効果が小さくなるので、容器１c′の外周
側の温度が低下してコールドトラツプ効果により
真空容器２内の残留ガスがその外周面に吸着され
てその真空度が向上してくる。この向上により、
SEMの観察やEPMAの分析精度に悪影響を及ぼ
すコンタミネーシヨンが低減できる。勿論、この
実施例においては、容器１c′の断熱性が第２図の
ものよりも低いが、第１図の従来に比べてみると
全体的には従来よりも高いので、液体窒素の消費
量を削減できる。
第２図と対応する部分には同一の符号が付され
る。この実施例において注目すべきは、EDX冷
却用液体窒素容器１c′が第２図とは異なり、非断
熱材例えば適当な伝熱性を有する材料で構成さ
れ、このためその断熱性が或る程度の範囲で低く
抑えられていることである。従つて、この容器１
c′の断熱効果が小さくなるので、容器１c′の外周
側の温度が低下してコールドトラツプ効果により
真空容器２内の残留ガスがその外周面に吸着され
てその真空度が向上してくる。この向上により、
SEMの観察やEPMAの分析精度に悪影響を及ぼ
すコンタミネーシヨンが低減できる。勿論、この
実施例においては、容器１c′の断熱性が第２図の
ものよりも低いが、第１図の従来に比べてみると
全体的には従来よりも高いので、液体窒素の消費
量を削減できる。
以上説明したように、本発明によればSEM−
EPMAの本体の真空容器内にEDX冷却用液体窒
素容器を設置したので、この容器を断熱材で構成
すれば、液体窒素は前記両容器により２重に断熱
されることになり、液体窒素の外気温による蒸発
消失を低減してその消費量を削減することができ
る。また、本発明によれば、その容器を適当な伝
熱性を有する材料等の非断熱材で構成することに
より、コールドトラツプ効果による真空容器の真
空度向上と相まつてコンタミネーシヨンの低減に
よりSEMとEPMAの性能向上が可能になる。さ
らに、SEM−EPMAとEDXとの一体化により装
置の小型化が可能になる等の効果が発揮される。
EPMAの本体の真空容器内にEDX冷却用液体窒
素容器を設置したので、この容器を断熱材で構成
すれば、液体窒素は前記両容器により２重に断熱
されることになり、液体窒素の外気温による蒸発
消失を低減してその消費量を削減することができ
る。また、本発明によれば、その容器を適当な伝
熱性を有する材料等の非断熱材で構成することに
より、コールドトラツプ効果による真空容器の真
空度向上と相まつてコンタミネーシヨンの低減に
よりSEMとEPMAの性能向上が可能になる。さ
らに、SEM−EPMAとEDXとの一体化により装
置の小型化が可能になる等の効果が発揮される。
第１図は従来例の構成図、第２図は本発明の実
施例の構成図、第３図は本発明の他の実施例の構
成図である。 １……EDX、１ａ……Si（Li）検出器、１ｂ…
…前置増幅器、１ｃ，１c′……EDX冷却用液体
窒素封入容器、２……真空容器、３……電子光学
系、４……試料、５……ステージ。
施例の構成図、第３図は本発明の他の実施例の構
成図である。 １……EDX、１ａ……Si（Li）検出器、１ｂ…
…前置増幅器、１ｃ，１c′……EDX冷却用液体
窒素封入容器、２……真空容器、３……電子光学
系、４……試料、５……ステージ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ SEM−EPMAの本体の真空容器内にEDX冷
却用液体窒素容器を収納してなるEDX冷却用液
体窒素容器の取付構造。 ２ 前記特許請求の範囲第１項に記載のEDX冷
却用液体窒素容器の取付構造において、この容器
を断熱材で構成してなるEDX冷却用液体窒素容
器の取付構造。 ３ 前記特許請求の範囲第１項に記載のEDX冷
却用液体窒素容器の取付構造において、この容器
を非断熱材で構成してなるEDX冷却用液体窒素
容器の取付構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172666A JPS5961794A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | Ｅｄｘ冷却用液体窒素容器の取付構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172666A JPS5961794A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | Ｅｄｘ冷却用液体窒素容器の取付構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5961794A JPS5961794A (ja) | 1984-04-09 |
| JPH0353586B2 true JPH0353586B2 (ja) | 1991-08-15 |
Family
ID=15946115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57172666A Granted JPS5961794A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | Ｅｄｘ冷却用液体窒素容器の取付構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5961794A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS619761U (ja) * | 1984-06-25 | 1986-01-21 | 日本電子株式会社 | 電子線装置 |
| US8334511B2 (en) * | 2009-05-15 | 2012-12-18 | Fei Company | Electron microscope with integrated detector(s) |
| CN103076309B (zh) * | 2012-12-20 | 2014-12-17 | 北京农业信息技术研究中心 | 一种土壤表面氮元素分布的快速测量方法和系统 |
| US9972474B2 (en) | 2016-07-31 | 2018-05-15 | Fei Company | Electron microscope with multiple types of integrated x-ray detectors arranged in an array |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP57172666A patent/JPS5961794A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5961794A (ja) | 1984-04-09 |
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