JPH03288319A - 浮上式スライダ - Google Patents
浮上式スライダInfo
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- JPH03288319A JPH03288319A JP8991990A JP8991990A JPH03288319A JP H03288319 A JPH03288319 A JP H03288319A JP 8991990 A JP8991990 A JP 8991990A JP 8991990 A JP8991990 A JP 8991990A JP H03288319 A JPH03288319 A JP H03288319A
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- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000227 grinding Methods 0.000 abstract 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 5
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 4
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
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Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、磁気ディスク装置に用いられる浮上式磁気ヘ
ッドに関するものである。
ッドに関するものである。
従来の技術
第６図は従来の浮上式磁気ヘッドを示す斜視図である。
第６図において、１はフェライト等の酸化物磁性材料に
よって構成されたスライダーコアで、スライダーコアｌ
には互いに平行な浮上レー几２，３が設けられている。
よって構成されたスライダーコアで、スライダーコアｌ
には互いに平行な浮上レー几２，３が設けられている。
浮上レール２，３のそれぞれの流出端Ａ側にはエツチン
グによって、所定のトラック幅と同じ輻を持つトラック
部４゜５がそれぞれ設けられている。６はスライダーコ
ア１の流出端Ａ側に設けられた巻線溝、７，８はそれぞ
れフェライト等の酸化物磁性材料によって構成されたコ
アで、コア７．８にはそれぞれエツチングによって所望
のトラック幅と同じ幅を持つトラック部９，１０が形成
されている。又コア７はトラック部５とトラック部９が
対向する様に磁気ギャップとなる非磁性物を介してスラ
イダーコア１に突きあわされ゛、接合ガラス１１によっ
て互いに接合されている。コア８も同様にトラック部４
とトラック部１０が対向する様に磁気ギャップとなる非
磁性物を介してスライダーコア１に突きあわされ、接合
ガラス１１によって互いに接合されている。
グによって、所定のトラック幅と同じ輻を持つトラック
部４゜５がそれぞれ設けられている。６はスライダーコ
ア１の流出端Ａ側に設けられた巻線溝、７，８はそれぞ
れフェライト等の酸化物磁性材料によって構成されたコ
アで、コア７．８にはそれぞれエツチングによって所望
のトラック幅と同じ幅を持つトラック部９，１０が形成
されている。又コア７はトラック部５とトラック部９が
対向する様に磁気ギャップとなる非磁性物を介してスラ
イダーコア１に突きあわされ゛、接合ガラス１１によっ
て互いに接合されている。コア８も同様にトラック部４
とトラック部１０が対向する様に磁気ギャップとなる非
磁性物を介してスライダーコア１に突きあわされ、接合
ガラス１１によって互いに接合されている。
以上の様に構成された浮上式磁気ヘッドの製造方法を以
下説明する。
下説明する。
まず第７図に示す様にフェライト等の酸化物磁性材料に
よって構成され、巻線溝１２ａを形成したコアブロック
１２とコアブロック１３を磁気ギャップとなる非磁性物
を介して突き合わせ、接合ガラス１４にて互いに接合さ
せ、コア半体１５を形成する。ここでコアブロック１２
というのはスライダーコア１となり、コアブロック１３
というのはコア７．８となる。次に第８図に示す様に砥
石等を用いてコアブロック１３の両端が残るようにコア
半体１５をコアブロック１３の側からコアブロック１２
の巻線溝１２ａを越えるまで切削する。次に第９図に示
す様にコア半体１５の媒体対向面となる面上に７オトレ
ジストを檜布し乾燥させ、レジスト層１６を形成する。
よって構成され、巻線溝１２ａを形成したコアブロック
１２とコアブロック１３を磁気ギャップとなる非磁性物
を介して突き合わせ、接合ガラス１４にて互いに接合さ
せ、コア半体１５を形成する。ここでコアブロック１２
というのはスライダーコア１となり、コアブロック１３
というのはコア７．８となる。次に第８図に示す様に砥
石等を用いてコアブロック１３の両端が残るようにコア
半体１５をコアブロック１３の側からコアブロック１２
の巻線溝１２ａを越えるまで切削する。次に第９図に示
す様にコア半体１５の媒体対向面となる面上に７オトレ
ジストを檜布し乾燥させ、レジスト層１６を形成する。
次にレジスト層１６にフォトマスクを接触させ、フォト
マスクを介してレジスト層１６に紫外線を照射する。そ
の後にレジスト層１６を洗浄すると、レジスト層１６の
紫外線が当たった部分が洗い流され、紫外線が当たらな
かった部分のみが残る。この様子を第１０図に示す。最
後にイオンミーリング等の物理的エツチングによってレ
ジスト層１６が残っている面をエツチングして第６図に
示す浮上式磁気ヘッドを形成する。
マスクを介してレジスト層１６に紫外線を照射する。そ
の後にレジスト層１６を洗浄すると、レジスト層１６の
紫外線が当たった部分が洗い流され、紫外線が当たらな
かった部分のみが残る。この様子を第１０図に示す。最
後にイオンミーリング等の物理的エツチングによってレ
ジスト層１６が残っている面をエツチングして第６図に
示す浮上式磁気ヘッドを形成する。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、前記従来の構成では浮上式磁気ヘッドが
浮上状態に入る直前や磁気記録媒体の駆動が停止し、磁
気記録媒体が慣性で回転している時では浮上式磁気ヘッ
ドの浮上姿勢が不安定であるので、よく浮上式磁気ヘッ
ドと磁気記録媒体が接触する事がある。従来の構成では
第６図に示す浮上レール２，３の角部１７，１８．１９
．２０のそれぞれがするどく尖っているので、浮上式磁
気ヘッドの浮上姿勢が不安定な時に、この角部１７．１
８．１９．２０と磁気記録媒体が接触すると、磁気記録
媒体を傷つけてしまう事があり、データの読みだしがで
きなくなるという問題点があった。又浮上レール２，３
にも傷が入り、安定した動圧力が発生しないという問題
点もあった。
浮上状態に入る直前や磁気記録媒体の駆動が停止し、磁
気記録媒体が慣性で回転している時では浮上式磁気ヘッ
ドの浮上姿勢が不安定であるので、よく浮上式磁気ヘッ
ドと磁気記録媒体が接触する事がある。従来の構成では
第６図に示す浮上レール２，３の角部１７，１８．１９
．２０のそれぞれがするどく尖っているので、浮上式磁
気ヘッドの浮上姿勢が不安定な時に、この角部１７．１
８．１９．２０と磁気記録媒体が接触すると、磁気記録
媒体を傷つけてしまう事があり、データの読みだしがで
きなくなるという問題点があった。又浮上レール２，３
にも傷が入り、安定した動圧力が発生しないという問題
点もあった。
又切削加工によって角部１７，１８，１９．２０を削る
事もあるが、切削加工で削っても角部１７．１８．１９
．２０は尖っているので、やはり磁気記録媒体や浮上レ
ールに傷がはいる。
事もあるが、切削加工で削っても角部１７．１８．１９
．２０は尖っているので、やはり磁気記録媒体や浮上レ
ールに傷がはいる。
不発明は前記従来の問題点を解決しようとするもので、
磁気記録媒体と接触しても磁気記録媒体および浮上レー
ルに傷が入りにくい浮上式磁気ヘッドを提供する事を目
的としている。
磁気記録媒体と接触しても磁気記録媒体および浮上レー
ルに傷が入りにくい浮上式磁気ヘッドを提供する事を目
的としている。
課題を解決するための手段
この目的を達成するために、浮上レールのエツジの内で
媒体との相対的移動方向と平行なエツジを丸めた。
媒体との相対的移動方向と平行なエツジを丸めた。
作 用
この構成により、浮上レールの角部が磁気記録媒体に接
触しても磁気記録媒体や浮上レールに傷が入る事はない
。
触しても磁気記録媒体や浮上レールに傷が入る事はない
。
実施例
第１図は本発明の一実施例における浮上式磁気ヘッドを
示す斜視図である。第１図において１はスライダーコア
、４，５はトラック部、６は巻線溝、７．８はコア、９
．１０はトラック部、１１は接合カラスでこれらは従来
の構成と同じである。２１．２２はスライダーコア１に
互いに平行に設けられた浮上レールで、第１１図に示す
様に浮上レール２１．２２のそれぞれの角部２３，２４
．２５．２６は尖った部分がなく丸みを帯びた形状にな
っている。第１１図は浮上レール２１゜２２の長手方向
と垂直に切断した時の断面図である。この様に角部２３
．２４．２５．２６が丸みを帯びた形状になっていると
、もし浮上式磁気ヘッドが磁気記録媒体上に浮上する際
に、浮上式磁気ヘッドの姿勢が不安定となり、角部２３
，２４．２５．２６が磁気記録媒体と接触しても、磁気
記録媒体に傷が入る事はほとんどない。またその時浮上
レール２１．２２にも傷やクラックが入ることは無く安
定した動圧力を得る事ができる。
示す斜視図である。第１図において１はスライダーコア
、４，５はトラック部、６は巻線溝、７．８はコア、９
．１０はトラック部、１１は接合カラスでこれらは従来
の構成と同じである。２１．２２はスライダーコア１に
互いに平行に設けられた浮上レールで、第１１図に示す
様に浮上レール２１．２２のそれぞれの角部２３，２４
．２５．２６は尖った部分がなく丸みを帯びた形状にな
っている。第１１図は浮上レール２１゜２２の長手方向
と垂直に切断した時の断面図である。この様に角部２３
．２４．２５．２６が丸みを帯びた形状になっていると
、もし浮上式磁気ヘッドが磁気記録媒体上に浮上する際
に、浮上式磁気ヘッドの姿勢が不安定となり、角部２３
，２４．２５．２６が磁気記録媒体と接触しても、磁気
記録媒体に傷が入る事はほとんどない。またその時浮上
レール２１．２２にも傷やクラックが入ることは無く安
定した動圧力を得る事ができる。
又トラック部４，５，９．１０は所定のトラック幅と同
じ幅になるように規制するために角は尖らせである。こ
のトラック８４，５，９．１０の角は尖っていても、浮
上式磁気ヘッドが最初に磁気記録媒体に接触する部分は
ほとんどの場合が浮上レールの角部であるので、磁気記
録媒体を傷つける事はない。
じ幅になるように規制するために角は尖らせである。こ
のトラック８４，５，９．１０の角は尖っていても、浮
上式磁気ヘッドが最初に磁気記録媒体に接触する部分は
ほとんどの場合が浮上レールの角部であるので、磁気記
録媒体を傷つける事はない。
以上の様に構成された浮上式磁気ヘッドの製造方法を以
下説明する。
下説明する。
第７図に示す様にレジスト層１６をコア半体１５の上に
形成するまでは従来の浮上式磁気への製造方法と同じで
ある。次に第２図に示す様にレジストそう１６の上にフ
ォトマスク２７をレジストそうに平行に配置する。この
時フォトマスク２７はレジスト層１６との間に所定の長
さだけ隙間をを設けている。又フォトマスク２７の一端
は他の部分よりも幅が狭くなる様に構成され、フォトマ
スクの幅が狭くなっている部分はコアブロック１２とコ
アブロック１２にわたる様に配置されている。次にフォ
トマスクを介して紫外線をレジスト層に照射する。その
後にレジスト層１６を現像液に浸してレジスト層１６の
紫外線が当たった部分を洗い流すとフォトマスク２７と
レジスト層１６の間に隙間を設ける事によって紫外線が
フォトマスク２７の端部で回折するために第３図に示す
様に角が丸まったレジスト層が残る。又コアブロック１
２．１３の接合部付近では他の部分よりも幅の狭いレジ
スト層１６が残っている。次に第３図に示す様にフォト
マスク２８を残ったレジスト層１６の上に接触させる。
形成するまでは従来の浮上式磁気への製造方法と同じで
ある。次に第２図に示す様にレジストそう１６の上にフ
ォトマスク２７をレジストそうに平行に配置する。この
時フォトマスク２７はレジスト層１６との間に所定の長
さだけ隙間をを設けている。又フォトマスク２７の一端
は他の部分よりも幅が狭くなる様に構成され、フォトマ
スクの幅が狭くなっている部分はコアブロック１２とコ
アブロック１２にわたる様に配置されている。次にフォ
トマスクを介して紫外線をレジスト層に照射する。その
後にレジスト層１６を現像液に浸してレジスト層１６の
紫外線が当たった部分を洗い流すとフォトマスク２７と
レジスト層１６の間に隙間を設ける事によって紫外線が
フォトマスク２７の端部で回折するために第３図に示す
様に角が丸まったレジスト層が残る。又コアブロック１
２．１３の接合部付近では他の部分よりも幅の狭いレジ
スト層１６が残っている。次に第３図に示す様にフォト
マスク２８を残ったレジスト層１６の上に接触させる。
この時フォトマスク２８には所定のトラック幅と同し幅
を持つ舌状片２８ａが形成される様にコ字型の貫通孔２
８ｂが設けられている。又舌状片２８ａはレジスト層１
６のコアブロック１２．１３の接合部付近の他の部分よ
り幅の狭い部分に接触する様にフォトマスク２８をレジ
スト層１６の上に配置する。この状態を第４図及び第５
図に示す。次にフォトマスク２８を介してレジスト層１
６に紫外線を照射して、その後に現像液によって洗浄す
ると紫外線の当たった部分が現状液に溶ける。するとレ
ジスト層１６のコアブロック１２．１３の接合面近傍の
輻の狭い部分は所定のトラック幅と同じ幅になるととも
にその部分のレジスト層１６の角は尖った状態になる。
を持つ舌状片２８ａが形成される様にコ字型の貫通孔２
８ｂが設けられている。又舌状片２８ａはレジスト層１
６のコアブロック１２．１３の接合部付近の他の部分よ
り幅の狭い部分に接触する様にフォトマスク２８をレジ
スト層１６の上に配置する。この状態を第４図及び第５
図に示す。次にフォトマスク２８を介してレジスト層１
６に紫外線を照射して、その後に現像液によって洗浄す
ると紫外線の当たった部分が現状液に溶ける。するとレ
ジスト層１６のコアブロック１２．１３の接合面近傍の
輻の狭い部分は所定のトラック幅と同じ幅になるととも
にその部分のレジスト層１６の角は尖った状態になる。
次にイオンミーリング等の物理的エツチングをコアブロ
ック１２．１３を施すと第１図に示す様な形状の浮上式
磁気ヘッドが作成される。この様に構成された浮上式磁
気ヘッドは浮上レール２１．２２の角部２３，２４．２
５．２６がＲ面取りをした様に丸くなっているので、磁
気記録媒体と角部２３．２４．２５．．２６が接触して
も磁気記録媒体に傷が従来よりも入りにくくなる。
ック１２．１３を施すと第１図に示す様な形状の浮上式
磁気ヘッドが作成される。この様に構成された浮上式磁
気ヘッドは浮上レール２１．２２の角部２３，２４．２
５．２６がＲ面取りをした様に丸くなっているので、磁
気記録媒体と角部２３．２４．２５．．２６が接触して
も磁気記録媒体に傷が従来よりも入りにくくなる。
以上の様な製造方法によれば、コアブロック１２．１３
を接合した後に、コアブロック１２，１３にレジストそ
う１６を形成し、レジスト層１６の上にフォトマスクを
レジスト層１６と平行にしかも隙間を設けて紫外線を露
光する事により、紫外線がフォトマスクの端部で回折を
起こすので、レジスト層１６を現像液によって不要部分
を取り除くと、角の丸まったレジスト層が形成され、そ
の後にイオンミーリング等によって、エツチングを行う
事により角の丸い浮上レールを形成する事が出来るので
、従来の様に浮上レールの角部を砥石等で切削する工程
が必要はなくなり、砥石で浮上レールにクラック等がは
いる事はない。
を接合した後に、コアブロック１２，１３にレジストそ
う１６を形成し、レジスト層１６の上にフォトマスクを
レジスト層１６と平行にしかも隙間を設けて紫外線を露
光する事により、紫外線がフォトマスクの端部で回折を
起こすので、レジスト層１６を現像液によって不要部分
を取り除くと、角の丸まったレジスト層が形成され、そ
の後にイオンミーリング等によって、エツチングを行う
事により角の丸い浮上レールを形成する事が出来るので
、従来の様に浮上レールの角部を砥石等で切削する工程
が必要はなくなり、砥石で浮上レールにクラック等がは
いる事はない。
発明の効果
本発明は浮上レールのエツジの内媒体との相対的移動方
法に平行なエツジを丸めた事によって浮上レールの角が
磁気記録媒体に接触しても磁気記録媒体に傷が入ってデ
ータを壊す事がない。又浮上レールにも傷が入る事はな
いので、安定した同圧力を発生し、安定した浮上姿勢を
得る事ができる。
法に平行なエツジを丸めた事によって浮上レールの角が
磁気記録媒体に接触しても磁気記録媒体に傷が入ってデ
ータを壊す事がない。又浮上レールにも傷が入る事はな
いので、安定した同圧力を発生し、安定した浮上姿勢を
得る事ができる。
第１図は本発明の一実施例における浮上式磁気ヘッドを
示す斜視図、第２図から第５図は同製造方法を示す図、
第６図は従来の浮上式磁気ヘッドを示す斜視図、第７図
から第１０図は同製造方法を示す図、第１１図は実施例
の浮上式磁気ヘッドを示す断面図である。 １・・・・・・スライダーコア ４．５・・・・・・トラック部 ６・・・・・・巻線溝 ７．８・・・・・・コア ９．１０・・・・・・トラック部 ｌ ｌ・・・・・・接合カラス １ ２２・・・・・・浮上レール ２３゜ ２４゜ ２５゜ ２６・・・・・・角部
示す斜視図、第２図から第５図は同製造方法を示す図、
第６図は従来の浮上式磁気ヘッドを示す斜視図、第７図
から第１０図は同製造方法を示す図、第１１図は実施例
の浮上式磁気ヘッドを示す断面図である。 １・・・・・・スライダーコア ４．５・・・・・・トラック部 ６・・・・・・巻線溝 ７．８・・・・・・コア ９．１０・・・・・・トラック部 ｌ ｌ・・・・・・接合カラス １ ２２・・・・・・浮上レール ２３゜ ２４゜ ２５゜ ２６・・・・・・角部
Claims (1)
- スライダーとなるコアブロックに他のコアブロックを磁
気ギャップとなる非磁性物を介して接合し、前記スライ
ダーとなるコアブロックに互いに平行な一対の浮上レー
ルを設け、前記２つのコアブロックに渡って前記浮上レ
ールより幅の狭いトラック部を設けた浮上式磁気ヘッド
であって、前記浮上レールのエッジの内で、少なくとも
媒体との相対的移動方向に平行なエッジを丸めた事を特
徴とする浮上式磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8991990A JP2971505B2 (ja) | 1990-04-04 | 1990-04-04 | スライダの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8991990A JP2971505B2 (ja) | 1990-04-04 | 1990-04-04 | スライダの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03288319A true JPH03288319A (ja) | 1991-12-18 |
| JP2971505B2 JP2971505B2 (ja) | 1999-11-08 |
Family
ID=13984115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8991990A Expired - Lifetime JP2971505B2 (ja) | 1990-04-04 | 1990-04-04 | スライダの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2971505B2 (ja) |
-
1990
- 1990-04-04 JP JP8991990A patent/JP2971505B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2971505B2 (ja) | 1999-11-08 |
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Legal Events
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