JPH0342554A - レチクル異物検査装置 - Google Patents
レチクル異物検査装置Info
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- JPH0342554A JPH0342554A JP17925189A JP17925189A JPH0342554A JP H0342554 A JPH0342554 A JP H0342554A JP 17925189 A JP17925189 A JP 17925189A JP 17925189 A JP17925189 A JP 17925189A JP H0342554 A JPH0342554 A JP H0342554A
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- Japan
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- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000001444 catalytic combustion detection Methods 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレチクル異物検査装置に関し、特にレチクル上
の異物検査を行うレチクル異物検査装置に関する。
の異物検査を行うレチクル異物検査装置に関する。
従来、この種のレチクル上の異物検査は、レチクル上に
スポット光を走査させ、レチクル上での散乱光をディテ
クターで受入れし、信号解析を行い、レチクル上の異物
の検出を行っていた。
スポット光を走査させ、レチクル上での散乱光をディテ
クターで受入れし、信号解析を行い、レチクル上の異物
の検出を行っていた。
上述した従来のレチクル異物検査装置は、スポラ１〜光
をレチクル上に走査させその散乱光を検出し、レチクル
上の異物を検出する方法をとっているため、レチクル上
に付着している異物にスポット光が当った場合、その異
物の端から散乱光が検出できない異物、例えば半透明の
薄膜や水シミ等がレチクル上に付着していた場合は異物
を異物として検出できないという欠点があった。
をレチクル上に走査させその散乱光を検出し、レチクル
上の異物を検出する方法をとっているため、レチクル上
に付着している異物にスポット光が当った場合、その異
物の端から散乱光が検出できない異物、例えば半透明の
薄膜や水シミ等がレチクル上に付着していた場合は異物
を異物として検出できないという欠点があった。
本発明の目的は、かかる欠点を解消するレチクル異物検
査装置を提供することである。
査装置を提供することである。
本発明のレチクル異物検査装置は、レチクル表裏面を撮
像するＣＣＤと、このＣＣＤを移動させる移動機構と、
前記ＣＣＤより得た画像データを処理する画像データ処
理部と、前記画像データを信号変換するとともに変換さ
れた画像データを比較検査する信号処理部と、これら検
査結果を表示する表示手段とを備え構成される。
像するＣＣＤと、このＣＣＤを移動させる移動機構と、
前記ＣＣＤより得た画像データを処理する画像データ処
理部と、前記画像データを信号変換するとともに変換さ
れた画像データを比較検査する信号処理部と、これら検
査結果を表示する表示手段とを備え構成される。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すレチクル異物検査装置
の模式断面図である。このレチクル異物検査装置は、同
図に示すように、レチクル３を挟んで上下に走行するＣ
ＣＤ２と、このＣＣＤ２を走行する移動用レール７及び
駆動部１１と、レチクル３の面を撮像する信号を処理す
る画像処理部４と、画像処理部４からの信号を比較処理
する信号処理部５と、信号処理部５の結果を表示するＣ
ＲＴ６から構成されている。
の模式断面図である。このレチクル異物検査装置は、同
図に示すように、レチクル３を挟んで上下に走行するＣ
ＣＤ２と、このＣＣＤ２を走行する移動用レール７及び
駆動部１１と、レチクル３の面を撮像する信号を処理す
る画像処理部４と、画像処理部４からの信号を比較処理
する信号処理部５と、信号処理部５の結果を表示するＣ
ＲＴ６から構成されている。
次に、このレチクル異物検査装置の動作について説明す
る。まず、検査すべきレチクル２をケース１内に収納す
る。次に、所定の位置に載置し、−次元移動のＣＣＤ２
を移動レールに沿って移動させる０次にＣＣＤ２により
取入れた画像データを４０画像処理部４に送る。次にこ
の画像処理部４において、送られてきた画像データを検
査したレチクルの面付に応じて画像分割を行う。次に、
各々の画像データ毎に信号処理部５に送る。信号処理部
５に送られた各々の画像データは同時に画像データ上に
走査線を走らせ信号処理比較検査を行う。信号比較処理
の結果、画像データの信号が全て載置であれば可とし、
レチクルの検査を終了し、レチクル２をケース１外に搬
出する。
る。まず、検査すべきレチクル２をケース１内に収納す
る。次に、所定の位置に載置し、−次元移動のＣＣＤ２
を移動レールに沿って移動させる０次にＣＣＤ２により
取入れた画像データを４０画像処理部４に送る。次にこ
の画像処理部４において、送られてきた画像データを検
査したレチクルの面付に応じて画像分割を行う。次に、
各々の画像データ毎に信号処理部５に送る。信号処理部
５に送られた各々の画像データは同時に画像データ上に
走査線を走らせ信号処理比較検査を行う。信号比較処理
の結果、画像データの信号が全て載置であれば可とし、
レチクルの検査を終了し、レチクル２をケース１外に搬
出する。
また、画像データの信号が不一致の場合には不一致の信
号を発生させた画像データを抽出しＣＲＴ６に該当する
画像データを写し出した後、レチクル２をケース１外に
搬出する。
号を発生させた画像データを抽出しＣＲＴ６に該当する
画像データを写し出した後、レチクル２をケース１外に
搬出する。
第２図は本発明の他の実施例を示すレチクル異物検査装
置の模式平面図である。このレチクル異物検査装置は、
同図に示すように、２次元すなわち面を撮像出来るよう
にＣＣＤ２ａを複数個設け、一体化し、一体化されたＣ
０Ｄ２ａをレチクル３の表裏面に走行させる駆動アーム
１０及びその駆動部１１を設け、さらに画像データを拡
大する画像拡大処理部９を設けたことである。それ以外
は前述の実施例と同じである。
置の模式平面図である。このレチクル異物検査装置は、
同図に示すように、２次元すなわち面を撮像出来るよう
にＣＣＤ２ａを複数個設け、一体化し、一体化されたＣ
０Ｄ２ａをレチクル３の表裏面に走行させる駆動アーム
１０及びその駆動部１１を設け、さらに画像データを拡
大する画像拡大処理部９を設けたことである。それ以外
は前述の実施例と同じである。
このレチクル異物検査装置は、ＣＣＤ２ａを駆動アーム
１０によりレチクル３に位置めし、−度にレチクル面の
状態を撮像することである。このＣＣＤ２ａにより取入
れられた画像データは画像処理部４に送られ、各ＣＣＤ
毎のデータに分割され画像拡大処理部９に送られる０次
に、画像拡大処理部９において、画像処理部４より送ら
れてきた画像データを任意の大きさに拡大し、信号処理
部５に送られる。この後の処理は、前述の実施例と同じ
である。
１０によりレチクル３に位置めし、−度にレチクル面の
状態を撮像することである。このＣＣＤ２ａにより取入
れられた画像データは画像処理部４に送られ、各ＣＣＤ
毎のデータに分割され画像拡大処理部９に送られる０次
に、画像拡大処理部９において、画像処理部４より送ら
れてきた画像データを任意の大きさに拡大し、信号処理
部５に送られる。この後の処理は、前述の実施例と同じ
である。
この実施例では、各ＣＣＤにより取り入れられた画像デ
ータを任意拡大することにより、レチクル上の異物等の
欠陥を拡大し、検出容易となるという利点がある。また
、このＣＣＤの複数個を一体化することにより、画像を
立体的に画像処理可能であり異物の検出がより容易にな
るという利点がある。
ータを任意拡大することにより、レチクル上の異物等の
欠陥を拡大し、検出容易となるという利点がある。また
、このＣＣＤの複数個を一体化することにより、画像を
立体的に画像処理可能であり異物の検出がより容易にな
るという利点がある。
以上説明したように本発明は、レチクルの表裏面を撮像
するＣＣＤを設け、この画像データを取り入れ、画像処
理後、信号処理することにより、スポット光を照射して
もその端より散乱光を発生しないような半透明な薄膜や
汚れ、しみ等の異物も発見することが出来るレチクル異
物検査装置が得られるという効果がある。
するＣＣＤを設け、この画像データを取り入れ、画像処
理後、信号処理することにより、スポット光を照射して
もその端より散乱光を発生しないような半透明な薄膜や
汚れ、しみ等の異物も発見することが出来るレチクル異
物検査装置が得られるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すレチクル異物検査装置
の模式断面図、第２図は本発明の他の実施例を示すレチ
クル異物検査装置の模式平面図である。 １・・・ケース、２，２ａ・・・ＣＣＤ、３・・・レチ
クル、４・・・画像処理部、５・・・信号処理部、６・
・・ＣＲＴ、７・・・移動用レール、９・・・画像拡大
処理部、１０・・・駆動アーム、１１・・・駆動部。
の模式断面図、第２図は本発明の他の実施例を示すレチ
クル異物検査装置の模式平面図である。 １・・・ケース、２，２ａ・・・ＣＣＤ、３・・・レチ
クル、４・・・画像処理部、５・・・信号処理部、６・
・・ＣＲＴ、７・・・移動用レール、９・・・画像拡大
処理部、１０・・・駆動アーム、１１・・・駆動部。
Claims (1)
- レチクル表裏面を撮像するＣＣＤと、このＣＣＤを移動
させる移動機構と、前記ＣＣＤより得た画像データを処
理する画像データ処理部と、前記画像データを信号変換
するとともに変換された画像データを比較検査する信号
処理部と、これら検査結果を表示する表示手段とを備え
ることを特徴とするレチクル異物検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17925189A JPH0342554A (ja) | 1989-07-11 | 1989-07-11 | レチクル異物検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17925189A JPH0342554A (ja) | 1989-07-11 | 1989-07-11 | レチクル異物検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0342554A true JPH0342554A (ja) | 1991-02-22 |
Family
ID=16062581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17925189A Pending JPH0342554A (ja) | 1989-07-11 | 1989-07-11 | レチクル異物検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0342554A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04316478A (ja) * | 1991-04-12 | 1992-11-06 | Nec Corp | 生物試料観察装置、システムおよび方法 |
| JP2011044490A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Nikon Corp | 観察装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
-
1989
- 1989-07-11 JP JP17925189A patent/JPH0342554A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04316478A (ja) * | 1991-04-12 | 1992-11-06 | Nec Corp | 生物試料観察装置、システムおよび方法 |
| JP2011044490A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Nikon Corp | 観察装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
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