JPH03292117A - マルチ式封止装置 - Google Patents
マルチ式封止装置Info
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- JPH03292117A JPH03292117A JP9423290A JP9423290A JPH03292117A JP H03292117 A JPH03292117 A JP H03292117A JP 9423290 A JP9423290 A JP 9423290A JP 9423290 A JP9423290 A JP 9423290A JP H03292117 A JPH03292117 A JP H03292117A
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 24
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/02—Transfer moulding, i.e. transferring the required volume of moulding material by a plunger from a "shot" cavity into a mould cavity
- B29C45/021—Plunger drives; Pressure equalizing means for a plurality of transfer plungers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C45/76—Measuring, controlling or regulating
- B29C45/82—Hydraulic or pneumatic circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【産業上の利用分野］
０ 本発明は、例えばＩＣチップを載せたリードフレ
ームを樹脂封止するための封止プレス用プランジｔｉＪ
構を複数備えたマルチ式封止装置に関する。 Ｌ従来の技術】 一般に、ＩＣチップを載せたリードフレームは、外周の
雰囲気からの汚染や破損を防止するために封止されてい
る。この封止には、例えばセラミックや金属の蓋を用い
てＩＣチップを気密封止する方法と、樹脂によってＩＣ
チップを取り囲む方法とがある。前者は高信頼性が要求
されるものに対して、後者は低コトス性が要求されるも
のに対してそれぞれ従来広く用いられている。 第２図に従来の樹脂封止プレス用プランジＰ機構を示す
。 図において２は上金型、４が下金型、６が樹脂封止する
ＩＣチップを収容するキャビティ、８が樹脂封止のため
の樹脂１０を先端に載置すると共に、油圧で駆動されて
該樹脂１０をキャビティ６内に押圧・封入するためのプ
ランジャをそれぞれ示している。 ＩＣチップは、予め前記キャビティ６内に載置され、上
金型２と下金型４とが強く接触された状態でプランジャ
８によって樹脂の封入を受け、樹脂封止される。 なお、図において符号１２は固定クラウン、１４は可動
プラテンである。 一般に、マルチ式封止装置はこのような封止プレス用プ
ランジャ機構を複数備え、各封止プレス用プランジャ機
構のプランジャを一度に駆動制御することによって多数
のＩＣチップの封止を同時に行うような構成とされてい
る。
ームを樹脂封止するための封止プレス用プランジｔｉＪ
構を複数備えたマルチ式封止装置に関する。 Ｌ従来の技術】 一般に、ＩＣチップを載せたリードフレームは、外周の
雰囲気からの汚染や破損を防止するために封止されてい
る。この封止には、例えばセラミックや金属の蓋を用い
てＩＣチップを気密封止する方法と、樹脂によってＩＣ
チップを取り囲む方法とがある。前者は高信頼性が要求
されるものに対して、後者は低コトス性が要求されるも
のに対してそれぞれ従来広く用いられている。 第２図に従来の樹脂封止プレス用プランジＰ機構を示す
。 図において２は上金型、４が下金型、６が樹脂封止する
ＩＣチップを収容するキャビティ、８が樹脂封止のため
の樹脂１０を先端に載置すると共に、油圧で駆動されて
該樹脂１０をキャビティ６内に押圧・封入するためのプ
ランジャをそれぞれ示している。 ＩＣチップは、予め前記キャビティ６内に載置され、上
金型２と下金型４とが強く接触された状態でプランジャ
８によって樹脂の封入を受け、樹脂封止される。 なお、図において符号１２は固定クラウン、１４は可動
プラテンである。 一般に、マルチ式封止装置はこのような封止プレス用プ
ランジャ機構を複数備え、各封止プレス用プランジャ機
構のプランジャを一度に駆動制御することによって多数
のＩＣチップの封止を同時に行うような構成とされてい
る。
【発明が解決しようとする課題Ｉ
しかしながら、従来のマルチ式封止装置にあっては、限
られたスペースに複数のプランジャ機構を組入れなけれ
ばならないという制約条件があるため、個々のプランジ
ャに対して制御性のよい電動式駆動機構を組込めないと
いう問題があった。 そのため、従来は、■ばね力を利用した方式や、■大掛
りな油圧ユニットにより発生した油圧で複数のシリンダ
を駆動する方式等に頼らざるを得ないというのが実情で
あった。 この場合、■のばね力を利用した方式では、プランジャ
の均一加圧制御を得るのが困難であり、又、■の大掛り
な油圧ユニットにより発生した油圧で複数のシリンダを
駆動する方式にあってはコストの面で不利であり、特に
制御性が要求される場合のコストの増大が著しいという
問題があった。 本第１発明は、このような従来の問題に鑑みてなされた
ものであって、大掛りな油圧ユニットを持たずに複数あ
るプランジャを均一に加圧できるマルチ式封止装置を提
供することを目的とする。 又、本第２発明は、第１発明に係るマルチ式封止装置に
サーボ機構（フィードバック機構）を組込むことにより
、均一で且つ装置名部位の製造上のばらつきや経時的な
ばらつき、あるいは操作時の油温のばらつき等に拘わら
ず加圧力の制御性を高く維持できるマルチ式封止装置を
提供することを目的とする。 【課題を解決するための手段】 本第１発明は、封止プレス用のプランジャを油圧によっ
て金型内に押圧する構成とされた封止プレス用プランジ
ｖＩ構を、複数備えたマルチ式封止装置において、コン
トローラからの電気的信号によって駆動される電動機と
、該電動機の回転運動を往復運動に変換する伝動手段と
、該伝動手段の出力である往復運動によってシリンダ内
のピストンの位置決めを行い、該ピストンの位置決めに
よって液圧を発生する液圧発生手段と、該液圧発生手段
によって発生された液圧を前記複数の封止プレス用プラ
ンジャ機構のそれぞれの前記プランジャに対して均等に
供給するための分岐油路と、を備えたことにより、上記
目的を達成したものである。 本第２発明は、第１発明に係るマルチ式封止装置におい
て、更に液圧発生手段によって発生される液圧の値（液
圧力）を検出するセンサを備え、この検出された液圧値
に基づいて、該液圧値を、前記コントローラからの電気
信号を介してフィードバック制御することにより、上記
目的を達成したものである。 （作用１ 本第１発明においては、コントローラからの電気的信号
によって、まず電動機を駆動する。この電動機の回転運
動は伝動手段によって往復運動に変換され、この伝動手
段の出力である往復運動によって液圧発生手段のシリン
ダ内のピストンが位置決めされ、該ピストンの位１＠決
めによって所定の液圧が発生される。 即ちこの液圧発生手段によって発生される液圧の値（液
圧力）は、制御性の良、好な電動機がコントローラから
の電気的な信号によって駆動されることにより制御され
ることになる。その結果得られる液圧価の精度は極めて
高いものとなる。 このようにして液圧発生手段によって発生された液圧は
、分岐油路を介して複数の封止プレス用プランジャ機構
のそれぞれのプランジャに対して均等に供給される。そ
のため、結果としてコントローラからの電気信号のみに
よって複数のプランジャを同時に且つ均等に加圧するこ
とができるようになる。又、基本的な駆動を電動機によ
っているため、加圧力の再現性も高く維持できる。 本第２発明においては、このような第１発明に係る封止
装置において、更に液圧発生手段によって発生される液
圧の値（液圧力）を実際に検出し、この検出された液圧
値に基づいて該液圧値をコントローラからの電気信号を
介してフィードバック制御するようにしているため、装
置の各部分のばらつき（製造ばらつき、経時的に発生し
たばらつき、あるいは操作時の油温のばらつき等〉の如
何に拘わらず常に所定の液圧が発生されるように該液圧
発生手段のピストンを位置決めできるようになる。
られたスペースに複数のプランジャ機構を組入れなけれ
ばならないという制約条件があるため、個々のプランジ
ャに対して制御性のよい電動式駆動機構を組込めないと
いう問題があった。 そのため、従来は、■ばね力を利用した方式や、■大掛
りな油圧ユニットにより発生した油圧で複数のシリンダ
を駆動する方式等に頼らざるを得ないというのが実情で
あった。 この場合、■のばね力を利用した方式では、プランジャ
の均一加圧制御を得るのが困難であり、又、■の大掛り
な油圧ユニットにより発生した油圧で複数のシリンダを
駆動する方式にあってはコストの面で不利であり、特に
制御性が要求される場合のコストの増大が著しいという
問題があった。 本第１発明は、このような従来の問題に鑑みてなされた
ものであって、大掛りな油圧ユニットを持たずに複数あ
るプランジャを均一に加圧できるマルチ式封止装置を提
供することを目的とする。 又、本第２発明は、第１発明に係るマルチ式封止装置に
サーボ機構（フィードバック機構）を組込むことにより
、均一で且つ装置名部位の製造上のばらつきや経時的な
ばらつき、あるいは操作時の油温のばらつき等に拘わら
ず加圧力の制御性を高く維持できるマルチ式封止装置を
提供することを目的とする。 【課題を解決するための手段】 本第１発明は、封止プレス用のプランジャを油圧によっ
て金型内に押圧する構成とされた封止プレス用プランジ
ｖＩ構を、複数備えたマルチ式封止装置において、コン
トローラからの電気的信号によって駆動される電動機と
、該電動機の回転運動を往復運動に変換する伝動手段と
、該伝動手段の出力である往復運動によってシリンダ内
のピストンの位置決めを行い、該ピストンの位置決めに
よって液圧を発生する液圧発生手段と、該液圧発生手段
によって発生された液圧を前記複数の封止プレス用プラ
ンジャ機構のそれぞれの前記プランジャに対して均等に
供給するための分岐油路と、を備えたことにより、上記
目的を達成したものである。 本第２発明は、第１発明に係るマルチ式封止装置におい
て、更に液圧発生手段によって発生される液圧の値（液
圧力）を検出するセンサを備え、この検出された液圧値
に基づいて、該液圧値を、前記コントローラからの電気
信号を介してフィードバック制御することにより、上記
目的を達成したものである。 （作用１ 本第１発明においては、コントローラからの電気的信号
によって、まず電動機を駆動する。この電動機の回転運
動は伝動手段によって往復運動に変換され、この伝動手
段の出力である往復運動によって液圧発生手段のシリン
ダ内のピストンが位置決めされ、該ピストンの位１＠決
めによって所定の液圧が発生される。 即ちこの液圧発生手段によって発生される液圧の値（液
圧力）は、制御性の良、好な電動機がコントローラから
の電気的な信号によって駆動されることにより制御され
ることになる。その結果得られる液圧価の精度は極めて
高いものとなる。 このようにして液圧発生手段によって発生された液圧は
、分岐油路を介して複数の封止プレス用プランジャ機構
のそれぞれのプランジャに対して均等に供給される。そ
のため、結果としてコントローラからの電気信号のみに
よって複数のプランジャを同時に且つ均等に加圧するこ
とができるようになる。又、基本的な駆動を電動機によ
っているため、加圧力の再現性も高く維持できる。 本第２発明においては、このような第１発明に係る封止
装置において、更に液圧発生手段によって発生される液
圧の値（液圧力）を実際に検出し、この検出された液圧
値に基づいて該液圧値をコントローラからの電気信号を
介してフィードバック制御するようにしているため、装
置の各部分のばらつき（製造ばらつき、経時的に発生し
たばらつき、あるいは操作時の油温のばらつき等〉の如
何に拘わらず常に所定の液圧が発生されるように該液圧
発生手段のピストンを位置決めできるようになる。
【実施例］
以下図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図は、本第１発明（及び第２発明〉に係るマルチ式
封止装置の実施例の構成を示すスケルトン図である。 この封止＠置は、符号Ａで図示する液圧発生部（本発明
の実施例部分〉と符号Ｂで図示するマルチトランスファ
機構部、更には符号Ｃで図示する封止プレス用プランジ
ャ機構部とから構成されている。 前記マルチトランスファ機構部Ｂ及び封止プレス用プラ
ンジャ機構部Ｃは、基本的に従来の構造と同様である。 即ちこの実施例では、封止プレス用プランジャ機構部Ｃ
に３つの封止プレス用プランジャ機構が備えられている
。各々の封止プレス用プランジャ機構は、第２図を用い
て既に詳述したような構成とされている。 なお、第１図において符号２２Ａ〜２２Ｇはピストンで
あり、プランジ１７８八〜８Ｃを下金型４（第２図）内
に押圧するためのものである。 前記液圧発生１！ｌＡは、コントローラ３０、電動ｌ１
３２、伝動装Ｍ３４、液圧発生装置３６、及び分岐油路
３８によって主に構成される。 前記電動１３２は、コントローラ３０からの電気信号に
よって駆動される。 前記伝動装ｗ１３４は、電動機３２の出力軸４０に嵌入
され該出力軸４０と一体的に回転する第１歯車４２、こ
の第１歯車４２と噛合して回転する第２歯車４４、該第
２Ｉ！１１１４４と一体的に回転すると共に図中矢視Ｘ
方向の移動が困止されたナツト４６、及び該ナツト４６
と噛合し該ナツト４６の回転に伴って矢？Ｊ！Ｘ方向の
往復動を行うねじ棒４８とから主にｌ威されている。 前記液圧発生部Ｗ１３６は、前記ねじ棒４８と一体的に
取付けられ矢視Ｘ方向に往復動するピストン５０及びシ
リンダ５２とから構成されている。 液圧発生装置３６によって加圧された液体しは、分岐油
路３８を介してマルチトランスファ機構部Ｂの各ピスト
ン２２Ａ〜２２Ｃの下面に供給されるようになっている
。このピストン２２Ａ〜２２Ｃの下面の面積は各ピスト
ンとも同一とされている。 液圧発生装置３６によって発生された液圧価は、圧力セ
ンサ５４によって検出され、この検出値は電動機３２の
コントローラ３ｏに取込まれている。 コントローラ３０は、この検出値が設定値となるように
電動［３２をフィードバック１ＩＩＩＩする。 次にこの実施例の作用を説明する。 圧力センサ５４によって検出された液圧値に基づいて、
この液圧値が設定値となるようにコントローラ３０から
電動機３２へ向けて（フィードバックされた）電気信号
が送られる。電動機３２はこの電気信号によって所定の
速度で所定の回転数だけ回転する。この回転は、伝動装
置３４の第１歯Ｉ［４２、第２８車４４を介してナツト
４６に伝達され、該ナツト４６が所定の量だけ回転する
。 ナツト４６は矢？Ｊ２ｘ方向の移動が阻止されているた
め、この回転によってねじ棒４８が回転しながら矢視Ｘ
方向に移動することになる。この結果ねじ棒４８に一体
的に取付けられた液圧発生装置３６のピストン５０がシ
リンダ５２内の所定の位置に位置決めされ、この位置に
応じた液圧が分岐油路３８内に発生される。 マルチトランスフｙｍｌＲ部Ｂの各ピストン２２Ａ〜２
２Ｃの下面はそれぞれ同一面積とされているため、分岐
油路３８内に発生された液圧は各ピストン２２Ａ〜２２
Ｃの下面に均等に加えられる。 そのためそれぞれのピストンは全て同一の押圧力にて押
圧制御（加圧ｔｉｌｌｔｌｌ）されることになる。 この分岐油路３８内の現実の液圧は圧力センサ５４によ
って検出され、コントローラ３０によってフィードバッ
ク制御される。これは既に説明した通りである。 この実施例によれば、マルチトランスファ機構８Ｉｓ８
の各ピストン２２Ａ〜２２Ｃの押圧力を電動機３２への
電気信号によって制御することができる。電動機３２の
制御精度は極めて高いため、この電動機３２の出力によ
って液圧発生部Ｗ１３６のピストン５０を高い精度で位
置決めでき、この位置決めによって所定の液圧を精度良
く発生することができる。そのため、大掛りな油圧ユニ
ットを設けることなく、低コストでしかも高い精度で複
数あるプランジャの均一加圧を行うことができるように
なる。 又、電動！１３２が電気信号によって制御可能なことを
利用し、液圧発生装置３６によって発生される液圧値に
基づいて該油圧値をコントローラ３０からの電気信号を
介してフィードバック制御するようにしたため、封止装
置の各部分の各種ばらつき等の如何に拘わらず常に液圧
値を設定値に正確に維持することができるようになって
いる。 なお、この実施例では伝動装置を第１、第２歯車４２．
４４、ナツト４６、及びねじ棒４８によって構成してい
たが、本発明に係る伝動装置（伝動手段）はこれに限定
されるものではなく、要は電動機の回転運動を精度良く
往復運動に変換できればよく、例えば歯車の代りにベル
トあるいはチェーン機構を用いるものであってもよい。 【発明の効果】 以上説明した通り、本発明によれば、複数ある封止プレ
ス用のプランジャを、大掛りな油圧ユニットを設けるこ
となく均一に加圧１ｉ１Ｊ ｍすることができるように
なるという優れた効果が得られる。 又、液圧発生手段にサーボ機ｍ＜フィードバック制御機
構）を組込むことにより、プランジャの押圧力を各種ば
らつきの如何に拘わらず常に設定値に維持することがで
きるようになるという効果も得られる。
封止装置の実施例の構成を示すスケルトン図である。 この封止＠置は、符号Ａで図示する液圧発生部（本発明
の実施例部分〉と符号Ｂで図示するマルチトランスファ
機構部、更には符号Ｃで図示する封止プレス用プランジ
ャ機構部とから構成されている。 前記マルチトランスファ機構部Ｂ及び封止プレス用プラ
ンジャ機構部Ｃは、基本的に従来の構造と同様である。 即ちこの実施例では、封止プレス用プランジャ機構部Ｃ
に３つの封止プレス用プランジャ機構が備えられている
。各々の封止プレス用プランジャ機構は、第２図を用い
て既に詳述したような構成とされている。 なお、第１図において符号２２Ａ〜２２Ｇはピストンで
あり、プランジ１７８八〜８Ｃを下金型４（第２図）内
に押圧するためのものである。 前記液圧発生１！ｌＡは、コントローラ３０、電動ｌ１
３２、伝動装Ｍ３４、液圧発生装置３６、及び分岐油路
３８によって主に構成される。 前記電動１３２は、コントローラ３０からの電気信号に
よって駆動される。 前記伝動装ｗ１３４は、電動機３２の出力軸４０に嵌入
され該出力軸４０と一体的に回転する第１歯車４２、こ
の第１歯車４２と噛合して回転する第２歯車４４、該第
２Ｉ！１１１４４と一体的に回転すると共に図中矢視Ｘ
方向の移動が困止されたナツト４６、及び該ナツト４６
と噛合し該ナツト４６の回転に伴って矢？Ｊ！Ｘ方向の
往復動を行うねじ棒４８とから主にｌ威されている。 前記液圧発生部Ｗ１３６は、前記ねじ棒４８と一体的に
取付けられ矢視Ｘ方向に往復動するピストン５０及びシ
リンダ５２とから構成されている。 液圧発生装置３６によって加圧された液体しは、分岐油
路３８を介してマルチトランスファ機構部Ｂの各ピスト
ン２２Ａ〜２２Ｃの下面に供給されるようになっている
。このピストン２２Ａ〜２２Ｃの下面の面積は各ピスト
ンとも同一とされている。 液圧発生装置３６によって発生された液圧価は、圧力セ
ンサ５４によって検出され、この検出値は電動機３２の
コントローラ３ｏに取込まれている。 コントローラ３０は、この検出値が設定値となるように
電動［３２をフィードバック１ＩＩＩＩする。 次にこの実施例の作用を説明する。 圧力センサ５４によって検出された液圧値に基づいて、
この液圧値が設定値となるようにコントローラ３０から
電動機３２へ向けて（フィードバックされた）電気信号
が送られる。電動機３２はこの電気信号によって所定の
速度で所定の回転数だけ回転する。この回転は、伝動装
置３４の第１歯Ｉ［４２、第２８車４４を介してナツト
４６に伝達され、該ナツト４６が所定の量だけ回転する
。 ナツト４６は矢？Ｊ２ｘ方向の移動が阻止されているた
め、この回転によってねじ棒４８が回転しながら矢視Ｘ
方向に移動することになる。この結果ねじ棒４８に一体
的に取付けられた液圧発生装置３６のピストン５０がシ
リンダ５２内の所定の位置に位置決めされ、この位置に
応じた液圧が分岐油路３８内に発生される。 マルチトランスフｙｍｌＲ部Ｂの各ピストン２２Ａ〜２
２Ｃの下面はそれぞれ同一面積とされているため、分岐
油路３８内に発生された液圧は各ピストン２２Ａ〜２２
Ｃの下面に均等に加えられる。 そのためそれぞれのピストンは全て同一の押圧力にて押
圧制御（加圧ｔｉｌｌｔｌｌ）されることになる。 この分岐油路３８内の現実の液圧は圧力センサ５４によ
って検出され、コントローラ３０によってフィードバッ
ク制御される。これは既に説明した通りである。 この実施例によれば、マルチトランスファ機構８Ｉｓ８
の各ピストン２２Ａ〜２２Ｃの押圧力を電動機３２への
電気信号によって制御することができる。電動機３２の
制御精度は極めて高いため、この電動機３２の出力によ
って液圧発生部Ｗ１３６のピストン５０を高い精度で位
置決めでき、この位置決めによって所定の液圧を精度良
く発生することができる。そのため、大掛りな油圧ユニ
ットを設けることなく、低コストでしかも高い精度で複
数あるプランジャの均一加圧を行うことができるように
なる。 又、電動！１３２が電気信号によって制御可能なことを
利用し、液圧発生装置３６によって発生される液圧値に
基づいて該油圧値をコントローラ３０からの電気信号を
介してフィードバック制御するようにしたため、封止装
置の各部分の各種ばらつき等の如何に拘わらず常に液圧
値を設定値に正確に維持することができるようになって
いる。 なお、この実施例では伝動装置を第１、第２歯車４２．
４４、ナツト４６、及びねじ棒４８によって構成してい
たが、本発明に係る伝動装置（伝動手段）はこれに限定
されるものではなく、要は電動機の回転運動を精度良く
往復運動に変換できればよく、例えば歯車の代りにベル
トあるいはチェーン機構を用いるものであってもよい。 【発明の効果】 以上説明した通り、本発明によれば、複数ある封止プレ
ス用のプランジャを、大掛りな油圧ユニットを設けるこ
となく均一に加圧１ｉ１Ｊ ｍすることができるように
なるという優れた効果が得られる。 又、液圧発生手段にサーボ機ｍ＜フィードバック制御機
構）を組込むことにより、プランジャの押圧力を各種ば
らつきの如何に拘わらず常に設定値に維持することがで
きるようになるという効果も得られる。
第１図は、本発明の実施例に係るマルチ式封止＠雪の全
体概略構成を示すスケルトン図、第２図は、前記実施例
装置の封止プレス用プランジャ機構部の一部を示す断面
図である。 ３０・・・コントローラ、 ３２・・・電動機、 ３４・・・伝動装置、 ３６・・・液圧発生装置、 ３８・・・分岐油路、 ５０・・・〈液圧発生装置の）ピストン、５２・・・（
液圧発生装置の）シリンダ、５４・・・圧力センサ、 し・・・液体。
体概略構成を示すスケルトン図、第２図は、前記実施例
装置の封止プレス用プランジャ機構部の一部を示す断面
図である。 ３０・・・コントローラ、 ３２・・・電動機、 ３４・・・伝動装置、 ３６・・・液圧発生装置、 ３８・・・分岐油路、 ５０・・・〈液圧発生装置の）ピストン、５２・・・（
液圧発生装置の）シリンダ、５４・・・圧力センサ、 し・・・液体。
Claims (2)
- （１）封止プレス用のプランジャを油圧によって金型内
に押圧する構成とされた封止プレス用プランジャ機構を
、複数備えたマルチ式封止装置において、 コントローラからの電気的信号によって駆動される電動
機と、 該電動機の回転運動を往復運動に変換する伝動手段と、 該伝動手段の出力である往復運動によってシリンダ内の
ピストンの位置決めを行い、該ピストンの位置決めによ
って液圧を発生する液圧発生手段と、 該液圧発生手段によつて発生された液圧を前記複数の封
止プレス用プランジャ機構のそれぞれの前記プランジャ
に対して均等に供給するための分岐油路と、 を備えたことを特徴とするマルチ式封止装置。 - （２）請求項１に記載のマルチ式封止装置において、更
に前記液圧発生手段によって発生される液圧の値を検出
するセンサを備え、この検出された液圧値に基づいて、
該液圧値を前記コントローラからの電気信号を介してフ
ィードバック制御することを特徴とするマルチ式封止装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9423290A JP2677894B2 (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | マルチ式封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9423290A JP2677894B2 (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | マルチ式封止装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03292117A true JPH03292117A (ja) | 1991-12-24 |
| JP2677894B2 JP2677894B2 (ja) | 1997-11-17 |
Family
ID=14104564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9423290A Expired - Fee Related JP2677894B2 (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | マルチ式封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2677894B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1238775A1 (en) * | 1999-12-16 | 2002-09-11 | Dai-Ichi Seiko Co. Ltd. | Resin sealing mold and resin sealing method |
| CN102909825A (zh) * | 2012-10-25 | 2013-02-06 | 成都中科精密模具有限公司 | 半导体塑封模具的独立多缸、等压、同步液压注塑系统 |
-
1990
- 1990-04-10 JP JP9423290A patent/JP2677894B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1238775A1 (en) * | 1999-12-16 | 2002-09-11 | Dai-Ichi Seiko Co. Ltd. | Resin sealing mold and resin sealing method |
| EP1238775A4 (en) * | 1999-12-16 | 2003-06-04 | Dai Ichi Seiko Co Ltd | TOOL SEALING WITH PLASTIC AND METHOD FOR SEALING WITH PLASTIC |
| US7413425B2 (en) | 1999-12-16 | 2008-08-19 | Dai-Ichi Seiko Co., Ltd. | Resin sealing mold and resin sealing method |
| CN102909825A (zh) * | 2012-10-25 | 2013-02-06 | 成都中科精密模具有限公司 | 半导体塑封模具的独立多缸、等压、同步液压注塑系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2677894B2 (ja) | 1997-11-17 |
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