JPH0352788A - ガスばねおよびガスばねに圧力ガスを充てんする方法並びに装置 - Google Patents

ガスばねおよびガスばねに圧力ガスを充てんする方法並びに装置

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JPH0352788A
JPH0352788A JP2184375A JP18437590A JPH0352788A JP H0352788 A JPH0352788 A JP H0352788A JP 2184375 A JP2184375 A JP 2184375A JP 18437590 A JP18437590 A JP 18437590A JP H0352788 A JPH0352788 A JP H0352788A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ガスばねに関し、またガスばねに圧力ガスを
充てんする方法および装置に関するガスばねは自動車、
家具およびその他の分野において広く使用されており、
低コストで製造できるガスばねへの要求が大きい。従来
ガスばね製造においてコスト高となるステップは圧力ガ
スの充てんおよびそれに続く充てん孔の封鎖であった。
［従来の技術］ 西独特許第１１９６０２０号明細書によれば１つの充て
ん孔を有するシリンダ管を用いることが知られている。
充てん孔に接して１つの充てん室が設けられる。圧力ガ
スが充てん孔へ導入され、この充てん孔が充てん室内に
位置を占めている間に閉鎖部材、すなわち閉鎖球が充て
ん孔内へ押し込まれる。この方法は高価であってしかも
時間もかかる。
［発明が解決しようとする課題］ 本発明の課題は、時間を短縮してコストも低減して製造
することができるガスばねを提供ずることである。本発
明の別の課題はこのようなガスばねを製造する方法を提
供することであるさらに、本発明の別の課題はガスばね
に容易に圧力ガスを充てんすることのできる装置を提供
することである。
［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、内部にキャビティを形成するキャビテ
ィ部材が少なくとも１個所の凝固した溶融個所を有する
壁部材から戊っており、溶融個所は壁部材と同じ材料か
ら戊っていて１つのガス充てん孔の溶融封鎖によって形
成されている。
溶融個所は電磁線の吸収、特にレーザビームの吸収の結
果として形成することができる。
この溶融個所はほぼ円形の周縁を有していると有利であ
る。
この円形の溶融個所は０．５ｍｍを下回る口径の１つの
充てん孔に相応する約１．５＋＋＋ｍを下回る直径を有
していると有利である。
充てん孔の閉鎖の結果として、溶融個所はキャビティ部
材の外周面に１つのクレー夕を生ずることになる。この
クレータはレンズ形を呈する。
実施態様によれば、ガスばねのキャビティ部材が、１つ
の軸線および２つの端部を有するシ１１ リング管部材から戊っており、２つの端部の一方を通し
てピストンロッド部材がシールされて案内されており、
２つの端部の他方は端壁によって閉鎖されている。凝固
した溶融個所はシリンダ管部材又は端壁に位置している
。
別の実施態の場合、ピストンロッド部材はキャビティ内
に１つのピス１・ンユニットを備えている。このピスト
ンユニットはシリンダ管部材の内壁面とすべり接触をな
している。ピストンロッド部材の軸線方向運動に伴って
ピストンユニットはシリンダ管部材内で軸線方向に作業
運動範囲にわたって可動である。この場合、シリンダ管
部材の内壁面がピストンユニットの運動範囲内において
完全に平滑であることが望ましい。しかし、充てん孔の
溶融封鎖によってシリンダ管部材の内壁面が影響を受け
るのを避けることができない。従って、凝固した溶融個
所はシリンダ管部材の内の作業運動範囲外の区分内に位
置している。充てん孔の溶融封鎖は充てん孔をピストン
ユニットの作業運動範囲内に穴あけしてもよい程精密に
、特にＯ−５ｍｍを下回る極めて小さな口径の充てん孔
の場合にも行なうことができる。
本発明はまた、内部にキャビティを形成するキャビティ
部材から戊るガスばねに圧力ガスを導入する方法であっ
て、キャビティ部材にそのキャビティへ圧力ガスを導入
するためのガス充てん孔を設ける形式のものにおいて、
次の点に特徴をなしている。すなわち、圧力ガスをガス
充てん孔を通してキャビティ内へ導入し、ガス充てん孔
をその周囲のキャビティ部材部分へ電磁線のビームを向
けるのである。この場合容易に理解されるように、キャ
ビティ部材自体の材料を溶解させることによってガス充
てん孔を封鎖することは、充てん孔内へ別個の閉鎖部材
を嵌め込むことよりもはるかに容易である。特に、充て
ん孔周囲の材料を溶融させるのに必要な機械的な装置も
、大量生産の充てん孔内へ閉鎖部材を挿入するのに必要
な機械的な装置程複雑ではない。
ガス充てん孔を封鎖するためにレーザビームを使用する
ことができる。
本発明の方法の有利な実施態様によれば、キャビティ部
材の外周面に接して充てん室部材によって１つのガス充
てん室を形成する。このガス充てん室にはガス充てん孔
の位置も含まれる。この充てん室は大気から分離される
。圧力ガスはガス充てん室へ導入し、ガス充てん室から
ガス充てん孔を介してキャビティ内へ流入させる。ガス
充てん孔がガス充てん室内に位置していて充てん圧がガ
ス充てん室内に保たれている間に、このガス充てん孔を
封鎖する。キャビティ内およびガス充てん室内の圧力の
つり合いによって、溶融材料の変形が防止される。
ガス充てん孔は、電磁線のビームを、電磁線に対して透
過性である充てん室部材の１つの窓を通して、ガス充て
ん孔の周囲の区域へ向けることによって封鎖することが
できる。圧密の窓を通して電磁線のビームを向けること
は著しい利点を伴う。というのは、このような場合電磁
線の線源をガス充てん室の外側に配置できるからである
。かくして、ガス充てん室の容積を小さくすることがで
き、シール上の問題も軽減され、線源が圧力ガスの圧力
の影響を受けることもない。
レーザビームの場合には窓をガラス材から製作すること
ができる。
ガス充てん孔は公知のいかなる方法によって穴あけする
ことも可能である。電磁線のビームによって穴あけする
と有利である。この充てん孔の穴あけは充てん作業前の
いつでも行なえる。しかし、ダストその他の粒子がキャ
ビテイ内へ入るチャンスのない充てん作業直前に穴あけ
されると有利である。従って、本発明の有利な方法によ
れば、充てん孔をガス充てん室の形成後に電磁線の第１
のビームによって穴あけし、この充てん孔を、キャビテ
ィに圧力ガスが充てんされた後に電磁線の第２のビ・−
ムによって封鎖する。
第１および第２のビームは電磁線を透過させ１５ る充てん室部材の１つの窓を通して充てん孔個所へ向け
ることができる。
第１および第２のビームは電磁線の同一の線源から放射
させることができ、第１のビームは穴あけすべき充てん
孔の個所へ焦点を合わされ、第２のビームは充てん孔周
囲のリング区域へ向ける。この方法は極めて有利である
。といのは、機械的な調整の問題が発生しないからであ
る。ガスばねは電磁線の線源に対置させて一度位置ぎめ
すれば、穴あけ、圧力ガスの導入および充てん孔の封鎖
の間同じ位置のままにとどめておくことができる。
電磁線の第１および第２のビームは互いに次の点で異な
るだけである。すなわち、第１のビームの焦点はキャビ
ティ部材の壁部の穴あけすべき個所に合わされ、第２の
ビームの焦点はキャビティに対してもっと内寄りに合わ
されて充てん孔周囲のリング区域に高濃度の電磁線が当
てられるという点である。このようなビーム焦点の移動
は別の形式で行なって機械的又は電子１６ 的に制御することができる。例えば、線源およびこれに
付属された光学系の両方の内少なくとも一方をビーム軸
線に沿って移動させる。第１および第２のビームが各ビ
ームの焦点の変化を可能にする１つの光学系を通してガ
ス充てん孔個所および充てん孔周囲のリング区域へ向け
られる。光学系の変化は機械的又は電子的に制御するこ
とができる。
ところで、穴あけ工程および封鎖工程の間、金属蒸気が
キャビティ部材の壁部の溶融によって発生する。この金
属蒸気はキャビティ内並びにガス充てん室内で凝結して
キャビティおよびガス充てん室の内壁面に金属粒子又は
金属層の形に付着する。また、溶融個所の液状溶融金属
の小滴からも金属粒子が発生する。このような金属粒子
を避けるため、本発明の場合、ガス充てん室がフラッシ
ングガスによってフラッシングされる。このフラッシン
グは、充てん孔が電磁線のビームによって穴あけされる
間および封鎖工程の間特に必要である。
窓を通してガス充てん室ヘレーザビームを導入する場合
、窓は金属残留物による損傷を最も受け易い。このため
本発明の実施態様によればフラッシングガスの流れが充
てん室部材の１つの窓の内側面に隣接して平行に供給さ
れる。
本発明はまたガスばねに圧力ガスを充てんする装置に関
し、この場合前提として、ガスばねは１つのガス充てん
孔を通して圧力ガスを充てんすべきキャビティを形成し
ているキャビティ部材を備えている。この前提に立って
、本発明の装置は次の点を特徴としている。すなわち、
キャビティ部材の外周面に接する１つのガス充てん室を
形成するための充てん室部材を備え、キャビティ部材の
ガス充てん孔の個所が前記ガス充てん室の内側に位置し
ており、充てん室部材はガス充てん室へ圧力ガスを導入
するための導入部材を備えており、電磁線の１つの線源
が充てん室部材に配置されていて、電磁線のビームをガ
ス充てん孔の位置へ向けることができる。この場合ガス
導入部材はガス充てん室へ向ける圧力ガスの流れの開放
並びにしゃ断のために弁部材を備えている。
有利な実施態様によれば、電磁線の線源がガス充てん室
の外側に配置される。この実施態様の場合、充てん室部
材は電磁線を透過させる１つの窓を有している。電磁線
の線源は、電磁線のビームが窓を通してガス充てん孔の
位置へ向けられるように配置されている。
多くの場合ガスばねはシリンダ管部材から戊っている。
このようなガスばねのために、充てん室部材はシリンダ
管部材の少なくとも一方の端部を受容するように適合さ
れた開口を有している。ガス充てん室はこの開口内に少
なくとも部分的に包囲されている。この開口内でガス充
てん室をほぼ気密に閉ざすためにシール部材が配置され
る。このような実施態様は、装置に対して相対的にガス
ばねを容易に調節することができるので極めて望ましい
。
充てん孔がガスばねを装置に対して相対的に再調整する
ことなしに穴あけされ、かつ封鎖さ１９ れるように装置を構威するのが望ましい。このため本発
明の一実施態様によれば、電磁線の線源によって放射さ
れる電磁線のビームの焦点がガス充てん孔の位置に対し
て相対的に可変である。この構成は電磁線の線源が可変
焦点の光学系と組み合わされていることによって可能と
なる。
充てん室部材はフラッシングガスでガス充てん室をフラ
ッシングするためのフラッシング機構を備えている。こ
のフラッシング機構は、フラッシングガスの流れを電磁
線を透過させる１つの窓に隣接して平行に生ぜしめるよ
うに適合することができる。もちろんこのフラッシング
機構はフラッシングガスの入口および出口を備え、その
開閉のために弁を備えている。
充てん室内の金属付着に対するさらに別の防護処置とし
て、一実施態様によれば、電磁線の線源とガス充てん孔
との間のガス充てん室部分に１つの開口部が設けられて
いる。この開口部はガス充てん孔に面する側を小さな横
断面にし２０ た円すい形の開口部であるとよい。窓が設けられている
場合、この開口部はガス充てん孔と窓との間に配置され
る。かくして窓は、わずかな作業期間後に電磁線を透過
させなくするような金属付着物から十分保護される。
このようにして、キャビティ内の金属付着に起因する問
題はなくなる。このことは、キャビティがレーザビーム
による穴あけ後に極めて短かな期間だけしか溶融個所と
連通しないこと、充てん孔の口径が０．５ｍｍ，特に０
．３ｍｍを下回る極めて小さな値であることによる。
［実施例］ 次に、図面に示した実施例に従って本発明を説明する。
第１図および第２図に示されているガス充てん装置１０
は基本的には１つの充てんヘッド１１から戊っており、
この充てんヘッド１１内へガスばね１２のシリンダ管１
３を圧密にクランプすることができる。充てんヘッド１
１は充てん室１４を有していて、この充てん室ｌ４はシ
リング管１３および外気に対して圧力ガスヶットｒ　５
によってシールされる。圧力ガスヶット１５は１つのり
テーナ１６によって外気に対して保持されており、リテ
ーナ１６は同時にガスばね１２を保持している。充てん
室１４内でのシリンダ管１３の正確な位置ぎめのために
、シリンダ管１３を当て付けることのできる保持兼スト
ツバ機構ｌ７が設けられている。
充てんヘッド１１はレンズ系２２を備えたレーザ装置１
９と協働する。充てんヘッド１１はガラス板２０で閉ざ
された開口部を有してぃるレーザ装置１９からのレーザ
ビーム３０はガラス板２０を通してシリンダ管１３へ横
から向けられる。ガラス板２０はガスヶット２１によっ
てシールされている。
充てんへッド１１はフラッシングガス導管２７および充
てんガス導管２８を備えている。レーザ装置１９は、第
１ａ図に拡大して示されているようにシリンダ管１３に
充てん孔２４を穴あけするか又はより正確には達威する
ことがで９３ きる。この充てん孔２４の穴あけ中にフラッシングガス
導管２７を介してフラッシングガスが充てん室ｌ４内へ
導入され、これによって、溶解された金属粒子がガス排
出口２９から大気中へ排出される。図示の実施例の場合
、ガス排出口２９はガラス板２０とは反対側の充てん室
１４の部分に設けられている。
ガラス板２０とシリンダ管１３との間に、レーザ光線３
０が通過する絞り開口部２３を有する保護絞りｌ８が配
置されている。この保護絞りｌ８の目的は、充てん孔２
４の穴あけ時に溶解された金属粒子がガラス板２０に付
着するのを防ぐことである。このため絞り開口部２３は
シリンダ管１３に面して小さな口径部２３ａを、またガ
ラス板２０に面して大きな口径部２３ｂを有している。
金属粒子がガラス板２０に付着するのを避けるために、
ガス流がガラス板２０に対して平行に導入されるように
することも可能である。
充てん孔２４が穴あけされた後に、ガス排出ロ２９およ
びフラッシングガス導管２７が気密に閉ざされ、レーザ
装置１９をしゃ断して、圧力ガスが作動圧で充てんガス
導管２８から充てん室ｌ４へ、ひいては充てん孔２４か
らシリンダ管１３のキャビティ１３ａへ供給される。シ
リンダ管１３内が作動圧に達した後に、充てんガス導管
２８が閉ざされ、レーザ装置１９の焦点距離がわずかに
大きくされる。第２ａ図に示されているように、レーザ
光線３０の焦点距離が機械的又は電子的に変化して、充
てん孔２４の縁部におけるシリンダ管１３の材料が液状
化して再び充てん孔２４を圧密に閉鎖する。
第２ａ図に示すように、シリンダ管１３の外周面２５は
充てん孔２４よりも少し大きな溶融クレータ２６の形に
部分的に溶融される。これによって充てん孔２４はシリ
ンダ管１３の材料によって塞がれることになる。溶融ク
レータ２６の底におけるシリンダ管１３の残る壁厚は当
初の壁厚の約７０％から約８０％になる。充てん孔２４
の閉鎖後、充てん室ｌ４が通気され、充てん済みのガス
ばね１２がはずされる。
ガスばね１２は通例のようにピストンロッド１３ｂおよ
びピストンユニット１３ｃを備えている。ピストンロッ
ド１３ｂおよびピストンユニット１３ｃはシリンダ管１
３に対して相対的に軸線方向で可動である。シリンダ管
１３は金属、特に鋼から戊っている。ピストンユニット
１３ｃは圧力ガスに対して透過性である。
本発明は図示の実施例に限られるものではなく、種種異
なる態様で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は充てん装置の縦断面図、第１ａ図は第１図中の
Ｘ個所の拡大図、第２図は充てん孔の溶融封鎖時の充て
ん装置の縦断面図、第２ａ図は第２図中のＹ個所の拡大
図である。 １１・・・充てんヘッド、１２・・・ガスばね、１３・
・・シリンダ管、ｌ４・・・充てん室、１５・・・ガス
ケット、１６・・・リテーナ、ｌ７・・・保持兼ストツ
パ機構、ｌ８・・・保護絞り、１９・・・レーザ装置、
２０・・・ガラス板、２１・・・ガスケット、２２・・
・レンズ系、２３・・・絞り開口部、２４・・・充てん
孔、２６・・・溶融クレータ、２７・・・フラッシング
ガス導管、２８・・・充てんガス導管、２９・・・ガス
排出口３０・・・ビーム ２７

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、ガスばねであって、キャビティ（１３ａ）を内部に
    形成するキャビティ部材（１３）と、キャビティ（１３
    ａ）の内方および外方の両方向でシールされて案内され
    るピストンロッド部材（１３ｂ）と、キャビティ（１３
    ａ）内に保有される圧力ガス体とから成っている形式の
    ものにおいて、前記キャビティ部材（１３）が少なくと
    も１個所の凝固した溶融個所（２６）を有する壁部材か
    ら成っており、溶融個所（２６）は壁部材（１３）と同
    じ材料から成っていて１つのガス充てん孔（２４）の溶
    融封鎖によって形成されていることを特徴とする、ガス
    ばね ２、溶融個所（２６）が電磁線の吸収によって生ぜしめ
    られている、請求項１記載のガスばね ３、溶融個所（２６）がレーザビームの吸収によって生
    ぜしめられている、請求項２記載のガスばね ４、溶融個所（２６）がほぼ円形輪郭を有している、請
    求項１から３までのいずれか１項記載のガスばね ５、溶融個所（２６）が約１．５ｍｍを下回る直径を有
    している、請求項４記載のガスばね ６、溶融個所（２６）がキャビティ部材（１３）の外周
    面（２５）に１つのクレータをなしている、請求項１か
    ら５までのいずれか１項記載のガスばね ７、クレータ（２６）がレンズ形である、請求項６記載
    のガスばね ８、キャビティ部材（１３）が、１つの軸線および２つ
    の端部を有するシリンダ管部材から成っており、ピスト
    ンロッド部材（１３ｂ）が前記２つの端部の一方を通し
    てシールされて案内されていて、２つの端部の他方は１
    つの端壁によって閉鎖されており、凝固した溶融個所（
    ２６）がシリンダ管部材（１３）又は端壁に位置してい
    る、請求項１から７までのいずれか１項に記載のガスば
    ね ９、ピストンロッド部材（１３ｂ）がキャビティ（１３
    ａ）内に１つのピストンユニット（１３ｃ）を備えてお
    り、ピストンユニット（１３ｃ）はシリンダ管（１３）
    の内壁面とすべり接触をなしていて、作業運動範囲にわ
    たってシリンダ管（１３）内で軸線方向で可動であり、
    凝固した溶融個所（２６）がシリンダ管部材（１３）の
    内の作業運動範囲外の区分内に位置している、請求項１
    から８までのいずれか１項記載のガスばね １０、内部にキャビティ（１３ａ）を形成したキャビテ
    ィ部材（１３）内へ圧力ガスを導入することによってガ
    スばねを製造する方法であって、キャビティ部材（１３
    ）にそのキャビティ（１３ａ）へ圧力ガスを導入するた
    めのガス充てん孔（２４）を設ける形式のものにおいて
    、圧力ガスを前記ガス充てん孔（２４）を通してキャビ
    ティ（１３ａ）内へ導入し、ガス充てん孔（２４）をそ
    の周囲にキャビティ部材部分へ電磁線のビーム（３０）
    を向けることによって封鎖することを特徴とする、ガス
    ばねを製造する方法 １１、電磁線のビーム（３０）がレーザビームである、
    請求項１０記載の方法 １２、キャビティ部材（１３）の外周面（２５）に接し
    て充てん室部材（１１）によって１つのガス充てん室（
    １４）を形成し、このガス充てん室（１４）はガス充て
    ん孔（２４）の位置を含んでいて外気から分離可能であ
    り、圧力ガスをガス充てん室（１４）内へ、次いでこの
    ガス充てん室（１４）からガス充てん孔（２４）を通し
    てキャビティ（１３ａ）内へ導入し、ガス充てん孔（２
    ４）がガス充てん室（１４）内に位置していて、かつこ
    のガス充てん室（１４）内に充てん圧が保たれている間
    にガス充てん孔（２４）を封鎖する、請求項１０又は１
    １記載の方法 １３、電磁線のビーム（３０）を、電磁線を透過させる
    充てん室部材（１１）の１つの窓（２０）を通して溶融
    個所（２６）へ向けることによって、ガス充てん孔（２
    ４）を封鎖する、請求項１２記載の方法 １４、窓（２０）をガラス材によつて形成する、請求項
    １３記載の方法 １５、ガス充てん孔（２４）を電磁線のビーム（３０）
    によって穴あけする、請求項１０から１４までのいずれ
    か１項記載の方法 １６、ガス充てん孔（２４）をガス充てん室（ｌ４）の
    形成後に電磁線の第１のビーム（３０）によって穴あけ
    し、このガス充てん孔（２４）をキャビティ（１３ａ）
    に圧力ガスを充てんした後に電磁線の第２のビーム（３
    ０）によって閉鎖する、請求項１２から１５までのいず
    れか１項記載の方法 １７、第１および第２の両方のビーム（３０）を、電磁
    線を透過させる充てん室部材（１１）の１つの窓（２０
    ）を通してガス充てん孔（２４）の個所へ向ける、請求
    項１６記載の方法 １８、電磁線の第１および第２のビーム（３０）を同一
    の電磁線源（１９）から放射させ、第１のビーム（３０
    ）を穴あけすべきガス充てん孔（２４）の個所へ焦点を
    合わせ、第２のビーム（３０）をガス充てん孔（２４）
    の周囲のリング区域へ向ける、請求項１６又は１７記載
    の方法 １９、第１および第２のビーム（３０）をガス充てん孔
    （２４）の位置とガス充てん孔（２４）の周囲のリング
    区域とへ各ビーム（３０）の焦点の変化を可能にする光
    学系（２２）を介して向ける、請求項１８記載の方法 ２０、ガス充てん室（１４）をフラッシングガスでフラ
    ッシングする、請求項１２から１９までの１項に記載の
    方法 ２１、ガス充てん孔（２４）を電磁線のビーム（３０）
    によって穴あけする間にガス充てん室（１４）を掃気す
    る、請求項２０記載の方法２２、フラッシングガス流を
    電磁線のビーム（３０）を透過させる充てん室部材（１
    １）の窓（２０）の内側面に対して平行に隣接して供給
    する、請求項２１記載の方法 ２３、ガスばねに圧力ガス体を充てんする装置であって
    、ガスばね（１２）がガス充てん孔（２４）を通して圧
    力ガスを充てんすべきキャビティ（１３ａ）を形成して
    いるキャビティ部材（１３）を備えている形式のものに
    おいて、キャビティ部材（１３）の外周面（２５）に接
    する１つのガス充てん室（１４）を形成するための充て
    ん室部材（１１）を備え、キャビティ部材（１３）の前
    記ガス充てん孔（２４）が前記ガス充てん室（１４）の
    内側に位置しており、前記充てん室部材（１１）はガス
    充てん室（１４）へ圧力ガスを導入するための導入部材
    （２８）を備えており、電磁線の１つの線源（１９）が
    充てん室部材（１１）に配置されていて、電磁線のビー
    ム（３０）をガス充てん孔（２４）の位置へ向けること
    ができることを特徴とする、ガスばねに圧力ガスを充て
    んする装置 ２４、電磁線の線源（１９）がガス充てん室（１４）の
    外側に配置されており、充てん室部材（１１）が電磁線
    を透過させる１つの窓（２０）を有しており、電磁線の
    線源（１９）は電磁線のビーム（３０）をガス充てん孔
    （２４）の位置へ前記窓（２０）を通して向けることが
    できるように配置されている、請求項２３記載の装置 ２５、キャビティ部材（１３）がシリンダ管部材から成
    っており、充てん室部材（１１）がシリンダ管部材（１
    ３）の少なくとも一方の端部を受容するように適合され
    た開口を有しており、ガス充てん室（１４）がこの開口
    内に少なくとも部分的に包囲されており、この開口内で
    ガス充てん室（１４）を気密に閉ざすためにシール部材
    （１５）が配置されている、請求項２４記載の装置 ２６、電磁線の線源（１９）によって放射される電磁線
    のビーム（３０）の焦点がガス充てん孔（２４）の位置
    に対して相対的に可変である、請求項２３から２５まで
    のいずれか１項記載の装置 ２７、電磁線の線源（１９）が可変焦点の光学系（２２
    ）と組み合わされている、請求項２３から２６までのい
    ずれか１項に記載の装置 ２８、充てん室部材（１１）が、フラッシングガスでガ
    ス充てん室（１４）をフラッシングするためのフラッシ
    ング機構（２７、２９）を備えている、請求項２３から
    ２７までのいずれか１項に記載の装置 ２９、フラッシング機構（２７、２９）が、電磁線を透
    過させる１つの窓（２０）に対して平行に隣接してフラ
    ッシングガス流を生ぜしめるように適合されている、請
    求項２８記載の装置 ３０、電磁線の線源（１９）とガス充てん孔（２４）の
    位置との間のガス充てん室（１４）の区域に１つの開口
    部（２３）が設けられている、請求項２３から２９まで
    のいずれか１項に記載の装置 ３１、開口部（２３）がガス充てん孔（２４）の位置に
    面する側に口径を小さくした横断面部（２３ａ）を有し
    ている、請求項３０記載の装置 ３２、開口部（２３）がガス充てん孔（２４）と電磁線
    を透過させる充てん室部材（１１）の１つの窓（２０）
    との間に配置されている、請求項３０又は３１記載の装
    置
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