JPH0346501Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体ウエハをダイシングすること
によつて形成したチツプに付された不良マーク等
のマークの認識を行わせるに際して、ウエハを照
明するためのウエハのマーク認識用照明装置に関
するものである。

〔従来の技術〕

ICの製造・組立てを行うには、ウエハをペレ
タイズしてチツプを形成し、このチツプをリード
フレームにボンデイングすることによつてその組
付けを行い、然る後に樹脂でモールドするように
している。そして、ウエハのペレタイズ化は、ま
ずこのウエハをダイシングすることによつて基盤
目状にカツトしてブレーキングすることにより行
われるが、このようにして得たチツプをそのまま
ボンデイングするのではなく、吸着コレツト等を
用いて良品のチツプだけを取り出して所定の治具
に詰み込み、このようにし治具詰めされたチツプ
をリードフレームにボンデイングすることによ
り、このボンデイング工程の効率化を図るように
している。

而して、良品のチツプだけを選別して治具詰め
するために、ウエハの検査を行つた後に、予め不
良品のチツプにインクマークを付しておき、この
インクマークを検出機構によつて自動的に検出さ
せるようになし、このようにインクマークが付さ
れた不良品のチツプに対してはその取り出しを行
わずに、そのまま残すようにしている。この検出
機構としては、受光部としてのテレビカメラを用
い、ウエハの表面に照明光を照射して、その反射
光を該テレビカメラに入射させることにより光電
変換を行わせ、この電気信号をマイクロコンピユ
ータ等で処理することによつて、不良品チツプを
自動的に検出するようにしている。

而して、前述したウエハへの照明を行う方式と
して、以下に示す２つの方式が従来から用いられ
ている。即ち、第１の方式は斜光照明方式で、光
源としてリング状に形成した蛍光灯を用い、この
蛍光灯からの照明光をウエハ面上に照射し、この
ウエハ面からの乱反射をテレビカメラで捉えるこ
とにより、ウエハ表面の色調の変化に基づいてイ
ンクマークの検出を行うようにしたものである。
また、第２の方式は落射方式で、この方式は光源
からの光をウエハ面上に正反射させて、その反射
光をテレビカメラに入射させるようになし、この
反射光量に基づいてウエハ面におけるインクの凹
凸による形状変化を検出するようにしたものであ
る。

〔考案が解決しようとする問題点〕

ところで、前述した各方式は、ウエハの表面状
態等によつては必ずしもインクマークの検出を正
確に行うとができないという問題点がある。例え
ば、ウエハの表面に複雑なパターンが形成されて
いる場合には、斜光照明による方式ではそれとイ
ンクマークとの間の識別が困難で、またウエハ表
面の鏡面度が高い場合には、落射照明方式では正
確にインクマークの認識を行うことができないこ
とがある。また、マークの種類としてインクマー
クの他、レーザマークを用いたものもあり、さら
にインクマークであつても使用するインクの種
類、形状等によつては、前述した斜光照明または
落射照明では必ずしも正確にマーク検出を行うと
がでない場合があるという欠点がある。

本考案は叙上の点に鑑みてなされたもので、そ
の目的とするところは、簡単な構成により、ウエ
ハ表面に付されたインクマーク等のマークをテレ
ビカメラ等からなる受光部によつて極めて正確に
認識させるように照明することができるようにし
たウエハのマーク認識用照明装置を提供すること
にある。

〔問題点を解決するための手段〕

前述した目的を達成するために、本考案は、ウ
エハ表面に対して斜め上方から照明光を照射する
斜光照明部と、前記ウエハ表面に対して直角方向
に照明光を照射する落射照明部とを一体的に設
け、これら斜光照明部と落射照明部とをそれぞれ
ライトカイドを介して光量調整手段を有する光源
装置に各別に接続する構成としたことをその特徴
とするものである。

〔作用〕

前述のように構成することによつてウエハ面に
斜光照明と、落射照明との両照明光を照射するこ
とができ、しかも各照明光の光量を適宜調整する
ことができるようになつているので、ウエハの表
面状態、即ちその鏡面度、パターンの形状等に応
じ、またそれに付されるマークの種類、形状等に
基づき、最適となるように各照明光の光量を調整
することによつて、マークの検出精度を著しく向
上させることができるようになり、検出エラーの
発生を確実に防止することができる。

〔実施例〕

以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細細
に説明する。

まず、第１図は本考案に係る照明装置の構成説
明図で、図中において、１はウエハを示し、該ウ
エハ１は粘着テープ２に貼着されて、ハーフカツ
ト乃至セミフルカツト等の方式によりダイシング
されて、碁盤目状に多数のチツプ３に区分けされ
た状態となつている。これら各チツプ３の表面に
は所定の回路パターンが形成されており、そして
予め検査工程において不良品のチツプにはインク
マークやレーザマーク等の不良マークが付されて
いる。

さらに、前述のようにダイシングされたウエハ
１から良品のチツプ３だけを取り出出して、所定
の治具に整列した状態にして収納させるために、
不良マークの検出を行う検出機構が設けられてい
る。この検出機構としては、照明部４と受光部５
とからなり、該照明部４からはウエハ１の表面に
向けて斜光照明光６を照射する斜光照明部と、ハ
ーフミラー７を介して落射照明光８を該ウエハ１
表面に照射する落射照明部とを備えている。一
方、受光部５としては、テレビカメラ９を備え、
該テレビカメラ９によつてウエハ１の表面からの
反射光が受光されて、その受光量に応じた電気信
号に変換されて、マイクロコンピユータ等の信号
処理手段に伝送されて、マークの有無の認識を行
うことができるようになつている。

而して、照明部４の構成は、第２図乃び第３図
に示したように、中空リング状の部材からなるリ
ング状光通路部材１０を有し、該光通路部材１０
の下面には斜め内向きにスリツト１１が形成され
ており、またこの光通路部材１０にはライトガイ
ド１２が接続されている。これによつて、該ライ
トガイド１２を介して光を光通路部材１０の内部
に送ると、スリツト１１からウエハ１の表面に向
けて斜め上方から斜光照明光６を照射することが
できるようになつており、これらによつて斜光照
明部が形成されることになる。また、リング状光
通路部材１０には、そのライトガイド１２の装着
部に対して、180゜位相をずらせた位置において、
それを貫通する状態に落射照明用の照明光８を導
くための導光部材１３が螺挿されており、該導光
部材１３の一側端部には落射照明用のライトガイ
ド１４が接続されている。一方、導光部材１３の
他端部にはレンズ１５が対面しており、該レンズ
１５を通過した光はレング状光通路部材１０の内
側に装着したハーフミラー７によつてその光路を
90゜偏向せしめられて、ウエハ１の表面に向けて
直角方向の落射照明光８を照射することができる
落射照明部を構成している。

前述したライトガイド１２，１４の他端はそれ
ぞれ光源装置１６，１７に接続されている。これ
らの光源装置１６，１７には光量調整用のつまみ
１６ａ，１７ａが装着されており、該つまみ１６
ａ，１７ａをそれぞれ調整することによつて、斜
光照明部の照明光量及び落射照明部の照明光量を
それぞれ独立して調整することができるようにな
つている。

本実施例は前述のように構成されるもので、次
にその作用について説明する。

ダイシングされたウエハ１をその不良マークの
検出及びチツプの取出しを行うステーシヨンに設
置して、該ウエハ１をマークの検出機構に対面さ
せる。そして、光源装置１６，１７を作動させ
て、それぞれライトガイド１２，１４を介して斜
光及び落射の各照明光をウエハ１の表面に照射し
ながら、該ウエハ１を移動させる。そして、前述
した各照明からの反射光をテレビカメラ９で受光
させて、その受光量に応じた電圧信号に変換し、
この信号をマイクロコンピユータ等の信号処理手
段により信号処理を行わせることによつてウエハ
１における各チツプ３に不良マークが付されてい
るか付否かの認識が行われる。このように、検出
機構によつて不良マークが付されていないチツプ
３は、周知のチツプ突き上げ手段によつて突き上
げることにより粘着テープ２から剥離させて、吸
着コレツトにより吸着させて、取り出されること
になる。また、不良マークが付されていることが
検出されたときには、当該チツプは取り出されず
に、そのまま残されることになる。

ここで、ウエハ１における各チツプ３に形成し
た回路パターンの形状や、不良マークとして付さ
れるマークがインクマークによるものか、レーザ
マークによるものかにより、またインクマークで
あつても、その材質や色調、形状等によつては、
斜光照明または落射照明のいずれを用いた方がそ
のマークの検出をより正確に行うことができるか
が異なる。例えば、回路形成部分が少なく、全体
に鏡面度が高いウエハの場合には、錦面部分から
の反射光が多くなるために、落射照明より斜光照
明の方が検出精度が良好となり、一方複雑な回路
パターンが形成されている場合には、斜光照明に
よつはこの回路パターン形成部分をマークとして
検出してしまうという検出エラーが発生するおそ
れがある。また、レーザマークが付されている場
合には、ウエハ１の表面に凹凸ができているの
で、落射照明の方がより高精度な検出を行うこと
ができる。さらに、マークの色調、形状等によつ
ても斜光照明と落射照明とでは検出精度に差異が
生じることになる。

そこで、前述したウエハ１の表面状態や、マー
クの種類、形状等に応じて、光源装置１６，１７
の光量調整用のつまみ１６ａ，１７ａを適宜調整
し、斜光照明の方が落射照明より検出精度が良好
である場合には、光源装置１６の光量を多くし、
光源装置１７の光量を少なくするように調整する
ことにより、斜光照明を主とし、落射照明を従と
するようになし、また落射照明による方が検出精
度が良い場合には、落射照明の光量が多くして主
照明となし、斜光照明の光量を少なくして従照明
とするようにすれば、極めて高精度にマークの認
識を行うことができるよになる。

〔考案の効果〕

以上詳述した如く、本考案によれば、ウエハに
対してそのマーク検出用に用いる照明として斜光
照明と落射照明とを組合わせるようになし、これ
らの各照明の光量をそれぞれ独立に調整すること
ができるように構成したので、ウエハの表面状態
やそれに付されるマークの種類、形状のいかんに
拘らず、極めて高精度にマークの検出・認識を行
うことができるようになり、検出エラーの発生を
確実に防止することができるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る照明装置の構成説明図、
第２図は照明装置の要部外観図、第３図は第２図
の−断面図、第４図はマークの検出機構の全
体構成図である。 １……ウエハ、３……チツプ、４……照明部、
５……受光部、６……斜光照明光、８……落射照
明光、９……テレビカメラ、１０……リング状光
通路部材、１１……スリツト、１２……ライトガ
イド、１３……導光部材、１４……ライトガイ
ド、１６，１７……光源装置、１６ａ，１７ａ…
…光量調整用つまみ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ウエハの表面に照明光を照射し、該ウエハから
   の反射光を受光部に受光させて、該受光部におい
   て電気信号に変換し、この電気信号に基づいて前
   記ウエハ表面に付されたマークを検出するための
   ものにおいて、前記ウエハ表面に対して斜め上方
   から照明光を照明する斜光照明部と、前記ウエハ
   表面に対して直角方向に照明光を照射する落射照
   明部とを一体的に設け、これら斜光照明部と落射
   照明部とをそれぞれライトガイドを介して光量調
   整手段を有する光源装置に各別に接続する構成と
   したことを特徴とするウエハのマーク認識用照明
   装置。