JPH03288001A - 電空ポジショナー - Google Patents
電空ポジショナーInfo
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- JPH03288001A JPH03288001A JP8550290A JP8550290A JPH03288001A JP H03288001 A JPH03288001 A JP H03288001A JP 8550290 A JP8550290 A JP 8550290A JP 8550290 A JP8550290 A JP 8550290A JP H03288001 A JPH03288001 A JP H03288001A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 81
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims abstract description 39
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 11
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 claims description 10
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Servomotors (AREA)
- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、零点補償による特性の良好な電空ポジショナ
−あるいは零ドリフトやスパンドリフトの異常診断機構
を備えた電空ポジショナ−に関するものである。
−あるいは零ドリフトやスパンドリフトの異常診断機構
を備えた電空ポジショナ−に関するものである。
〈従来の技術〉
第６図は従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
図において、
１は入力手段で、この場合は、４〜２０ｍＡの入力信号
がか使用されている。
がか使用されている。
２は制御演算手段で、入力信号と後述する弁開度検出手
段５からの信号を比較して制御Ｉ信号を出力する。
段５からの信号を比較して制御Ｉ信号を出力する。
３は空気圧発生手段で、制御演算手段２からの制御信号
に基き空気圧を発生する。
に基き空気圧を発生する。
４は調節弁で、空気圧発生手段３からの空気圧により、
測定流体の流れる管路を開閉する。
測定流体の流れる管路を開閉する。
５は弁開度検出手段で、調節弁４の弁開度を検出して対
応する電気信号に変換し制御演算手段２に信号を送る。
応する電気信号に変換し制御演算手段２に信号を送る。
この場合は、ポテンショメータあるいはロータリーエン
コーダ等が使用され、調節弁の弁の開閉に件って回転す
るレバーの回転角度を測定して、弁の開閉度を検出する
ものである。
コーダ等が使用され、調節弁の弁の開閉に件って回転す
るレバーの回転角度を測定して、弁の開閉度を検出する
ものである。
以上の構成において、入力信号４〜２０ｍＡが制ｍ演算
手段２に加えられると、入力信号に対応した制御信号を
出力する。空気圧発生手段３では、制御演算手段２から
の制御信号に基き対応する空気圧を発生する。空気圧発
生手段３からの空気圧により、調節弁４は測定流体の流
れる管路を開閉する。調節弁４の弁開度は、弁開度検出
手段５で検出され、対応する電気信号に変換され、制ｍ
演算手段２において入力信号と突合され、制御演算手段
２より制御信号が空気発生手段３に送られる。
手段２に加えられると、入力信号に対応した制御信号を
出力する。空気圧発生手段３では、制御演算手段２から
の制御信号に基き対応する空気圧を発生する。空気圧発
生手段３からの空気圧により、調節弁４は測定流体の流
れる管路を開閉する。調節弁４の弁開度は、弁開度検出
手段５で検出され、対応する電気信号に変換され、制ｍ
演算手段２において入力信号と突合され、制御演算手段
２より制御信号が空気発生手段３に送られる。
以下この繰返しにより調節弁４が制御される。
〈発明が解決しようとする課題〉
このような電空ポジショナ−においては、従来は、フィ
ードバック制御されており、調節弁の制御に充分と考え
られていた。
ードバック制御されており、調節弁の制御に充分と考え
られていた。
しかしながら、この様な装置においては、例えば、調節
弁４の弁開度を検出しているセンサーのドリフトや、調
節弁４と弁開度検出部５を連結しているリンク機構の摩
耗や、調節弁４のプラグやシートの摩耗などのために、
ゼロドリフトやスパンドリフトが生じ、フィードバック
ループで修正しきれない問題を有する。
弁４の弁開度を検出しているセンサーのドリフトや、調
節弁４と弁開度検出部５を連結しているリンク機構の摩
耗や、調節弁４のプラグやシートの摩耗などのために、
ゼロドリフトやスパンドリフトが生じ、フィードバック
ループで修正しきれない問題を有する。
本発明は、この問題点を、解決するものである。
本発明の目的は、零点補償による特性の良好な電空ポジ
ショナ−あるいは零ドリフトやスパンドリフトの異常診
１ｔｌｉ機桶を備えた電空ポジショナ−を提供するにあ
る。
ショナ−あるいは零ドリフトやスパンドリフトの異常診
１ｔｌｉ機桶を備えた電空ポジショナ−を提供するにあ
る。
く課題を解決するための手段〉
この目的を達成するために、本発明は、（１）調節弁の
弁開度を入力信号に応じて制御する電空ポジショナ−に
おいて、 調節弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、前記調節
弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状態を確認
する零１００％位置確認手段と、該零１００％位置確認
手段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力の零点
を補正する補正演算手段とを具備したことを特徴とする
電空ポジショナ− （２）調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナ−において、 調節弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、前記調節
弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状態を確認
する零１００％位置確認手段と該零１００％位置確認手
段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力の零点ド
リフト量を演算する零点ドリフト量演算手段と該零点ド
リフト量を積算する積算手段と該積算手段の積算量が一
定値を越えた場合に警報信号を発生する警報発生手段と
を備えた異常診断Ｉｉｌ楕を具備したことを特徴とする
電空ポジショナ− （３〉調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナ−において、 調節弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、前記調節
弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状態を確認
する零１００％位置確認手段と該零１００％位置確認手
段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力のスパン
ドリフト量を演算するスパンドリフト量演算手段と該ス
パンドリフト量を積算する積算手段と該積算手段の積算
量が一定値を越えた場合に警報信号を発生する警報発生
手段とを備えた異常診断機構を具備したことを特徴とす
る電空ポジショナ− （４）調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナ−において、 調節弁の弁開度を検出しスパン変動が既知または小さい
弁開度検出手段と、 前記調節弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状
態を確認する零１００％位置確認手段と該零１００％位
！確認手段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力
のゼロドリフト量とスパンドリフト量とを演算するゼロ
スパンドリフト量演算手段と前記スパンドリフト量から
弁開度検出手段のスパン変動が既知の場合はそのスパン
変動の既知の値を引いた値をあるいは弁開度検出手段の
スパン変動が小さい場合は前記スパンドリフト量そのま
まの値を前記ゼロドリフト量から引いて演算する弁開度
検出手段自身のゼロドリフト量演算手段と前記弁開度検
出手段自身のゼロドリフト量を積算する積算手段と該積
算手段の積算量が一定値を越えた場合に警報信号を発生
する警報発生手段とを備えた異常診断機構を具備したこ
とを特徴とする電空ポジショナ− を構成したものである。
弁開度を入力信号に応じて制御する電空ポジショナ−に
おいて、 調節弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、前記調節
弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状態を確認
する零１００％位置確認手段と、該零１００％位置確認
手段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力の零点
を補正する補正演算手段とを具備したことを特徴とする
電空ポジショナ− （２）調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナ−において、 調節弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、前記調節
弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状態を確認
する零１００％位置確認手段と該零１００％位置確認手
段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力の零点ド
リフト量を演算する零点ドリフト量演算手段と該零点ド
リフト量を積算する積算手段と該積算手段の積算量が一
定値を越えた場合に警報信号を発生する警報発生手段と
を備えた異常診断Ｉｉｌ楕を具備したことを特徴とする
電空ポジショナ− （３〉調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナ−において、 調節弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、前記調節
弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状態を確認
する零１００％位置確認手段と該零１００％位置確認手
段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力のスパン
ドリフト量を演算するスパンドリフト量演算手段と該ス
パンドリフト量を積算する積算手段と該積算手段の積算
量が一定値を越えた場合に警報信号を発生する警報発生
手段とを備えた異常診断機構を具備したことを特徴とす
る電空ポジショナ− （４）調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナ−において、 調節弁の弁開度を検出しスパン変動が既知または小さい
弁開度検出手段と、 前記調節弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状
態を確認する零１００％位置確認手段と該零１００％位
！確認手段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力
のゼロドリフト量とスパンドリフト量とを演算するゼロ
スパンドリフト量演算手段と前記スパンドリフト量から
弁開度検出手段のスパン変動が既知の場合はそのスパン
変動の既知の値を引いた値をあるいは弁開度検出手段の
スパン変動が小さい場合は前記スパンドリフト量そのま
まの値を前記ゼロドリフト量から引いて演算する弁開度
検出手段自身のゼロドリフト量演算手段と前記弁開度検
出手段自身のゼロドリフト量を積算する積算手段と該積
算手段の積算量が一定値を越えた場合に警報信号を発生
する警報発生手段とを備えた異常診断機構を具備したこ
とを特徴とする電空ポジショナ− を構成したものである。
く作用〉
・以上の構成において、零ドリフトが生じた場合には、
零１００％位置確認手段からの信号に基き、補正演算手
段により弁開度検出手段の出力の零点を補正する。
零１００％位置確認手段からの信号に基き、補正演算手
段により弁開度検出手段の出力の零点を補正する。
あるいは、零ドリフトが一定値を越えた場合には、零１
００％位置確認手段からの信号に基き、零点ドリフト量
演算手段で、弁開度検出手段の出力の零点ドリフト量を
演算し、零点ドリフト量積算手段で零点ドリフト量を積
算し、積算手段の積算量が一定値を越えた場合に警報発
生手段により警報信号を発生する。
００％位置確認手段からの信号に基き、零点ドリフト量
演算手段で、弁開度検出手段の出力の零点ドリフト量を
演算し、零点ドリフト量積算手段で零点ドリフト量を積
算し、積算手段の積算量が一定値を越えた場合に警報発
生手段により警報信号を発生する。
あるいは、スパンドリフトが一１定値を越えた場合には
、スパンドリフト量演算手段で、弁開度検出手段の出力
のスパンドリフト量を演算し、スパンドリフト量積算手
段でスパンドリフト量を積算し、積算手段の積算量が一
定値を越えた場合に警報発生手段により警報信号を発生
する。
、スパンドリフト量演算手段で、弁開度検出手段の出力
のスパンドリフト量を演算し、スパンドリフト量積算手
段でスパンドリフト量を積算し、積算手段の積算量が一
定値を越えた場合に警報発生手段により警報信号を発生
する。
あるいは、弁開度検出手段自身の零ドリフトが一定値を
越えた場合には、スパン変動が既知または小さい弁開度
検出手段を使用して、零１００％位置確認手段からの信
号に基き、スパンドリフト量演算手段により弁開度検出
手段の出力のスパンドリフト量を演算し、零１００％位
置確認手段からの信号に基きゼロドリフト量演算手段に
より弁開度検出手段の出力のゼロドリフト量を演算し、
弁開度検出手段自身のゼロドリフト量演算手段によりス
パンドリフト量から弁開度検出手段のスパン変動が既知
の場合はそのスパン変動の既知の値を引いた値をあるい
は弁開度検出手段のスパン変動が小さい場合はスパンド
リフト量そのままの値をゼロドリフト量から引いて演算
し、弁開度検出手段自身のゼロドリフト量積算手段によ
り弁開度検出手段自身のゼロドリフト量を積算し、警報
発生手段により積算手段の積Ｘ量が一定値を越えた場合
に警報信号を発生する。
越えた場合には、スパン変動が既知または小さい弁開度
検出手段を使用して、零１００％位置確認手段からの信
号に基き、スパンドリフト量演算手段により弁開度検出
手段の出力のスパンドリフト量を演算し、零１００％位
置確認手段からの信号に基きゼロドリフト量演算手段に
より弁開度検出手段の出力のゼロドリフト量を演算し、
弁開度検出手段自身のゼロドリフト量演算手段によりス
パンドリフト量から弁開度検出手段のスパン変動が既知
の場合はそのスパン変動の既知の値を引いた値をあるい
は弁開度検出手段のスパン変動が小さい場合はスパンド
リフト量そのままの値をゼロドリフト量から引いて演算
し、弁開度検出手段自身のゼロドリフト量積算手段によ
り弁開度検出手段自身のゼロドリフト量を積算し、警報
発生手段により積算手段の積Ｘ量が一定値を越えた場合
に警報信号を発生する。
以下、実施例に基づき詳細に説明する。
〈実施例〉
第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、第６図と同一記号は同一機能を表わす。
以下、第６図と相違部分のみ説明する。
１１は、調節弁４の実際の零位置状態あるいは１００％
位置状態を確認する零１００％位置確認手段である。
位置状態を確認する零１００％位置確認手段である。
１２は、零位置確認手段１１からの信号に基き、弁開度
検出手段５の出力の零点を補正する補正演算手段である
。
検出手段５の出力の零点を補正する補正演算手段である
。
以上の構成において、零ドリフトが生じた場合には、零
１００％位置確認手段１１からの信号に基き、補正演算
手段１２により弁開度検出手段５の出力の零点を補正す
る。
１００％位置確認手段１１からの信号に基き、補正演算
手段１２により弁開度検出手段５の出力の零点を補正す
る。
より具体的に、単動ダイアフラム弁に就いて説明する。
調節弁４の操作入力圧と弁開度との関係を第２図に示す
。
。
エアーツウ−オープンの調節弁では、入力圧がＰｏの時
弁開度が０％で、Ｐ＋ＯＯの時弁開度が１００％となっ
ており、それ以上では、一定となっている。つまり入力
圧がＰ０以下では調節弁のプラグが調節弁のシートに当
たり、弁開度はそれ以下にはならず、Ｐ１００以上では
調節弁のステムがストッパーに当たり、弁はこれ以上は
開かない。
弁開度が０％で、Ｐ＋ＯＯの時弁開度が１００％となっ
ており、それ以上では、一定となっている。つまり入力
圧がＰ０以下では調節弁のプラグが調節弁のシートに当
たり、弁開度はそれ以下にはならず、Ｐ１００以上では
調節弁のステムがストッパーに当たり、弁はこれ以上は
開かない。
火際には、弁開度が１００％よりわずか低い圧力の位置
に入力信号１００％の位置があるようにする。
に入力信号１００％の位置があるようにする。
零１００％位置確認手段１１は調節弁４の操作入力圧を
検出して、弁開度Ｏ％の位置と１００％の位置を検出し
ている。
検出して、弁開度Ｏ％の位置と１００％の位置を検出し
ている。
プラグやシートの摩耗等で、弁開度０％の位置が変化し
た場合。
た場合。
ＰＯよりも低いＰｏ−以下に入力圧がなった場合にこれ
を検知し、この時の弁開度検出手段５の出力をＤＯとす
る。この時のＤＯを制御演算手段２上の新たな零点とす
るように補正演算手段１１でゼロリセットする。
を検知し、この時の弁開度検出手段５の出力をＤＯとす
る。この時のＤＯを制御演算手段２上の新たな零点とす
るように補正演算手段１１でゼロリセットする。
この結果、プラグやシートの摩耗等によるゼロドリフト
を補正することができ、特性の良好な電空ポジショナ−
が得られる。
を補正することができ、特性の良好な電空ポジショナ−
が得られる。
第３図は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図において、
２１は、零１００％位置確認手段１１からの信号に基き
弁開度検出手段５の出力の零点ドリフト量を演算する零
点ドリフト量演算手段である。
弁開度検出手段５の出力の零点ドリフト量を演算する零
点ドリフト量演算手段である。
２２は零点ドリフト量を積算する積算手段である。
２３は積算手段２２の積算量が一定値を越えた場合に警
報信号を発生する警報発生手段である。
報信号を発生する警報発生手段である。
以上の構成において、零ドリフト量が一定値を越えた場
合には、零１００％位置確認手段１１からの信号に基き
、零点ドリフト量演算手段２１で、の出力の零点ドリフ
ト量を演算し、零点ドリフト量積算手段２２で零点ドリ
フト量を積算し、積算手段２２の積算量が一定値を越え
た場合に警報発生手段２３により警報信号を発生する。
合には、零１００％位置確認手段１１からの信号に基き
、零点ドリフト量演算手段２１で、の出力の零点ドリフ
ト量を演算し、零点ドリフト量積算手段２２で零点ドリ
フト量を積算し、積算手段２２の積算量が一定値を越え
た場合に警報発生手段２３により警報信号を発生する。
より具体的に、単動ダイアフラム弁に就いて説明する。
プラグやシートの摩耗等で、弁開度０％の位置が変化し
た場合。
た場合。
ＰＯよりも低いＰｏ−以下に入力圧がなった場合にこれ
を検知し、にの時の弁開度検出手段５の出力をり。とす
る。それまでのゼロとされていた一／Ｔ開度検出手段５
の出力をＤ０＋とすると、ゼロドリフト量り。−Ｄ０＋
をゼロドリフト量演算手段２１で演算し、積算手段２２
で積算し、積算値がある値を越えたら警報発生手段２３
で警報を発する。
を検知し、にの時の弁開度検出手段５の出力をり。とす
る。それまでのゼロとされていた一／Ｔ開度検出手段５
の出力をＤ０＋とすると、ゼロドリフト量り。−Ｄ０＋
をゼロドリフト量演算手段２１で演算し、積算手段２２
で積算し、積算値がある値を越えたら警報発生手段２３
で警報を発する。
この結果、ゼロドリフト量に対する、装置の保守時期を
知る事ができる。
知る事ができる。
第４図は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図において、
３１は、零１００％位置確認手段１１からの信号に基き
弁開度検出手段５の出力のスパンドリフト量を演算する
スパンドリフト量演算手段である。
弁開度検出手段５の出力のスパンドリフト量を演算する
スパンドリフト量演算手段である。
３２はスパンドリフト量を積算する積算手段である。
３３は積算手段３２の積算量が一定値を越えた場合に警
報信号を発生する警報発生手段である。
報信号を発生する警報発生手段である。
以ｔ−の構成において、スパンドリフトが一定値を越え
た場合には、零１００％位置確認手段１１からの信号に
基き、スパンドリフト量演算手段３１で、の出力のスパ
ンドリフト量を演算し、スパンドリフト量積算手段３２
でスパンドリフト量を積算し、積算手段３２の積算量が
一定値を越えた場合に警報発生手段３３により警報信号
を発生する。
た場合には、零１００％位置確認手段１１からの信号に
基き、スパンドリフト量演算手段３１で、の出力のスパ
ンドリフト量を演算し、スパンドリフト量積算手段３２
でスパンドリフト量を積算し、積算手段３２の積算量が
一定値を越えた場合に警報発生手段３３により警報信号
を発生する。
より具体的に、単動ダイアフラム弁に就いて説明する。
プラグやシートの摩耗等で、スパンが変化した場合。
Ｐｏよりも低いＰ。−以下に入力圧がなった場合と、Ｐ
、。。よりも高いＰ１００＋以上に入力圧がなった場合
とにこれを検知し、この時の弁開度検出手段５の出力を
Ｄ＋ｏｏ、Ｄｏとする。Ｄ５＝Ｄ、。。−Ｄｏの演算を
スパンドリフト量演算手段３１で演算し、積算手段３２
で積算し、積算値がある値を越えたら警報発生手段３３
で警報を発する。
、。。よりも高いＰ１００＋以上に入力圧がなった場合
とにこれを検知し、この時の弁開度検出手段５の出力を
Ｄ＋ｏｏ、Ｄｏとする。Ｄ５＝Ｄ、。。−Ｄｏの演算を
スパンドリフト量演算手段３１で演算し、積算手段３２
で積算し、積算値がある値を越えたら警報発生手段３３
で警報を発する。
この結果、スパンドリフト量に対する、保守時期を知る
事ができる。
事ができる。
第５図は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図において、
４１は、調節弁４の弁開度を検出しスパン変動が既知ま
たは小さい弁開度検出手段である。
たは小さい弁開度検出手段である。
４２は、零１００％位置確認手段１１からの信号に基き
弁開度検出手段４１の出力のゼロドリフト量とスパンド
リフト量とを演算するゼロスパンドリフト量演算手段で
ある。
弁開度検出手段４１の出力のゼロドリフト量とスパンド
リフト量とを演算するゼロスパンドリフト量演算手段で
ある。
４３は、スパンドリフト量から弁開度検出手段のスパン
変動が既知の場合はそのスパン変動の既知の値を引いた
値をあるいは弁開度検出手段のスパン変動が小さい場合
は前記スパンドリフト量そのままの値を前記ゼロドリフ
ト量から引いて演算する弁開度検出手段自身のゼロドリ
フト量演算手段である。
変動が既知の場合はそのスパン変動の既知の値を引いた
値をあるいは弁開度検出手段のスパン変動が小さい場合
は前記スパンドリフト量そのままの値を前記ゼロドリフ
ト量から引いて演算する弁開度検出手段自身のゼロドリ
フト量演算手段である。
４４は、弁開度検出手段自身のゼロドリフト量を積算す
る積算手段である。
る積算手段である。
４５は、積算手段４４の積算量が一定値を越えた場合に
警報信号を発生する警報発生手段である。
警報信号を発生する警報発生手段である。
以上のｍ戒において、弁開度検出手段自身の零ドリフト
が一定値を越えた場合に。
が一定値を越えた場合に。
スパン変動が既知または小さい弁開度検出手段４１を使
用して、零１００％位置確認手段１１からの信号に基き
、零スパンドリフト量演算手段４２により弁開度検出手
段４１の出力のゼロドリフト、スパンドリフト量を演算
し、零１００％位置確認手段１１からの信号に基きゼロ
ドリフト量演算手段４２により弁開度検出手段の出力の
ゼロドリフト量を演算し、弁開度検出手段自身のゼロド
リフト量演算手段４３によりスパンドリフト量から弁開
度検出手段４１のスパン変動が既知の場合はそのスパン
変動の既知の値を引いた値をあるいは弁開度検出手段４
１のスパン変動が小さい場合はスパンドリフト量そのま
まの値をゼロドリフト量から引いて演算し、弁開度検出
手段自身のゼロドリフト量積算手段４４により弁開度検
出手段自身のゼロドリフト量を積算し、警報発生手段４
５により積算手段４４の積算量が一定値を越えた場合に
警報信号を発生する。
用して、零１００％位置確認手段１１からの信号に基き
、零スパンドリフト量演算手段４２により弁開度検出手
段４１の出力のゼロドリフト、スパンドリフト量を演算
し、零１００％位置確認手段１１からの信号に基きゼロ
ドリフト量演算手段４２により弁開度検出手段の出力の
ゼロドリフト量を演算し、弁開度検出手段自身のゼロド
リフト量演算手段４３によりスパンドリフト量から弁開
度検出手段４１のスパン変動が既知の場合はそのスパン
変動の既知の値を引いた値をあるいは弁開度検出手段４
１のスパン変動が小さい場合はスパンドリフト量そのま
まの値をゼロドリフト量から引いて演算し、弁開度検出
手段自身のゼロドリフト量積算手段４４により弁開度検
出手段自身のゼロドリフト量を積算し、警報発生手段４
５により積算手段４４の積算量が一定値を越えた場合に
警報信号を発生する。
この結果、弁開度検出手段自身のゼロドリフト量に対す
る、保守時期を知る事ができる。
る、保守時期を知る事ができる。
より具体的に、単動ダイアプラム弁に就いて説明する。
プラグやシートの摩耗等で、ゼロ点やスパンが変化した
場合。
場合。
ＰＯよりも低いＰ。−以下に入力圧がなった場台と、Ｐ
ｌｏｏよりも高いＰ＋ＯＯ＋以上に入力圧がなった場合
とにこれを検知し、この時の弁開度検出手段５の出力を
り、ｏｏ、Ｄｏとする。Ｄ９−Ｄ、。。−Ｄｏの演算を
ゼロスパンドリフト量演算手段４２で演算する。
ｌｏｏよりも高いＰ＋ＯＯ＋以上に入力圧がなった場合
とにこれを検知し、この時の弁開度検出手段５の出力を
り、ｏｏ、Ｄｏとする。Ｄ９−Ｄ、。。−Ｄｏの演算を
ゼロスパンドリフト量演算手段４２で演算する。
弁開度検出手段４１にスパン変動が小さいものを使えば
、通常、調節弁のステムがストッパーに当たる位置の変
動は小さいため、（プラグ側に比べ摩耗、腐蝕は少なく
、また測定流体の成分の付着や堆積が少ない、） したがって、スパンドリフトＤｓは調節弁の誤差と考え
られ、その原因は、次のように類推する事ができる。
、通常、調節弁のステムがストッパーに当たる位置の変
動は小さいため、（プラグ側に比べ摩耗、腐蝕は少なく
、また測定流体の成分の付着や堆積が少ない、） したがって、スパンドリフトＤｓは調節弁の誤差と考え
られ、その原因は、次のように類推する事ができる。
スパンドリフトＤＳの積算値が正の場合。
調節弁４のプラグやシートの摩耗や腐蝕の恐れ。
スパンドリフトＤＳの積算値が負の場合。
調節弁４のプラグやシートへの測定流体の成分の付着や
堆積噛み込みなどの恐れ。
堆積噛み込みなどの恐れ。
弁開度検出手段４１はスパン変動が小さいので、Ｄｔ＝
Ｄｏ Ｄｓをゼロドリフト量演算手段４３で演算して
やれば、Ｄｆが弁開度検出手段４１のゼロドリフト量と
なる。
Ｄｏ Ｄｓをゼロドリフト量演算手段４３で演算して
やれば、Ｄｆが弁開度検出手段４１のゼロドリフト量と
なる。
このゼロドリフト量を積算手段４４で積算し、積算値が
ある値を越えたら警報発生手段４５で警報を発する。
ある値を越えたら警報発生手段４５で警報を発する。
なお、前述の実施例においては、零１００％位置確認手
段は、調節弁４の操作圧力により確認したが、これに限
ることはなく、例えば、弁開度針の出力の変化率を見る
。あるいは、歪みゲージで調節弁４の応力変化を見る。
段は、調節弁４の操作圧力により確認したが、これに限
ることはなく、例えば、弁開度針の出力の変化率を見る
。あるいは、歪みゲージで調節弁４の応力変化を見る。
あるいは、人間が外部より判断して、スイッチなどで信
号を与える等でもよく、要するに、零１００％位置が確
認できるものであれば良い。
号を与える等でもよく、要するに、零１００％位置が確
認できるものであれば良い。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明は、
（１）調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナ−において、 調節弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、前記調節
弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状態を確認
する零１００％位置確認手段と、該零１００％位置確認
手段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力の零点
を補正する補正演算手段とを具備したことを特徴とする
電空ポジショナ− （２）調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナ−において、 調節弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、前記調節
弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状態を確認
する零１００％位置確認手段と該零１００％位置確認手
段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力の零点ド
リフト量を演算する零点ドリフト量演算手段と該零点ド
リフト量を積算する積算手段と該積算手段の積算量が一
定値を越えた場合に警報信号を発生する警報発生手段と
を備えた異常診断ａｍを具備したことを特徴とする電空
ポジショナ− （３）調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナ−において、 調節弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、前記調節
弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状態を確認
する零１００％位置確認手段と該零１００％位置確認手
段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力のスパン
ドリフト量を演算するスパンドリフト量演算手段と該ス
パンドリフト量を積算する積算手段と該積算手段の積算
量が一定値を越えた場合に警報信号を発生する警報発生
手段とを備えた異常診断機構を具備したことを特徴とす
る電空ポジショナ− （４）調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナ−において、 調節弁の弁開度を検出しスパン変動が既知または小さい
弁開度検出手段と、 前記調節弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状
態を確認する零１００％位置確認手段と該零１００％位
置確認手段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力
のゼロドリフト量とスパンドリフト量とを演算するゼロ
スパンドリフト量演算手段と前記スパンドリフト量から
弁開度検出手段のスパン変動が既知の場合はそのスパン
変動の既知の値を引いた値をあるいは弁開度検出手段の
スパン変動が小さい場合は前記スパンドリフト量そのま
まの値を前記ゼロドリフト量から引いて演算する弁開度
検出手段自身のゼロドリフト量演算手段と前記弁開度検
出手段自身のゼロドリフト量を積算する積算手段と該積
算手段の積算量が一定値を越えた場合に警報信号を発生
する警報発生手段とを備えた異常診断機構を具備したこ
とを特徴とする電空ポジショナ を構成した。
ポジショナ−において、 調節弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、前記調節
弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状態を確認
する零１００％位置確認手段と、該零１００％位置確認
手段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力の零点
を補正する補正演算手段とを具備したことを特徴とする
電空ポジショナ− （２）調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナ−において、 調節弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、前記調節
弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状態を確認
する零１００％位置確認手段と該零１００％位置確認手
段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力の零点ド
リフト量を演算する零点ドリフト量演算手段と該零点ド
リフト量を積算する積算手段と該積算手段の積算量が一
定値を越えた場合に警報信号を発生する警報発生手段と
を備えた異常診断ａｍを具備したことを特徴とする電空
ポジショナ− （３）調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナ−において、 調節弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、前記調節
弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状態を確認
する零１００％位置確認手段と該零１００％位置確認手
段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力のスパン
ドリフト量を演算するスパンドリフト量演算手段と該ス
パンドリフト量を積算する積算手段と該積算手段の積算
量が一定値を越えた場合に警報信号を発生する警報発生
手段とを備えた異常診断機構を具備したことを特徴とす
る電空ポジショナ− （４）調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナ−において、 調節弁の弁開度を検出しスパン変動が既知または小さい
弁開度検出手段と、 前記調節弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状
態を確認する零１００％位置確認手段と該零１００％位
置確認手段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力
のゼロドリフト量とスパンドリフト量とを演算するゼロ
スパンドリフト量演算手段と前記スパンドリフト量から
弁開度検出手段のスパン変動が既知の場合はそのスパン
変動の既知の値を引いた値をあるいは弁開度検出手段の
スパン変動が小さい場合は前記スパンドリフト量そのま
まの値を前記ゼロドリフト量から引いて演算する弁開度
検出手段自身のゼロドリフト量演算手段と前記弁開度検
出手段自身のゼロドリフト量を積算する積算手段と該積
算手段の積算量が一定値を越えた場合に警報信号を発生
する警報発生手段とを備えた異常診断機構を具備したこ
とを特徴とする電空ポジショナ を構成した。
この結果、特許請求の範囲第１項記載の発明によれば、
プラグやシートの摩耗等によるゼロドリフトを補正する
ことができ、特性の良好な電空ポジショナ−が得られる
。
プラグやシートの摩耗等によるゼロドリフトを補正する
ことができ、特性の良好な電空ポジショナ−が得られる
。
特許請求の範囲第２項記載の発明によれば、ゼロドリフ
ト量に対する、装置の保守時期を知る事ができる。
ト量に対する、装置の保守時期を知る事ができる。
特許請求の範囲第３項記載の発明によれば、スパンドリ
フト量に対する、保守時期を知る事ができる。
フト量に対する、保守時期を知る事ができる。
特許請求の範囲第４項記載の発明によれば、スパンドリ
フト量に対する、保守時期を知る事ができる。
フト量に対する、保守時期を知る事ができる。
したがって、本発明によれば、零点補償による特性の良
好な電空ポジショナ−あるいは零ドリフトやスパンドリ
フトの異常診断ｎ構を備えた電空ポジショナ−を実現す
ることができる。
好な電空ポジショナ−あるいは零ドリフトやスパンドリ
フトの異常診断ｎ構を備えた電空ポジショナ−を実現す
ることができる。
第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図、第２図は
第１図の動作説明図、第３図は本発明の他の実施例の要
部構成説明図、第４図は本発明の他の実施例の要部構成
説明図、第５図は本発明の他の実施例の要部構成説明図
、第６図は従来より一般に使用されている従来例の構成
説明図である。
第１図の動作説明図、第３図は本発明の他の実施例の要
部構成説明図、第４図は本発明の他の実施例の要部構成
説明図、第５図は本発明の他の実施例の要部構成説明図
、第６図は従来より一般に使用されている従来例の構成
説明図である。
Claims (4)
- （１）調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナーにおいて、 調節弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、前記調節
弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状態を確認
する零１００％位置確認手段と、該零１００％位置確認
手段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力の零点
を補正する補正演算手段と を具備したことを特徴とする電空ポジショナー。 - （２）調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナーにおいて、 調節弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、前記調節
弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状態を確認
する零１００％位置確認手段と該零１００％位置確認手
段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力の零点ド
リフト量を演算する零点ドリフト量演算手段と 該零点ドリフト量を積算する積算手段と 該積算手段の積算量が一定値を越えた場合に警報信号を
発生する警報発生手段と を備えた異常診断機構を 具備したことを特徴とする電空ポジショナー。 - （３）調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナーにおいて、 調節弁の弁開度を検出する弁開度検出手段と、前記調節
弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状態を確認
する零１００％位置確認手段と該零１００％位置確認手
段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出力のスパン
ドリフト量を演算するスパンドリフト量演算手段と 該スパンドリフト量を積算する積算手段と 該積算手段の積算量が一定値を越えた場合に警報信号を
発生する警報発生手段と を備えた異常診断機構を 具備したことを特徴とする電空ポジショナー。 - （４）調節弁の弁開度を入力信号に応じて制御する電空
ポジショナーにおいて、 調節弁の弁開度を検出しスパン変動が既知または小さい
弁開度検出手段と、 前記調節弁の実際の零位置状態あるいは１００％位置状
態を確認する零１００％位置確認手段と、該零１００％
位置確認手段からの信号に基き前記弁開度検出手段の出
力のゼロドリフト量とスパンドリフト量とを演算するゼ
ロスパンドリフト量演算手段と 前記スパンドリフト量から弁開度検出手段のスパン変動
が既知の場合はそのスパン変動の既知の値を引いた値を
あるいは弁開度検出手段のスパン変動が小さい場合は前
記スパンドリフト量そのままの値を前記ゼロドリフト量
から引いて演算する弁開度検出手段自身のゼロドリフト
量演算手段と前記弁開度検出手段自身のゼロドリフト量
を積算する積算手段と 該積算手段の積算量が一定値を越えた場合に警報信号を
発生する警報発生手段と を備えた異常診断機構を 具備したことを特徴とする電空ポジショナー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8550290A JPH03288001A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 電空ポジショナー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8550290A JPH03288001A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 電空ポジショナー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03288001A true JPH03288001A (ja) | 1991-12-18 |
Family
ID=13860710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8550290A Pending JPH03288001A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 電空ポジショナー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03288001A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000161236A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-06-13 | Ckd Corp | 真空圧力制御システム |
| JP2007212475A (ja) * | 1992-10-05 | 2007-08-23 | Fisher Controls Internatl Llc | 電−空変換装置のコンフィギュレーションおよび校正の方法 |
| JP2020065019A (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
-
1990
- 1990-03-30 JP JP8550290A patent/JPH03288001A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007212475A (ja) * | 1992-10-05 | 2007-08-23 | Fisher Controls Internatl Llc | 電−空変換装置のコンフィギュレーションおよび校正の方法 |
| JP2000161236A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-06-13 | Ckd Corp | 真空圧力制御システム |
| JP2020065019A (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
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