JPH0344043A - Laser marking method - Google Patents

Laser marking method

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JPH0344043A
JPH0344043A JP1177903A JP17790389A JPH0344043A JP H0344043 A JPH0344043 A JP H0344043A JP 1177903 A JP1177903 A JP 1177903A JP 17790389 A JP17790389 A JP 17790389A JP H0344043 A JPH0344043 A JP H0344043A
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JP
Japan
Prior art keywords
mark
mold surface
trimming
mold
constituted
Prior art date
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Pending
Application number
JP1177903A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Usuke Enomoto
榎本 宇佑
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPH0344043A publication Critical patent/JPH0344043A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
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    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • H01L2924/1815Shape

Abstract

PURPOSE:To make a mark stand out from a trimming part, and make it easy to recognize the mark, by projecting laser light on the part except a mark forming region, and trimming a mold surface. CONSTITUTION:A mold surface is constituted of the following; an outer periphery frame part 4, a part 5 serving as a mark constituted of English characters, a part which is constituted of said part 5 and a linkage part 6 connecting said part 5 with the outer periphery frame 4 and not irradiated with laser light, and a part 7 where said mold surface is subjected to trimming by projecting laser light. The part 5 serving as a mark constituted of English characters L and C protrudes from the part 7 where the above mold surface is subjected to trimming, and can make the English character part 5 stand out. As the result, the mark 5 can be easily made clear at the time of resin molding, even in the case where the mold surface of a mold body 2 has luster due to the metal mold of transfer molding.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はプラスチックパッケージなどにレーザ光により
マークを刻設するマーキング方法の改床技術に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a technology for modifying a marking method in which a mark is engraved on a plastic package or the like using a laser beam.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

樹脂封止型半導体装置の封止体(以下、単にパッケージ
と称す)表面には、製品名や会社名などのマークが付せ
られる。
A mark such as a product name or company name is attached to the surface of a molded body (hereinafter simply referred to as a package) of a resin molded semiconductor device.

このマークを付す手段としては、インキ塗布(印刷)方
法がある。この印刷方法では、印刷後例えば、150C
で2時間程度の乾燥を必要とする。このため、パッケー
ジのリードのハンダが施された表面が熱により酸化され
、ハンダとリードとの合金化が起ったりし、プリント配
線基板にパッケージをハンダ付実装しようとする場合な
どにそのハンダ付性を阻害させる。また、当該インクマ
ーキング方法によるマークは、印刷が完全でないための
マーク不良(消え、欠けなど)が起こり易いし、また、
顧客に製品が届くまでにマーク消えになるなど不良が発
生し易かった。
As a means for attaching this mark, there is an ink application (printing) method. In this printing method, for example, 150C
It takes about 2 hours to dry. For this reason, the solder surface of the package lead is oxidized by heat, and alloying of the solder and the lead occurs. inhibit sex. In addition, marks made using this ink marking method are prone to mark defects (disappearance, chipping, etc.) due to incomplete printing, and
Defects were likely to occur, such as marks disappearing by the time the product was delivered to the customer.

そこで、かかる問題解決のために、レザーマーキングが
提唱されている。例えば、そのマーキング方法は特開昭
55−110001号公報によって知られている。
Therefore, in order to solve this problem, leather marking has been proposed. For example, the marking method is known from Japanese Patent Laid-Open No. 110001/1983.

ところで、従来のレーザ方式では、黒色の樹脂モールド
面に、樹脂なレーザ光により炭化させて茶色のマーク部
を刻設するという方式であるため、茶色のマーク部と黒
色の素面とのコントラストが不鮮明となり易く明瞭に判
別し難いという欠点があった。また、樹脂モールド後に
、パリ取りのため液体ホーニングで、樹脂モールド表面
が曇り、マークが見えにくくなると〜・う欠点もあった
。さらに、プリント配線基板表面にポリイミドなどより
なる保護膜なコーティングすると、レーザマークのコン
トラストが悪くなり不鮮明となり易いという欠点もあっ
た。特に、例えは1.5iiX2.9mmの大きさの超
小型のトランジスタパッケージの表面にレーザマークを
刻設するときには、マークも極めて小さくなるため、上
述した欠点がなお顕著となる。
By the way, in the conventional laser method, the brown mark part is engraved on the black resin mold surface by carbonizing the resin with laser light, so the contrast between the brown mark part and the black bare surface is unclear. This has the disadvantage that it is difficult to distinguish clearly. In addition, after resin molding, liquid honing to remove burr clouds the surface of the resin mold, making it difficult to see marks. Furthermore, when the surface of the printed wiring board is coated with a protective film made of polyimide or the like, there is a drawback that the contrast of the laser mark deteriorates and it tends to become unclear. Particularly, when a laser mark is engraved on the surface of an ultra-small transistor package of, for example, a size of 1.5ii×2.9 mm, the mark becomes extremely small, so that the above-mentioned drawbacks become even more noticeable.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

本発明は上述した従来技術の有する欠点な解消すること
のできる新規耽レーザマーキング方法を提供することを
目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a novel laser marking method that can overcome the drawbacks of the prior art described above.

〔課題な解決するための手段〕[Means to solve problems]

本願において開示される発明のうち代表的耽ものの概要
な簡単に説明すれば、下記のとおりである。
A brief summary of representative indulgences of the invention disclosed in this application is as follows.

本発明は、マークとする部分にはレザー光ケ照射せず、
それ以外の部分にレーザ光を照射してモールド面をトリ
ミングし、マークを当該トリ□ング部分から浮き上らせ
るようにしたことを特徴としている。
The present invention does not irradiate laser light onto the part to be marked,
The feature is that the mold surface is trimmed by irradiating laser light to other parts, and the mark is raised from the trimmed part.

〔作用〕[Effect]

このように、本発明によれば、従来のレーザマーキング
とは逆転した方式とすることにより、マークを構成する
文字などが浮き上り、マークが見え易くなり、マークを
構成する文字の線幅も大きくすることができるので、文
字の判断が容易となる。
As described above, according to the present invention, by using a method that is reversed from conventional laser marking, the characters that make up the mark stand out, making the mark easier to see, and the line width of the characters making up the mark is also increased. This makes it easier to judge characters.

〔実施例〕〔Example〕

次に、本発明の実施例ケ図面に基づいて説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described based on the drawings.

第1図は本発明の一実施例を示す平面図、第2凶は第1
図1−1線断面図、第3図は本発明の一実施例を示す半
導体プラスチックパッケージの斜視図である。
Fig. 1 is a plan view showing one embodiment of the present invention;
1-1 line sectional view and FIG. 3 are perspective views of a semiconductor plastic package showing one embodiment of the present invention.

当該パンケージ1は、半導体素子をリードフレームのタ
ブ上に固着し、当該素子の電極とリードフレームのイン
ナーリードとをワイヤボンデインク後、トランスファー
モールドにより樹脂モールドし、当該モールド体2の外
部にリードフレームのアウターリード3ヶ引出ししてい
る。
The pan cage 1 is made by fixing a semiconductor element onto a tab of a lead frame, wire-bonding the electrodes of the element and inner leads of the lead frame, and then molding the lead frame with a resin using a transfer mold. Three outer leads are pulled out.

当該半導体素子(チップ)は、例えばシリコン単結晶基
板から成り、周知の技術によってこのチップ内には多数
の回路素子が形成され、1つの回路機能が与えられてい
る。回路素子の具体例は、例えばMOSトランジスタか
ら戒り、これらの回路素子によって、例えば論理回路お
よびメモリの回路機能が形成されている。
The semiconductor element (chip) is made of, for example, a silicon single crystal substrate, and a large number of circuit elements are formed within the chip using a well-known technique to provide one circuit function. Specific examples of the circuit elements include, for example, MOS transistors, and these circuit elements form circuit functions such as a logic circuit and a memory.

当該パッケージ1の大きさは、例えば1.25〜1、5
 nm〆2.0〜2,9闘の超小型サイズとたっている
。当該モールド体2の上面に、図示例のようにレーザマ
ークを形成する。
The size of the package 1 is, for example, 1.25 to 1.5
It is said to be an ultra-compact size with a nm limit of 2.0 to 2.9 nm. A laser mark is formed on the upper surface of the molded body 2 as shown in the illustrated example.

この例では、LおよびCの英文字をマークとした例を示
す。
In this example, the English letters L and C are used as marks.

当該モールド面は、外周の枠部分4と、上記英文により
構成されるマークとなる部分5と、当該マークとなる部
分5と外周枠4とを連結するつなぎ部分6とよりたろレ
ーザ光を照射しない部分と、レーザ光な照射し当該モー
ルド面Y)リミングする部分7とから戒ってL・る。
The mold surface is not irradiated with laser light to the outer frame portion 4, the mark portion 5 composed of the above English text, and the connecting portion 6 connecting the mark portion 5 and the outer frame 4. part 7 and the part 7 to be rimmed by laser beam irradiation.

第2御所面図に示すように、Li2よびCの英文字によ
り構成されるマークとなる部分5は、上記モールド面を
トリミングした部分7に対し突出しており、当該英文字
部分5を浮き上らせることができる。
As shown in the second Gosho map, the part 5 that becomes the mark composed of the English letters Li2 and C protrudes from the part 7 obtained by trimming the mold surface, and the part 5 with the English letters is not raised. can be set.

第4図は本発明の他の実施例を示し、英文字りおよびC
I)外部?それぞれ円形にトリミングした以外は上記実
施例と同様にしてレーザマークのマーキングを行った例
を示″f′。
FIG. 4 shows another embodiment of the present invention, in which English characters and C characters are used.
I) External? "f' shows an example in which the laser mark was marked in the same manner as in the above embodiment except that each was trimmed into a circular shape.

従来例では、上記のように英文字りおよびCによ・り構
成されるマークとなる部分な形成する場合には、レーザ
光照射により、LおよびCとなるように、モールド面を
トリミングする。すなわち、LおよびCな凹とするが、
樹脂モールドによるモールド体のマーク部の黒色(鏡向
)に対し、当該凹部分は茶巴(梨地状態)となり、また
、当該黒色部分に対し茶色部分は極めて小さいものにな
り、コントラストが悪く、LおよびCの英文字をすかな
か判読し易い。
In the conventional example, when forming a mark consisting of an English letter and a C as described above, the mold surface is trimmed to form L and C by laser beam irradiation. In other words, L and C concave,
Compared to the black mark of the resin molded body (mirror direction), the concave part is brown (matte finish), and the brown part is extremely small compared to the black part, resulting in poor contrast and L The letters C and C are quite easy to read.

これに対し、本発明では、英文字部分5が凸となり、黒
色に構成され、トリミングされた部分(茶色)7から浮
き上ること、また、大きな茶色の部分7に黒色の部分5
が存在するので、コントラストか良く、鮮明にこれらL
およびCの英文字5な判読できる。さらに、トリミング
する部分7の太ぎさを調整することにより、文字部分5
の大きさを大きくすることもでき、マーク5が見え易く
耽り、容易にマーク5を判読できるようにすることがで
きる。
On the other hand, in the present invention, the English character part 5 is convex, is configured in black, and stands out from the trimmed part (brown) 7, and the black part 5 is in the large brown part 7.
Because of the presence of these L
The letters 5 and 5 are legible. Furthermore, by adjusting the thickness of the portion 7 to be trimmed, the character portion 5
The size of the mark 5 can also be increased, so that the mark 5 can be easily seen and the mark 5 can be easily read.

本発明の方式は、超小型のパッケージでモールド面が極
めて小さく、文字などのマークを極めて小さなものに構
成しなげればならないときに特に有効となり、従来のレ
ーザマーク方式における欠点であったパリ取りのための
液体ホーシング後の曇りによるマークの見えにくさはと
が防止され、パッケージにマークを付すときに極めて有
用な技術と取る。樹脂モールドに際しモールド体2のモ
ールド面が、トランスファモールドの金型に基因して光
沢があっても、そのマーク5の判読は容易である。
The method of the present invention is particularly effective when the mold surface is extremely small for an ultra-small package, and marks such as letters must be made extremely small. This is an extremely useful technique when marking packages, as it prevents the visibility of marks due to clouding after liquid hosing. Even if the mold surface of the mold body 2 is glossy due to the transfer mold during resin molding, the mark 5 can be easily read.

以上本発明者によってなされた発明ケ実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもu〜)。
Although the invention has been specifically explained above based on the embodiments of the invention made by the present inventor, it goes without saying that the present invention is not limited to the above embodiments and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Also u~).

例えば、前記実施例では、マークとなる部分をパッケー
ジのモールド面の上面にのみ形成する例な示したが、そ
の反対側の下面のみあるいはう該下面馨も含めて形成す
るなど他の態様でマークを付すこともできる。
For example, in the above embodiment, the mark is formed only on the upper surface of the mold surface of the package, but the mark may be formed in other ways, such as forming only on the lower surface on the opposite side or including the lower surface of the mold. You can also add .

以上の説明では、主として本発明者によってなされた発
明をその背景と耽った利用分野である半導体装置のマー
キング方式に適用1−た場合について説明したが、それ
に限定されるものではなく、その他の電子部品や装置類
にも本発明を適用できる。
In the above explanation, the invention made by the present inventor has been mainly applied to the marking method of semiconductor devices, which is the background and the field of application in which the present inventor has indulged. The present invention can also be applied to parts and devices.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれは、下記のとうりであ
る。
The following is a brief explanation of the effects obtained by typical inventions disclosed in this application.

本発明によれば、インクマーク方式の欠点を改良したレ
ーザマーク方式のマークの判読の困難さを克服すること
ができ、優れたマーキング方式を提供することができた
点その意義は犬たるものがある。
According to the present invention, it is possible to overcome the difficulty in deciphering the marks of the laser mark method, which improves the drawbacks of the ink mark method, and provides an excellent marking method. be.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の実施例を示す平面図、第2図は第1図
1−1蘇断向凶、 第3図は本発明の実施例を示す半導体パッケージの斜視
図、 第4図は本発明の他の実施例を示す平面図である。 1・・・パッケージ、2・・・モールド体、3・・・リ
ード第 図 第 図
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a semiconductor package shown in FIG. FIG. 7 is a plan view showing another embodiment of the present invention. 1...Package, 2...Mold body, 3...Lead diagram diagram

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、樹脂モールドされた電子部品のモールド表面にレー
ザ光を照射して文字などからなるマークを設けるパッケ
ージへのマーキング方法において、当該マークとなる部
分にはレーザ光を照射せず、当該マークとなる部分以外
のモールド表面にレーザ光を照射してトリミングし、当
該マークとなる部分を突出せしめたことを特徴とするレ
ーザマーキング方法。
1. In a method of marking a package by irradiating a laser beam onto the mold surface of a resin-molded electronic component to create a mark consisting of letters, etc., the part that will become the mark is not irradiated with the laser light, and the mark is formed. A laser marking method characterized in that the mold surface other than the part is trimmed by irradiating a laser beam to make the part that will become the mark protrude.
JP1177903A 1989-07-12 1989-07-12 Laser marking method Pending JPH0344043A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009069577A1 (en) * 2007-11-26 2009-06-04 National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology Mold removing method
US9430685B2 (en) 2006-12-29 2016-08-30 Intel Corporation Substrate markings

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