JPH03292099A - スピーカー用振動板 - Google Patents

スピーカー用振動板

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JPH03292099A
JPH03292099A JP9446790A JP9446790A JPH03292099A JP H03292099 A JPH03292099 A JP H03292099A JP 9446790 A JP9446790 A JP 9446790A JP 9446790 A JP9446790 A JP 9446790A JP H03292099 A JPH03292099 A JP H03292099A
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diamond
carbon
diaphragm
speaker
layer
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Hiroaki Ito
弘明 伊藤
Toshiharu Hoshi
俊治 星
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Yamaha Corp
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Yamaha Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] ・この発明はスピーカー用振動板に関し、ダイヤモンド
状炭素とダイヤモンドとを振動板に用いることにより、
軽量かつ電気音響変換能率の高いスピーカー用振動板を
提供するようにしたものである。
[従来技術とその課題] 一般に音響振動板としては、能率が高く、過渡特性が良
好である必要があり、さらに高音域を伸ばすためにはそ
の質量が小さいこと、ヤング率が大きいこと、その強度
が高いことなどが要求される。このような要求を充足す
るものとしてダイヤモンド振動板が知られている。
ところが、ダイヤモンドは強度が高いものの比重が大き
いために振動板の重量が増加し、高音域において音圧が
低下するという不都合があった。
さらにダイヤモンドは内部損失が小さいので、高音域で
の共振ピークが強く、聴感上、好ましくないという不都
合もあった。
この発明は、上記課題を解決するためになされたもので
あって、高音域での音圧低下および共振ピークが小さい
スピーカー用振動板を提供することを目的としている。
[課題を解決するための手段] この発明のスピーカー用振動板は、ダイヤモンド状炭素
とダイヤモンドとを用いてなることを解決手段とした。
本願にいうダイヤモンド状炭素とダイヤモンドを用いた
振動板とは、ダイヤモンドとそのダイヤモンド結晶粒界
にダイヤモンド状炭素が析出している状態の振動板、ダ
イヤモンド状炭素からなる層とダイヤモンドからなる層
が積層されている状態の振動板、またはダイヤモンド状
炭素がダイヤモンド結晶粒界に析出している層とダイヤ
モンドからなる層が積層されている状態の振動板を指す
〔作用] ダイヤモンドよりも比重の小さなダイヤモンド状炭素と
、ダイヤモンドとを用いることにより、振動板の質量を
減少させる。
以下、この発明の詳細な説明する。
この発明のスピーカー用振動板3は、第1図、第2図お
よび第3図に示したように、ダイヤモンド状炭素とダイ
ヤモンドからなる。なお、ダイヤモンド状炭素とは、電
気抵抗値、硬度等はダイヤモンドに近い値を示し、14
00〜1600cm−’の振動数領域にラマンピークを
有する非晶質の炭素を指し、ダイヤモンドとは1300
〜1400cm−’の振動数領域にラマンピークを有す
るダイヤモンド構造をとる炭素を指すものとする。
第1図に示したスピーカー用振動板は、ダイヤモンド2
とそのダイヤモンド結晶粒界にダイヤモンド状炭素lを
析出させた層(以下、混在層3と称する。)からなるも
のである。第2図に示したものは、ダイヤモンド状炭素
1からなる!(以下、ダイヤモンド状炭素層4と称する
。)とダイヤモンドからなる!2(以下、ダイヤモンド
層5と称する。)とを積層してなるものである。第3図
に示したものは、混在層3とダイヤモンド層5を積層し
てなるものである。
第1図、第2図および第3図に示したいずれのスピーカ
ー用振動板6においても、ダイヤモンド状炭素lの体積
占有率は5〜95%が好適である。
ダイヤモンド状炭素1の体積占有率が5%以下であると
軽量化の効果が傳られなく、また95%以上ではその強
度が低下し、振動板の形状を保持することが困難になる
ためである。
第2図および第3図のような積層型振動板6において、
ダイヤモンド状炭素層4とダイヤモンド層5、混在層3
とダイヤモンド15の積層順は特に限定されるものでは
ねいが、スピーカーとして組み立てられた際に、ダイヤ
モンド1115が表出するよ÷に積層することが好まし
い。
またその積層数も限定されるしのではないか、積層数か
2以上となる場合には、少なくとも1表面がダイヤモン
ド層5であることが好ましい。ダイヤモンド状炭素層4
および混在層3は、その内部歪がダイヤモンド層5に比
較して大きいので、CVD後の冷却時に割れや剥離を起
こしやすい。
よって内部歪の小さなダイヤモンド層5が、少なくとも
1表面となるようにすると、内部歪を原因とする割れや
剥離の発生確率を減少させることができる。
第4図にこのダイヤモンド状炭素とダイヤモンドのレー
ザラマンスペクトルを併せて示した。第4図中、符号A
はダイヤモンド状炭素のスペクトルを示し、符号Bはダ
イヤモンドのそれを示す。
ダイヤモンド状炭素の比重はダイヤモンドに比較して小
さいが、電気抵抗値、硬度等その他の物性はダイヤモン
ドに近い値を示す。
よってダイヤモンド状炭素を用いることにより、スピー
カー用振動板6の質量低減、すなわち軽量化を図ること
ができ、高音域における音圧の低下を防止することがで
きる。
また、このダイヤモンド状炭素はダイヤモンドに比較し
て内部損失が大きくなるのて、高音域における共振ピー
クの増大を防止することができ、周波数に依存しない音
響特性を有するものとなる。
このようなスピーカー用振動板6は、従来のダイヤモン
ド振動板の製造方法において、CVD反応装置内におけ
るC H4ガス濃度を調節することによって製造するこ
とができる。
まずスピーカー用振動板の形状に加工した基板を用意す
る。第1図に示したスピーカー用振動板を製造する場合
には、この基板上にダイヤモンド状炭素1とダイヤモン
ド2からなる混在層3を析出させる。第2図に示したも
のを製造する場合には、この基板上にまずダイヤモンド
層5を析出させた後、ダイヤモンド状炭素層4を析出さ
せ、さらにダイヤモンド層5を析出させる。
第3図に示したものを製造する場合には、上記基板上に
、まず混在層3を析出させた後、ダイヤモンド115を
析出させる。
基板表面にダイヤモンド状炭素lおよびダイヤモンド2
を析出させるには、熱CVD法、プラズマCVD法、イ
オンビーム蒸着法等の公知の蒸着法を用いることができ
る。原料ガスとしては、CH4等の炭化水素ガスをキャ
リアガス中に混入したものを利用することができる。こ
のキャリアガスにはH3(水素)またはH3と不活性ガ
スの混合ガス、またはそれらに微量の酸素、H!O等を
添加した混合ガスを利用することができる。
そして、この蒸着の際にCVD反応装置内のCH,ガス
濃度を調節することにより、ダイヤモンド状炭素lとダ
イヤモンド2とを選択的に析出させることができる。す
なわちCVD反応装置内におけるC H4ガス濃度を1
,0体積%未溝にすればダイヤモンドが析出し、1.0
体積%以上10゜0体積%未溝にすればダイヤモンドと
ダイヤモンド状炭素が析出し、1000体積%以上にす
ればダイヤモンド状炭素が析出する。よってCVD反応
装置内のCH4ガス濃度を調節することによって、ダイ
ヤモンド状炭素とダイヤモンドとを、それぞれ所望に応
じて選択的に析出させることができる。
そしてダイヤモンド状炭素とダイヤモンドが析出された
基板を酸洗して、基板を除去し、この発明のスピーカー
用振動板6とすることができる。
[実施例〕 (実施例) 半球状に加工した基板を、2.45GHzのマイクロ波
プラスマCVD装置内に設置し、この装置内を真空排気
した後、H,ガスを100 secm(スタンダードc
c/win)、CH4ガスを0 、5 sccmの流量
でそれぞれ反応室内に供給した。反応室内の圧力は30
 torrに調整し、ここにマイクロ波を導入して上記
基板上にダイヤモンド層を3μ−の厚さで析出させた。
次にCH4ガスの供給量を増加して、反応室内における
CH,ガスの濃度が4.0体積%となるようにしてCV
D反応を進行させて、上記ダイヤモンド層上に混在層を
20μmの厚さで析出させた。
この後、CH,ガスの供給量を減少させて、反応室内に
おけるCH4ガスの濃度が0.5体積%となるようにし
てCVD反応をさらに進行させて、上記混在層上にダイ
ヤモンド層を5μmの厚さで析出させた。
そして基板を酸洗により除去して、混在層の両面にダイ
ヤモンド層が積層されてなる膜厚28μmのスピーカー
用振動板を製造した。
このスピーカー用振動板を観察したところ、その混在層
は柱状に成長じたダイヤモンドの結晶粒界にダイヤモン
ド状炭素が析出していることが確認できた。
またダイヤモンド状炭素部分を酸素プラズマによって選
択的にエツチングし、エツチング前後での質量変化から
ダイヤモンド状炭素の体積占有率を算出したところ25
%であった。
(比較例) CH,ガスのCVD反応室内における濃度を、0.5体
積%とし、一定に保った以外は上記実施例と全く同様の
操作により、28μ蒙の厚さのダイヤモンド層からなる
スピーカー用振動板を製造した。
(試験例) 実施例のスピーカー用振動板と比較例のスピーカー用振
動板の周波数特性を調べた。この結果を第5図に示した
。第5図中、実線は実施例を、破線は比較例を示す。第
5図より、この発明のスピーカー用振動板は、従来のダ
イヤモンド振動板に比較して、周波数にょる音圧の変動
が少ないものであることが確認できた。
[発明の効果] 以上説明したように、この発明のスピーカー用振動板は
、ダイヤモンド状炭素とダイヤモンドとを用いてなるも
のであるので、ダイヤモンド振動板に比較して質量の小
さなものとなる。よって電気音響変換能率が高くなり、
高音域における音圧の低下を少なくすることができる。
またこの発明のスピーカー用振動板は、ダイヤモンド状
炭素がエネルギー損失を行うので、ダイヤモンドのみか
らなる振動板に比較して内部損失が大きなものとなり、
高音域での共振ピークを低く抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図および第3図は、いずれもこの発明のス
ピーカー用振動板の一例を示した概略構成図、 第4図はこの発明のスピーカー用振動板を構成するダイ
ヤモンド状炭素とダイヤモンドのラマンスペルトルをそ
れぞれ示し光グラフ、 第5図はこの発明のスピーカー用振動板の周波数特性を
示したグラフである。 l・・・ダイヤモンド状炭素、 2・・・ダイヤモンド、 3・・・混在層、 4・・・ダイヤモンド状炭素層、 5・・・ダイヤモンド層、 6・・・スピーカー用振動板。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ダイヤモンド状炭素とダイヤモンドとからなり、ダイヤ
    モンド状炭素の体積占有率が5〜95%であることを特
    徴とするスピーカー用振動板
JP2094467A 1990-04-10 1990-04-10 スピーカー用振動板 Expired - Lifetime JPH07101957B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59143499A (ja) * 1983-02-03 1984-08-17 Sumitomo Electric Ind Ltd スピ−カ−振動板
JPS63196200A (ja) * 1987-02-10 1988-08-15 Mitsubishi Pencil Co Ltd 音響機器用振動板
JPS63226197A (ja) * 1987-03-14 1988-09-20 Kenwood Corp 音響用振動板

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59143499A (ja) * 1983-02-03 1984-08-17 Sumitomo Electric Ind Ltd スピ−カ−振動板
JPS63196200A (ja) * 1987-02-10 1988-08-15 Mitsubishi Pencil Co Ltd 音響機器用振動板
JPS63226197A (ja) * 1987-03-14 1988-09-20 Kenwood Corp 音響用振動板

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20220124436A1 (en) * 2020-10-19 2022-04-21 Harman International Industries, Incorporated Loudspeaker assembly with a separate voice coil assembly
US12069459B2 (en) * 2020-10-19 2024-08-20 Harman International Industries, Incorporated Loudspeaker assembly with a separate voice coil assembly

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