JPH0336716A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
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- JPH0336716A JPH0336716A JP1172313A JP17231389A JPH0336716A JP H0336716 A JPH0336716 A JP H0336716A JP 1172313 A JP1172313 A JP 1172313A JP 17231389 A JP17231389 A JP 17231389A JP H0336716 A JPH0336716 A JP H0336716A
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- Japan
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- pattern
- reticle
- half mirror
- mirror
- reticles
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 7
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70425—Imaging strategies, e.g. for increasing throughput or resolution, printing product fields larger than the image field or compensating lithography- or non-lithography errors, e.g. proximity correction, mix-and-match, stitching or double patterning
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は半導体製造装置、特に、i1小投影認光装置の
レチクル光学系の構造に関する。
レチクル光学系の構造に関する。
[発明の概要]
本発明は、半導体製造装置、特に、’m?J小投影域光
装置において、同一パターンの2枚以上のレチクルを装
着し、2枚以上のしφクルを同時に、露光することがで
きるレチクル光学系を備えることによって、縮小投影パ
ターン比較欠陥検査をせずに製品パターンの露光を可能
にさせるものである[従来の技WI] 従来の半導体[造装置、特に、縮小投影露光装置のレチ
クル光学系は、第2図にあるように、縮小投影レンズ1
1を通して半導体基板12、に1枚のレチクル10しか
露光できない構造であった[発明が解決しようとする課
題] しかし、前述第2図の構造では、1枚のレチクルしか露
光できないため、1枚のレチクル内に2チップ以上の同
一パターンを持たせ、その同一パターン周志の縮小投影
パターン比較欠陥検査をおこなわなければならないとい
う問題を有していたそこで、本発明はこのような問題点
を解決するため、同一パターンの2枚以上のレチクルを
装着し、上記2枚以上のレチクルを同時に露光すること
ができるレチクル光学系を備えることによって1枚のレ
チクルに付着した異物による欠陥を、他のレチクルから
の光で露光させることで欠陥をなくし、縮小投影パター
ン比較欠陥検査をせずに製品パターンの露光を可能にさ
せることを目的としている。
装置において、同一パターンの2枚以上のレチクルを装
着し、2枚以上のしφクルを同時に、露光することがで
きるレチクル光学系を備えることによって、縮小投影パ
ターン比較欠陥検査をせずに製品パターンの露光を可能
にさせるものである[従来の技WI] 従来の半導体[造装置、特に、縮小投影露光装置のレチ
クル光学系は、第2図にあるように、縮小投影レンズ1
1を通して半導体基板12、に1枚のレチクル10しか
露光できない構造であった[発明が解決しようとする課
題] しかし、前述第2図の構造では、1枚のレチクルしか露
光できないため、1枚のレチクル内に2チップ以上の同
一パターンを持たせ、その同一パターン周志の縮小投影
パターン比較欠陥検査をおこなわなければならないとい
う問題を有していたそこで、本発明はこのような問題点
を解決するため、同一パターンの2枚以上のレチクルを
装着し、上記2枚以上のレチクルを同時に露光すること
ができるレチクル光学系を備えることによって1枚のレ
チクルに付着した異物による欠陥を、他のレチクルから
の光で露光させることで欠陥をなくし、縮小投影パター
ン比較欠陥検査をせずに製品パターンの露光を可能にさ
せることを目的としている。
[課題を解決するための手段]
本発明の半導体製造装置は、縮小投影露光装置において
、同一パターンの2枚以上のレチ′クルを装着し、上記
2枚以上のレチクルを同時に露光することができるレチ
クル光学系を備えたことを特徴とする。
、同一パターンの2枚以上のレチ′クルを装着し、上記
2枚以上のレチクルを同時に露光することができるレチ
クル光学系を備えたことを特徴とする。
[実施例]
第1図は、本発明の実施例における断面図であり、1は
露光光線、2は露光光線を2つに分岐させるハーフミラ
−3は1枚目のレチクル、4はレチクル3と同一パター
ンの2枚目のレチクル、5.6は露光光線を全反射する
ミラー 7はレチクル5とレチクル402つのパターン
像を合成させるハーフミラ−8は縮小投影レンズ、9は
半導体基板である。
露光光線、2は露光光線を2つに分岐させるハーフミラ
−3は1枚目のレチクル、4はレチクル3と同一パター
ンの2枚目のレチクル、5.6は露光光線を全反射する
ミラー 7はレチクル5とレチクル402つのパターン
像を合成させるハーフミラ−8は縮小投影レンズ、9は
半導体基板である。
露光光線1は、ハーフミラ−2で2系統に分岐され、片
方はミラー6で全反射されレチクル4のパターンをハー
フミラ−7に作る。又、もう一方の露光光線はレチクル
3のパターンをミラー5で全反射し、上記ハーフミラ−
7に作る。上記ハーフミラ−7で合成されたパターンは
、。縮小投影レンズ8を通り、無欠陥パターンを半導体
基板9に結像することを可能にした。
方はミラー6で全反射されレチクル4のパターンをハー
フミラ−7に作る。又、もう一方の露光光線はレチクル
3のパターンをミラー5で全反射し、上記ハーフミラ−
7に作る。上記ハーフミラ−7で合成されたパターンは
、。縮小投影レンズ8を通り、無欠陥パターンを半導体
基板9に結像することを可能にした。
半導体基板は、ガラス基板等の使用も可能である。
[発明の効果]
以上述べたように、本発明によれば同一パターンの2枚
以上のレチクルを装着し、上記2枚以上のレチクルを同
時に露光することができるレチクル光学系を備えたこと
により、縮小投影パターン比較欠陥検査なせずに無欠陥
パターンを半導体基板に結像でき、又、その為に1チク
プレチクルの露光をも可能にする効果を有する。
以上のレチクルを装着し、上記2枚以上のレチクルを同
時に露光することができるレチクル光学系を備えたこと
により、縮小投影パターン比較欠陥検査なせずに無欠陥
パターンを半導体基板に結像でき、又、その為に1チク
プレチクルの露光をも可能にする効果を有する。
第1図は本発明の一実施例の主要断面図であり、第2図
は従来例の主要断面図である。 1・・・・・・・・・露光光線 2・・・・・・・・・ハーフミラ− 3,4・・・レチクル 5.6・・・ミラー 7・・・・・・・・・ハーフミラ− 8・・・・・・・・・縮小投影レンズ 9・・・・・・・・・半導体基板 以上
は従来例の主要断面図である。 1・・・・・・・・・露光光線 2・・・・・・・・・ハーフミラ− 3,4・・・レチクル 5.6・・・ミラー 7・・・・・・・・・ハーフミラ− 8・・・・・・・・・縮小投影レンズ 9・・・・・・・・・半導体基板 以上
Claims (1)
- 縮小投影露光装置において、同一パターンの2枚以上の
レチクルを装着し、上記2枚以上のレチクルを同時に露
光する事ができるレチクル光学系を備えた事を特徴とす
る半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1172313A JPH0336716A (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1172313A JPH0336716A (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0336716A true JPH0336716A (ja) | 1991-02-18 |
Family
ID=15939601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1172313A Pending JPH0336716A (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0336716A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0672795U (ja) * | 1993-03-26 | 1994-10-11 | 本田技研工業株式会社 | 自動二輪車用リヤフォーク |
EP1255164B1 (en) * | 2001-05-04 | 2007-07-18 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus |
-
1989
- 1989-07-04 JP JP1172313A patent/JPH0336716A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0672795U (ja) * | 1993-03-26 | 1994-10-11 | 本田技研工業株式会社 | 自動二輪車用リヤフォーク |
EP1255164B1 (en) * | 2001-05-04 | 2007-07-18 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus |
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