JPH0336129U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0336129U JPH0336129U JP9764189U JP9764189U JPH0336129U JP H0336129 U JPH0336129 U JP H0336129U JP 9764189 U JP9764189 U JP 9764189U JP 9764189 U JP9764189 U JP 9764189U JP H0336129 U JPH0336129 U JP H0336129U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- charged particle
- particle beam
- lead wire
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は従来例を説明するための断面図である。 １……保持体、２ａ，２ｂ……偏向板、３ａ，
３ｂ……ブツシユ、４ａ，４ｂ……ビス、６ａ，
６ｂ……電気絶縁体、７ａ，７ｂ……電極棒、８
ａ，８ｂ……はだかリード線。
図は従来例を説明するための断面図である。 １……保持体、２ａ，２ｂ……偏向板、３ａ，
３ｂ……ブツシユ、４ａ，４ｂ……ビス、６ａ，
６ｂ……電気絶縁体、７ａ，７ｂ……電極棒、８
ａ，８ｂ……はだかリード線。
Claims (1)
- アース電位に保たれた筒状の保持体と、該保持
体内に電気的に絶縁された状態で保持されかつ荷
電粒子線を偏向するための少なくとも一対の偏向
板と、一端が該各偏向板に夫々固定され、かつ他
端が前記保持体側壁を隙間を保つて貫通した電極
棒と、該各電極棒の開放端部に夫々固定され前記
各偏向板に所望の電圧を印加するためのリード線
とを備え、前記電極棒の開放端部を保持体外周か
ら突出させることによりリード線を保持体から離
し、両者間の静電容量を小さくしたことを特徴と
する荷電粒子線装置用静電偏向系リード線接続構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9764189U JPH0336129U (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9764189U JPH0336129U (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0336129U true JPH0336129U (ja) | 1991-04-09 |
Family
ID=31646776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9764189U Pending JPH0336129U (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0336129U (ja) |
-
1989
- 1989-08-22 JP JP9764189U patent/JPH0336129U/ja active Pending