JPH03293503A - 光電式変位検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は変位検出装置に関し、−層詳細には、光学的手
段を用いて測定子の変位量を検出する光電式変位検出装
置の改良に関する。

〔背景技術〕

被測定物に一方向から測定子を当接させることにより、
前記被測定物の寸法、形状等を測定する種々の光電式変
位検出装置が広範に利用されており、この種の検出装置
の中には、例えば、第５図及び第６図に示すようなもの
がある。

すなわち、第５図において、光電式変位検出装置２１０
は、取付台２２０に支持されており、また、この光電式
変位検出装置２１０はケーブル２１１を介して演算表示
手段２３０に接続されている。

前記光電式変位検出装置２１０は、後に詳述する被測定
物Ｗに当接する円柱状の測定子２１２を含み、この測定
子２１２の先端には、前記測定子２１２を矢印Ｚ方向に
変位させるリフティングレバー２１３が取着されている
。

測定子２１２の上部は、第６図の断面図に示されるよう
に、筐体２１４内に突出され、その上端には、Ｌ字形の
取付部材２１５を介してスケール２１６が取付けられて
いる。スケール２１６と対向する位置には、筐体２１４
に立設されたブラケット２１４Ａに支持されて測定子２
１２の変位を光学的に検知する検出器２１７が設けられ
ている。

前記取付部材２１５のＬ字の突出辺２１５Ａには、筐体
２１４から立設されたガイド軸２１８が挿通され、測定
子２１２の回転防止がなされている。また、ガイド軸２
１８の上端と取付部材２１５の突出辺２１５Ａとの開に
は、圧縮コイルばね２１９が介装され、ばね２１９の付
勢力によって測定子２１２は突出方向に付勢されている
。

一方、取付台２２０は、基台２２１を有し、この基台２
２１上には載物台２２２が設けられるとともに、円柱２
２３が立設される。前記載物台２２２上に載置される被
測定物Ｗは、それぞれ高さ寸法がＬ＋　、Ｌｘ　、Ｌｓ
とされた平面Ｍｌ　、Ｍ！　。

Ｍ３を含む階段状に形成される。

前記取付台２２０の円柱２２３には、支持部材２２４が
矢印Ｚ方向へ摺動自在に嵌挿されている。

この支持部材２２４にはねじ２２５が螺合され、このね
じ２２５により、前記支持部材２２４を円柱２２３の任
意の位置で固定できるようになっている。

更に、支持部材２２４の略中夫には、光電式変位検出装
置２１０の一部を挿入するための孔部２２６が穿設され
るとともに、先端には、この孔部２２６に達するすり割
２２７を介して一対の突出部２２８Ａ、２２８Ｂか所定
間隔離間した位置に設けられている。これらの突出部２
２８Ａ、２２８Ｂの間には、ねじ２２９が螺合されてお
り、このねじ２２９を締付けることで、光電式変位検出
装置２１０が支持部材２２４に固定できるよう構成され
る。

前記取付台２２０の近傍には、前記演算表示手段２３０
が位置され、この演算表示手段２３０の筐体２３１の傾
斜する前面２３１Ａには、被測定物Ｗの変位量を表示す
る表示部２３２と、表示された数値を０にセットするリ
セットスイッチ２３３と、ミリメータ、インチ等のモー
ドを切り替える変換スイッチ２３４と、電源スィッチ２
３５とが設けられる。

このように構成された光電式変位検出装置２１０で、例
えば、被測定物Ｗの寸法Ｌ１を測定する場合には、先ず
、測定子２１２を載物台２２２の上面に当接させて、演
算表示手段２３０のリセットスイッチ２３３を押圧し、
表示部２３２を０にリセットする。

次いて、リフティングレバー２１３に指等を掛けて測定
子２］２を矢印Ｚ、力方向変位させた後、被測定物Ｗの
平面Ｍ、を測定子２１２の直下に位置させ、測定子２１
２の先端を平面Ｍ１に当接させる。これにより、表示部
２３２にその寸法Ｌ１か表示される。

更に、寸法Ｌ２．Ｌ３を前記と同様の作業をすることで
測定し、寸法Ｌ＋　、Ｌ２　、Ｌ３の寸法測定か終了す
る。

〔発明か解決しようとする課題〕

然しなから、前記従来の光電式変位検出装置２１０では
、寸法Ｌ１．Ｌ２．Ｌ３を測定する際に、同一の作業を
３回繰り返さなければならない。このため、その作業が
極めて煩雑となるとともに、その都度被測定物Ｗを移動
させるために、測定誤差を惹起する虞がある。

そこで、このような測定誤差を最小限にするためには、
寸法Ｌ＋、Ｌｘ、Ｌｓを１回の作業で測定すればよいこ
とが容易に考えられる。この場合には、それぞれの平面
Ｍ＋　、Ｍｙ　、Ｍａに測定子２１２を３本同時に当接
させることが考えられる。

しかし、その際、特に平面Ｍ＋　、Ｍ！’、Ｍｓの測定
面が幅狭であると、測定子２１２を同時にそれぞれの平
面Ｍ　ｓ　−Ｍ　ｓに当接させることは、従来の光電式
変位検出装置２１０の筐体２１４が幅広のため、困難と
なる欠点が露呈する。

すなわち、筐体２１４内には、測定子２１２と平行に、
検出器２１７の取付用ブラケット２１４Ａ及び回転防止
用ガイド軸２１８が設けられているため、筐体２１４が
必然的に幅広となるからである。

そこで、３本の測定子２１２を、それぞれの平面Ｍ１〜
Ｍｇに同時に当接させるためには、測定子２１２よりや
や太い程度の変位検出装置が案出できればよい。しかし
、従来は、このように小径の光電式変位検出器は、提案
されていない。

ところで、前記光電式変位検出装置２１０における測定
精度は、測定子２１２の動きが如何にスケール２１６に
忠実にガタなく伝えられ、このスケール２１６の動きが
検出器２１７で如何に正確に読取られるかに関係してく
る。

しかしながら、前記変位検出装置２１０においては、測
定子２１２に取付けられるスケール２１６は、測定子２
１２とは別体の取付部材２１５を介して取付けられ、こ
のスケール２１６の動きを読み取る検出器２１７も、筐
体２１４に別体に立設され、かつ、２部材からなる取付
用ブラケット２１４Ａを介して筐体２１４に支持されて
いる。

また、測定子２１２の回転防止は、測定子２１２と別体
の取付部材２１５と、筐体２１４とは別体のガイド軸２
１８とにより行われ、しかも、測定子２１２を案内する
ステム２１４Ｂも筐体２１４とは別体に形成されている
。

このように従来の変位検出装置２１０では、測定子２１
２の動きを規制し、検出するための部材が、各々複数個
づつの連結された部品として形成されているため、各部
品の接続部で誤差を生ずる可能性があり、必然的に寸法
精度が低くならざるを得ないという欠点があった。

また、部材が複数の部品の接続品であることから、たと
え、正確な組立てを行っても、変位検出装置２１０をど
こかに当接させて衝撃力を加えたり、大きな変形力を加
えたりすると、各部品の接続部が歪んで寸法誤差を発生
するおそれがあった。

具体的には、筐体２１４に衝撃力が加わったり、測定子
２１２に曲げ応力等が加わったりして測定子２１２か僅
かにずれたり、撓んだりすると、スケール２１６と検出
器２１７との間が所定間隔を保持することが困難となり
、その間隔が変動し、その分が測定誤差となって表示さ
れる不都合が生じる。また、回転防止をする取付部材２
１５とガイド軸２１８との関係においても、同様なこと
が生じる。

本発明の目的は、外形寸法を小さくできることにより、
例えば、階段状の被測定物の測定をも一度でかつ瞬間的
に測定でき、しかも、測定誤差を最小限にして精密測定
可能となる光電式変位検出装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、従来の光電式変位検出装置においては、測定
子を案内する部材、測定子の回り止めに関与する部材及
び検出器を取付ける部材がそれぞれ別部材として設けら
れることに起因して測定誤差か発生することに着目する
とともに、前記各部材か測定子の摺動方向に対して半径
方向に離れた（オフセットされた）状態で取付けられる
ことに起因して外形寸法が大きくなることに着目してな
されたものであり、測定子を案内する部材、測定子の回
り止めに関与する部材及び検出器を取付ける部材を一体
の部材とし、かつ、同軸上に配置したものである。

具体的には、本発明は、被測定物に対して測定子を関与
させることにより前記被測定物の寸法、形状等を測定す
る光電式変位検出装置において、その主要部となる本体
と、この本体の内部を摺動する軸状部を有するとともに
本体との間に回転防止手段を介装されかつ光学格子を有
するスケールがその一端に取着された測定子と、この測
定子の変位を光学的に検出するとともに前記スケールに
対して所定間隔離間する位置で前記本体に取着される検
出器とを備え、前記本体は、測定子の軸状部を摺動自在
に案内する第１部材、測定子の回転を防止する回転防止
手段の一部を構成する第２部材及び前記検出器を取付け
る第３部材を有し、これらの第１、第２、第３部材が測
定子の摺動方向に沿って同軸上に配置され、かつ、一体
の部材から形成されていることを特徴とする光電式変位
検出装置である。

〔作用〕

このように構成された本発明に係る光電式変位検出装置
において、衝撃等の外力が加わったとしても、測定子が
案内される第１部材と一体に形成された第２、第３部材
に回転防止手段の一部が設けられ、かつ、検出器が取付
けられているから、測定に関与する部品の変形等が生ず
る可能性は極めて少なく、精密な測定を維持できる。

また、本体を構成する第１、第２、第３部材が同軸に配
置されることで寸法的にも小さくでき、狭小な測定スペ
ースにも本発明の光電式変位検出装置を配置できる。

〔実施例〕

次に、本発明に係る光電式変位検出装置について好適な
実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説
明する。

第１図において、参照符号１０は、本実施例に係る光電
式変位検出装置を示す。本実施例において、光電式変位
検出装置ＩＯは、３個設けられているが、これらは全て
同一構成のため、同一符号を付して説明し、３個の各々
を個別に説明する必要があるときは、各変位検出装置１
０あるいはその構成部材の参照符号の後に、それぞれＡ
、Ｂ。

Ｃを付して区別するものとする。また、各光電式変位検
出装置１０を支持する取付台１２０に、３つの変位検出
装置１０に対応して３つ設けられる支持部１３０につい
ても、同様にＡ、Ｂ、Ｃで各個を区別し、強いて区別す
る必要のない時は、Ａ。

Ｂ、Ｃを付さないものとする。

前記３つの光電式変位検出装置１０Ａ、ＩＯＢ。

１０Ｃは、取付台１２０の各支持部１３０Ａ、１３０Ｂ
、１３０Ｃに支持されるとともに、途中にそれぞれアン
プＩＩＩＡ、ＩＩＩＢ、ｌｌＩＣを有するケーブル１１
２Ａ、ｌ　ｌ　２Ｂ、１１２Ｃを介して演算表示手段１
４０へと接続される。

前記取付台１２０は、端部円形を呈する基台１２１を含
み、この基台１２１には載物台１２２か設けられている
。この載物台１２２上には、高さ寸法がＬｌ、Ｌ２　、
Ｌｓの平面Ｍ　ｒ　、　Ｍｌ　、　Ｍｓを有する階段状
の被測定物Ｗが載置される。

また、前記基台１２１に、前記３つの支持部１３０Ａ〜
１３０Ｃが設けられている。これらの各支持部１３０Ａ
〜１３０Ｃは、同一の構成とされるとともに、それぞれ
円柱からなる支柱１３１Ａ。

１３１Ｂ、１３１Ｃを有しており、これらの支柱１３１
Ａ−１３ＩＣには、略コ字状の移動部材１３２Ａ、１３
２Ｂ、１３２Ｃかそれぞれ矢印Ｚ方向へ摺動自在に取着
されている。これらの移動部材１３２Ａ〜１３２Ｃには
、止めねし１３３Ａ。

１３３Ｂ、１３３ｃがそれぞれ螺合され、これらの止め
ねじ１３３Ａ〜１３３Ｃを締め付けることで、移動部材
１３２Ａ〜１３２Ｃを各支柱１３１Ａ−１３１ｃの任意
の位置で位置決め可能となる。

前記各移動部材１３２Ａ−１３２ｃの二股状の先端間に
は、それぞれロッド１３４Ａ、１３４Ｂ。

１３４Ｃか設けられており、これらのロッド１３４Ａ−
１３４Ｃには、それぞれエアシリンダ１３５Ａ、１３５
Ｂ、１３５Ｃが取着されている。これらのエアシリンダ
１３５Ａ〜１３５Ｃ内には、それぞれ矢印Ｘ方向に摺動
自在なピストン１３６Ａ、１３６Ｂ、１３６Ｃが設けら
れている。これらのピストン１３６Ａ〜１３６Ｃには、
それぞれ先端略Ｃ字形状の支持部材１３７Ａ、１３７Ｂ
。

１３７Ｃか図示しない軸を介して着脱自在に取着され、
更に、これらの支持部材１３７Ａ−１３７０に、前記各
光電式変位検出装置１０Ａ−ｔｏＣがそれぞれ保持され
ることになる。

前記演算表示手段１４０の前面パネル１４１には、それ
ぞれの光電式変位検出装置１０Ａ−１００の変位量を示
す表示部１４２Ａ、１４２Ｂ、１４２Ｃと、この表示部
を０にセットするリセットスイッチ１４３Ａ、１４３Ｂ
、１４３Ｃと、ミリメータ、インチ等のモードを切り替
える変換スイッチ１４４Ａ、１４４Ｂ、１４４Ｃと、電
源スィッチ１４５とが設けられている。

前記光電式変位検出装置１０Ａ〜１０Ｃ１すなわちｌＯ
は、第２図乃至第４図において、詳細に示されている。

第２図において、光電式変位検出装置ＩＯは、その主要
部となる本体２０を含み、この本体２０の一端側には、
キャップ４１が螺合されている。

このキャップ４１と、本体２０内を摺動自在な測定子６
０の一端に設けられた接触チップ６１との間には、伸縮
自在な弾性体、調えば、ゴムブーツ４５が介装されてい
る。

一方、本体１０の他端側には、スリーブ４６を介してカ
バー４７の一端が螺合され、このカバー４７の他端には
、袋ナツト５１が螺合されている。

この袋ナツト５１からは、ケーブル１１２が引出されて
いる。

第３，４図において、測定子６０の接触チップ６１は、
一端にテーパ部６２を介して球体６３を埋め込まれ、途
中にローレット部６４及び切欠溝６５を有し、かつ、他
端に雄ねじ部６６を有している。この接触チップ６１の
切欠溝６５には前記ゴムブーツ４５の一端が係合され、
ゴムブーツ４５の他端は、前記キャップ４１に設けられ
た切欠溝４２に係合されている。

前記接触チップ６１の雄ねじ部６６は、測定子６０の軸
状部（スピンドル）７１の一端に設けられた雌ねじ部７
２に、前記ゴムブーツ４５及びキャップ４１を貫通して
螺合され、接触チップ６１と軸状部７１とが一体に連結
されている。

測定子６０の軸状部７１の他端側には、半径方向に形成
された孔部７３及び周方向の切欠溝７４が設けられ、他
端のテーパ部７５には、光学格子７６を有するスケール
７７が、軸状部７１の軸線上に、その長手方向か平行と
なるように固着されている。また、軸状部７１の孔部７
３には、回転防止手段８０の一部、すなわち、テーパ面
８１を有するピン８２が圧入等により固定されている。

前記本体２０は、前記測定子６０の軸状部７１を摺動自
在に案内する円筒状の第１部材２１と、この第１部材、
２１より少し径小とされ、前記測定子６０に設けられた
ピン８２とともに測定子６０の回転防止手段８０を構成
しかつピン８２をガタなく案内する軸線方向に沿った長
孔８３を有する円筒状の第２部材２２と、後述する検出
器８５を取着するための第３部材２３とが一体の部材に
より、測定子６０の摺動方向に沿って同軸上に一体的に
形成されている。これらの第１、第２及び第３部材２１
，２２．２３の一体的な成形は、−本の金属材からの切
削加工、ＦＲＰ　（繊維強化樹脂）、熱膨張係数の小さ
い類エンジニアプラスチックによる成形加工等により作
成できる。

前記第１部材２１と第２部材２２との内部には、円形孔
からなる摺動部２４が画成されており、この摺動部２４
内には、周面に複数の球体２５を回転自在に有する筒状
のベアリング２６を介して前記測定子６０の輪状部７１
が軸方向摺動自在に案内されている。また、第１部材２
１の先端にはねじ部２７が設けられ、このねじ部２７に
前記キャップ４１のねじ孔４３か螺合されている。前記
第２部材２２の図中上部には、前記長孔８３と連通して
円形孔部２８が設けられ、この円形孔部２８に短寸円柱
状のストッパ２９が嵌合されている。

このストッパ２９には、前記円形孔部２８に連通ずる長
孔８２内を摺動自在なピン８２が当接されるようになっ
ている。

また、第２部材２２の後端にはねじ部３１が刻設されて
おり、このねじ部３１に前記カバー４７のねし孔４８か
螺合されている。この際、第２部材２２へのカバー４７
のねじ込みに先立ち、第２部材２２の外周にはスリーブ
４６か被嵌され、長孔８３等の被覆がなされる。

前記第３部材２３の第２部材２２側の一端部３２と、他
端部３３とではその形状が異なっている。

すなわち、第３，４図中、第３部材２３の上面側は、一
端部３２及び他端部３３の両端を通して円柱を切欠かれ
た同一の平面状に形成されている。

この平面の軸中心側において、一端部３２側には長孔３
４が貫通して形成されるとともに、他端部３３側には凹
溝３５が形成され、これらの凹溝３５及び長孔３４内を
、前記測定子６０の軸状部７１に固定されたスケール７
７が軸方向に進退できるようになっている。

一方、第３部材２３の下面側において、一端部３２側は
、前記長孔３４の両側に円柱状の外形が残される反面、
他端部３３側は、切欠かれて平面状とされ、この平面と
前記凹溝３５との間に基板取付用連結部３６が形成され
、この連結部３６にはねじ孔３７が形成されている。

これらにより、一端部３２と他端部３３との形状は、異
ならされている。

前記貫通孔３４が形成された第３部材２３の一端部３２
には、前記スケール７７の光学格子７６を読み取る検出
器８５が取付けられており、この一端部３２が検出器取
付部とされている。この検出器８５は、光源（図示せず
）からの光を出力する発光器８６と、その光を入射させ
る受光器８７とで構成され、前記発光器８６は２本の接
続端子８８を有する一方、受光器８７は４本の接続端子
８９を備えている。

また、第３部材２３の他端３３には、屈曲形状を呈する
とともに、ケーブル１１２が固定される基板９０が係合
、配置されている。この基板９０に穿設された孔部９１
にねじ９２を挿入して、第３部材２３の連結部３６に設
けられたねじ孔３７に螺合することで、この基板９０か
一端３３に固定されている。基板９０の上面９３には、
受光器８７の４つの接続端子８９が固着され、底面９４
には、発光器８６の２つの接続端子８８が固定される。

基板９０に固定されたケーブル１１２は、前記袋ナツト
５１に形成された孔部５２から引き出され、前記第１図
に示されるアンプＩｌｌに接続される。一方、袋ナツト
５Ｉに形成されたねじ部５３は、前記カバー４７の後端
に設けられた雄ねし部４９に螺合される。

前記測定子６０の軸状部７１に設けられた切欠溝７４に
は、Ｃリング状のばね受９６が係合され、一方、第２部
材２２内に設けられた摺動部２４の終端部３８にも、リ
ング状のばね受９７が係合されている。これらのばね受
９６．９７間には、測定子６０を突出方向に付勢する付
勢手段としての圧縮コイルばね９８が介装されている。

本実施例に係る光電式変位検出装置１０は、基本的には
以上のように構成されるものであり、次にその作用につ
いて説明する。

被測定物Ｗの寸法Ｌ＋　、Ｌ２　、Ｌ３を測定する場合
には、先ず、光電式変位検出装置１０Ａ〜１０Ｃをそれ
ぞれの移動部材１３２Ａ〜１３２ｃに保持させた後、こ
れらの移動部材１３２Ａ〜１３２Ｃを所定の位置に固定
する。

次いで、各変位検出装置１０Ａ〜ＩＯＣの測定子６０Ａ
〜６０Ｃの先端、すなわち、球体６３Ａ〜６３Ｃを載物
台１２２に当接させ、この状態で、演算表示手段１４０
のリセットスイッチ１４３Ａ〜１４３Ｃを押圧して表示
部１４２Ａ〜１４２Ｃの数値を０にする。

そして、測定子６０Ａ〜６０Ｃを矢印Ｚ１方向に変位さ
せた後、被測定物Ｗを載物台１２２上に載置し、測定子
６０Ａ〜６０Ｃの球体６３Ａ〜６３Ｃをそれぞれ平面Ｍ
＋　、Ｍ２１Ｍ３に当接させる。これにより、寸法Ｌｌ
ｌ　　Ｌ２．Ｌ３の値が表示部１４２Ａ−１４２ｃに表
示されて、この寸法測定か終了する。

この時、必要に応して、変換スイッチ１．４４　Ａ〜１
４４Ｃを押圧することで、表示部１４２Ａ〜１４２Ｃの
数値を、ミリメータモードから・ｒンチモード、あるい
は、その逆に切り替えることかできる。

前述のような本実施例によれば、次のような効果がある
。

すなわち、光電式変位検出装置１０の本体２０を構成す
る第１部材２１、第２部材２２及び第３部材２３は、一
体形成されているから、測定子６０の軸状部７１の摺動
部２４による案内、回転防止手段８０による回り止め及
び第３部材２３の一端部３２による検出器８５の取付け
を、一体の連続した部品で行うことができる。従って、
第１〜第３部材２１〜２３の相互間の寸法精度を、精密
加工を施すことにより向上させれば、測定子６０に設け
られたスケール７７と本体２０に取付けられる検出器８
５との位置を正確に設定できる。これにより、光電式変
位検出装置１０のスケール７７と検出器８５との間を、
測定子６０の摺動時に常に所定間隔に保持することがで
きるので、その測定誤差を最小限にでき、この結果、精
密測定が可能となる効果を奏する。

また、本体２０が一体的に形成されていることから、光
電式変位検出装置１０に衝撃が加わっても、測定子６０
の案内部分と検出器８５とは相対変位することがなく、
しか′も、測定子６０を本体２０そのもので案内してい
るので、測定精度が低下することがない。

更に、光電式変位検出装置１０の本体２０は、第１〜第
３部材２１〜２３が同軸上に配置されているから、測定
子６０より僅かに太い径に形成することができ、光電式
変位検出装置ｌＯそのものを小径にできる。従って、被
測定物Ｗの幅狭な平面Ｍ＋　、Ｍ２　、Ｍａであっても
、３つの光電式変位検出装置１０Ａ−１０Ｃにより、−
度でその寸法Ｌ＋　、Ｌ２　、Ｌｓを測定することが可
能となる。

この結果、その作業性を飛躍的に向上させることが可能
となり、しかも、被測定物Ｗの移動に伴う測定誤差をな
くすことができる。

また、光電式変位検出装置１０の精度検査をする際には
、この光電式変位検出器１０を完全に組み立てることな
く、スリーブ４６及びカバー４７並びに袋ナツト５１を
取り外したままで行うことができる。従って、スケール
７７の変位−１検出器８５等を目視できるために、たと
え前記スケール７７の変位不良、検出器８５の作動不良
等が発生しても、その場で直ちに交換することができる
ので、その作業性を向上させることが可能となる効果が
得られる。

また、測定子６０と本体２０との間には、ピン８２と長
孔８３とからなる回転防止手段８０が介装されているの
で、測定中、測定子６０の回転を未然に阻止することが
でき、この点からも測定精度を向上させることが可能と
なる。

以上、本発明について好適な実施例を挙げて説明したが
、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、本発
明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設
計の変更が可能なことは勿論である。

例えば、回転防止手段８５は、半月キー、角柱状のキー
等で形成しても良く、その形状はどのような形状であっ
ても良い。要するに、測定子６０の回転を防止するため
のものであればよい。また、回転防止手段８５は、前記
実施例とは逆に、ピン８２を本体２０側に、長孔８３を
測定子６０側に設けてもよい。

更に、光電式変位検出装置１０は、階段状の被測定物Ｗ
の測定に限らず、例えば、従来、取着が困難であった工
作機械等の狭小な場所に取付けて、その移動部材等の変
位量を測定することもできる。

従って、その使用方法は、要するに被測定物Ｗと光電式
変位検出装置ｌＯの測定子６０とを一方向に相対変位さ
せるものであれば、どのようなものの測定も可能である
。

〔発明の効果〕

前述のように本発明によれば、光電式変位検出装置の外
形寸法を小さくできるとともに、測定精度を向上でき、
しかも、衝撃等が加わっても測定精度の低下が極めて少
ないという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る光電式変位検出装置の一実施例を
用いた測定状態を示す斜視図、第２図は第１図の実施例
の単品の斜視図、第３図及び第４図は第２図の分解斜視
図及び断面図、第５図は従来例の測定状態を示す斜視図
、第６図はその要部の断面図である。 １０、ｌ０Ａ−Ｃ・・・光電式変位検出装置、２０・・
・本体、２１・・・第１部材、２２・・・第２部材、２
３・・・第３部材、２４・・・摺動部、２５・・・球体
、２６・−・ベアリング、６０・・・測定子、６１・・
・接触チップ、７１・・・軸状部、７６・・・光学格子
、７７・・・スケール、８０・・・回転防止手段、８５
・・・検出器、１２０・・・取付台。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定物に対して測定子を関与させることにより
   前記被測定物の寸法、形状等を測定する光電式変位検出
   装置において、その主要部となる本体と、この本体の内
   部を摺動する軸状部を有するとともに本体との間に回転
   防止手段を介装されかつ光学格子を有するスケールがそ
   の一端に取着された測定子と、この測定子の変位を光学
   的に検出するとともに前記スケールに対して所定間隔離
   間する位置で前記本体に取着される検出器とを備え、前
   記本体は、測定子の軸状部を摺動自在に案内する第１部
   材、測定子の回転を防止する回転防止手段の一部を構成
   する第２部材及び前記検出器を取付ける第３部材を有し
   、これらの第１、第２、第３部材が測定子の摺動方向に
   沿って同軸上に配置され、かつ、一体の部材から形成さ
   れていることを特徴とする光電式変位検出装置。
2. （２）請求項１記載の光電式変位検出装置において、回
   転防止手段は、測定子側に取付けられた円柱状のピンと
   、このピンを摺動自在に案内するように本体の第２部材
   に設けられた長孔とにより構成されることを特徴とする
   光電式変位検出装置。
3. （３）請求項１または２に記載の光電式変位検出装置に
   おいて、本体の第１部材と測定子の軸状部との間には、
   周面に複数の球体を有する筒状のベアリングが介装され
   ることを特徴とする光電式変位検出装置。