JPH0332001A - レーザトリミング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、レーザトリミング装置に関し、光電式センサ
に内蔵された出力電圧設定用厚膜抵抗をレーザトリミン
グするに係る。

〈従来技術〉 第３図に、レーザトリミングの対象となる光電式センサ
の電気回路の一部を示す。

この光電式センサ（フォトインタラプタ）では、透過型
フォトインタラプタであれば、発光素子１から出た光が
被検出物体２により遮られ、反射型フォトインタラプタ
であれば、被検出物体２に当たり反射された光が受光素
子３に入射する。この光量により光電流■が発生し、 出力電圧Ｖｏ＝ＩＸＲ が得られ、この出力電圧の大きさにより被検出物体２の
有無を判別する。

このような光電式センサの出力電圧Ｖｏを調整するには
、光電式センサに対して被検出物体２を所定の位置に配
置し、光電式センサを動作させ、出力電圧Ｖｏを測定し
なから厚膜抵抗Ｒをレーザトリミングしている。

〈　発明が解決しようとする課題　〉 前述の従来のレーザトリミング方法では、光電センサに
内蔵されている厚膜抵抗Ｒをレーザトリミングするとき
、受光素子３にレーザ光が入射し、レーザ光による光電
流△■が発生し、光電センサの出力電圧は、 Ｖｏ＝ＩＸＲ＋△ＩＸＲ となり、出力電圧の設定目標値よりも△ＩＸＲだけ小さ
く、正しく調整することができない。

そこで、本発明は、上記課題に鑑み、光電式センサの出
力電圧をレーザ光の影響を受けずに設定することのでき
るレーザトリミング装置の提供を目的とする。

〈　課題を解決するための手段　〉 本発明の課題解決手段は、第１．２図の如く、光電式セ
ンサｌＯに内蔵された出力電圧設定用厚膜抵抗Ｒをレー
ザトリミングするレーザトリミング装置において、前記
厚膜抵抗Ｒをレーザトリミングするレーザ装置１１と、
該レ−ザ光置Ｉｆによるレーザトリミング前に光電式セ
ンサ１０の出力電圧と厚膜抵抗Ｒの抵抗値とを測定しか
つレーザトリミング時に光電式センサ１０の厚膜抵抗Ｒ
の抵抗値を測定する測定装置１２と、該測定装置１２の
出力信号に基づきレーザ装置１１の動作を制御する制御
装置１３とから構成され、該制御装置１３は、出力電圧
設定用抵抗値と出力電圧との関係式に基づき初期出力電
圧と初期抵抗値と出力電圧の設定目標値とを用いて厚膜
抵抗Ｒの設定目標抵抗値を算出する演算手段１４と、光
電式センサ１０の厚膜抵抗Ｒの抵抗値が所定の目標値に
達したか否かを判定する判定手段１５と、該判之手段１
５の判定結果に基づきレーザ装置１１の駆動を停止させ
る駆動停止手段１６とを有せしめられたものである。

く　ｆｉ　用　〉 上記課題解決手段において、光電式センサ１０を被検出
物体と所定の位置に配置し、測定装置１２に接続する。

そして、レーザトリミング前に測定装置１２より光電式
センサｌＯの出力電圧と厚膜抵抗Ｒの抵抗値を測定し、
出力電圧設定用抵抗値と出力電圧値との関係式に基づき
初期出力電圧値と初期抵抗値と出力電圧設定目標値とを
用いて制御装置１３の演算手段１４により厚膜抵抗Ｒの
設定目標抵抗値を算出し、出力電圧設定用抵抗値を測定
しながら演算手段１４により算出した設定目標抵抗値ま
で厚膜抵抗Ｒをレーザ装置１１によりレーザトリミング
し、判定手段１５により光電式センサ１０の厚膜抵抗Ｒ
の抵抗値が所定の目標値に設定されたか否かを判定し、
所定の目標値に達したとき駆動停止手段１６によりレー
ザ装置１！の駆動を停止する。

このように、厚膜抵抗の抵抗値を測定しなから厚膜抵抗
をレーザトリミングするため、レーザ光の影響を受けず
に光電式センサの出力電圧を調整することができる。

〈実施例〉 以下、本発明の一実施例を第１図ないし第４図に基づい
て説明する。

第１図は本発明の一実施例を示すレーザトリミング装置
の構成図、第２図は同じくその制御装置の機能ブロック
図、第３図はレーザトリミングの対象となる光電式セン
サの回路図、第４図は厚膜抵抗の抵抗値測定時の等価回
路を示す図である。

第１図の如く、本実施例のレーザトリミング装置は、光
電式センサ（フォトインクラブタ月Ｏに内蔵された出力
電圧設定用厚膜抵抗Ｒをレーザトリミングするものであ
って、前記厚膜抵抗Ｒをレーザトリミングするレーザ装
置１１と、該レーザ装置１１によるレーザトリミング前
に光電式センサ１０の出力電圧と厚膜抵抗Ｒの抵抗値と
を測定しかつレーザトリミング時に光電式センサ１０の
厚膜抵抗Ｒの抵抗値を測定する測定装置１２と、該測定
装置１２の出力信号に基づきレーザ装置１１の動作を制
御する制御装置Ｉ３とから構成され、該制御装置１３は
、出力電圧設定用抵抗値と出力電圧との関係式に基づき
初期出力電圧と初期紙わ値と出力電圧の設定目標値とを
用いて厚膜抵抗Ｆの設定目標抵抗値を算出する演算手段
１４と、デミ式センサ１０の厚膜抵抗Ｒの抵抗値が所定
の〔標値に達したか否かを判定する判定手段１５と、該
判定手段１５の判定結果に基づきレーザ装置ｌｌの駆動
を停止させる駆動停止手段１６とを有せしめられたもの
である。

前記光電式センサ１０は、第１図の如く、被杉出物体２
の有無を無接点で検出するもので、第３図に示す回路を
有している。この回路は、発光ぶ子Ｉのアノード端子か
電源端子Ｖｃｃに接続され、カソード端子が抵抗Ｒ６を
介してグランド端子ＧＮＤに接続されている。また、受
光素子３のコレクタ端子が端子Ｖｃｃに接続され、エミ
ッタ端子か厚膜抵抗Ｒを介して端子ＧＮＤに接続されて
いるさらに、受光素子３と厚膜抵抗Ｒとの接続中間点に
出力電圧端子Ｖｏが接続されている。前記端子Ｖｃｃ　
Ｖｏ、ＧＮＤは、第１図の如く、レーザトリミング時に
測定装置１２に接続される。

前記レーザ装置Ｉ■は、制御装置Ｉ３により制御される
ことにより、測定装置【２の測定値が目標値に達するま
でレーザ光１８を発して厚膜抵抗ｎをトリミングするも
のである。

前記測定装置１２は、光電式センサ１０の動作時に端子
ＶｏとＧＮＤとの間の電圧を測定する電圧計１９と、厚
膜抵抗Ｒの抵抗値を測定するため端子ＶｏとＧＮＤとの
間に接続された抵抗計２０と、光電式センサ作動用の電
源２１およびスイッチ２２と、電圧計１９および抵抗計
２０の測定切換スイッチ２３とを備えている。前記スイ
ッチ２２．２３は、制御装置１３により開閉され、前記
電圧計１９および抵抗計２０の測定値は、制御装置１３
に導かれ演算処理される。

前記制御装置１３は、第２図の如く、演算手段１４、判
定手段１５、駆動停止手段Ｉ６および目標値記憶手段２
４から構成されている。該目標値記憶手段２４は、前記
演算手段Ｉ４により演算処理された設定目標抵抗値を記
憶する機能を有している。そして、前記判定手段１５は
、目標値記憶手段２４からの記憶信号と測定装置１２が
らの測定信号とを比較して光電式センサ１０の厚膜抵抗
Ｒの抵抗値および出力電圧が所定の目標値に達したか否
かを判断する。

上記構成において、第２図に示した光電式センサｌＯを
反射型フォトインクラブタとし、その厚膜抵抗Ｒをレー
ザトリミングする場合について説明する。

まず、光電式センサｌＯに対して、被検出物体２と所定
の位置（距離ｄ）に配置し、この光電式センサ１０の端
子Ｖｃｃ、Ｖｏ、ＧＮＤを測定装置１２に接続する。

そして、レーザトリミング前に測定装置１２より光電式
センサｌＯの出力電圧と厚膜抵抗Ｒの抵抗値を測定しく
第一工程）、出力電圧設定用抵抗値と出力電圧値との関
係式に基づき初期出力電圧値と初期抵抗値と出力電圧設
定目標値とを用いて制御装置１３の演算手段１４により
厚膜抵抗Ｒの設定目標抵抗値を算出しく第二工程）、出
力電圧設定用抵抗値を測定しながら（このとき、光電式
センサ１０は動作せず）厚膜抵抗Ｒをレーザ装置ＩＩに
よりレーザトリミングしく第三工程）、判定手段１５に
より光電式センサｌＯの厚膜抵抗Ｒの抵抗値が演算手段
１４により算出した設定目標抵抗値に達したか否かを判
定しく第四工程）、所定の目標値に達したとき駆動停止
手段１６によりレーザ装置１１の駆動を停止する。

ここで、上記第一工程ないし第四工程について詳述する
。

まず、第一工程では、スイッチ２２を閉じ、光電式セン
サ１０を動作させ、スイッチ２３により出力電圧端子Ｖ
ｏにつながれた電圧計１９により出力電圧を測定する。

このときの測定値をＶｏｌとする。次に、スイッチ２２
を開き、スイッチ２３により、光電式センサＩＯの出力
電圧端子Ｖ。

に抵抗計２０を接続し、出力電圧端子Ｖｏとグランド端
子ＧＮＤとの間の抵抗を測定する。このときの測定値を
Ｒ１とする。

このとき、第３図に示すように、厚膜抵抗Ｒには、受光
素子３が直列に接続され、発光素子ｌと抵抗Ｒｏとが並
列に接続されている。これは、第４図に示すように、等
価的に抵抗ｒが並列に接続されていると考えられるが、
この抵抗ｒは、厚膜抵抗の抵抗値Ｒに比べて十分大きく
無視できる。

したかって、抵抗計２０での測定値Ｒ１は、厚膜抵抗の
抵抗値Ｒとみなすことができる（次式）。

＝Ｒｃ’、°Ｒ＜＜ｒ）　　（１） 第二工程では、光電式センサＩＯの出力電圧■０と厚膜
抵抗の抵抗値Ｒとの関係は、受光素子３の光電流を■と
すると、次式で示される関係にある。

Ｖｏ＝　Ｉ　ｘＲ（２） ここで、第一工程で１ｆｆｌ＋定した値を代入すると、
Ｖｏ＝ｒＸＲＩ　　　　（３） となる。一方、出力電圧の設定目標値をＶＯ２とし、こ
のときの厚１抵抗の抵抗値をＲ２とし、（＋）式に代入
すると、 Ｖｏｔ＝　ｒ　Ｘ　Ｒ２（４） となる。（３）、（４）式より■を消去して、ｏｌ Ｒ２＝　　−ＸＲＩ　　　（５） ＶＯ。

（５）式に基づき、制御装置１３内で、厚膜抵抗Ｒの設
定目標抵抗値Ｒ２を算出ずろ。

次に、第三工程で、スイッチ２３を抵抗計２０に接続し
、厚膜抵抗の抵抗値Ｒを測定しながら、この抵抗値が、
先に算出した設定目標値Ｖｏ。

Ｒ２（−−ＸＲＩ） ＶＯ。

まで、厚膜抵抗Ｒをレーザトリミングする。そして、第
四工程の目標値に達したかどうかの判断により、目標値
に達すればレーザ光を連断する。

最後に、スイッチ２３により、出力電圧端子ＶＯへ電圧
計１９を接続し、スイッチ２２を閉じて、光電式センサ
ＩＯを動作させ、その出力電圧ＶＯを電圧計１９により
測定し、その測定値を制御装置１３へ送り、出力電圧が
設定目標 （Ｖ　Ｏｔ−△ＶＯ２）　〜（Ｖｏｗ＋△ＶＯ１）の範
囲に入っているかどうかを判定する。ここで、出力電圧
が設定目標に入っていな【すれば、再度上記工程を繰返
す。

このように、厚膜抵抗の抵抗値を測定しなから厚膜抵抗
をレーザトリミングするため、レーザ光の影響を受けず
に光電式センサの出力電圧を調整することができる。

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく
、本発明の範囲内で上記実施例に多くの修正および変更
を加え得ることは勿論である。

上記実施例では、光電式センサとして反射型フォトイン
タラプタについて記載したが、透過型フォトインクラブ
タについてら同様に適用できる。

〈発明の効果〉 以上の説明から明らかな通り、本発明によると、厚膜抵
抗をレーザトリミングするレーザ装置と、レーザ装置に
よるレーザトリミング前に光電式センサの出力電圧と厚
膜抵抗の抵抗値とを測定しかつレーザトリミング時に光
電式センサの厚膜抵抗の抵抗値を測定する測定装置と、
測定装置の出力信号に基づきレーザ装置の動作を制御す
る制御装置とから構成される装置は、出力電圧設定用抵
抗値と出力電圧との関係式に基づき初期出力電圧と初期
抵抗値と出力電圧の設定目標値とを用いて厚膜抵抗の設
定目標抵抗値を算出する演算手段と、光電式センサの厚
膜抵抗の抵抗値が所定の目標値に達したか否かを判定す
る判定手段と、判定手段の判定結果に基づきレーザ装置
の駆動を停止させる駆動停止手段とを有しているので、
厚膜抵抗の抵抗値を測定しながら厚膜抵抗をレーザトリ
ミングできる。

したがって、レーザ光の影響を受けずに光電式センサの
出力電圧を調整することができるといった優れた効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すレーザトリミング装置
の構成図、第２図は同じくその制御装置の機能ブロック
図、第３図はレーザトリミングの対象となる光電式セン
サの回路図、第４図は厚膜抵抗の抵抗値測定時の等価回
路を示す図である。 １０：光電式センサ、【１：レーザ装置、１２：測定装
置、１３：制御装置、１４：演算手段、１５二判定手段
、 １６ 駆動停止手段、 ２４：目標位記 憶手段、 Ｒ：厚膜抵抗。 出 願 人 ノヤーブ株式会社 代 理 人 中 村 恒 久

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　光電式センサに内蔵された出力電圧設定用厚膜抵抗を
   レーザトリミングするレーザトリミング装置において、
   前記厚膜抵抗をレーザトリミングするレーザ装置と、該
   レーザ装置によるレーザトリミング前に光電式センサの
   出力電圧と厚膜抵抗の抵抗値とを測定しかつレーザトリ
   ミング時に光電式センサの厚膜抵抗の抵抗値を測定する
   測定装置と、該測定装置の出力信号に基づきレーザ装置
   の動作を制御する制御装置とから構成され、該制御装置
   は、出力電圧設定用抵抗値と出力電圧との関係式に基づ
   き初期出力電圧と初期抵抗値と出力電圧の設定目標値と
   を用いて厚膜抵抗の設定目標抵抗値を算出する演算手段
   と、光電式センサの厚膜抵抗の抵抗値が所定の目標値に
   達したか否かを判定する判定手段と、該判定手段の判定
   結果に基づきレーザ装置の駆動を停止させる駆動停止手
   段とを有せしめられたことを特徴とするレーザトリミン
   グ装置。