JPH0333060Y2 - - Google Patents

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JPH0333060Y2
JPH0333060Y2 JP1986144644U JP14464486U JPH0333060Y2 JP H0333060 Y2 JPH0333060 Y2 JP H0333060Y2 JP 1986144644 U JP1986144644 U JP 1986144644U JP 14464486 U JP14464486 U JP 14464486U JP H0333060 Y2 JPH0333060 Y2 JP H0333060Y2
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Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はワイヤボンデイング装置に関する。
従来の技術 半導体装置の製造工程に於いて、半導体ペレツ
トとリードとを金属ワイヤで接続する目的で、第
３図に見られるようなボンデイング装置が使用さ
れている。これはＸ，Ｙテーブル１上にホーン４
を上下方向に揺動自在に支持すると共に、該ホー
ンの一端に振動子２を、またその他端にスプール
６から繰り出された金属ワイヤ３を挿通する孔を
具えたキヤピラリ５を固着し、スプール６とキヤ
ピラリ５の間にワイヤ３に対するバツクテンシヨ
ナーとして機能するエア吹出しノズル７、Ｘ，Ｙ
テーブル１の移動と同調してワイヤ３の送出し長
さを制御するクランパ８およびワイヤ３を円滑に
ガイドするガラス製のガイドチユーブ９を順次配
設している。ワイヤ３は、該スプール６の軸芯に
穿設された挿通孔１２を通して繰り出されキヤピ
ラリ５に導かれる。
考案が解決しようとする問題点 ところで上記ワイヤボンデイング装置は特にワ
イヤ繰り出し部分の構造が比較的簡易である反
面、ボンデイング回数の増加に伴つてスプール６
上のワイヤ捲層の直径が変化し、慣性による回転
力と摩擦抵抗の変化によつてワイヤ３の繰出し張
力が変動し、エア吹き出しノズル７の作動域に送
り出されたワイヤ３にループ長さの変動を引き起
こす。またスプール６から円周方向に繰り出され
たワイヤ３はスプール６の軸方向に導出されるた
め、ワイヤ３に捩れ力が加わり、半導体ペレツト
１０とリード１１の間にボンデイングされたワイ
ヤの長さが変動したり、ループ形状が一定しない
という問題があつた。
本考案の主要な目的は、在来のワイヤボンダに
認められた上記問題点を解決し、ワイヤ送り出し
長さとループ形状の調整機能を向上せしめたワイ
ヤボンデイング装置を提供することにある。
問題点を解決するための手段 上記問題点の解決手段として本考案は、スプー
ルに巻回された金属ワイヤを繰り出し、二部材間
を前記金属ワイヤにて電気的に接続する装置に於
いて、前記スプールを浮上状態で回転自在に支持
すると共にスプールの周方向に金属ワイヤを繰出
し、該スプールにワイヤの繰出し張力調整手段を
設けたワイヤボンデイング装置を提供するもので
ある。
作 用 ワイヤを捲回したスプールを、磁力あるいはエ
アによつて回転自在に浮上支持すると共に、該ス
プールに制御手段として磁力またはエアを利用す
るワイヤの繰出し張力調整装置を付設し、ワイヤ
の送り出し長さとループ形状の変動を防止する。
実施例 １ 第１図は本考案の一具体例を示すワイヤボンデ
イング装置要部の略示正面図である。尚、以下の
説明に於いて前記従来装置と同一の構成部材は同
一の参照番号で表示し、重複する事項に関する説
明を省略する。本考案はスプール６を円筒状支持
部材１７を介して軸端に永久磁石１５，１５を固
着した枢軸１６に取付け、この永久磁石１５，１
５付枢軸１６をこれと反対の極性を具えた軸受２
１，２１によつて遊嵌支持することによつて回転
自在な磁気浮上型式のスプール支持機構を形成し
ている。一方、前記円筒状支持部材１７の側端面
にはエアの吹付けによつてスプール６にバツクテ
ンシヨンを作用させる複数枚のエア吹付けブレー
ド１８，１８…が放射状に固着されている。この
エア吹付けブレード１８，１８…は、前記エア吹
出しノズルからなる既存のバツクテンシヨナー７
との同調下にワイヤ３の繰出し張力調整部材とし
て機能する。上記ブレード１８，１８…へのエア
の噴出圧力は、バツクテンシヨナー７がキヤピラ
リ５の高速移動に伴うワイヤ３の送り出し長さの
変動を吸収している状態で、スプール６から繰出
されたワイヤ３の張力平衡がくずれたとき、直ち
にスプール６に所定の回転駆動力を伝達し、ワイ
ヤ３の送り出し動作を再開するように調整する。
即ち、ワイヤ３に働く繰出し張力および浮上支持
されたスプール６の重さとバランスするようにブ
レード１８，１８…へのエアの噴出圧力を調整
し、バツクテンシヨナー７によるワイヤ３の張力
平衡がくずれたとき、直ちにスプール６に所定の
逆方向回転力が作用するバツクテンシヨン制御系
を構成する。
実施例 ２ 第２図は本考案の別の具体例を示すワイヤボン
デイング装置要部の略示正面図である。この装置
に於いては図示しないがスプール６の支持は第１
図実施例と同様の構造で浮上状態で支持されてお
り実施例１のエア吹付けブレード１８，１８…の
代わりに、円筒状支持部材１７の側端面に永久磁
石１９を固着すると共に、該永久磁石１９と所定
の間隔Ｌを置いてバツクテンシヨナーとして機能
する第２の永久磁石２０を回転自在に対向配置
し、これらの永久磁石１９，２０の対向間隔Ｌと
第２の永久磁石２０の回転数を変化させることに
よつて、バツクテンシヨンのバランスがくずれた
ときのスプール３の逆方向回転の開始タイミング
を調整している。
このようにワイヤを捲回したスプールを磁力あ
るいはエアによつて回転自在に浮上支持すると共
に、該スプールに制動手段として磁力またはエア
を利用するワイヤの繰出し張力調整装置を付設
し、これを既存のバツクテンシヨナーと共働させ
ることによつてワイヤの１回当り送り出し長さと
ループ形状の変動を防止する。
なお本考案は上記実施例にのみ限定されること
なく、例えば磁気浮上型式のスプール支持機構の
代わりにエアベアリングを具えたエアによるスプ
ール浮上支持機構を使用することもできる。
考案の効果 本考案によれば、スプールから繰り出されるワ
イヤに捩れ力が作用せず、繰り出されるワイヤの
長さが常に一定になり、また半導体ペレツトとリ
ード間のワイヤのループ形状の変動も効果的に抑
制される。斯くして本考案は、半導体装置の品質
向上に対し従来装置の水準を大幅に上廻る効果を
発揮することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は本考案装置要部の略示正
面図であり、第３図は従来装置の略示正面図であ
る。 ３……ワイヤ、５……キヤピラリ、６……スプ
ール、１５……永久磁石、１８，１９，２０……
張力調整手段。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. スプールに巻回された金属ワイヤを繰り出し、
    二部材間を前記金属ワイヤにて電気的に接続する
    装置に於いて、前記スプールを浮上状態で回転自
    在に支持すると共にスプールの周方向に金属ワイ
    ヤを繰出し、該スプールにワイヤの繰出し張力調
    整手段を設けたことを特徴とするワイヤボンデイ
    ング装置。
JP1986144644U 1986-09-19 1986-09-19 Expired JPH0333060Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1986144644U JPH0333060Y2 (ja) 1986-09-19 1986-09-19

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1986144644U JPH0333060Y2 (ja) 1986-09-19 1986-09-19

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Publication Number Publication Date
JPS6350129U JPS6350129U (ja) 1988-04-05
JPH0333060Y2 true JPH0333060Y2 (ja) 1991-07-12

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ID=31055439

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JPS6350129U (ja) 1988-04-05

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