JPS6420731U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6420731U JPS6420731U JP1987114528U JP11452887U JPS6420731U JP S6420731 U JPS6420731 U JP S6420731U JP 1987114528 U JP1987114528 U JP 1987114528U JP 11452887 U JP11452887 U JP 11452887U JP S6420731 U JPS6420731 U JP S6420731U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- illumination
- wafer
- section
- epi
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図は本考案に係る照明装置の構成説明図、
第2図は照明装置の要部外観図、第3図は第2図
の―断面図、第4図はマークの検出機構の全
体構成図である。 1:ウエハ、3:チツプ、4:照明部、5:受
光部、6:斜光照明光、8:落射照明光、9:テ
レビカメラ、10:リング状光通路部材、11:
スリツト、12:ライトガイド、13:導光部材
、14:ライトガイド、16,17:光源装置、
16a,17a:光量調整用つまみ。
第2図は照明装置の要部外観図、第3図は第2図
の―断面図、第4図はマークの検出機構の全
体構成図である。 1:ウエハ、3:チツプ、4:照明部、5:受
光部、6:斜光照明光、8:落射照明光、9:テ
レビカメラ、10:リング状光通路部材、11:
スリツト、12:ライトガイド、13:導光部材
、14:ライトガイド、16,17:光源装置、
16a,17a:光量調整用つまみ。
Claims (1)
- ウエハの表面に照明光を照射し、該ウエハから
の反射光を受光部に受光させて、該受光部におい
て電気信号に変換し、この電気信号に基づいて前
記ウエハ表面に付されたマークを検出するための
ものにおいて、前記ウエハ表面に対して斜め上方
から照明光を照射する斜光照明部と、前記ウエハ
表面に対して直角方向に照明光を照射する落射照
明部とを一体的に設け、これら斜光照明部と落射
照明部とをそれぞれライトガイドを介して光量調
整手段を有する光源装置に各別に接続する構成と
したことを特徴とするウエハのマーク認識用照明
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987114528U JPH0346501Y2 (ja) | 1987-07-28 | 1987-07-28 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987114528U JPH0346501Y2 (ja) | 1987-07-28 | 1987-07-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6420731U true JPS6420731U (ja) | 1989-02-01 |
JPH0346501Y2 JPH0346501Y2 (ja) | 1991-10-01 |
Family
ID=31355361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987114528U Expired JPH0346501Y2 (ja) | 1987-07-28 | 1987-07-28 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0346501Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-07-28 JP JP1987114528U patent/JPH0346501Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0346501Y2 (ja) | 1991-10-01 |