JPH03504777A - 変換器を可動的に位置づけるためのセラミック支持アーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は一般に磁気ディスクドライブの読み２／書きヘッドの高速位置づけ用の 支持アームなどの変換器等を可動的に位置づけるための支持アームに関する。

背景の技術 磁気ディスクドライブはデジタル形状にて情報を保管するためにコンピュータや データ処理システムに広く使用されている。デジタル情報はディスク表面の領域 の選択的磁気的かたよりによって磁気ディスクの記録面上に磁気的に記録される 二極エンコードデータとして磁気ディスクドライブ内に保存される。磁気ディス クの記録面は通常、異なる半径の細い環状域のトラックに分割されている。これ らのトラックは記録面上にデータを配置するためのアドレスを提供するよう番号 が付されている。

最近の磁気ディスクドライブにおいては隣接するトランクが接近しており、隣接 するトラックのセンター間距離が５０μ溝程度もめずらしくはない。

磁気ディスクに保存されたデータは、ディスクが回転するとき、読み／書きヘッ ドと呼ばれている変換器によってアクセスされる。回転して℃・る磁気ディスク からデータを読み取るため、読み／書きヘッドは、該ディスクが回転するとき、 該読み／書きヘッドに接近した磁気デイスクの記録面の磁気極性を与えられた領 域の通路に応答して電気的読み信号を発生する。回転する磁気ディスクへデータ を書くために、該読み／書きヘッドはその上への電気的書き信号の付与に応答し 該ヘッドに接近して通る記録面ディスクの極性領斌をもたらす磁界を発生する。

この読み／書きヘッドは読み／書きヘッド支持組立体により選択されたトラック を記載したラジアル位置へ側方九位置づけられる。これまでの磁気ディスクドラ イブにおいては、この読み／書きヘッド支持組立体は支持アームを含んでおり、 この支持アームはステッパーモータ、ロータリボイスコイルアクチュエータ、又 はリニャインダクションモータなどの支持アームボジシオニングアクチュエータ に一端を接続している。この支持アームはディスクの周辺の半径方向外方の位置 から片持梁状能にて回転ディスク上へ伸びて℃・る。リジッド磁気ディスクの場 合、読み／書きヘッドは、通常、ブレード状の読み／書きヘッド支持フィンガー により位置づけアクチュエータへ取付けられた端部に対向する支持アームの端部 へ接合されており、該ブレード状のフィンガーはディスクの記録面に垂直な方向 に可撓性を有している。磁気ディスクの回転によって記録面に接近して空気流が 発生し、これが一般に読み／書きヘッドをディスクの面から空気力学的に安定し た距離に持上げている。回転磁気ディスクの表面と読み／書きヘッドとの分離距 離は技術の進歩に特表平３−５０４７７７　（３） より減少しており、今日の磁気ディスクではマイクロメータ以下となっている。

昨今のコンピュータシステムによって要求されているような高速でデータを読み かつ書くために、この読み／書きヘッドは、出来るだけ短時間で読み又は書くよ う、磁気ディスク上のトラックの記録部へもたらされねばならない。その結果、 読み／書きヘッドの側方位置づけ即ち磁気ディスクの記録面に平行な位置づけが 高速度でなされなければならない。しかしこの読み、／書きヘッドの高速側方位 置づけは読み／書きヘッド支持組立体の慣性荷重をともなう。残念なことに、こ のような慣性荷重は読み／書きヘッドを所望位置を越えて側方によけいに移動さ せかつこの読み／書きヘッド支持組立体特に該組立体の片持梁支持アームに側方 振動を発生させることとなる。そのような側方振動は、特に支持アームが突然減 速して停止するときに厄介なものとなる。支持アームは読み／書きヘッドが接続 されている端部に対抗した端部に支持されているので、この側方振動は読み／書 きヘッドに接続されている支持アームの端部において最大となる傾向がある。支 持組立体の始動加速及び制動減速によって生じる読み／書きヘッド支持組立体の 慣性荷重によりもたらされるこの過剰移動及び側方振動は、読み／書きヘッドが 新たな位置へ安定化するために必要とする時間を長びかせる傾向があり、このた めディスク上のデータに満足にアクセスできる速度を制限している。

加えて支持アームの運動によりもたらされるディスク面へ垂直な方向の振動は、 読み／書きヘッドとディスクの記録面との間に、特にヘッドと今日一般に使用さ れているディスクとの間の接近した位置関係の観点からみて、両者間に衝突の危 険をもたらすであろう。かかる衝突は読み／書きヘッドやディスクを破損せしめ 、停止時間、高価な補修、データ損傷等をもたらす。

高速度でのデータへのアクセス要求に加え最近の磁気ディスクドライブは寸法上 の制限を受けている。これはデジタルコンピュータやデータ処理システムが一般 に小型化しているからである。磁気ディスクドライブがさらにｌＪ−型化されて いるため、読み／書きヘッド支持組立体はｌＪ・型化され複雑化した形状となる 傾向にある。読み／書きヘッド支持組立体のための支持ヘッドはしばしば一部が アルミニューム合金又はマグネシューム合金で作られている。これはそのような 材料は公知の金属成形及び機械加工技術により、容易に読み／書きヘッド支持ア ームを、必要な複雑な形状に加工でき、しかも磁気ディスク上の近接したトラッ クの夫々に読み／書きヘッドが正確に整合するのに必要な寸法的正確さを提供で きるからである。

この材料で作られた要素の抵抗を加速及び減速によって発生する慣性力による偏 向につり合せる材料の特性は該材料の１比較側度（５ｐｅｃｉｆｉｃ　５ｔｉｆ ｆｎｅｓｓ　）″である。

この比較剛度は、材料の密度（ρ）でもって張力下にある材料の弾性係数（Ｅ） を割った値で定義され、以下の等式で表現出来る。即ち比較剛度＝Ｅ／ρ。

磁気ディスクドライブの読み／書きヘッド支持組立体のための支持アームを作る 際に通常使用されているマグネシューム及ヒアルミニュームの合金はこの比較剛 度値は約２．５Ｘ１０’惟である。

多くのセラミック材料は公知のマグネシューム及びアルミニュームの合金よりも 高い比較剛度を有している。

例えばアルミナ（’Ａ’ｔＯｓ）は約９　Ｘ　１０”ｎ％であり、シリコンカー バイト（ＳｉＣ）は約２０　Ｘ　１０’ｍである。このようなセラミックは高い 比較剛度値を有しているが一般には非常に硬くもろい。そのためこのよ５な材料 を機械加工して磁気ディスクドライブの読み／書きヘッド支持組立体用の支持ア ームに要求されるような複雑な形状を得ることは不可能ではないにしても実際的 ではなかった。

このようなセラミックで要求された形状の支持アームを製造する鋳造及び焼成を 含む公知のセラミック成形技術も、また、部品間の寸法変化が所定の公差を越え るため実用的ではない。

磁気ディスクドライブの変換器支持組立体の振動上の問題を解消するため多（の 試みがなされたが、それらはほとんど成功しなかった。

ガポー（Ｇａｂｏｒ）の米国特許第３，７６９．４６７号は振動減衰変換器ヘッ ド組立体を開示している。この変換器ヘッド組立体は磁気ディスクドライブユニ ットの可動ア−ムの端部へ載置されている。エネルギ吸収材料が変換器ヘッド構 造体とかなりち密な材料から成る懸吊質量との間に挿入されている。このエネル ギ吸収材料は、この吸収材料へ作用する変形インパルスの速度が増加すると一層 ルーズになる。該特許によれば、このことがディスクドライブ作動に際して発生 する加速力及び減速力によって生じる振動を減衰する傾向を示す。しかしエネル ギー吸収材料及び懸吊質量の双方は変換器ヘッド組立体の質量を着るしく増大さ せ、加速及び減速に対する組立体の能力を遅らせる傾向がある。

オーランド（０ｒＬａｎｄｏ　）及びウエデンハ−ｑ−（Ｆｇｉｄａｎｈａｍｍ ｇｒ　）の米国特許第３，９３６．８８１号は可撓性ディスク記録装置における 変換器ヘッドを支持する空気減衰サスペンション機構を開示している。このサス ペンションシステムはディスクへ対しほぼ垂直な方向の振動を減衰するが側方振 動は明らかに減衰しな（・。さらにこのサスペンション機構は周辺圧力よりも大 きい圧力でサスペンション機構へ空気を供給するための空気供給システムを要求 している。

本発明の要約 私は高速度で正確に位置づけられつる読み／書きヘッドのような変換器を可能と しかつ上述の公知技術の問題点を解決するセラミック支持アームを発明した。

概括的には本発明の支持アームは、変換器組立体を片持梁状態で可動的に位置づ けかつ支持する形態をしている。この支持アームは、基本的には約５×１０６． Ｌを越える比較剛度を有するセラミック材料から構成されている。

本発明の支持アームを構成する好ましいセラミック材料としてはアルミナやシリ コンカーバイトがある。本発明の支持アームは、ボジショニングアクチュエータ へ接続するためのボジショニング・アクチュエータ接続端と、変換器組立体へ接 続するための変換器組立体接続端と、を有している。支持アームの変換器組立体 接続端は変換器組立体を支持アームへ接続するため変換器組立体要素に係合する よう支持アームと一体の変換器組立体接続構造体を形成するような形状をしてい る。支持アームのボジショニング・アクチュエータ接続端は支持アームをボジシ ョニングアクチュエータへ接続するためポジショニング・アクチュエータ締付要 素に係合するよう支持アームと一体のボジショニングアクテユエータ接続構造体 を形成するような形状をしている。

本発明の支持アームは、望ましくは、外方フレームと、該外方フレーム内に伸長 しておりかつ支持アームを強化するため該外方フレームへ接続している複数の突 張部材と、を形成するような形状をしている。この外方フレームと、突張部材と 、は支持アームを貫通している複数の軽量化孔を形成している。このような望ま しい支持アームの突張部材と外方フレームを形成している要素とは矩形、Ｉ形ビ ーム、Ｌ形ビーム、溝形又はその他の形状を有することができる。突張部材及び 外方フレームを形成している要素の断面形状及び寸法は有利には支持アームの重 量を減じるようにかつ使用時に受ける慣性力によって生じる変形に対する支持ア ームの抵抗を増大するように選択されよう。特に、ある用途に対しては、重量を 減じかつ慣性力によってもたらされるオーバーシュート及び側方振動に対する抵 抗力を増大するように支持アームの全長にわたり、突張部材及び支持フレーム要 素の断面寸法及び形状にテーパをつけ又は変化を与えることが望ましい。外方フ レーム及び突張部材はもし望まれるなら空気抵抗を減じるため箔形状とすること も出来る。

本発明の望ましいセラミック製支持アームは、軽量で、しかも高速度でボジショ ニング変換器の支持アームを加速始動しかつ減速停止する際発生する慣性力によ りもたらされるオーバーシュート及び側方振動に十分抵抗できる剛性を有してい る。

支持アームの好ましい実施例においては、１つ又はそれ以上の金属コンダクタが 支持アームの表面に沿って伸長し、電気的導体通路を形成している。支持アーム のこのような電気的導体通路は変換器へ及び変換器から支持アームの端部へ電気 信号を伝達するのに使用されうる。

この金属コンダクタは、支持アーム上へ所定パターンの金属インキをスクリーニ ングし、次いで所定パターンに金属コンダクタを形成するためインキの金属要素 を浴かしかつ支持アームの表面に該要素を結合するよう支持アームを熱処理する ような公知のプリント回路技術により支持アームへ付与されうる。金属コンダク タは、支持アームの上面又は下面に、もし望まれるならその両面に付与される。

支持アームを構成するある好ましいセラミック材料は電気的に絶縁されているの で、公知のアルミニューム又はマグネシュームの合金支持アームに比べて金属コ ンダクタと支持アームとの間に絶縁層は必要でない。

例えば予増幅又は信号調節のため、もし必要なら、一体化した回路が金属コンダ クタに接続されかつ支持アームに担持されよう。

本発明の好ましい支持アームは、データを保管のための少なくとも１つの剛的磁 気ディスクを有するタイプの磁気ディスクドライブにおいて及び磁気ディスクか ら読みとりかつ磁気ディスクへ書き込む読み／書きヘッド組立体において有利に 使用されうる。この読み、／書きヘッド組立体は一端をこのような好ましい支持 アームへ取付けられる。支持アームは対向端を枢動運動によって位置付けるよう に回転ボイスコイル又はステッパモータのようなボジショニングアクチュエータ へ対し、又は直線方向前進及び後退によって位置付けるようにＩＪ　ニアイ／ダ クションモータへ対し取付けられる。

望ましくは支持アームの変換器・組立体接続端は変換器組立体を支持アームへ接 続するため変換器・組立体・締付ねじを受入れる形状をした複数の内ねじ付札を 構成するよう成形されている。支持アームのポジショニングアクチュエータ接続 端は支持アームをポジショニングアクチュエータへしつかり取付けるため内ねじ 付札を有している。

本発明の別の好ましい実施例では複数のセラミック製支持アームが整合した積重 ね関係に配置され積重ねた支持アーム組立体を形成している。この積重ねた支持 アーム組立体の６対の隣接する支持アームは一般に支持アームのポジション・ア クチュエータ接続端に位置づけられたスペーサによって分離されている。このス ペーサは、ある用途においては支持アームと異なる材料で構成するのか有利であ るが、望ましくは支持アームと同一の材料で作られる。このような積重ね支持ア ーム組立体は、マルチ・ディスク磁気ディスクドライブにおいて有利に使用され ている。また一体的な積重ね支持アームユニットは複数の支持アーム部材を含み 、そのような各支持７一ム部材は一端を一般に柱状シリンダへ接続しかつ該柱状 シリンダと一体的に形成されている。本発明の好ましい積重ね支持アームユニッ トは高い比較剛度をもつセラミック材料で構成された一体的構造体をしている。

本発明のセラミック製支持アームの製造には種々の方法がセラミック製支持アー ム夷造の好ましい方法は、粉末セラミックと有機バインダシステムとからセラミ ック添加の成形コンパウンドを準備すること、このセラミック添加の成形コンパ ウンドを射出成形しグリーン（”ｇｒｏａｎ’）パーツを形成すること、該グリ ーンパーツからバインダシステムの少なくとも１つの成分を除去して自己支持性 の多孔性ストＩＪツブ済パーツを形成すること、該ストリップ済パーツを加熱し て残存バイ／ダシステムを基本的に減少させセラミック粉末を焼結して最終支持 アームを製造すること、の諸工程を含む。

この好ましい射出成形方法は、セラミック物品の公知の鋳造方法と価格的に競争 できる方法によって本発明の寸法的に正確なセラミック支持アームの大量生産を 可能としている。この望ましい射出成形方法は、かかるパーツが機械加工や仕上 加工のような二次加工をいらずに製造できることを可能としている。この望まし い射出成形方法により、本発明の支持アームは広範囲にわたる形状及び構造にて 容易に製造出来る。例えば、支持アームは、種々の形状の突張部材や種々の幾何 学形状の開口部分を含むことが出来る。重要なことには、この望ましい射出成形 方法は、ｈじを切るためのタッピング加工やその他の機械的操作を必要とせずに 、内ねじ面が形成された孔を有するセラミック支持アームを製造出来る。

本発明のセラミック支持アームを製造するための好ましい方法は下記の工程を含 む。まず粉末アルミナ又は粉末シリコンカーバイトのような細かく分割されたセ ラミックパウダが有機バインダシステムと混合される。このときの温度は該バイ ンダの溶融温度以上とする。この混合によってセラミック添加成形コンパウンド を形成する。

この有機バインダシステムは望ましくは抽出可能なバインダ要素と、基本的に非 抽出可能バインダ要素と、抽出可能可塑剤と、を含む。特に望ましい有機バイン ダシステムは３つの成分を含む。即ち、抽出可能なバインダ要素のようなポリス チレンと、基本的に非抽出可能バインダ要素のようなポリエチレンと、可塑剤の ような水素添加の植物油と、である。ステアリン酸のような型油もまた含まれる のが望ましい。セラミック添加のモールデングコンパウンドは熱可塑性であり、 熱可塑性ポリマー用の公知の射出成形装置で成形出来、特に有利である。

この望ましい製造方法は、モールデングコンパウンドを射出成形することによっ てアーム用の望ましい形状をした成形パートを形成することを含む。この工程の 現時点においてグリーンパートと呼ばれるこの成形されたパートの直線寸法は、 その後の加工にてこのパートが収縮するため最終パートに要求される寸法より幾 分大きくなっている。

次いでこのグリーンパートは望ましくは１つ又はそれ以上のソルベント（特にエ チルアルコール次いでトリクロロエチレンが望ましい）中につけられる。これら のソルベントは抽出可能バインダ要素及び可塑剤を解消できるが基本的に非抽出 可能なバインダ要素及びセラミックパウダーを有効に解消することは出来ない。

このグリーンパートは該パートから可塑剤及び抽出可能なバインダ４！累の実質 的断片を抽出するために十分な時間だけソルベント内に沈められる。次〜・で該 パートはソルベントから引出されて乾燥される。こうして出来たパート（これを 現時点ではグリーンパートという）は可塑剤及び抽出可能バインダ要素の抽出の ため多孔性をしているが当該パート内に残っている基本的に非抽出可能バインダ 要素のため自己支持性を有しその形状を維持している。

次いでこのストリップ済パートは熱処理のために炉内に置かれる。このパートは 漸次加熱され（望ましくは酸化雰囲気中で）、残存バインダを熱的に分解し放遂 し、その後抽出工程が望ましくは原理的に基本的非抽出可能要素を合成する。当 初このストリップ済パートは多孔性であるので残存バインダ要素からのガス状分 解製品は、水ぶくれや該パートの形状ゆがみを生じることなく、この熱処理工程 中このパートから逃げ出すことが出来る。

炉の温度は最終的には、セラミック粒子を焼結するため該セラミックの溶融温度 に接近した温度まで上昇する。

この熱処理工程中、ストリップ済パートは一般的に等方性状に仕上がり支持アー ムのための所望寸法まで収縮する。もし望まれるならこの最終焼結支持アームは 、公知のキヤステング法によって製造されたセラミックパーツの特性と同様の基 本的に孔のないバルク構造特性とすることができる。

本発明の支持アームを製造するのに望ましいセラミック材料は約５　Ｘ　１０１ １情を越える比較剛度な有している。

より望ましくは、このセラミック材料は約７．５　Ｘ　Ｉ　Ｏ”ｔｎを越える比 較剛度を有している。例えば、不発明の支持アームを製造するのに荷に適した材 料であるアルミナは概ね９　Ｘ　Ｉ　Ｑ’ｍの比較剛度を有して（・る。

本発明の支持アームとしての好ましいセラミック材料は公知のアルミニューム合 金やマグネシューム合金よりも熱膨張率が低い。このためかかるセラミック材料 から作られる支持アームは、公知のアルミニューム合金又はマグネシューム合金 から作られた支持アームよりも膨張又は収縮が着るしく少ない。例えば標準のマ グネシューム合金やアルミニューム合金は夫々約３８×ｌＯ’ｍ／慣／℃及び約 ２３Ｘ１０″″’　ｍ　／　ｍ　／　’Ｃの熱膨張率を有している。これらは夫 々アルミナ及びシリコンカーバイトの熱膨張率約７　Ｘ　１０−’　ｍ　／　ｍ 　／　’Ｃ及び約４．５　Ｘ　１０−’ｍ　／　ｔｎ　／　”Ｃよりも実質的に 大きい。しかしてアルミナ及びシリコンカーバイトは同じ温度変化に対し、公知 のアルミニューム合金又はマグネシューム合金よりも約３〜１０倍の寸法安定性 を提供している。

本発明の望ましいセラミック支持アームは公知のアルミニューム合金又はマグネ シューム合金から作られた同じ重量及び同じ全体寸法の支持アームよりも剛性が 大きい。その結果、本発明のそのような好ましい支持アームは公知の支持アーム よりも着るしく速い速度で磁気ディスクドライブに読み／書きヘッドを位置づけ るために使用でき、それにも拘らず公知の支持アームと同様に又はそれ以上に側 方オーバーシュート及び側方振動に抵抗できるのである。一方、所定の位置づけ 速度での所定のオーバーシュートのため、本発明の好ましいセラミック支持アー ムは、アルミニューム合金又はマグネシューム合金で作られた同じ全体寸法を有 する公知の支持アームより着るしく軽量に作られる。このような本発明の支持ア ームにおける軽量化は磁気ディスクドライブのポジショナルアクチュエータの動 力を減じろことができ、このことがひいてはこの望ましい支持アームを形成する 磁気ディスクドライブの熱放散、寸法、価格の減少を可能としているのである。

図面の簡単な説明 本発明の好ましい実施例を下記図面を参照しながら述べる。

第１図は読み０１αｄ）／書き（ｗｒｉｇｇ）ヘッド装置に接続された本発明の 好ましいセラミック製支持アームの第１実施例の上面図である。

第２図は第１図の！２−２に沿ってみた拡大断面図である。

第３図は支持アームの表面に配置された金属製導体を有する本発明の好ましいセ ラミック製支持アームの第２実施例の上面図である。

第４図は本発明の好ましいセラミック製支持アームの第３実施例の上面図である 。

第５図は第４図の装置の端面図である。

第６図は積重ねた本発明の支持アーム組立体の好ましい例を示す側面図である。

第７図は積重ねた本発明の支持アームエニットの好ましい例を示す側面図である 。

本発明を実施するための最良の方式 第１図を参照すると、磁気ディスクドライブに使用するための支持アーム１０は 、外方フレーム１１と突張部材１２とを有している。突張部材１２は外方フレー ムｌｌ内に伸長しておりかつ支持アーム１０を剛化させるために外方フレーム１ １へ接続されている。支持アーム１０はアルミナから構成され、かつ後述の射出 成形、浸出、焼結を含む工程により製造される。突張部材１２及び外方フレーム １１は複数の軽量化用の孔１４を形成している。これらの孔１４は支持アーム１ ０の剛性を維持しつつ重量の最小化を図っている。

支持アーム１０はポジション・アクチュエータ接続端１５と、読み（ｒｅａｄ　 ）／書き（ｗｙｉｔｇ）ヘッド組立体接続端１９と、を有している。ポジション ・アクチュエータ接続端１５にある４つの締付孔１６と溝１８とによって、支持 アーム１０はポジショニングアクチュエータとして作動する図示していない高速 回転ポオイス・コイルアクチュエータへ取付けられる。締付孔１６と溝１８とは 支持アーム１０を貫通しかつ支持アームをアクチュエータへしつかり接続するた めに図示していない締具を受入れるよう形成されて（・る。

第２図に示すように、上部の読み／香きヘッド４０及び下部の読み／書きヘッド ４５は夫々上下の読み／書きヘッド支持フィンガ２０，２５によって支持アーム １０へ対し機械的に接続されている。上下の読み／書きヘッド４０．４５へ対す る電気的接続は簡便化のため第１及び２図には示していない。支持アームｌＯの 読み／Ｖきヘッド組立体接続端１９は内ねじを有する４つのねじ孔２２．２７を 備えている。読み／書きヘッド支持フィンガ２０．２５はこれらの内ねじ付札２ ２．２７へ螺合するねじ３０．３２によって支持アーム１０へ接続されている。

第２図に示すように、上部の読み／書きヘッド４０は上部の磁気ディスク５０の 下側の記録面５２に近接して位置づけである。下部の読み／ＩＦきヘッド４５は 下部の磁気ディスク５５の上側の記録面５７に近接して位置づけである。上部支 持フィンガ２０は弾性を有し、かつ上部の読み／書きヘッド４０を記録面５２の 方へ強制するよ５偏倚されている。磁気ディスク５０の回転は空気流を発生させ 、この空気流は読み／書きヘッド４０を記録面５２の方へ空気力学的に釣合せ、 その結果、この読み／書きヘッド４０は記録面からはなれた空気力学的に安定し た位置に位置している。第２図に示す上部読み／書きヘッド４０と上部磁気ディ スク５０の下側記録面５２との間の分離は明確さのために誇張されて示している 。

下部の読み／誉きヘッド４５は同様に下部の支持フィンガ２５の弾性により下部 の磁気ディスク５５の上面の記録面５７の万へ強制されており、ディスクの回転 により発生する空気流によって空気力学的に釣合され、これにより該ヘッドは当 該記録面からはなれた空気力学的に安定した位置に位置している。

第３図を参照すると、磁気ディスクドライブ内に読み／書きヘッドを支持してい る支持アーム１１０はアルミナによって形成されている。この支持アーム１１０ は該支持アームへ信号をもたらすため当該支持アーム上へ配設された１０個の銅 金属製コンダクタ１５０．１５２を有している。上部の読み／書きヘッド１４０ は読み／書きヘッド支持フィンガ１２０によって支持アーム１１０へ対し機械的 に接続されており、前記支持フィンガ１２０はねじ１３０によって支持アーム１ １０へ取付けである。

これらのねじ１３０は支持アーム内に形成された図示していない内ねじ孔内へ螺 合している。ツインワイヤリード線１５４が読み／書きヘッド１４０を支持アー ム１１０の長手方向に沿って伸びている２つの上部の読み／書きヘッド信号通路 １５６へ電気的に接続して（・る。図示していない下部の読み／ｉＦきヘッドは 、支持アーム１１０の上下面間を通る２つの通過開口１６０を介して２つの下部 の読み／嘗きヘッド信号通路１５８へ接続されている。図示していない一体化し た回路のプレアンブリファイア及び信号コンディショナが、一体化した回路のチ ップ接続位置１６２にて支持アーム１１０へ載置されかつ一体化した回路のチッ プ接続位置１６２にて終っているコンダクタ１５０，１５２へ接続されることが できる。

これらのコンダクタ１５０．１５２は、アルミナ基材へ特表千３−５０４７７７ 　（７） 銅コンダクタをプリントする公知のプリント回路技術によって支持アーム１１０ へ配設される。コンダクタ１５０．１５２は支持アームの迅速な運動にも拘らず 所定部所へしつかり存置する。

第４図及び第５図を参照すると、磁気ディスクドライブ用のアルミナ支持アーム ２１０が読み、／書きヘッド組立体２１５へ接続されている。この読み／書きヘ ッド組立体２１５は読み／書きヘッド支持フィンガ２２０へ接続された読み／書 きヘッド２４０を含んでいる。該支持フィンガ２２０は支持アーム２１０の読み ／書きヘッド組立体接続端２１６へ接合されており、かつ支持アームの長手方向 軸線圧おおよそ垂直な角度に突出している。

支持アーム２１０は外方フレーム２１１と、４個の軽量化孔２１４を形成してい る３個の突張部材２１２と、を有している。これらの突張部材２１２と軽量化孔 ２１４とは支持アーム２１０の重量を軽量化しかつ側方からの荷重及び振動に十 分耐えうるよ５に画成されている。支持アーム２１０はポジショニング・アクチ ュエータ接続端２１７を図示していないロータリボオイス・コイルポジショニン グアクチュエータへ接触されている。支持アームのボジショニング・アクチュエ ータ接続端２１７から外方へ突出している３つのタブ２１８が支持アームをアク チュエータへ接続するため該ボジショニングアクチュエータの３つの有効な補助 ソケットへ係合している。

第６図を参照すると、積重ねられた支持アーム組立体３００がマルチディスク磁 気ディスクドライブ内にて使用するため長手方向に整合して積重ね配置した４個 の支持アーム３１０．３１２．３１４．３１６を有している。

これらの支持アーム３１０．３１２．３１４．３１６の隣接する一対はスペーサ ３２２．３２４．３２６によって互いに分離されている。これらの支持アーム及 びスペーサはアルミナで形成されている。各支持アーム３１０．３１２．３１４ ．３１６は上で述べた第１図の支持アーム１０の横断方向突張構造を有している 。積重ねた磁気ディスクの使用は単独ディスクの磁気ディスクドライブに関し磁 気ディスクドライブの保存容量を増大している。

加えてこの積重ねた支持アーム組立体３００は一つの磁気ディスクよりも多く一 度にアクセスされることができ、こうして磁気ディスクドライブから読まれ又は 該磁気ディスクドライブへ書かれることが出来るデータの速度を増大する。

積重ねられた支持アーム組立体３００の最上部の支持アーム３１０は、該支持ア ーム３１０の読み／書きヘッド組立体接続端３１１に形成された図示していない 内ねじ付札へ螺合するねじによって上下の読み／Ｖきヘッド支持フィンガ３３０ ．３３２へ取付けである。上下の読み／書きヘッド支持フィンガ３３０，３３２ は次いで夫々上下の読み／Ｖきヘッド３４０．３４２へ接続されている。上部の 読み／書きヘッド３４０は最上部の磁気ディスク３５０の下側記録面へ近接し、 下部の読み／書きヘッド３４２はその下方の磁気ディスク３５２の上側記録面へ 近接している。残りの３つの支持アーム３１２．３１４．３１６は、同様にして 、同様の読み／書きヘッド支持フィンガ及び読み／書きヘッドにより残りのディ スクへ近接している。

支持アームが近接する磁気ディスクに関する積重支持アーム組立体内の各支持ア ームに要求される位置公差は、積重ねていない支持アームが近接する磁気ディス クに関する積重ねていない配置中の単独の支持アームに要求される位置公差と基 本的に同一である。その結果、支持アームの寸法公差と積重ねた支持アーム組立 体を形成するスペーサとは、要求された位置公差を達成するために使用された単 独の積重ねていない支持アームの寸法公差よりは通常かなりきびしい。例えばも し±５０μ惰の位置公差が単一支持アームにより個別的に満足されかつ積重ねた 支持アーム組立体３００の各支持アームによって満足されねばならない場合には 、単独の支持アームは±５０μ惰の寸法公差に作られ、一方寸法止最悪の累積偏 差を認めるためにはよりきびしい寸法公差が該組立体の７つの要素によって適合 されねばならない。特に４つの支持アームと、３つのスペーサと、は±５０／７ μｍ即ち約±７μ惰内の寸法上の正確さを持たねばならない。

積重ねた支持アーム組立体内の支持アームの数が多ければ多いほど、各々の要素 の寸法公差を満足させることが一層困難となりかつ高価となる。

第７図を参照すると、マルチディスクの磁気ディスクドライブに使用する一体的 に積重ねた支持アームユニット４００は４つの支持アーム部材４１０．４１２． ４１４．４１６を有しており、夫々は通常一端部を円柱状トランク４２０に取付 けられかつそれと一体的に形成されている。各支持アーム部材の他端は図示して いない内ねじ付札を有し、ここに上下の読み／書きヘッド組立体が取付けである 。例えば最上部の支持アーム部材４１０は上下の読み／書きヘッド支持フィンガ ４３０，４３２へ取付けられ次いでこれらの支持フィンガ４３０，４３２は上下 の読み／書きヘッド４４０，４４２へ接続されている。

積重ねた支持アームユニット４００の各支持アーム部４１０．４１２．４１４． ４１６は上述の第１図に示す支持アーム１０とほぼ同様の軽量化のための孔を備 えた横断方向突張構造を有している。

積重ねた支持アームユニット４００は、後述のように望ましくは射出成形方法に よってアルミナから成る一体構造物として作られる。このユニットは一体的に形 成されるので、支持アーム部材の寸法及び近接する磁気ディスクに対するこれら の支持アーム部材の寸法に要求される公差は容易に達成される。

本発明を形成するための好ましいプロセスの基本的ノぐラメータについて 不発明の支持アームは次の工程により製造されうる。

初めに、この工程はセラミックパウダと有機バイ／ダシステムの混合物を構成す ることを含む。粉状アルミナ及び粉状シリコンカーバイトが好ましいセラミック パウダであり、粉状アルミナが特に望ましい。セラミックパウダの粒子寸法は原 則的には射出成形機の入口ノズルを介して適切に流動するようなものに制限され る。細かい粒子はより反応性に富むので、焼結後、高密度の細粒化した微粒構造 体を構成し次いでこの構造体は通常焼結部分のための改良された機械的特性をも たらすこととなる。

約０．３μ惰程度のセラミックパウダは容易に成形されることができる。一方、 もし例えば減縮密度のために荒い粒状構造が望まれる場合には約５９０μ営（２ ８メツシユ）程度の荒いセラミック粒子が成形されよ５゜しかしてセラミックパ ウダ用の適当な粒子寸法は約０．３μ情より細かく約５９０μ毒より大きい粒子 寸法を含むであろう。

有機バインダシステムは熱可塑性プラスチックであり、望ましくはポリマー状バ インダを含み、このバインダは有効に非抽出可能である第１バインダ成分を抽出 可能である第２バインダ成分とを含む。このバインダシステムはまた望ましくは このシステムを成形可能とする抽出可能可塑剤と、金型から成形された形状を解 放するための抽出可能な型油と、を含む。特に好ましいバインダシステムは、効 果的な非抽出可能バインダ成分としてのポリエチレン、抽出可能バインダ成分と してのポリスチレン、抽出可能可塑剤としての水素添加の植物油、抽出可能成分 としてのステアリン酸を含む。カーナバロウ、ポリエチレングリコール、シリコ ンオイル等もまた抽出可能潤滑剤として望ましいものである。

有機バインダシステムは望ましくはバインダシステムノ溶融点以上の温度でセラ ミックパウダと共に混合され、有効な均一コンシステンシーから成るセラミック 深化（Ｃａｒａｔａｉｃ　−１ｏａｄｅｄ　）の成形コンパウンドを形成する。

この成形コンパウンドは次に成形されたキャビティを有する金型内へ射出成形機 により射出され、所望の形状を有する支持アームを形成する。一般に成形部品は 後続の加工中に等方性状に収縮するので金型キャビティ寸法はこの収縮のために 等方性状に膨張すべきである。内ねじを有する孔を備えた支持アームを形成する ためねじ切りをしていないコアを有する金型が使用出来る。このようなねじ切り をしていないコアは成形した部品のその後の収縮のため所望の直径及びねじピン チに関して膨張する直径とねじピッチとを有しているべきである。射出成形機は 通常の熱可塑性ポリマ樹脂を射出成形するのに一般に使用され又いる形式のもの でよい。望ましくはセラミック深化の成形コンパウンドは、加圧空気又はプラン ジャによってノズルを介して金型内へ射出される。ま矩、このセラミック深化の 成形コンパウンドはこれらのコンパウンドを金型へ運ぶ、回転スクリューにより シリンダを介して強制されることも出来る。

発生する”グリーン”成形部分は型から取除かれかつ可塑剤及びバインダの抽出 可能成分を抽出するため１つ又はそれ以上の溶剤で処理する。例えば望ましい可 塑剤植物油はエチルアルコール浴内にグリーン部分を入れることによって選択的 に抽出されうるのであり、望ましい抽出可能バインダ成分ポリスチレンは、１， １．１−）リクロロエタン浴内に当該部分を入れることにより抽出されよう。望 ましくは可塑剤及びバインダの抽出可能成分の抽出はバインダシステムのいずれ かの成分の溶融点以下の温度で実施される。

１又は複数の溶剤での処理の後、非抽出可能バインダ成分は残存し、セラミック 粒子を結合し有孔性の自己支持”ストリップ済（Ｓｔｒｉｐｐｇｄ）ｓ部分を形 成する。このストリップ済部分は熱処理及び焼結のために炉内に置かれる。この 熱処理及び焼結は望ましくは酸化大気中で実行される。このストリップ済部分は 漸次焼結温度まで加熱され、残存バインダを分解しかつ追い出し、セラミック粒 子を焼結する。この部分は熱処理及び焼結の際に等方性状態に収縮する。ストリ ップ済部分の多孔度は熱処理及び焼結工程の間その部分を変形することなく非抽 出可能バインダ成分が追い出されることを可能としている。

例示 アルミナ添加成形部分が下記表示の適当な割合で表１に示す要素を結合すること によって準備される。

表　　　１ ポリエチレン　　　　　　　０．８ 植物油　　　　　　　　　　６．４ ステアリン酸　　　　　　　０．８ このアルミナは“アルコア（ＡＬＣＯＡ）’Ａ−１６ＳＧ”アルミナの商標でペ ンシルバニア州ピッツバーグのアルミニュームカンパニオブアメリカ社から購入 できる約０．４μｍの平均粒子寸法を有する反応性の微粉である。植物油はイリ ノイ州シカゴのＢＣＩＵ、Ｓ、フードコーポレーションから”ハントウエンンオ イル”の商標名で購入できる水素添加の植物油である。これらの要素は約１５０ ℃で高剪断ミキサー内で均一に混合され、アルミナ添加成形コンパウンドを形成 される。

ペレット状にした成形コンパウンドは約１５０’Ｃのシリンダ温度でスクリュー タイプの射出成形機内のグリーンパーツ内へ形成される。この射出成形機の金型 は最終の支持アームのための望まれた形状を有しているがその後の収縮のために 約１８％だけ等方性状に大きい寸法を有するグリーンパーツを形成するような形 状及び寸法を有するくぼみを備えている。

グリーンパーツはこの射出成形機の金型から取出されて約２０時間はど室温にて エチルアルコール浴中におかれ植物油可塑剤を選択的に除去する。植物油の除去 はポリスチレン抽出可能バインダー成分のその後の抽出を容易化するのに十分な 程度に孔を開放する。このポリスチレンバインダー成分は室温にて約１２時間、 １，１．１−トリクロロエタン浴に該パーツを置くことによって除去できる。こ うして出来たストリップ済パーツは次いで該浴から取出され乾燥される。

このストリップ済パーツは次いで大気中内の炉へ置かれる。炉の温度は毎分約７ °ずつ約５４０　’Ｃまで上げられその後は毎分約２０°ずつ約１６７０℃まで 上昇される。

次いでこのパーツは約１６７０℃で約１時間程大気中で焼結される。この熱処理 及び焼結サイクルは合計で約６時間行なわれる。焼結したパーツは炉内で冷やさ れる。

児成した支持アームは概ね第４及び５図に示すように長さが約６４關、幅が約３ ２０、厚みが約３關を有するような形状をしている。焼結後に、支持アームは約 ３．８８９のみかけ比重即ちアルミナの理論的比重の約９８％を有している。

本発明は上述の特定の実施例に限定されるものではない。例えば変換器は必要な ら支持アームへ直接接続されうる。磁気ディスク用の読み／書きヘッド以外の変 換器が使用出来、例えば光学ディスクへ保管されたデータへアクセスするための エレクトロ・オプティカル変換器などである。本発明の支持アームはプロッピイ ディスクやリジッドディスクと共に及び片面ディスクや両面ディスクと共に有利 に使用出来る。本発明の積重ねられた支持アーム組立体及び一体的な積重ねられ た支持アームユニットは２．３．４．５又はそれ以上の支持アームと協働できる 。本発明支持アームの軽量化孔は矩形、円形、三角形又はその他の形状でよい。

さらに、本発明の支持アームはもし必要なら貫通する孔のないソリッド構造であ ってもよい。本発明のセラミック支持アームは上述の望ましい射出・成形方法で 製造される必要はない。これら及びそれ以外の変換は請求の範囲から出ることな くまた本発明の開示から出ることなくここに開示した特定の支持アーム内に形成 されることが出来、かつこれらの全ての実施例、変形例及び本発明と同様な改良 例はここに包含されるものである。

補正書の翻訳文提出書 （特許法第１８４条の８） 平成　２年　８月２，２日 會 特許庁長官　　　植　松　　　敏　　殿１、特許出願の表示 ＰＣＴ／ＵＳ８９１００７４５ ２、発明の名称 変換器を可動的に位置づけるためのセラミック支持アーム３、特許出願人 住　所　　アメリカ合衆国カリフォルニア用９２１２１．サンディエゴ。

ナンシーΦリッジ拳ドライブ　６７５０名　称　　クウエスト・テクノロジー・ コーポレーション４、代理人 住　所　東京都千代田区大手町二丁目２番１号新大手町ビル　２０６区 ６、添付書類の目録 （１）　補正書の翻訳文　　　　　　　１通請求の範囲 １、片持梁状態にて変換器組立体な可動的に位置づけかつ支持する寸法的に正確 な支持アームであって、該支持のためのボジショニング・アクチュエータ接続端 と、少なくとも１つの変換器組立体く接続のための前記ボジショニング・アクチ ュエータ接続端とほぼ反対側の変換器・組立体接続端と、を有し、かつ、基本的 に５ＸＩＯ’ｍを越える比較剛度と約７　Ｘ　１０”ｍ／　ｍ／’Ｃより少ない 熱膨張率とを有するセラミック材料から構成され、支持アームの変換器組立体接 続端が、少なくとも１つの変換器組立体を支持アームへ接続するため変換器・組 立体締付手段と係合するよう支持アームと一体の変換器・組立体・接続手段を構 成するよう形成されており、支持アームのボジショニングアクチュエータ接続端 が、支持アームをボジショニングアクチュエータに接続するためポジショニング ・アクチュエータ・締付手段と係合するよう支持アームと一体のボジショニ／グ ・アクチュエータψ接続手段を構成するよう形成されている。支持アーム。

２、　セラミック材料が約７．５Ｘ１０’ｍを越える比較剛度を有している請求 項１の支持アーム。

３、　セラミック材料が、アルミナ及びシリコンカーバイトから成る群から選択 されている請求項２の支持アーム。

４、支持アームが、外方フレームと、支持アームを強化するため該外方フレーム 内にて当該外方フレームと同一面内に伸長しかつ該外方フレームに接続されてい る複数の突張部材と、を構成するよう形成され、支持アームを通る複数の軽量化 開口が外方フレームと突張部材とによって構成されている請求項２の支持アーム 。

５、支持アームの変換器・組立体接続端が、変換器組立体を支持アームに接続す るため変換器・組立体締付ねじを受入れるような複数の内ねじ孔を形成する形状 となっている請求項４の支持アーム。

６、前記支持体上に伸びる複数の印刷回路金属コンダクタをさらに含む請求項２ の支持アーム。

７、変換器組立体が磁気ディスクドライブ内の回転磁気ディスクから読み取りか つ該回転磁気ディスクへ書き込む読み／書きヘッド組立体である請求項１の装置 。

＆　複数の変換器組立体を可動的に位置づけかつ支持する寸法的に正確な支持ア ーム組立体であって、該支持アーム組立体が、複数の支持アームと、同様に複数 であるが支持アームの数よりは１つ少ない支持アームスペーサと、を有し、支持 アームは実質的に軸線方向に整合して積重なった関係に配置され、各支持アーム は少なくとも１つの変換器組立体に接続するため変換器組立体接続端を有し、各 支持アームは基本的に約５Ｘ１０’ｗを越える比較剛度と約７　Ｘ　１０−’　 ｍ／　ｍ／’Ｃより少ない熱膨張率とを有するセラミック材料から構成され、各 支持アームの変換器組立体接続端が、少な（とも１つの変換器組立体を支持アー ムへ接続するため変換器・組立体・締付手段と係合するよう支持アームと一体の 変換器・組立体・接続手段を構成するよう形成されており、支持アームスペーサ が隣接する６対の支持アーム間に位置づけられかつ支持アームの変換器・組立体 ・接続端とほぼ反対の支持アームの変換器・組立体・接続端とほぼ反対の支持ア ームの端部にて隣接する６対の支持アームへ接続されており、支持アームスペー サが対をなす支持アームを間隔ずけられた関係に維持している支持アーム組立体 。

９、セラミック材料が約７．５ＸＩＱ’ｗを越える比較剛度を有している請求項 ８の支持アーム組立体。

１０　　セラミック材料が、アルミナ及びシリコンカーバイトから成る群から選 択されている請求項９の支持アーム組立体。

１１、支持アームスペーサが基本的に支持アームと同様なセラミック材料で出来 ている請求項１０のスペーサアーム組立体。

１２　　複数の変換器組立体を可動的に位置づけかつ支持する寸法的に正確な支 持アームユニットであって、支持アームユニットが複数の支持アーム部材から成 り、これらの支持アーム部材が実質的に軸線方向に整合した積重ね関係に配置さ れ、隣接する６対の支持アーム部材が互いに間隔をおいて位置づけられ、各支持 アーム部材が、少なくとも１つの変換器組立体に接続するため変換器組立体接続 端を有し、各支持アーム部材の変換器・組立体接続端が少なくとも１つの変換器 組立体を支持アーム部材へ接続するため変換器・組立体締付手段と係合するよう 支持アーム部材と一体の変換器・組立体・接続手段を構成するよう形成されてお り、支持アーム部材の変換器・組立体接続端とほぼ反対の各支持アーム部材の端 部が支持アーム部材に対し実質的に垂直に伸長している柱状ピストンに接続され かつ該柱状ピストンと一体的に形成されており、支持アームユニットが基本的に 約５Ｘ１０’ｍを越える比較剛度と約７　Ｘ　１０−’ｓ／　ｍ／　’Ｃより少 ない熱膨張率とを有するセラミック材料から構成されている支持アームユニット 。

１３、　　セラミック材料が約７．５ＸＩＱ’ｍを越える比較剛度を有している 請求項１２の支持アームユニット。

１４、セラミック材料が、アルミナ及びシリコンカーバイトから成る群から選択 される請求項１３の支持アームユニット。

１５、片持梁状態にて変換器組立体を可動的に位置づけかつ支持する寸法的に正 確な支持アームであって、該支持アームが、ボジショニングアクチュエータに対 する接続のためのポジショニング・アクチュエータ接続端と、少な（とも１つの 変換器組立体に対する接続のため前記ポジショニングアクチュエータ接続端とほ ぼ反対側の変換器・組立体接続端と、を有し、かつ基本的に約５Ｘ１０’慣を越 える比較剛度と、約７　Ｘ　Ｉ　Ｑ−’　ｍ／　ｍ／　’Ｃより少ない熱膨張率 と、を有するセラミック材料から構成され、支持アームの変換器・組立体接続端 が、少な（とも１つの変換器組立体を支持アームへ接続するため変換器・組立体 ・締付手段と係合するよう支持アームと一体の変換器・組立体・接続手段を構成 するよう形成されており、支持アームのボジショニング・アクチュエータ接続端 が、支持アームをボジショニングアクチュエータに接続するためボジショニング ・アクチュエータ・締付手段と係合するよう支持アームと一体のポジショニ／グ ・アクチュエータ・接続手段を構成するよう形成されており、支持アームが、 （αン　熱可塑性セラミック添加の成形コンパウンドを形成するため粉末セラミ ックと有機バインダシステムとを結合すること、 ＜ｂｉ　　グリーンパートを形成するためセラミック添加の成形コンパウンドを 射出成形すること、 （６１多孔性の自己・支持ストリップ済パートを形成するため実質的に大気温度 及び大気圧力の条件下で少な（とも１つのノルベントを使ってグリーンパートを 処理することによりグリーンパートからバインダシステムの少な（とも主要パー トを除去すること。

ｌｄｌ　　支持アームを形成するため残存バインダシステムを基本的に減じてセ ラミックパウダを焼結するようストリップ済パートを加熱すること。

の諸工程から成る方法で製造される支持アーム。

１７、バインダシステムが、ポリスチレン、ポリエチレ／、及び水素添加の植物 油を含む請求項１５の支持アーム。

１＆　磁気ディスクドライブ内の少なくとも１つの回転磁気ディスクから読み取 りかつ該回転磁気ディスクへ書き込む少なくとも１つの読み／書きヘッド組立体 を片持梁状態で可動的に位置づけかつ支持する寸法的に正確な支持アームであっ て、該支持アームが、ポジショニングアクチュエータへ接続するボジショニング ・アクチュエータ接続端と、少なくとも１つの読み／書きヘッド組立体へ接続す るポジショニング・アクチェエータ接続端へほぼ対抗する読み／書きヘッド組立 体接続端と、を有し、支持アームが、基本的に約７．５ＸＩＱ’−を越える比較 剛度と約７　Ｘ　１０−’　ｍ／　ｍ／”Ｃより少ない熱膨張率とを有するセラ ミック材料から構成され、支持アームの読み／’１きヘッド組立体接続端が、少 なくとも１つの読み／書きヘッド組立体を支持アームへ接続するため読み／書き ヘッド組立体締付手段と係合するよう支持アームと一体の読み／書きヘッド組立 体接続手段を構成するよう形成されており、支持アームのポジショニングアクチ ュエータ接続端が、支持アームをボジショニングアクチュエータに接続するため ボジショニング・アクチュエータ・締付手段と係合するよう支持アームと一体の ボジショニング・アクチュエータ・接続手段な構成するよう形成されている、支 持アーム。

１９、　　セラミック材料がアルミナ及びシリコンカーバイトから成る群から選 択されている請求項１８の支持アーム。

国際調査報告 １−１６１−ａ＋＝６−ａｌＡＤＩｍａｌ”６−ＮｏＰｃＴ、ｔＩｓ８９．Ｏｏ 、４５１ｎ＋＋＋１Ｉａｂａｎａ□　Ａ　＠１ｅｍ■噂ｎ　Ｈａ　、　　ｐ　ｒ 　Ｔ　ｔ　＋　ｌ（ａ　Ｑ　ｔ　ｎ　ｎ　７　ｒ、　ｅ。

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Ｉｎ　ｔｈｉｓ　Ｃａｎｔ　ｔｈ＠ｐｒｏｃｅｓｓ　ａｓ　ｃｌａｉｍｅｄ　ｃ ａｎ　ｂｅ　ｕｓｅｄ　ｔ。

１ａａｋ＊　ａ　＋ａａｔａｒｉａｌｌｙ　ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ　ｐｒｏｄｕｃ セ（ｓ）　５ｕｃｈ　ａｓ　ｖａｒｉｏｕｓｔｏｙｓ　ｕｓｅｄ　ｂｙ　ｃｈｉ ｌｄｒｅｎ　ａｎｄ　ｔｈ＠ｐｒｏｄｕｃｔ　ａｓ　ｃｌａｉｍ＠ｄ　ｃａｎ　 ｂ＠＋ａａｄｅ　ｂｙ　ａ　ｍａｔｅｒｉａｌｌｙ　ｄｉｆｆ＊ｒａｎセｐｒｏ ｃｅｓｓ　５ｕｃｈ　ａｓ　ｍｉｌｌｉｎｇａｎｄ　ｄｒｉｌｌｉｎｇ　ａ　ｐ ｉｅｃｅ　ｏｆ　ｃｅｒａｍｉｃ　ｍｔｅｒｉａｌ。

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. １．片持梁状態にて変換器組立体を可動的に位置づけかつ支持する支持アームで あつて、該支持アームが、ポジシヨニングアクチユエータに対する接続のための ポジシヨニング・アクチユエータ接続端と、少なくとも１つの変換器組立体に接 続のための前記ポジシヨニング・アクチユエータ接続端とほぼ反対側の変換器・ 組立体接続端と、を有し、かつ、基本的に５×１０６ｍを越える比較剛度を有す るセラミツク材料から構成され、支持アームの変換器組立体接続端が、少なくと も１つの変換器組立体を支持アームへ接続するため変換器・組立体締付手段と係 合するよう支持アームと一体の変換器・組立体・接続手段を構成するよう形成さ れており、支持アームのポジシヨニングアクチユエータ接続端が、支持アームを ポジシヨニングアクチユエータに接続するためポジシヨニング・アクチユエータ ・締付手段と係合するよう支持アームと一体のポジシヨニング・アクチユエータ ・接続手段を構成するよう形成されている、支持アーム。
2. ２．セラミツク材料が約７．５×１０６ｍを越える比較剛度を有している請求項 １の支持アーム。
3. ３．セラミツク材料が、アルミナ及びシリコンカーバイトから成る群から選択さ れている請求項２の支持アーム。
4. ４．支持アームが、外方フレームと、支持アームを強化するため該外方フレーム 内に伸長しかつ該外方フレームに接続されている複数の突張部材と、を構成する よう形成され、支持アームを通る複数の軽量化開口が外方フレームと突張部材と によつて構成されている請求項２の支持アーム。
5. ５．支持アームの変換器・組立体接続端が、変換器組立体を支持アームに接続す るため変換器・組立体締付ねじを受入れるような複数の内ねじ孔を形成する形状 となつている請求項４の支持アーム。
6. ６．前記支持アーム上に伸びる複数の印刷回路金属コンダクタをさらに含む請求 項２の支持アーム。
7. ７．変換器組立体が磁気デイスクドライブ内の回転磁気デイスクから読み取りか つ該回転磁気デイスクヘ書き込む読み／書きヘツド組立体である請求項１の装置 。
8. ８．複数の変換器組立体を可動的に位置づけかつ支持する支持アーム組立体であ つて、該支持アーム組立体が、複数の支持アームと、同様に複数であるが支持ア ームの数よりは１つ少ない支持アームスペーサと、を有し、支持アームは実質的 に軸線方向に整合して積重なつた関係に配置され、各支持アームは少なくとも１ つの変換器組立体に接続するため変換器組立体接続端を有し、各支持アームは基 本的に約５×１０６ｍを超える比較剛度を有するセラミツク材料から構成され、 各支持アームの変換器組立体接続端が、少なくとも１つの変換器組立体を支持ア ームへ接続するため変換器・組立体・締付手段と係合するよう支持アームと一体 の変換器・組立体・接続手段を構成するよう形成されており、支持アームスペー サが隣接する各対の支持アーム間に位置づけられかつ支持アームの変換器・組立 体・接続端とほぼ反対の支持アームの端部にて隣接する各対の支持アームへ接続 されており、支持アームスペーサが対をなす支持アームを間隔ずけられた関係に 維持している支持アーム組立体。
9. ９．セラミツク材料が約７．５×１０６ｍを越える比較剛度を有している請求項 ８の支持アーム組立体。
10. １０．セラミツク材料が、アルミナ及びシリコンカーバイトから成る群から選択 されている請求項９の支持アーム組立体。
11. １１．支持アームスペーサが基本的に支持アームと同様なセラミツク材料で出来 ている請求項１０のスペーサアーム組立体。
12. １２．複数の変換器組立体を可動的に位置づけかつ支持する支持アームユニツト であつて、支持アームユニツトが複数の支持アーム部材から成り、これらの支持 アーム部材が実質的に軸線方向に整合した積重ね関係に配置され、隣接する各対 の支持アーム部材が互いに間隔をおいて位置づけられ、各支持アーム部材が、少 なくとも１つの変換器組立体に接続するため変換器組立体接続端を有し、各支持 アーム部材の変換器組立体接続端が少なくとも１つの変換器組立体を支持アーム 部材へ接続するため変換器・組立体締付手段と係合するよう支持アーム部材と一 体の変換器・組立体・接続手段を構成するよう形成されており、支持アーム部材 の変換器・組立体接続端とほぼ反対の各支持アーム部材の端部が支持アーム部材 に対し実質的に垂直に伸長している柱状ピストンに接続されかつ該柱状ピストン と一体的に形成されており、支持アームユニツトが基本的に約５×１０６ｍを越 えると比較剛度を有するセラミツク材料から構成されている支持アームユニツト 。
13. １３．セラミツク材料が約７．５×１０６ｍを越える比較剛度を有している請求 項１２の支持アームユニツト。
14. １４．セラミツク材料が、アルミナ及びシリコンカーバイトから成る群から選択 される請求項１３の支持アームユツト。
15. １５．片持梁状態にて変換器組立体を可動的に位置づけかつ支持する支持アーム であつて、該支持アームが、ポジシヨニングアクチユエータに対する接続のため のポジシヨニング・アクチユエータ接続端と、少なくとも１つの変換器組立体に 対する接続のため前記ポジシヨニングアクチユエータ接続端とほぼ反対側の変換 器・組立体接続端と、を有し、かつ基本的に約５×１０６ｍを越える比較剛度を 有するセラミツク材料から構成され、支持アームの変換器・組立体接続端が、少 なくとも１つの変換器組立体を支持アームへ接続するため変換器・組立体・締付 手段と係合するよう支持アームと一体の変換器・組立体・接続手段を構成するよ う形成されており、支持アームのポジシヨニング・アクチユエータ接続端が、支 持アームをポジシヨニングアクチユエータに接続するためポジシヨニング・アク チユエータ・締付手段と係合するよう支持アームと一体のポジシヨニング・アク チユエータ・接続手段を構成するよう形成されており、支持アームが、（ａ）熱 可塑性セラミツク添加の成形コンパウンドを形成するため粉末セラミツクと有機 バインダシステムとを結合すること、 （ｂ）グリーンパートを形成するためセラミツク添加の成形コンパウンドを射出 成形すること、 （ｃ）多孔性の自己・支持ストリツプ済パートを形成するためグリーンパートか らバインダシステムのパートを除去すること、 （ｄ）支持アームを形成するため残存バインダシステムを基本的に減じてセラミ ツクパウダを焼結するようストリツプ済パートを加熱すること、 の諸工程から成る方法で製造される支持アーム。
16. １６．グリーンパートからバインダシステムのパートを除去する上記請求項１５ の（ｃ）の工程が少なくとも１つのソルベントでグリーンパートを処理すること を含む請求項１５の支持アーム。
17. １７．バインダシステムが、ポリスチレン、ポリエチレン、及び水素添加の植物 油を含む請求項１６の支持アーム。