JPH033955Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH033955Y2 JPH033955Y2 JP1983151456U JP15145683U JPH033955Y2 JP H033955 Y2 JPH033955 Y2 JP H033955Y2 JP 1983151456 U JP1983151456 U JP 1983151456U JP 15145683 U JP15145683 U JP 15145683U JP H033955 Y2 JPH033955 Y2 JP H033955Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode plates
- electrodes
- electrode
- pairs
- shows
- Prior art date
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- Expired
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- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
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- Measurement Of Radiation (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はイオンビームを任意の方向に偏向、集
束もしくは発散させる装置に関するものである。
束もしくは発散させる装置に関するものである。
従来の静電デイフレクタは平行平板により作ら
れており、同一空間でビームと垂直な直交する二
つの方向に偏向、集束もしくは発散させる場合、
第１図に示す様に、同一の長さ方向の領域に二対
の平行平板の電極１が外枠２に対し、絶縁物３を
介して取り付けられた構成になつている。そして
各電極１はそれぞれの電圧導入端子４により駆動
される。
れており、同一空間でビームと垂直な直交する二
つの方向に偏向、集束もしくは発散させる場合、
第１図に示す様に、同一の長さ方向の領域に二対
の平行平板の電極１が外枠２に対し、絶縁物３を
介して取り付けられた構成になつている。そして
各電極１はそれぞれの電圧導入端子４により駆動
される。
この様な構造の欠点としては、電極１を固定し
ている枠２の形状が断面的に四角形となり、組立
精度を十分達成することは難しかつた。従つて、
他のレンズ装着類と結合させる際、装置固有のビ
ーム中心軸を互いに合わせる事は必ずしも平易で
はなかつた。更に、二対の電極板の相互撹乱によ
る電場の乱れは大きく問題が多かつた。
ている枠２の形状が断面的に四角形となり、組立
精度を十分達成することは難しかつた。従つて、
他のレンズ装着類と結合させる際、装置固有のビ
ーム中心軸を互いに合わせる事は必ずしも平易で
はなかつた。更に、二対の電極板の相互撹乱によ
る電場の乱れは大きく問題が多かつた。
本考案は、上記問題点を速やかに解決すべくな
されたもので、電極板全体をほぼ円筒状にする事
により、従来の平行平板電極を用いた場合に得ら
れる電場により、更に望ましい電場を得ると共
に、他のレンズ装置との結合に於いて、ビーム中
心軸を精度良く合わせる事が容易である構造を目
的としている。
されたもので、電極板全体をほぼ円筒状にする事
により、従来の平行平板電極を用いた場合に得ら
れる電場により、更に望ましい電場を得ると共
に、他のレンズ装置との結合に於いて、ビーム中
心軸を精度良く合わせる事が容易である構造を目
的としている。
以下図面と共に本考案を詳細に説明する。
本考案は、第２図に示すごとく、絶縁物で出来
た円筒状の外枠２１に円筒状の金属を軸方向に四
分割して出来た円弧状電極板２２と、電圧導入端
子２３により構成されている。
た円筒状の外枠２１に円筒状の金属を軸方向に四
分割して出来た円弧状電極板２２と、電圧導入端
子２３により構成されている。
第３図は、第２図と同じ構造で、電極は等四分
割されており、１つの円弧状電極の中心角θが90
度の場合で、電極３１，３２にはov、電極３３，
３４には、各々同じ大きさで逆符号の電位を与え
た時の、電極が無限に長い場合の横断面内での等
電位面の様子を示している。これは計算機を用い
てLaplaceの方程式を解いて得られる。この電位
面状態は第４図に示す様な第１図の従来構造で、
電極４１，４２にはov、電極４３，４４には、
各々同じ大きさで逆符号の電位を与えた場合と比
べ明らかに向上している。第５図は、これをはつ
きりと示すもので、第３図、及び第４図の左上四
分の一の領域の等電位面を、同一平面に表わした
ものである。実線は、理想的な一様平行等電位面
を表わしており、破線は円弧状電極の場合の等電
位面であり、点線は平行平板の場合の等電位面で
ある。この図より明らかに、破線の円弧状電極の
方が理想的な一様平行電位面に近く顕著な性能向
上を示している。第６図は、第３図の場合とは電
圧の与え方が異なる場合で、ビームの偏向方向が
第３図の場合と比べ、45度変化した場合に相当し
ており、電極６１と６３には同じ電位を印加し、
電極６２と６４には、それとは同じ大きさで逆符
号の電位を印加した場合の等電位面の様子であ
る。この時の電位状態は、第７図に示す様な、第
１図の従来構造で、電位の与え方は第６図と同様
に、電極７１と７３には同じ電位を印加し、電極
７２と、７４には、それとは同じ大きさで逆符号
の電位を印加した場合と比べ、明らかに電場の一
様平行性は優れており、従来型より優れた性能を
示している。
割されており、１つの円弧状電極の中心角θが90
度の場合で、電極３１，３２にはov、電極３３，
３４には、各々同じ大きさで逆符号の電位を与え
た時の、電極が無限に長い場合の横断面内での等
電位面の様子を示している。これは計算機を用い
てLaplaceの方程式を解いて得られる。この電位
面状態は第４図に示す様な第１図の従来構造で、
電極４１，４２にはov、電極４３，４４には、
各々同じ大きさで逆符号の電位を与えた場合と比
べ明らかに向上している。第５図は、これをはつ
きりと示すもので、第３図、及び第４図の左上四
分の一の領域の等電位面を、同一平面に表わした
ものである。実線は、理想的な一様平行等電位面
を表わしており、破線は円弧状電極の場合の等電
位面であり、点線は平行平板の場合の等電位面で
ある。この図より明らかに、破線の円弧状電極の
方が理想的な一様平行電位面に近く顕著な性能向
上を示している。第６図は、第３図の場合とは電
圧の与え方が異なる場合で、ビームの偏向方向が
第３図の場合と比べ、45度変化した場合に相当し
ており、電極６１と６３には同じ電位を印加し、
電極６２と６４には、それとは同じ大きさで逆符
号の電位を印加した場合の等電位面の様子であ
る。この時の電位状態は、第７図に示す様な、第
１図の従来構造で、電位の与え方は第６図と同様
に、電極７１と７３には同じ電位を印加し、電極
７２と、７４には、それとは同じ大きさで逆符号
の電位を印加した場合と比べ、明らかに電場の一
様平行性は優れており、従来型より優れた性能を
示している。
第８図は電極が等四分割ではなく、中心角θが
60度の一対の円弧状電極８１，８２と、他の一対
がθ＝120度である円弧状電極８３，８４により
構成されており、電極８１，８２にはov、電極
８３，８４には各々同じ大きさで逆符号の電位を
与えた時の等電位面の様子である。これは電極８
３，８４による偏向作用を主目的とした場合であ
り、図が示す様にかなり広い領域で一様平行電位
場が得られ、優れた性能を示している。
60度の一対の円弧状電極８１，８２と、他の一対
がθ＝120度である円弧状電極８３，８４により
構成されており、電極８１，８２にはov、電極
８３，８４には各々同じ大きさで逆符号の電位を
与えた時の等電位面の様子である。これは電極８
３，８４による偏向作用を主目的とした場合であ
り、図が示す様にかなり広い領域で一様平行電位
場が得られ、優れた性能を示している。
第１図は、従来型の静電デイフレクタ基本構成
概念図であり、Ａはその横断面図、Ｂはその縦断
面図。 １……電極、２……外枠、３……絶縁物、４…
…電圧導入端子。 第２図は、本考案による静電デイフレクタ基本
構成概念図であり、Ａはその横断面図、Ｂはその
縦断面図。 ２１……枠、２２……円弧状電極板、２３……
電圧導入端子。 第３図と第６図は、第２図Ａに於ける等電位面
の様子を示す状態図であり、第４図と第７図は、
第１図Ａに於ける等電位面の様子を示す状態図で
ある。第５図は、第３図と第４図の左上の４分の
１の領域での等電位面を比較した状態図である。
第８図は、第３図に於ける円弧状電極板の中心角
を変えた時の等電位面の様子を示す状態図であ
る。
概念図であり、Ａはその横断面図、Ｂはその縦断
面図。 １……電極、２……外枠、３……絶縁物、４…
…電圧導入端子。 第２図は、本考案による静電デイフレクタ基本
構成概念図であり、Ａはその横断面図、Ｂはその
縦断面図。 ２１……枠、２２……円弧状電極板、２３……
電圧導入端子。 第３図と第６図は、第２図Ａに於ける等電位面
の様子を示す状態図であり、第４図と第７図は、
第１図Ａに於ける等電位面の様子を示す状態図で
ある。第５図は、第３図と第４図の左上の４分の
１の領域での等電位面を比較した状態図である。
第８図は、第３図に於ける円弧状電極板の中心角
を変えた時の等電位面の様子を示す状態図であ
る。
Claims (1)
- 直交する対向面を有する二対の電極板から成
り、前記二対の電極板のそれぞれに選択的に電圧
を印加することにより該電極板内に入射されるイ
オンビームを任意の方向に偏向、収束もしくは発
散させる静電デイフレクタにおいて、前記二対の
電極板が全体がほぼ円筒状を成すように円弧形状
に構成された事を特徴とする静電デイフレクタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15145683U JPS6059456U (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 静電デイフレクタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15145683U JPS6059456U (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 静電デイフレクタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6059456U JPS6059456U (ja) | 1985-04-25 |
| JPH033955Y2 true JPH033955Y2 (ja) | 1991-01-31 |
Family
ID=30335620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15145683U Granted JPS6059456U (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 静電デイフレクタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6059456U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53134369A (en) * | 1977-04-28 | 1978-11-22 | Rikagaku Kenkyusho | Electrostatic deflector for charged particles |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP15145683U patent/JPS6059456U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53134369A (en) * | 1977-04-28 | 1978-11-22 | Rikagaku Kenkyusho | Electrostatic deflector for charged particles |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6059456U (ja) | 1985-04-25 |
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