JPH03285789A - 真空装置付レーザ加工機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、熔接又は焼入等の加工に使用される真空容器
イづレーザ加工機に関するものである。

従来の技術 レーザ等の熱エネルギーにより熔接又は焼入加工を行う
場合、高品質な加工表面を得るためには自然な外気の条
件下では無理で、特定ガスが周囲に充満した雰囲気中で
加工する方法が一般に行われている。

従来、この周囲雰囲気を作り出すために行われている方
法に、ノズルよりシールドガスを噴射し、その内側に特
定ガスを吹き付けながら加工する方法があるが、この方
法は外気の影響を完全に除去することができないという
欠点を有している。このため第３図に示すようなＸＹ子
テーブル０１を駆動モーフ１０４ごと箱体（真空容器と
呼ぶ）１０２で囲み、この真空容器内の空気をバキュー
ム装置により吸引して、特定ガスを送り込むことにより
、容器内を特定ガスで充満した状態とし、真空容器の上
板部に設けたレーザビーム透過窓１゜３の」１方よりレ
ーザビームを照射して、ＸＹテブル上に取付けた工作物
Ｗの加工面に、レーザビームを集光させレーザ加工を行
う方法がある。また真空容器を第４図に示すようにＸＹ
テーブル上に設置し、この真空容器内に取付けた工作物
にレーザビームを照射する方法がある。

考案が解決しようとする課題 従来の技術で述べた前者の、真空容器内にＸＹ子テーブ
ル設置する方法は、真空容器が大型になり、そのうえテ
ーブルを駆動するために必要な潤滑油が、真空容器内の
雰囲気に悪影響を与えクリソな雰囲気が維持できないと
いう問題点を有している。また後者の、ＸＹ子テーブル
上真空容器を設置する方法は、広いレーザビーム透過窓
が必要となり、この窓に使用されるレーザビーム透過率
のよい特殊ガラスが大変高価であるため、コスト高にな
るという問題点を有している。

本発明は、従来の技術の有するこのような問題点に鑑み
なされたものであり、その目的とするところは、小型か
つ安価で潤滑油による雰囲気汚染のない真空装置イ１ｊ
のレーザ加工機を擢供しようとするものである。

課題を解決するための手段 上記目的を達成するために本発明の真空装置付レーザ加
工機は、本体に固定されてＸＹ子テーブル上隙間を有し
７て設けられ、少なくとも底板が非磁性材にて形成され
レーザビ・−ム取入窓を有する真空容器と、該真空容器
内の前記底板−Ｌに水平移動可能に載置され非磁性材に
て形成されたワーク取付台と、前記ｘｙ子テーブル上前
記底板を僅かな隙間を有して固着された少なくとも１個
の第１磁石と、該第１磁石に対応して前記ワーク取付台
の下部に固着された第２磁石又は磁性体とを含んでなる
ものである。

作用 固定の真空容器の底板Ｔｃこ載置されたＴワーク取付台
は、下部に設けられている第２磁石又は磁性体がＸＹ子
テーブル上固着の第１磁石に僅かな隙間を有して吸着さ
れており、このワーク取付台上に固着された工作物は、
ＸＹ子テーブル移動に追従して移動位置決めされる。

実施例 実施例について第１図、第２図を参照し゛Ｃ説明する。

公知のレーザ加工機において、ヘッド１ト前側に設けら
れたＸ軸方向の案内上に、図示しない中台が移動位置決
め可能に載置され、中台上に設けられたＸ軸方向の案内
上に、ＸＹ子テーブルが移動位置決め可能に載置されて
いる。更にベツド１」１後側にコラム４が立設されてお
り、コラム４上にレーザ発振器５が出力口を前側にして
固着されている。そしてレーザ発振器５の前側にＬ形の
レザ誘導筒６が固着されており、レーザ誘導筒６の先端
部内にベンディングミラー７が取付けられている。一方
コラム４の前側に設けられた」二部（Ｚ軸）方向の案内
に沿ってレーザ頭８が移動可能に設けられており、レー
ザ頭８の」二部はレーザ誘導筒６の下側を向く円筒部６
ａの穴内に摺動可能に嵌挿されている。レーザ頭８内に
は集光レンズ９が着脱可能に取付けられ、レーザ頭８の
先端にはノズル１１が着脱可能に設けられている。

テーブル３の上方に隙間を有して真空容器Ｉ２が設けら
れており、真空容器１２は支持板１３を介してコラｌ、
４の前面下側に固着されている。この真空容器ｊ２はニ
ッケルクロム合金又はアルミ合金等の非磁性部材にて形
成され、上板１２ａのレーザ頭８の軸心線位置ずなわぢ
レーザビームの通路に、レーザ透過率のよい特殊ガラス
を使用したガラス窓１４が設けられている。更に真空容
器１２の側面に設けられた取付穴１２ｂには、図示しな
いバキューム装置に連通されるガス排出管１５が、また
上面に設けられた取付穴１２ｃには、図示しない特殊ガ
ス供給装置に連通されるガス供給管１６がそれぞれ取付
けられている。

テーブル３上に台１７を介して電磁石又は永久磁石１Ｂ
が２個はなれて固着されており、磁石１８上面と真空容
器１２の底板１．２　ｄの下面との間に僅かな隙間δが
できるようそれぞれの」−下位置関係が調整されている
。

真空容器１２内には底板１２ｄの上面に沿って移動可能
にワーク取イτ１台】９が載置されている。

このワーク取付台１９は、非磁性材にて形成され、下底
面に非磁性材かつ低摩擦係数のテフロンシート等が蕉着
又は貼着されており、更に底面Ｇこはテフル十の磁石１
８乙こ対応する位置に止まり穴が穿設され、この止まり
大向に、永久磁石又は強磁性体２Ｊが接着剤等により固
着されている。この磁石２１は、テーブル」二の磁石１
８に対して互いに吸引力が作用する異極同志が対向する
関係に取イ」けられており、ワーク取付台上にクランパ
２２により工作物Ｗが取付けられている。

続いて本実施例の作用について説明する。

レーザ発振器５の出力口を出たレーザビームは、Ｉ／−
ザ誘導筒６内のヘンディングミラー７に当って９０６折
れ曲げられ、レーザ頭８内の集光レンズ９を通り、ガラ
ス窓１４を経て特殊ガスが充満している真空容器１２内
に入って、工作物の加工面に集光されている。そしてテ
ーブル３がＮＣ指令によりＸ軸方向又は及びＹ軸方向に
移動されて、磁石１８と磁石又は強磁性体２Ｉの吸引力
の作用で、ワーク取イ１台１９が真空容器１２の底板１
２ｄ　ｌを滑って、テーブル３に追従して移動しレーザ
加工が行われる。

尚ワーク取付台１９を追従移動させるための摺動面ば、
テフロンシーＩ−に限定されるものではなく、セラミッ
クポールガイド等非磁性材にて形成された案内等を使用
することもできる。

発明の効果 本発明は、上述のとおり構成されているので次の効果を
奏する。

非磁性材で形成され本体に固着した真空容器をテーブル
」１方に設け、真空容器内に移動可能に載置した非磁性
材にて形成したワーク取付台の下部に磁石又は磁性体を
固着し、ＸＹ子テーブル上固着の磁石によりワーク取付
台側の磁石又は磁性体を磁力により隙間を有して吸着し
、ＸＹ子テーブル移動に追従してワーク取付台を移動位
置決めさ廿うるようになしたので、真空容器内にＸＹ子
テーブル設ける必要がなく真空容器の小型化が達成され
るとともに潤滑油による容器内雰囲気の汚染がなくなっ
て常に特殊ガスのみが充満したクリーンな状態を維持す
ることができるようになり、爆接及び焼入加工の良質な
加工表面が得られる。又、エレクトロニクス基板」二に
特定の被膜を形成する作業等クリーンな周囲雰囲気が絶
対必要条件となる加工に効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本実施例の真空装置付レーザ加工機の側面図、
第２図は第１図の要部拡大図、第３図はｘｙ子テーブル
真空容器内に設けた従来例の説明図、第４図はｘｙケチ
−フル上真空容器を設けた従来例の説明図である。 ３・・ＸＹ子テーブル１２・・真空容器１８・・電磁石
又は永久磁石 ｊ９・・ワーク取付台 ２１・・永久磁石又は強磁性体

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）本体に固定されてＸＹテーブル上に隙間を有して
   設けられ少なくとも底板が非磁性材にて形成されレーザ
   ビーム取入窓を有する真空容器と、該真空容器内の前記
   底板上に水平移動可能に載置され非磁性材にて形成され
   たワーク取付台と、前記ＸＹテーブル上に前記底板と僅
   かな隙間を有して固着された少なくとも１個の第１磁石
   と、該第１磁石に対応して前記ワーク取付台の下部に固
   着された第２磁石又は磁性体とを含んでなり、磁力によ
   りワーク取付台を追従移動させることを特徴とする真空
   装置付レーザ加工機。