JPH0350957B2

JPH0350957B2 -

Info

Publication number: JPH0350957B2
Application number: JP60095741A
Authority: JP
Inventors: Kyoshi Ishibashi; Jujiro Ukai
Original assignee: Aisin Seiki Co Ltd
Current assignee: Aisin Corp
Priority date: 1985-05-06
Filing date: 1985-05-06
Publication date: 1991-08-05
Also published as: JPS61256158A; US4700545A

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明は、高温領域と低温領域の２系統の冷凍
機からなり、低温を発生させるための冷凍システ
ムに関する。

本発明は、圧縮空間、冷却器、蓄冷器、膨脹空
間より構成される１箇の低温領域冷凍機又は、圧
縮空間、冷却器、蓄冷器、熱交換器、膨脹空間よ
り構成される複数個の低温領域冷凍機（例えば、
スターリングサイクル冷凍機、ブルミヤサイクル
冷凍機、ギフオードサイクル冷凍機、ギフオード
マクマホンサイクル冷凍機等）と、高温領域冷凍
機（例えば、スターリングサイクル冷凍機、ギフ
オードマクマホンサイクル冷凍機、ソルベイサイ
クル冷凍機、ブルミヤサイクル冷凍機、クロード
サイクル冷凍機等）を組み合せ、作動媒体の臨界
温度以下の低温で熱エネルギーを吸収する冷凍シ
ステムに関するものであり、液体ヘリウムで冷却
された超伝導磁石を収納しているクライオスタツ
トに取り付け、クライオスタツトに侵入する熱に
よつて蒸発するヘリウム蒸気を再び液化せしめ、
クライオスタツト内の液体ヘリウムの量を常に一
定に保持せしめる冷却システム等に利用される。

（従来の技術）本発明に関する冷凍システムとして、従来、米
国特許第4335579号明細書または特公昭51−13900
号公報に開示されるものがある。

前者のものは、第６図に示される如く、動力源
２０１によつて回転されるクランクシヤフト２０
２、該クランクシヤフト２０２によつて摺動され
るピストン２０３、膨脹空間２０４，２０５、低
温部２０６，２０７を有する高温領域の冷凍機
と、動力源２０８によつて回転されるクランクシ
ヤフト２０９、該クランクシヤフト２０９によつ
て摺動されるピストン２１０，２１１、圧縮空間
２１２、膨脹空間２１３、放熱部２１４、蓄冷器
２１５を有する冷温領域の冷凍機を備える。放熱
部２１４は、低温部２０７と熱的に結合され、低
温領域の冷凍機の圧縮空間２１２で発生する作動
媒体の圧縮熱が低温部２０７で吸熱されるように
なつている。又、低温領域の冷凍機の圧縮シリン
ダ２１６及び膨脹シリンダ２１７は、低温部２０
６と予冷板２１８を介して熱的に結合され、常温
部から圧縮空間２１２及び膨脹空間２１３に流入
する熱を減少させている。

特公昭51−13900号公報のものは、第２図に示
されるＴ−Ｓ線図（ヘリウムを例にとる）に示さ
れる如く、低温で熱エネルギーを吸収する方法に
関するもので、圧縮空間、放熱部、熱交換部（蓄
冷器又は熱交換器等）そして膨脹空間から成る冷
凍機において、作動媒体の圧力を少なくとも臨界
圧力（Pc）にほぼ等しい圧力よりも、たえず高
く維持し、膨脹部の温度を作動媒体の臨界温度
（Tc）以下にするものである。ここで、膨脹空間
での作動媒体の膨脹仕事によつて発生する吸収熱
量Q_E、及びこの吸熱を得るのに必要な外部から
作動媒体に与えられる機械仕事量Ｗは、各各、
a₂a₂′a₃′a₃及びa₁a₂a₃a₄で囲まれる面積で表され
る。

（発明が解決しようとする問題点）第６図の冷凍システムでは、圧縮シリンダ２１
６及び膨脹シリンダ２１７を高温領域の冷凍機の
低温部２０６で予冷板２１８を介して冷却してい
るにもかかわらず、例えば圧縮空間２１２の温度
が10Kレベル、膨脹空間２１３の温度が4Kレベ
ルの時、低温部２０６の温度が20Kレベルで、典
型的な値として、圧縮空間２１２に数ワツト、膨
脹空間２１３に0.5ワツト程度の熱侵入が存在す
る。このため装置全体の効率が劣化し、低温領域
の冷凍機の膨脹空間２１３で同一の冷凍出力を得
るには、低温装置全体に大きな入力が必要とな
り、装置が大型化し、重量も増大する。これは、
低温領域の冷凍機の圧縮空間２１２、膨脹空間２
１３が、シリンダ２１６，２１７内に摺動配置さ
れるピストン２１１，２１０によつて形成されて
いるため、ピストンとシリンダ間に形成されピス
トンの摺動を許容するための間隙に作動媒体が侵
入し、この作動媒体が常温部から運ぶ熱、及びピ
ストンを伝わる熱を充分小さくできないためであ
る。

又、特公昭51−13900号公報のものは、作動媒
体の臨界温度以下の低温で効率良く、熱エネルギ
ーを吸収することができないという欠点がある。

かかる不具合は、圧縮空間、放熱部、熱交換部
（蓄冷器又は熱交換器等）そして、膨脹空間から
成る冷凍機において、作動媒体の圧力を少なくと
も臨界圧力にほぼ等しい圧力よりも、たえず高く
維持したため、臨界温度以下の温度において、作
動媒体を膨脹させ吸熱をさせる際、状態変化が生
じないことによる。外部からの仕事量Ｗは、Ｔ−
Ｓ線図内の臨界圧力に近く、臨界温度付近以下の
低温領域で、著しく細く歪められ、このため吸収
熱量Q_Eが減少している。

こうして、熱エネルギーの吸収の効率を表す
COP（達成効率）＝Q_E／Ｗは大きく減少している
ことがわかる。

一例として、作動媒体がヘリウムガス、最大圧
力3atm、圧力比３、圧縮部の温度10K、膨脹空
間の温度の4.2Kの時、COPはおよそ12％である。

そこで本発明は、従来技術の問題点を解消し、
常温部からの熱侵入を低減させて冷凍効率を向上
させるとともに、作動媒体の状態変化を生じせし
め、作動媒体の臨界温度以下の低温で熱エネルギ
ーを効率よく吸収することを技術的課題とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段）上記技術的課題を解決するために講じた技術的
手段は、低温領域の冷凍機を構成する１箇以上の
圧縮空間及び１箇以上の膨張空間のうち、１箇以
上を作動空間用ベローズによつて構成し、該作動
空間用ベローズの一端を真空容器内に配設された
断熱支持円筒の一端に固設し、該断熱支持円筒の
他端には大気と前記断熱支持円筒とを気密的に区
画する真空気密用ベローズを配設し、前記作動空
間用ベローズの他端と該真空気密用ベローズの真
空側内端とを断熱連結棒で結合し、前記真空気密
用ベローズの大気側外端に駆動用連結棒を固設
し、前記作動空間用ベローズによつて構成される
空間の作動媒体の最小圧力が作動媒体の臨界圧力
より低いようにした手段を有し、低温領域の冷凍
機の膨脹空間で、作動媒体の一部又は全部を液化
させるようにしたことにある。

（作用）本発明の構成は上記の如くであるので、圧縮な
いしは膨脹空間内の作動媒体が、作動空間用ベロ
ーズによつてその内部に保持され、真空容器、断
熱支持円筒、断熱連結棒および真空気密用ベロー
ズによつて常温部からの隔離されるので作動媒体
による常温部からの熱侵入が低減されるととも
に、作動媒体の最大圧力を臨界圧力以下もしく
は、最大圧力と最小圧力の間に臨界圧力が存在す
るようにしたので、作動媒体を膨脹させ吸熱させ
る際、状態変化が生じ、従来技術の問題点を低減
できる。

（実施例）以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。

第１図において、本発明による冷凍システム
は、低温領域の冷凍機１０と高温領域の冷凍機１
１よりなる。高温領域の冷凍機１１は、モーター
等の動力源に連結されるクランクシヤフトと連動
されるピストン１２，１３、シリンダ１４，１５
内にピストン１２，１３によつて夫々形成される
圧縮空間１６と膨脹空間１７、放熱部１８及び蓄
冷器１９を有する。低温領域の冷凍機１０は、モ
ーター等の動力源に連結されるクランクシヤフト
等と連動されるロツド状の連結部材２０，２１を
有し、この連結部材２０，２１の下端には、その
内部に膨脹空間２２と圧縮空間２３を夫々形成す
る作動空間用ベローズ２４，２５が固定されてい
る。作動空間用ベローズ２４，２５の他端は、支
持円筒２６，２７に夫々固着されている。上記連
結部材２０，２１、支持円筒２６，２７は熱伝導
性の小さな部材により形成される。

圧縮空間２３と、膨脹空間２２との間は、放熱
部２８及び蓄冷器２９によつて連通している。放
熱部２８には、高温領域の冷凍機１１の低温作動
媒体が出入りできる流路３０を設ける。連結部材
２０及び２１の上端は夫々クランクシヤフト等に
連結されて往復運動する連結棒３１及び３２に真
空気密用ベローズ３３及び３４を介して固定し、
これらの真空気密用ベローズ３３，３４の一端を
真空容器３５に取り付けている。

圧縮空間２３、放熱部２８、蓄冷器２９及び膨
脹空間２２によつて構成される低温領域の冷凍機
１０の圧縮空間２３及び膨脹空間２２の容積は動
力源、クランクシヤフト等に連動する作動空間用
ベローズ２５及び２４の往復運動によつて変動
し、変動の位相差を膨脹ベローズ２４が圧縮ベロ
ーズ２５に対して略90゜進むように駆動すること
により、膨脹空間２２で冷凍を発生し、圧縮空間
２３で圧縮熱を発生する。上記圧縮熱及び圧縮部
に常温より侵入する熱は、放熱部２８において高
温領域の冷凍機１１の低温作動媒体によつて吸収
され、上記の熱は高温領域の冷凍機の冷凍負荷と
なる。膨脹空間２２を作動空間用ベローズ２４で
構成し、一端を断熱連結部材２０と連動させ、他
端を断熱支持円筒２６で固定することにより、従
来のピストン・シリンダタイプ冷凍機において、
ピストン・シリンダとの間隙に存在する作動媒体
が膨脹空間に運ぶ熱を無くし、又、ピストン及び
シリンダを伝わる伝導熱も低減し、膨脹部２２で
発生する膨脹仕事を有効に冷凍出力として外部に
取り出すことができる。一方、圧縮空間２３を作
動空間用ベローズ２５で構成し一端を断熱連結部
材２１と連動し、他端を断熱支持円筒２７で固定
することにより、前記の膨脹空間と同様に、圧縮
部に侵入する熱を低減でき、従つて、高温領域の
冷凍機の冷凍負荷を低減することができる。

膨脹空間２２（圧縮空間２３）の容積変化は、
作動空間用ベローズ２４（２５）の一端に固定し
た断熱連結部材２０（２１）の往復運動で行なわ
れる。この連結部材２０（２１）は、真空容器２
５を大気に対して真空気密する、常温部の真空気
密用ベローズ３３（３４）の一端に固定されてい
る。この端面には、さらに常温部の駆動機構の往
復運動を伝える連結棒３１（３２）が固定されて
おり、連結棒３１（３２）の往復運動は、真空気
密用ベローズ３３（３４）を介し、直接配設連結
部材２０（２１）に伝わる。

圧縮空間２３と放熱部２８を連結する流路３６
は、流路３７、弁装置３８を介して作動媒体源３
９に至る。弁装置３８は、作動媒体の最大圧力
を、作動媒体の臨界圧力以下、もしくは、作動媒
体の最大圧力と最小圧力の間に作動媒体の臨界圧
力が存在するように調圧するもので、流路３７の
作動媒体圧が設定圧力を越えると、流路３７から
分岐する流路４０に設けられる一方向弁４１を介
してリリーフされる。作動媒体の一部又は全部
は、蓄冷器２９の低温側又は、膨脹空間２２、又
は蓄冷器２９の低温側と膨脹空間２２で液化され
る。

低温領域の冷凍機１０の作動媒体は高温領域の
冷凍機１１の作動媒体と流路３０で熱的に結合し
ている以外は、全く独立しており、高温領域の冷
凍機の比較的高い作動媒体圧力（例えば17atm程
度）とは無関係に、低温領域の冷凍機の作動媒体
圧力を設定することができる。はじめに、作動媒
体の最大圧力と最小圧力の間に、作動媒体の臨界
圧力が存在する場合の吸熱の作用の一例を第２図
のb₁，b₂，b₃，b₄で表わす。

比較的高圧で圧縮空間２３から放熱部２８、蓄
冷器２９を通つて膨脹空間２２に移動した作動媒
体は、途中で冷却され液化している（b₁→b₂）。
膨脹空間２２で作動媒体が膨脹すると圧力は減少
し、b₅において、液体の一部が気化し始める。２
相共存線Ｘに交差するb₅から、作動媒体は圧力を
一定に保ちながら膨脹気化を続け、b₃ですべて気
体となる。b₅からb₃に至る気化過程の際、作動媒
体はそれに必要な気化熱を吸収し、この結果、大
きな吸熱が期待できる。

ところで、作動媒体が蓄冷器２９を通つて膨脹
空間２２に移動する時、蓄冷器２９へ放出する熱
量Q₁₂（b₁b₂b₂′b₁′で囲まれる面積）は、膨脹空間
２２から蓄冷器２９を通つて圧縮空間２３へ作動
媒体が移動していく時（b₃→b₄）、蓄冷器２９か
ら吸収する熱量Q₃₄（b₄b₃b₃′b₄′）より大きくなつ
ている。この差分の熱量は、１サイクル毎に膨脹
空間２２に流れ込み、上記の気化熱を伴う大きな
吸熱の一部を消費することになる。

この蓄冷器２９での作動媒体の熱の吸排熱の非
平衡を考慮した実質の吸熱量をQ_E′とすると、
Q_E′＝面積b₂b₂′b₃′b₃−（面積b₁b₂b₂′b₁′−面積
b₄b₃b₃′b₄′）となり、外部からの仕事量Ｗ＝面積
b₁b₂b₃b₄より、吸熱の実質効率を COP′＝Q_E′／ｗとすると、COP′でも、前記の「低温で熱エネル
ギーを吸収する方法」の効率を上まわることを以
下の例で示す。

すなわち、前記の計算例と同じヘリウムを作動
媒体、圧力比３、圧縮空間温度10K、膨脹空間温
度4.2Kの時、最低圧力を1atmとすると、COP′は
およそ24％となり、約２倍の効率増加となる。

次に、作動媒体の最大圧力を、作動媒体の臨界
圧力以下にした場合の一例を第３図に示す。作動
媒体の最大圧力を0.5atmとし、上記と同じ条件
でCOP′を求めると、およそ40％となり、「低温で
熱エネルギーを吸収する方法」と比較して約3.3
倍の効率増加となる。

第４図は本発明の変形例を示すもので、低温領
域の冷凍機４５は圧縮空間４６及び第１膨脹空間
４７、第２膨脹空間４８を持つ２段膨脹式の冷凍
機で、圧縮空間４６と第１膨脹空間４７の間に放
熱部４９と第１蓄冷器５０を、又、第１膨脹空間
４７と第２膨脹空間４８との間に第２蓄冷器５１
を夫々配し、一つの密封空間を形成している。

これらの作動空間には、作動媒体（例えばヘリ
ウム等）が、作動媒体の最大圧力が作動媒体の臨
界圧力以下もしくは、作動媒体の最大圧力と最小
圧力の間に作動媒体の臨界圧力が存在するような
圧力の作動媒体を充満させるもので、放熱部４９
と作動媒体源５２と連結する流路５３中に第１図
と同様な弁装置５４が配設される。流路５３から
の分岐路にはリリーフ用の一方向弁５５が設けら
れる。

圧縮空間４６は作動空間用ベローズ５６で構成
され、一端は断熱連結棒５７と連動し、他端は断
熱支持円筒６５に固定する。断熱連結棒５７は真
空容器５８を大気に対して真空気密する常温部の
真空気密用ベローズ５９の一端に固定され、この
端面には、さらに第１図のものと同様の常温部の
駆動機構の往復運動を伝える連結棒６０が固定さ
れている。第１膨脹空間４７及び、第２膨脹空間
４８の構成は前記圧縮空間４６と同じで、作動空
間用ベローズ６１，６２、断熱連結棒６３，６４
及び断熱支持円筒６６，６７、さらに真空気密用
ベローズ６８，６９、連結棒７０，７１は、夫々
上記圧縮空間における関係と同じである。放熱部
４９には高温領域の冷凍機７２の低温動作ガスが
出入りできる流路７３が設けられ圧縮空間４６で
発生した圧縮熱等を高温領域の冷凍機７２の冷凍
負荷として取り去る作用をする。

高温領域の冷凍機７２は３段膨脹の冷凍機で、
圧縮空間７４と第１膨脹空間７５、第２膨脹空間
７６、第３膨脹空間７７との間に、放熱部７８と
第１蓄冷器７９及び第２蓄冷器８０、第３蓄冷器
８１を夫々配し、さらに第３蓄冷器８１と第３膨
脹空間７７とは動作ガス流路７３を介して連通し
ている。

作動は次の通りである。第１図のものと同様に
駆動部からの力は、連結棒７０及び７１、さらに
断熱連結棒６３及び６４を伝わつて作動空間用ベ
ローズ６１及び６２を上死点に置き、同時に、駆
動部からの力は連結棒６０、さらに断熱連結棒５
７を伝わつて、圧縮空間ベローズ５６をその下死
点より上死点に向つて移動させる。この時、圧縮
空間４６内に充満している作動媒体を圧縮する。

次に、圧縮ベローズ５６をさらに上死点まで移
動させながら膨脹ベローズ６１及び６２を下死点
に向つて移動させることにより、圧縮空間４６内
の作動媒体を膨脹空間４７及び４８内に移し、こ
の流動中、作動媒体は圧縮熱を放熱部４９で、流
路７３を流れる高温領域の冷凍機内の比較的圧力
の高い作動媒体に放出し、さらに熱エネルギーを
蓄冷器５０及び５１へ放出して、臨界温度以下の
温度となり、蓄冷器５１の膨脹側、あるいは膨脹
空間、あるいは蓄冷器と膨脹器の両方において、
その一部、又は全部が液化する。

圧縮ベローズ５６が上死点に至り、圧縮空間４
６の作動媒体がすべて膨脹空間４７及び４８に移
動した後、さらに膨脹ベローズ６１及び６２を、
下死点に向つて動かすと、膨脹空間４８で液化し
た作動媒体は気化し始め、その気化熱として膨脹
ベローズ６２の外部の熱源より、熱を吸収する。

膨脹ベローズ６２が下死点に達する前に、作動
媒体がすべて気化する場合は、その時から膨脹ベ
ローズ６２が下死点に至るまでの間、作動媒体は
膨脹仕事をし、引き続き熱を吸収する。

膨脹空間４７及び４８で膨脹吸熱した作動媒体
は、膨脹ベローズ６１及び６２が上死点に向つて
移動し始め、同時に圧縮ベローズ５６が上死点よ
り下死点に向つて移動する時、膨脹空間４７及び
４８から蓄冷器５０及び５１と５０を夫々通り、
さらに放熱部４９を通つて圧縮空間４６に移る。
この時、作動媒体は、蓄冷器５０及び５１におい
て熱エネルギーを吸収し、圧縮空間４６に戻つた
時、サイクルの初めに、圧縮空間４６に存在した
時と同じ温度まで昇温される。

膨脹ベローズ６１及び６２が上死点に至り、同
時に圧縮ベローズ５６が下死点に到達した時、サ
イクルは完了し、このあと同じ動作を繰り返す。

本発明のさらに他の実施例を第５図に示す。

低温領域の冷凍機２つの冷凍機９０及び９１か
ら構成され、これらは熱交換器９２で熱的に結合
している。上記冷凍機９０及び９１は同様の構造
で、圧縮空間９３（９４）、放熱部９５（９６）、
蓄冷器９７（９８）、熱交換器９９（１００）及
び膨脹空間１０１（１０２）から構成され、夫々
配管によつて連通せしめられている。圧縮空間９
３（９４）は作動空間用ベローズ１０３（１０
４）で形成され、断熱支持円筒１０５（１０６）
によつて一端を固定され、断熱支持棒１０７（１
０８）の往復運動により体積変化を生じせしめら
れる。膨脹空間１０１（１０２）も同様に作動空
間用ベローズ１０９（１１０）で形成され、断熱
支持円筒１０５（１０６）によつて一端を固定さ
れ、断熱支持棒１０７（１０８）の往復運動によ
り体積変化を生じせしめられる。

各々の冷凍機９０及び９１の作動媒体の圧力は
ほぼ等しく、それぞれの最大圧力が作動媒体の臨
界圧力以下もしくは、作動媒体の最大圧力と最小
圧力の間に作動媒体の臨界圧力が存在するように
設定せしめられるため、前述の実施例と同様に、
放熱部９５（９６）と作動媒体源１１１（１１
２）を連結する流路１１３（１１４）中に弁装置
１１５（１１６）が配設され、流路１１３（１１
４）からの分岐管１１７（１１８）にはリリーフ
用の一方向弁１１９（１２０）が配設されてい
る。各々の冷凍機９０及び９１は略180゜の位相差
で運転されるいわゆる対向流型の冷凍機で、熱交
換器９２内の各々の作動媒体の流路９９及び１０
０を、作動媒体は各々逆位相で流れ、互いに熱の
授受を行う。各々の冷凍機９０及び９１の圧縮空
間９３及び９４で発生する圧縮熱は高温領域の冷
凍機１２１の冷凍負荷として、各々の放熱部９
５，９６に於いて、流路１２２，１２３を流れる
高温領域の冷凍機１２１の比較的高い圧力（略15
気圧）の作動媒体に受け渡される。

尚、低温領域の冷凍機１２４（１２５）は断熱
支持棒、１２６（１２７）は断熱支持円筒であ
り、高温領域の冷凍機１２１は、前述の実施例と
略同一である圧縮空間１２８、放熱部１２９、蓄
冷器１３０，１３１、膨脹空間１３２，１３３、
断熱支持棒１３４，１３５を有するも、夫々の断
熱支持棒は前述の実施例と同様に駆動力を受けて
対応作動空間用ベローズの伸縮を行うものであ
る。

〔発明の効果〕

本発明は、低温領域の冷凍機の作動媒体が作動
空間用ベローズ、断熱支持円筒、真空気密用ベロ
ーズ及び真空容器によつて完全に外部から遮断さ
れているので、ピストン・シリンダタイプの冷凍
機のように、駆動部で用いられる潤滑油、あるい
は摺動部のシール材の摩耗粉等の不純物が作動媒
体に混入することがなく、蓄冷材の汚染、放熱部
内の流路の表面汚染等が原因となる冷凍機の性能
劣化が起きない。また、圧縮ないしは膨張空間内
の作動媒体が、作動空間用ベローズによつてその
内部に保持され、真空容器、断熱支持円筒、断熱
連結棒および真空気密用ベローズによつて常温部
から隔離されるので、作動媒体による常温部から
の熱侵入が低減されるので、極低温の発生・保持
が容易となる。

さらに、作動媒体の最大圧力を作動媒体の臨界
圧力以下、もしくは、作動媒体の最大圧力と最小
圧力の間に作動媒体の臨界圧力が存在するように
したので、作動媒体の圧力が低くなり、作動空間
用ベローズの寿命が増大する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は
従来のものと比較した本発明のＳ−Ｔ線図、第３
図は第２図と同様な線図、第４，５図は本発明の
変形例を夫々示す図、及び第６図は従来の冷凍シ
ステムを示す図である。１０，４５，９０，９１……低温領域の冷凍
機、１１，７２，１２１……高温領域の冷凍機、
２４，２５，５６，６１，６２，１０３，１０
４，１０９，１１０……作動空間用ベローズ、３
３，３４，５９，６８，６９……真空気密用ベロ
ーズ、３８，５４，１１５，１１６……弁装置。

Claims

【特許請求の範囲】１高温領域と低温領域の２系統の冷凍機からな
り低温を発生させるための冷凍装置において、前記低温領域の冷凍機を構成する１箇以上の圧
縮空間及び１箇以上の膨張空間のうち、１箇以上
を作動空間用ベローズによつて構成し、該作動空間用ベローズの一端を真空容器内に配
設された断熱支持円筒の一端に固設し、該断熱支持円筒の他端には大気と前記断熱支持
円筒とを気密的に区画する真空気密用ベローズを
配設し、前記作動空間用ベローズの他端と該真空気密用
ベローズの真空側内端とを断熱連結棒で結合し、前記真空気密用ベローズの大気側外端に駆動用
連結棒を固設し、前記作動空間用ベローズによつて構成される空
間の作動媒体の最小圧力が作動媒体の臨界圧力よ
り低いようにした手段を有し、前記低温領域の冷凍機の膨張空間で、前記作動
媒体の一部又は全部を液化させるようにした冷凍
装置。