JPH03287104A - 偏光プリズム - Google Patents

偏光プリズム

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JPH03287104A
JPH03287104A JP8724090A JP8724090A JPH03287104A JP H03287104 A JPH03287104 A JP H03287104A JP 8724090 A JP8724090 A JP 8724090A JP 8724090 A JP8724090 A JP 8724090A JP H03287104 A JPH03287104 A JP H03287104A
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勝 川田
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、各種分光装置や光学実験等で直線偏光を取り
出す際に必要とされる偏光プリズムに関する。
〔従来技術〕
回折格子で単色化した光を試料に照射し透過率や反射率
を測る分光光度計では、特に斜入射で測定するときに入
射光の偏光状態が問題になる。回折格子で分光された光
は、波長ごとに異なる楕円偏光になる。しかし、測定量
として重要なのはS波に対しでや、P波に対しての透過
率1反射率である場合が多い。
そこで、こうした測定のために回折格子の後に、偏光プ
リズムを挿入し、プリズムを回転させてS波入射光やP
波入射光を作る。
分光光度計は、紫外から赤外にわたる広い波長領域の光
を測定に用いるため、こうした偏光プリズムは広い透過
波長域を持ち、しかも偏光子として機能しなければなら
ない。さらに2回折格子で分光されて弱くなった光の強
度を落とさずに効率よく使うために、視野角は広い方が
好ましい。
光学軸がプリズムの断面と垂直な面内にある偏光プリズ
ムの視野角について、第13図に従って説明する。図の
ように3次元の直交座標軸をとり、X軸と光学軸のなす
角をβとする。プリズムを構成する一軸性結晶の常光線
異常光線に対する主屈折率をそれぞれnω。
nε、プリズムの頂角をS、接合部の屈折率をnとする
と、常光線、異常光線が接合部で全反射する臨界入射角
1°+ leはそれぞれ次式%式% 但し、ここでは−軸性負結晶(nω〉nε)を仮定して
いる。
代表的偏光プリズムであるグラントムソンプリズムでは
β=90°、フランクリッタープリズムではβ=45°
になる。
方解石製グラントムソンプリズムで接着剤の屈折率nが
1.43のとき、波長589.23nmにおいてl。−
18になるようにくさび角Sを求めると5=23.53
°になる。このプリズムの視野角1°+18の波長依存
性を第12図に示す。
このグラフから明らかなようにグラントムソンプリズム
は波長300nmから1400nmにわたり、常に20
°以上の広い視野角を確保することができる。しかし、
接着剤の吸収のため、 300nm以下の波長では光を
透過しないという欠点を持っている。
300nm以下の光を透過させるプリズムには接合部を
空気層としたグランフーコープリズムがある。グランフ
ーコープリズムではnlとおけばよい。波長589.2
3nmにおいてl。
8になるようにくさび角を求めると。
5=50.46°になる。このプリズムの視野角の波長
依存性を第11図に示す。グランフーコープリズムは接
着層による光の吸収がないため、300nm以下の波長
でも使用できるが。
そのかわり視野角が8重前後とグラントムソンプリズム
に比べて狭くなってしまう。
また、グランフーコープリズムに代表される接合部を空
気層とした偏光プリズムでは空気層における多重反射も
問題となる。すなわち、第13図のa面とb面の間で入
射光が多重反射を起こし、透過光が2重になったり、ま
た2反射損失による透過光強度の低下といった悪影響が
でる。透過光の重なりは接合部Cの厚さが厚いとき特に
顕著である。この接合部の厚さを薄くすればするほど透
過光の重なりを小さくすることができるが、薄くなりす
ぎるとプリズム自体の消光比が落ちてしまい限界がある
また、グランテーラ−プリズムのように光がb面にブリ
ュースター角で入射し2反射を起こさせないようプリズ
ムの構成やくさび角Sを設定する工夫も考えられるが、
これもプリズムの設計に融通がきかなくなるし、使用波
長が設計波長からずれると効果も薄くなる。
偏光プリズムの接合層には接着剤であれ。
空気層であれ、平行度が必要とされる。第6図に示した
ように接合層が平行でなかったら、透過光にふれが出て
しまう。
また、すべての偏光プリズムには第7図に示したような
光の平行ずれが生じる。これは透過光線(異常光線)の
プリズムにおける屈折率と接合部における屈折率の違い
に起因するもので本質的にとり除くことはできない。
接合層の厚さを薄くすればずれを小さくすることはてき
るが、消光比とのからみで限界がある。また、たまたま
ある波長で屈折率が一致したとしても波長の変化にとも
ないずれが生じ得る。第12図や第11図から明らかな
ように偏光プリズムの常光線、異常光線の臨界入射角の
大きさ1°、18は波長とともに変化する。
これはプリズムを構成する複屈折材料(方解石)の2つ
の主屈折理率nω、neが波長とともに変化することに
由来している。長波長領域では、18も1°もほぼ一定
で同じくらいの値をとるので、視野角は対称な形になっ
ているが、短波長領域に移るに従って1°は大きくなり
、18は小さくなっていく。
Ieは透過光の臨界入射角で、この角より大きい入射角
の異常光線はすべて接合面で全反射されてしまうので、
たとえ視野角1°+18そのものは大きかったとしても
、必ずしも広がった入射光を有効に使えるとは限らない
〔発明が解決しようとする課題〕
分光光度計等で使用される偏光プリズムには広い透過波
長域と広い視野角という2つの性能が必要とされるが、
従来の偏光プリズムには、この2つを同時に満たすもの
がなかった。最も視野角の広いグラントムソンプリズム
は300nm以下の波長領域では使用できないし、透過
波長域の広いグランフーコープリズムは視野角を広くと
ることができない。しかも、従来型の偏光プリズムでは
視野角の設計波長以外の波長での非対称性が入射光の有
効利用に悪影響を及ぼしていた。この非対称性は特に短
い波長領域において顕著である。
また、従来の偏光プリズムには接合層にいろいろな問題
があった。第1に透過光の平行ずれは本質的に避けるこ
とができない。第2に厚さが厚すぎれば、透過光の平行
ずれや重なりが問題になるし、薄すぎればプリズムの消
光比が低下する。第3に平行度が出ていないと透過光が
ふれる。第4に接合層の存在自体が2反射損失による透
過光強度低下の原因になる。
本発明の目的は広透過波長域、広視野角を同時に満足し
、しかも接合層に起因する。透過光の平行ずれや重なり
、ふれ2反射損失を原理的に持たない、偏光プリズムを
提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の偏光プリズムの構成は、第1図と第2図に示す
通りである。偏光プリズムを構成する2つの三角プリズ
ムと平板はすべて同じに複屈折材料とするが、その複屈
折材料が一軸性負結晶か、−軸性正結晶かによって三角
プリズム、平板それぞれの光学軸の方向のとり方を変え
る。
負結晶のときは、第1図のように三角プリズムの光学軸
の方向は光軸に平行、平板の光学軸の方向は光軸に垂直
になるようにとる。
正結晶のときは、第2図のように三角プリズムの方は光
軸に垂直、平板の方は光軸に平行になるようにとる。
なお、三角プリズム、平板間は光学的に接合するものと
する。
〔作 用〕
通常、偏光プリズムは2つの方解石製三角プリズムを接
着剤で接合するか、空気層を設けて接合して作る。紫外
から赤外の波長領域において方解石の常光線、異常光線
の主屈折率nω、neはそれぞれ1.7前後、1.5前
後の値をとる。
接合部の界面での常光線、異常光線の全反射を起こす臨
界入射角を第1O図に示すようにψO9ψeとすると sin  ψO n ω sin  ψe Ie となる。ここでneは異常光線の屈折率で普通入射角に
依存するが、グラントムソンタイプのプリズムではne
=nεとおいてよい。nω−1,7,nε−1,5とし
、接合部分の媒質の屈折率nを1.0から1.5まで変
化させたときのψ0.ψe、ψe−ψOのグラフを第9
図に示した。
ψe−ψ0は視野角に対応する角度だが、第9図から接
合部の屈折率が大きいほど、視野角が大きくとれること
がわかる。
したがって、第11図、第12図の比較から明らかなよ
うに接合部の屈折率nをn =1.43としたときの視
野角はn=1.0としたときの視野角よりも常に大きい
値をとる。
方解石袋の偏光プリズムでは、nω〉nさなので異常光
線は透過し、常光線は接合面で全反射して透過しないよ
う接合媒質の屈折率とプリズムのくさび角を選択する。
常光線が接合面で全反射を起こすには nω〉nでなければならないが、接合媒質の屈折率nが
異常光線の屈折率neに等しければ理想的な偏光プリズ
ムになる。つまり。
n=neのとき、異常光線にとって偏光プリズムは単な
る均一な媒質になるが、常光線にとっては全反射面を持
った偏光プリズムとして作用する。
しかし、方解石の2つの主屈折率nω。
nCは第8図に示すような波長依存性を持っている。だ
からある波長でnω>ne=nを満足するような屈折率
nを持つ接着剤を用いたとしても波長が変化するにつれ
て、ne=nではなくなってくる。どの波長に対しても
透過光に対するプリズムでの屈折率が常に一致するよう
な接合媒質は方解石自身であるという着想から本発明に
至った。
まず、方解石のような一軸性負結晶を材料に選んだとき
の原理について第3図に従って説明する。
紙面に垂直な方向に電気ベクトルが振動するray 1
はプリズムAにおいても、接合層Cにおいても常に常光
線なので均一な媒質としてプリズムを透過する。
それに対し2紙面内で振動するray 2は垂直入射の
とき、Aでは常光線、Cては異常光線になる。やや斜め
に入射したときにはAでもCでも異常光線となるが、入
射角が小さいときには、Aでは常光線の主屈折率nωに
近い屈折率nAを持つ異常光線であり、Cては異常光線
の主屈折率nεに近い屈折率nCを持つ異常光線である
つまり、raylの屈折率はプリズム全体にわたりnω
で一定だが、ray2の屈折率はAからCに進むにつれ
てn、からncに変わるが、 nA (釘n ω) >
 nC(xn ε)なのでくさび角Sを適当に選べば、
接合面で全反射を起こさせることができる。
次にray2が接合面で全反射するのに必要な臨界入射
角ψ!を求める。
まず、第3図においてd面、a面において屈折の法則を
適用すると (1)−2 となることを考慮して式■〜■から ψ2.ψ3.nA+  ncを消去するとまた。
が威り立つ。
nAt ncは光学軸と波面法線方向のなす角度によっ
て次のように表わされる。
とおいて となる。
−軸性上結晶を材料に選んだときも全く同様にして求め
ることができる。この偏光プリズムを第4図に従って説
明する。
電気ベクトルが紙面と垂直方向に振動するray 3は
プリズムA ’、接合層C′を通じて常光線なので、屈
折率は常にnωで一定である。
一方2紙面内で振動するray 4は入射角が小さいと
き、プリズムA′ではnεに近い屈折率nzを持つ異常
光線、接合層C′ではnωに近い屈折率n≦を持つ異常
光線になる。
nz(援nε)>nご(授nω)なのでray 4を接
合面で全反射させることができる。
ray 4が接合面で全反射するための臨界入射角ψ1
′は式■〜■に対応する次式から求めることができる。
sinψ1’=n^’sinψ2′ n^’sinψ3’=nc’sinψ4′・・・・・・
・・・■ ・・・・・・・・・■ ことを考慮し。
りの から求まる。
〔実施例〕
一軸性負結晶として方解石を選んだときのψ1の波長依
存性を第5図に示す。くさび角を5=17°とした。
ψ1は透過させない方のM線傷光の臨界入射角なので、
グラントムソンプリズムやグランフーコープリズムでの
10に対応する。
透過させる方の直線偏光に対して本発明の偏光プリズム
は均一な媒質でしかないので。
従来プリズムでのIeに対応する角は存在しない。しい
て言えば90°ということになる。
〔効 果〕
従来の偏光プリズムには紫外光から赤外光にわたる広い
波長領域で使え、しかも広い視野角を持つといったもの
はなかった。そのため1分光光度計等で広い波長範囲に
わたって(/6) 偏光プリズムを使おうとすると、紫外領域ではグランフ
ーコープリズムを用い、可視から赤外領域ではグラント
ムソンプリズムを用いるといったような波長領域に応し
た使い分けがどうしても不可避であった。
しかし2本発明の偏光プリズムでは従来プリズムの接合
層を三角プリズムを構成する複屈折材料に置き換えるこ
とで、接着剤に由来する紫外光の吸収の問題や空気層に
由来する狭視野角の問題を同時に取り除くことができる
本発明の偏光プリズムの透過波長領域はプリズムを構成
する複屈折材料の透過領域でしか制限されないので2例
えば、方解石を用いたときには、紫外領域から赤外領域
にわたる広い波長範囲で使用することができる。
本発明の偏光プリズムの従来型偏光プリズムより優れる
一番大きな特長は透過直線偏光の臨界入射角(Ie)が
存在しないことである。このため、従来型偏光プリズム
とは比較できないほど広い視野角ψ1+9「を実現する
ことができるし、従来型プリズムにおいて短波長領域で
特に問題になっていた1eの減少も全く無縁である。
また、従来型プリズムでは接合層に起因して(1)多重
反射による像の重なり、 (2)透過光の平行ずれ、(
3)平行度が出ないときに起こる。透過光のふれ、(4
)反射損失による透過光強度の低下等の問題があったが
2本発明の偏光プリズムでは上記問題点は全く存在しな
い。しかも、波長の変化によってこれらの効果が減する
こともない。
従来型偏光プリズムでは接合層の厚さや平行度を厳密に
制御しなければならないが2本発明の偏光プリズムでは
接合層となる平板の厚さの設定は自由だし平行出しもそ
れほど厳密にする必要もないので容易に製作できる。
本発明の偏光プリズムはグラントムソン。
グランフーコー等の従来型偏光プリズムよりも優れた特
性を持っている。例えば9分光光度計等で使用するとき
にもプリズムの切り換えなしに、1つで十分性能を発揮
するし、あるいは偏光を用いた光学実験、光学装置等あ
らゆる分野で汎用的に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図は複屈折材料にそれぞれ一軸性負結晶、
−軸性正結晶を用いたときの本発明の偏光プリズムの構
成を説明する図、第3図、第4図はそれぞれ一軸性負結
晶、−軸性正結晶を用いたときの本発明の偏光プリズム
の原理を説明する図、第5図は方解石を用いた本発明の
偏光プリズムの実施例で、臨界入射角の波長依存性を示
したグラフ、第6図は従来型偏光プリズムで接合層の平
行度が出ていないときの透過光のふれを説明する図。 第7図は従来型偏光プリズムの接合層に起因する透過光
の平行ずれを説明する図、第8図は方解石や合成石英等
の屈折率の波長依存性を示したグラフ、第9図は全反射
の臨界入射(/q) 角と接合部の屈折率の関係を表わすグラフ。 第1O図は、プリズムの接合面における全反射の様子を
説明する図、第11図はグランフーコープリズムの視野
角の波長依存性を示すグラフ、第12図はグラントムソ
ンプリズムの視野角の波長依存性を示すグラフ、第13
図は光学軸がプリズム断面と垂直な面内にある偏光プリ
ズムを説明する図である。 (2o )

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、2つの複屈折材料の三角プリズムを同じ複屈折材料
    の平板を介して光学的に接合してなる偏光プリズムであ
    って、前記複屈折材料を一軸性負結晶または正結晶とし
    、三角プリズム及び平板の光学軸の方向を光の入射面内 で、かつそれぞれ光軸と平行または光軸と垂直、光軸と
    垂直な方向または光軸と平行な方向にとることを特徴と
    する偏光プリズム。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7317528B2 (en) 2004-07-19 2008-01-08 Asml Netherlands B.V. Ellipsometer, measurement device and method, and lithographic apparatus and method
JP2016521866A (ja) * 2013-06-09 2016-07-25 ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム スペクトラム符号化に基づく高い消光比特性を有する偏光顕微鏡

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS5225652A (en) * 1975-08-20 1977-02-25 Hewlett Packard Yokogawa Polarizing prism

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