JPH0332681B2 - - Google Patents

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JPH0332681B2
JPH0332681B2 JP60299399A JP29939985A JPH0332681B2 JP H0332681 B2 JPH0332681 B2 JP H0332681B2 JP 60299399 A JP60299399 A JP 60299399A JP 29939985 A JP29939985 A JP 29939985A JP H0332681 B2 JPH0332681 B2 JP H0332681B2
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JP
Japan
Prior art keywords
combustion
exhaust gas
gas
fuel gas
flow rate
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP60299399A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS62158905A (ja
Inventor
Kazumitsu Nukui
Masakuni Ito
Shigeru Noji
Nagayasu Yuhara
Wakichi Kitada
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Gas Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Gas Co Ltd
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Publication date
Application filed by Tokyo Gas Co Ltd filed Critical Tokyo Gas Co Ltd
Priority to JP60299399A priority Critical patent/JPS62158905A/ja
Publication of JPS62158905A publication Critical patent/JPS62158905A/ja
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はコークス炉に於ける排ガス再循環切換
燃焼方法に関するものである。
(従来の技術およびその問題点) コークス炉に於ける低NOx対策として、燃焼
室からの排ガスの一部を燃料ガスと混合した燃焼
用ガスを該燃焼室に供給して燃焼させる、排ガス
再循環燃焼方法が行なわれている。この際、燃料
ガスと排ガスの混合は、夫々の系統の流量調節弁
を制御して、爆発性雰囲気にならないように、そ
して所定熱量となるように行なわれている。しか
しながら、コークス炉は対を成す燃焼室を切り換
えて燃焼させる構成としており、一方側の燃焼室
に於ける燃焼を停止させた後、他方側の燃焼室に
燃焼用ガスを供給するに際して、供給を開始した
時点では流量調節弁が正常に機能し難いので所定
の混合割合とするのが非常に難かしい。ところ
が、排ガス中の酸素濃度は10%程度あり、また燃
料ガスとして、例えばコークス炉ガス(COG)
中にも1.8%程度の酸素が含まれているので、混
合割合によつては爆発性雰囲気が生じてしまう危
険性がある。
本発明は以上の従来の問題点を解決し、コーク
ス炉に於ける低NOx対策として排ガス再循環燃
焼を行なう場合に於いて、対を成す燃焼室を切り
換えて燃焼させる際に、爆発性雰囲気を生じない
ようにして、安全性を確保することを目的とする
ものである。
(発明の構成及び作用) 即ち、本発明は前述の目的を達成するために、
切り離えて燃焼させる対を成す燃焼室を設け、燃
料ガスと該燃焼室からの排ガスの一部を混合して
燃焼用ガスとして該燃焼室に供給する構成に於い
て、燃焼の切り換え時に、燃料ガス系統と排ガス
再循環系統の供給を停止して一方側の燃焼室に於
ける燃焼を停止させ、しかる後、他方側の燃焼室
に燃焼用ガスを供給するに際して、燃料ガスの供
給開始時点を排ガス再循環系統の供給開始時点よ
りも適宜時間先行させるように、前記各系統の弁
装置を制御することを要旨とするものである。以
下に具体的構成の実施例を示す図面に基づいて詳
述する。
符号1はコークス炉を示すもので、該コークス
炉1は対を成す燃焼室A、Bと炭化室Cを設け、
夫々の燃焼室A、Bを切り換えて燃焼させる構成
である。符号2は混合器を示すもので、3は該混
合器2から燃焼室A、Bに至る燃焼用ガス系統を
示すものである。また符号4は燃焼室A、Bから
混合器2に至る排ガス再循環系統を示し、符号5
はブロワー、6は該ブロワー5の吐出圧力調節
弁、そして7は排ガス流量調節弁を示すものであ
る。次に符号8は混合器2に至る燃料ガス系統を
示し、符号9は燃料ガス流量調節弁を示すもので
ある。
以上の構成に於いて、燃料ガス系統8を経た燃
料ガスと、排ガス再循環系統4を経た排ガスが混
合器2に於いて混合され、燃焼用ガスとして燃焼
用ガス系統3を経て、燃焼室A、Bのいずれか一
方側に供給されて燃焼に供される。燃焼用ガスの
熱量は、例えば熱量設定部10に於ける設定熱量
に応じて、熱量計11、流量計12による燃料ガ
スの熱量、流量信号により演算を行なつて、排ガ
スの混合量を算出し、これに基づいて流量計13
に制御信号を与えて排ガス流量調節弁7を制御す
ることにより所定の値に維持することができる。
しかして燃焼の切り換えに際して、燃焼室切換
信号を発すると、制御部14はまず遮断操作部1
5,15′に遮断信号を発し、排ガス流量調節弁
7及び燃料ガス流量調節弁9を全閉とし、そして
燃焼室切換弁16,16′を切り換える。しかる
後、遮断信号を解除して排ガス流量調節弁7及び
燃料ガス流量調節弁9を開として、切り換えた側
の燃焼室への燃焼用ガスの供給を再開するのであ
るが、本発明はかかる際、前述した通り、燃料ガ
スの供給開始時点を排ガスの供給開始時点よりも
適宜時間先行させるように前記排ガス流量調節弁
7及び燃料ガス流量調節弁9を制御する。かかる
制御動作の概要は第2図のタイムチヤートに示す
通りで、燃料ガス流量調節弁9の供給開始時点
を、排ガス流量調節弁7のそれよりもΔT時間だ
け先行させている。
このように制御すると、排ガス流量調節弁7が
開となつて、混合器2に排ガスが供給された時に
は、既に燃料ガスが供給されているので、該排ガ
ス流量調節弁7が開となつた時点に於いて動作が
不安定で、所定以上の排ガスが供給された場合に
も燃焼用ガスが爆発性雰囲気となることがない。
前記時間ΔTは夫々の系統4,8の流量等に応じ
て適宜に設定することができ、また夫々の流量調
節弁7,9を開としてから定常状態とするまで
徐々に開度を大きくするように制御すること等も
適宜である。尚、図に於いて符号17は酸素濃度
分析計で、この分析計17による測定酸素濃度に
基づいての前記制御部14の制御を付加するよう
にすることもできる。
(発明の効果) 本発明は以上の通り、コークス炉に於いて、対
を成す燃焼室を切り換えて排ガス再循環燃焼を行
なう場合に於いて、燃焼の切り換え時に、燃料ガ
ス系統と排ガス再循環系統の供給を停止して一方
側の燃焼室に於ける燃焼を停止させ、しかる後、
他方側の燃焼室に燃焼用ガスを供給するに際し
て、燃料ガスの供給開始時点を排ガスの供給開始
時点よりも適宜時間先行させるように、前記各系
統の弁装置、即ち流量調節弁を制御するので、こ
れらの流量調節弁が供給を開始した時点に於いて
は流量の調節が不安定であつても、燃料ガスを先
行して供給するので、燃焼用ガスを常に爆発範囲
外、即ち爆発上限以上に維持することができ、こ
うして対を成す燃焼室を切り換えて燃焼させる際
の安全性を効果的に確保することができるという
格別なる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明を適用するコークス炉の排ガス
再循環切換燃焼系統の実施例を示す系統説明図、
第2図は本発明の動作例を示すタイムチヤートで
ある。 符号1…コークス炉、2…混合器、3…燃焼用
ガス系統、…排ガス再循環系統、5…ブロワー、
6…吐出圧力調節弁、7…排ガス流量調節弁、8
…燃焼ガス系統、9…燃料ガス流量調節弁、10
…熱量設定部、11…熱量計、12,13…流量
計、14…制御部、15,15′…遮断操作部、
16,16′…燃焼室切換弁、17…酸素濃度分
析計、A,B…燃焼室、C…炭化室。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 切り換えて燃焼させる対を成す燃焼室を設
    け、燃料ガスと該燃焼室からの排ガスの一部を混
    合した燃焼用ガスを該燃焼室に供給する構成に於
    いて、燃焼の切り換え時に、燃料ガス系統と排ガ
    ス再循環系統の供給を停止して一方側の燃焼室に
    於ける燃焼を停止させ、しかる後、他方側の燃焼
    室に燃焼用ガスを供給するに際して、燃料ガスの
    供給開始時点を排ガスの供給開始時点よりも適宜
    時間先行させるように、前記各系統の弁装置を制
    御することを特徴とするコークス炉に於ける排ガ
    ス再循環切換燃焼方法。
JP60299399A 1985-12-28 1985-12-28 コ−クス炉に於ける排ガス再循環切換燃焼方法 Granted JPS62158905A (ja)

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JPS62158905A JPS62158905A (ja) 1987-07-14
JPH0332681B2 true JPH0332681B2 (ja) 1991-05-14

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JPH0355822A (ja) * 1989-07-25 1991-03-11 Shin Etsu Handotai Co Ltd 半導体素子形成用基板の製造方法
US5273553A (en) * 1989-08-28 1993-12-28 Kabushiki Kaisha Toshiba Apparatus for bonding semiconductor substrates
JPH0744135B2 (ja) * 1989-08-28 1995-05-15 株式会社東芝 半導体基板の接着方法及び接着装置

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JPS62158905A (ja) 1987-07-14

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