JPH03285113A - 電源投入時に絶対位置の検出が可能な1トラック型アブソリュートエンコーダ - Google Patents

電源投入時に絶対位置の検出が可能な1トラック型アブソリュートエンコーダ

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JPH03285113A
JPH03285113A JP2084897A JP8489790A JPH03285113A JP H03285113 A JPH03285113 A JP H03285113A JP 2084897 A JP2084897 A JP 2084897A JP 8489790 A JP8489790 A JP 8489790A JP H03285113 A JPH03285113 A JP H03285113A
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Takeshi Matsumoto
豪 松本
Yasushi Ono
康 大野
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、電源投入時に正しい絶対位置を検出可能とす
るために、2組のセンサ群を交互に用いる形式の1トラ
ック型アブソリュートエンコーダに関し、特に検出部の
設計、製作を容易にして装置の小型化に供することを目
的とする。
[従来の技術] エンコーダは、移動量やこれを基に得られる移動角度や
速度を検出するもので、■移動範囲内の絶対位置が検出
できるアブソリュート・エンコーダと、■車に移動量、
または移動角度しか検出できないインクリメンタル・エ
ンコーダとに分類される。
いずれにせよ、エンコーダは、その構成として(1)物
理的性質、例えば反射率、透過率、偏光状態、磁気的性
質、磁化の向き等の異なる2種の最小読取単位を数字の
0.1の二値符号で表わすとき、0.1の数列からなる
所定符号列をトラック長平方向に形成してなる符号板A
と、(2)o、を区別して検出する検出部B(センサ、
ヘッド)とで構成される。
その他、実際には、符号板と検出部とを相対的に平行移
動する機械的駆動機構が必要である。
符号板は、長尺の板状(直線に沿ってトラックがある・
・・リニアエンコーダ)、円盤状(円周に沿ってトラッ
クがある・・・ロータリーエンコーダ)、円筒状(円筒
の外周に沿ってトラックかある・・・ロータリーエンコ
ーダ)等がある。
最近、1トラックだけで絶対位置が知れる1トラック型
アブソリユート・エンコーダが提案された(特開昭57
−175221号、実開昭60−152916号、およ
び特開平1−152314号の各公報参照)。
この1トラック型符号板では、0.1の数列からなる符
号列が特別な配列を有している。例えばn=4ピツトの
例では、その符号列は次のとおりである(第2図参照)
0000100111101011 i冒↑ (全符号数p= 2 n“’=16) (↑はセンサ位置) それに対して、インクリメンタル・エンコーダ用符号板
では、1トラック上に車にOllか交互に並んでいるに
すぎない。
一方、検出部にはn個のセンサかトラック長手方向にλ
に相当するピッチで形成されており、連続したn個の最
小読取単位をパラレルに同時に読む。ただし、えは最小
読取単位の長さである。
上の例で言えば、第1の絶対位置(左端)でn=4個の
センサか64ビツト・コートooooが検出され、以下
右端まで移動するとコードの変化は次のとおりである。
ただし、右端は左端に連結したロータリーエンコーダで
考えることにする。
第1の絶対位置 :  ooo。
第2の絶対位置 :  0001 第3の絶対位置 :  0010 第4の絶対位置 :  0100 第5の絶対位置 :  1001 第6の絶対位置   oott 第7の絶対位置 :  0111 第8の絶対位置 :  1111 第9の絶対位置 :  ttt。
第1Oの絶対位置   1101 第11の絶対位置 :  1010 第12の絶対位置   0101 第13の絶対位置   1o1i 第14の絶対位置 +  0110 第15の絶対位置 :  1100 第16の絶対位置 ・ 1000 以上のとおり、n=4個のセンサなる検出器から検出さ
れるn=4ビツト・コートは、どの絶対位置においても
異なる。従って、検出されたコートを通常の絶対位置を
示す数値に変換する対照表を用意しておけば、絶対位置
が知れるのである。
しかしながら、仮に「いずれかのセンサが異なる種類の
2つの最小読取単位の境界上で止っている状態」でエン
コーダの電源を投入して、その絶対位置を検出しようと
したとき、そのセンサは、2つの単位のいずれかを読ん
で出力する。例えば第5の絶対位置付近で止っている状
態で、本来1001と出力すべきところを、左端のセン
サが「1ノではなく「0」と読んだとすると、出力は0
001となり、これは第2の絶対位置を示し、大変な誤
差を生じる。
従って、電源投入時にも正しく絶対位置を読めるように
するために、センサ中心で1/2λ離してもう1組の第
2の検出器を設け、境界上にあるセンサを含まないほう
の検出器を選択して使用する技術が開発された(例えば
、特開平64−79619号公報の第7図を参照)。そ
のためには、アブソリュート・トラックの隣りに1/4
λの位相差を持たせたピッチがλのインクリメンタル・
トラックを併設し、このトラックを検出するインクリメ
ンタル用センサも設ける。そうすると、電源投入時に仮
にインクリメンタル用センサの出力がハイレベル(1)
であれば、一方の組の検出器は境界上のセンサを含まな
いので、それを選択して絶対位置を正しく読むことがで
き、ローレベル(0)であれば、他方の検出器のセンサ
群は境界上のセンサを含まないので、それを選択して絶
対位置を正しく読むことができる。
第3図は、このような方式の4ビツト・アブソリュート
エンコーダを示し、(a)は全体構造の平面図、(b)
は検出器を構成するセンサとアブソソユートパターンの
関係を説明するための模式図である。
第3図(a)において、符号板A上には、斜線部を1、
白部を0として0000110101111001と表
わされる、長ざ^の16個の符号からなるアブソリュー
ト・トラックA、と、繰返し周期λのインクリメンタル
・トラックA2とが並列に形成される。また、検出部B
には、ピッチλで等ピッチ配置した4個のセンサSから
なる第1検出器S、と、第1検出器S1からl/2 λ
離して配置した第2検出器S2と、インクリメンタル・
トラックA2検出用のセンサS3と、センサS、から得
た二値信号に応じて第1、第2検出器S、、S2を切替
える選択器SEとが設けられている。
第3図(b)において、センサはフォトセンサで構成さ
れ、8個のセンサSを有するセンサアレーSAを用いて
、1つおきの4個のセンサSを第1検出器SIに、これ
らの間に位置する4個を第2検出器S2に割当てている
。また、センサアレーSAの実際の大きさは、1個のセ
ンサSの開口部の長さaが5μm、枠部長さbが5μm
、ピッチpが10μmであって、アブソリュート・トラ
ックへの1個の単位に対してはそれぞれ2個のセンサS
が対峙するから、このセンサアレーSAに適合するアブ
ソリュート・トラックA、の単位長さえは20μlであ
る。
第4図は、従来例のアブソリュートエンコーダの動作を
説明するための数値表である。この数値表は、第3図の
符号板Aに記した三角記号の位置に第1検出器の左端の
センサSが位置する状態から、符号板Aを矢印方向にλ
ずつ移動させたときの第1検出器S1、第2検出器S2
、検出部Bの各出力を示す。
符号板Aと検出部Bの相対移動に伴い、第1検出器S1
、第2検出器S2からは0000110101001な
るアブソリュート・トラックA上の隣接する4個の符号
が次々に読み出され、安定な出力状態のものが選択され
て、検出部Bからコート圧力される。
[発明か解決しようとする課題] 製品の高度化に伴い、高分解能のエンコーダが求められ
、そのため、^はより小さくなり、センサアレーのセン
サピッチpも益々狭くなってきている。つまり、第3図
に示すセンサ開隔すは、極めて狭くなりつつある。
従って、センサ間隔すを利用してここに配線を通すこと
ができず、センサの回路設計が不自由になるという問題
点があった。
第3図のセンサとは違フて、■インクリメンタル・トラ
ックA2をアブソリュート・トラックA、の内側に設け
たタイプ、特にそのタイプのうちインクリメンタル・ト
ラック用センサS3を複数個設けたタイプ、あるいは■
S/N比を向上させるためにアブソリュート・トラック
^1の外に反転したアブソリュート・トラックA1°を
設けたタイプの場合には、アブソリュート・トラック用
センサアレーSAのセンサ間隔すを通って配線をする必
要があり、その場合、配線が困難、または不可能になる
という前記問題点が発生する。
[課題を解決するための手段] 本発明(請求項第1項)のエンコーダは、最小読取単位
の長さをλとするとき、「mλ(mは2以上の整数)に
相当するピッチでトラック長手方向に配列されたn個の
センサ」から検出されるnビット・コードがどの絶対位
置においても異なる1トラック型アブソリュート・パタ
ーンからなるアブソリュート・トラック(A1)と、ト
ラック(A1)と並列に配置したインクリメンタル・パ
ターンからなるインクリメンタル・トラック(八2)と
を有する符号板(^)、および [mλに相当するピッチでトラック長手方向に配列され
たn個のセンサ」からなる、トラック(A1)を検出す
るための第1検出器(S1)と、第1検出器(S1)と
同一であフて、第1検出器(S)からは 輸◆l/2)
λ(flは0または自然数)Illして配置した第2検
出器(S2)と、 インクリメンタル・パターンを検出するための第3検出
器(S3)と、 第3検出器(S3)の二値信号出力を0.1とするとき
、この0.1に応じて第1検圧器(S1)、第2検出器
(S2)の一方を選択する選択手段(SE)とを備えた
検出部(B) とからなるものである。
請求項第2項のエンコーダは、請求項第1項のアブソリ
ュート・エンコーダにおいて、第1検出器(S1)、第
2検出器(S2)の各センサが、等ピッチで連続的に配
置されているものである。
請求項第3項のエンコーダは、請求項第1項〜第2項い
ずれかのエンコーダにおいて、第2検出器(S2)から
得られた絶対位置からl±u(uは0または1)加算す
るか、または減算することにより、第1検出器(S1)
から得られた絶対位置と等しいかまたは隣りの絶対位置
を出力する補正手段を付加したものである。
[作用] 本発明のエンコーダは、第1検出器と第2検出器とを通
して見た場合、センサピッチか1個おぎに(m−1)λ
以上になり、センサ間隔が1個おきに大きくなる。従っ
て、本発明では、アブソリュート・トラックは、(m−
1)個おきのn個の符号を組合せたコードが、符号板と
検出部の取り得る各絶対位置においてずへて異なるよう
なパターンを有するものを用いる。このパターンは、電
算機を用いてやみくもに計算させても得られるが従来の
アブソリュート・パターンの符号配置を機械的に再配置
しても容易に得られる。
また、この特別なパターンに対応させて、検出部にも相
応する配列の検出器が設けられる。すなわち、(m−1
)個おきのn個の符号を同時に検出てきるように、第1
検出器は、Fmλのピッチでトラック長手方向に配列し
たn個のセンサ」であり、第2検出器は、「第1検出器
に同じ個数と配列になるセンサを、第1検出器から (
IL+172)λ離して配置した」ものである。また、
第1検出器の各センサと第2検出器の各センサは少なく
とも一部、交互に配置されていても良く、この部分でセ
ンサピッチが半分になっている。
請求項第2項のエンコーダは、例えば、mが3でx b
)1、または、mが5てρが2の場合に相当するもので
あって、第1検出器と第2検出器の各センサは、検出部
に、交互、等ピッチ、連続的に配置される。これは、第
1検出器と第2検出器を1個のセンサアレーで構成する
際に都合の良いことである。
一方、第3検出器は、符号板上のインクリメンタル・パ
ターンを検出して、符号板と検出部との1/2λの相対
移動ごとに反転する二値信号を出力する。選択手段は、
この二値信号の0.1に応して第1検出器、第2検出器
の一方を機械的に選択する。これにより、符号境界部分
を横断する側の検出器の出力は排除され、符号中央部の
みによる安定したトラック・パターンの読取りが遂行さ
れる。
ここで、kが0の場合には、アブソリュート・トラック
上のn個の符号に対して、従来例と同様に、第1検出器
、第2検出器が同時に対峙可能であり、選択手段が第1
検出器と第2検出器を切替えた際に生しるアブソリュー
ト・トラック上の検出位置のずれは問題とならない。し
かし、ρがOでない場合には、選択手段が第1検出器と
第2検出器を切替えた際に、アブソリュート・トラック
上における検出位置は、両検出器の位相差分たけ遅れと
進みを綬返す。
請求項第3項のエンコーダは、両検出器の位相差分を補
正して、どちらの検出器からの絶対位置でも一致するよ
うにしたものである。
具体的には、第1検出器と第2検出器の位置関係が固定
的であることを利用して、例えば、メモリ素子を用いて
、第2検出器が取り得る全出力をそれぞれ1対1変換し
て第1検出器の出力に揃える、または、両者の出力をそ
れぞれ序数変換した後に、ぶλに相当する数を差引きす
る等の方法が採用される。
[発明の実施例] 本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第1図は、本発明の実施例の4ビツト・アブソリュート
エンコーダを示し、(a)は全体構造の平面図、(b)
は検出器を構成するセンサとアブソリュートパターンの
関係を説明するための模式図である。
第1図(a)、において、符号板A上には、斜線部を1
5白部を0として0100110000011111と
表わされる、長さλの16個の符号からなるアブソリュ
ート・トラックA1と、綬返し周期λのインクリメンタ
ル・トラック^2とか並列に形成される。ここで、アブ
ソリュート・トラックA1の符号配置は、従来例のもの
の1周16個の符号配置を、そのままの順序で2個おぎ
に再配置して全符号位置を埋めたものである。
一方、検出部Bには、ピッチ3λて等ピッチ配置した4
個のセンサSからなる第1検出器S、と、第1検出器S
、から(1+1/2)λ離して配置した第2検出器S2
と、インクリメンタル・トラックへ、検圧用のセンサS
3と、第1検出器S、の出力コートを二進数序数に1対
1変換する変換器C4と、第2検出器S2の出力コード
を二進数序数に1対1変換する変換器C2と、変換器C
2の出力コードから0001を引算する番地変換器りと
、センサS、から得た一値(8号に応じて変換器C1と
番地変換器りの一方を選択する選択器SEとが設けられ
ている。
第1図(b)において、第1、第2検出器はフォトセン
サで構成され、8個のセンサSを有するセンサアレーS
Aを用いて、1つおきの4個のセンサSを第1検圧器S
、に、これらの開に位置する4個を第2検出器S2に割
当てている。また、センサアレーSAは、1個のセンサ
Sの開口部の長さaが5μm、枠部長さbが5μm、ピ
ッチpが10μmである。
一方、ここでは、アブソリュート・トラック^1の3個
の符号に対して2個のセンサSが対峙する構成であるか
ら、このセンサアレーSAに適合するアブソリュート・
トラックA、の単位符号長さλは67μmである。
第2図は、本実施例のアブソリュートエンコーダの動作
を説明するための数値表である。この数値表は、第1図
の符号板Aに記した三角と号の位置に第1検出器の左端
のセンサSが位置する状態から、符号板Aを矢印方向に
λずつ移動させたときの第1検出器S1、第2検圧器S
2、変換器C3、変換器C2、番地変換器D、検出部B
の各圧力を示している。
符号板Aと検出部Bの相対移動に伴い、第1検出器S1
、第2検出器S2からは、従来例と異なった順序で、同
絆な16種類のアブソリュート・コートか出力され、こ
れらは、変換器C,、C2により一進数序数に変換され
る。このとき、変換器CI、C2の出力間に発生してい
る、アブソリュート・トラックへ、上での第1検圧器S
、と第2検出器S2の検出位置のすれに起因する000
1のずれを番地変換器りか修正し、かつまた、選択器S
Eが符号中央部からの出力だけを選択することにより、
検出部Bは、連続性のある安定したアブソリュート・ト
ラック八、の読取りを遂行する。
[発明の効果コ 本発明によれば、第1検出器および第2検出器を構成す
る全センサについてピッチをみると、1個おぎに必ずピ
ッチが(m−1)λになるので、センサ間隔に余裕がで
きる。従って、そこに配線を通せばよいので、センサの
配置、回路設計の自白度が拡大され、例えば、センサ間
に配M部やネジ止め部等を比較的容易に配置できる。
請求項第2項の発明によれば、第1検出器と第2検出器
の全センサは、検出部に交互に等間隔、連続的に配置さ
れるから、どのセンサピッチも15λ以上と広く、かつ
整然とセンサの並んだセンサアレーを採用できて、セン
サの製造上有利である。
請求項第3項の発明によれば、補正手段により、どちら
の検圧器を選択しても一致した絶対位置出力が得られる
なお、符号板が、m≧3であり、検出部がλ≧1のエン
コーダは、第1検出器と第2検出器の各センサを交互に
配置した場合でも、隣り合うセンサ(第1検出器と第2
検出器のセンサと)のピッチが、(1+l72)λ以上
になるので、センサ間隔の限界に制限されずに、最小読
取単位の長さλを小さくでき、そのため、高分解能のエ
ンコーダ、小型のロータリエンコーダが得られる。
何故ならば、従来技術(特開平64−79619号公報
の第7図)では、m=1の符号板を用いるために、上述
のように第x、342検出器の各センサを交互に配置す
ると、センサのピッチが僅か1/2λしかない。従って
、高分解能のエンコ−ダまたは小型のロータリエンコー
ダを得ようとして^の小さい符号板を作ると、センサピ
ッチはその小さいλの、さらに1/2にしなければなら
ない。
現在の技術でλが1μm以下の符号板を制作することは
可能であるが、センサピッチのほうは光学式で、現在の
ところ、10μWが限界とされている。また、磁気式に
おいても、この関係は同じである。その結果、センサピ
ッチの限界に制限されて、従来技術ではλをあまり小さ
くすることはできなかった。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の実施例のアブソリュートエンコーダ
を示し、(a)は全体構造の平面図、(b)は検出器を
構成するセンサとアブソリュートパターンの関係を説明
するための模式図である。 第2図は、本発明の実施例のアブソリュートエンコーダ
の動作と出力を説明するための数値表である。 第3図は、従来例のアブソリュートエンコーダを示し、
(a)は全体構造の平面図、(b)は検出器を構成する
センサとアブソリュートパターンの関係を説明するため
の模式図である。 第4図は、従来例のアブソリュートエンコーダの動作と
出力を説明するための数値表である。 第5図は、従来の高S/N比エンコーダのアブソリュー
ト・トラックとセンサの位置関係を示す概念図である。 [主要部分の符号の説明] A・・・符号板      B・・・検出部^1・・・
アブソリュート・トラック ^2・・・インクリメンタル・ Sl・・・第1検出器 S2・・・第2検出器 S3・・・センサ D・・・番地変換器 SA・・・センサアレ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)最小読取単位の長さをλとするとき、「mλ(m
    は2以上の整数)に相当するピッチでトラック長手方向
    に配列されたn個のセンサ」から検出されるnビット・
    コードが、どの絶対位置においても異なる1トラック型
    アブソリュート・パターンからなるアブソリュート・ト
    ラック(A_1)と、該トラック(A_1)と並列に配
    置したインクリメンタル・パターンからなるインクリメ
    ンタル・トラック(A_2)とを有する符号板(A)、
    および前記「mλに相当するピッチでトラック長手方向
    に配列されたn個のセンサ」からなる、前記トラック(
    A_1)を検出するための第1検出器(S_1)と、該
    第1検出器(S_1)と同一であって、該第1検出器(
    S_1)から(l+1/2)λ(lは0または自然数)
    離して配置した第2検出器(S_2)と、 前記インクリメンタル・パターンを検出するための第3
    検出器(S_3)と、 該第3検出器(S_3)の二値信号出力を0、1とする
    とき、この0、1に応じて第1検出器(S_1)、第2
    検出器(S_2)の一方を選択する選択手段(SE)と
    を備えた検出部(B)、 とからなる電源投入時に絶対位置の検出が可能な1トラ
    ック型アブソリュートエンコーダ。
  2. (2)前記第1検出器(S_1)、第2検出器(S_2
    )の各センサが、等ピッチで連続的に配置されているこ
    とを特徴とする請求項第1項のアブソリュート・エンコ
    ーダ。
  3. (3)第2検出器(S_2)から得られた絶対位置から
    l±u(uは0、または1)加算するか、または減算す
    ることにより、第1検出器(S_1)から得られた絶対
    位置と等しいか、または隣の絶対位置を出力する補正手
    段を備えたことを特徴とする請求項第1項〜第2項いず
    れかのアブソリュートエンコーダ。
JP2084897A 1990-04-02 1990-04-02 電源投入時に絶対位置の検出が可能な1トラック型アブソリュートエンコーダ Pending JPH03285113A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5512409A (en) * 1993-12-10 1996-04-30 Xerox Corporation Fusing method and system with hydrofluoroelastomers fuser member for use with amino functional silicone oils
US5516361A (en) * 1993-12-10 1996-05-14 Xerox Corporation Fusing system with T-type amino functional silicone release agent
US5531813A (en) * 1993-12-10 1996-07-02 Xerox Corporation Fusing system with monoamino functional silicone release agent
US5747212A (en) * 1993-12-10 1998-05-05 Kaplan; Samuel Fusing system with amino functional groups in siloxane release agent for use with toners and fusing members reactive with amine groups
CN110879075A (zh) * 2019-11-08 2020-03-13 杭州电子科技大学 一种高分辨率的增量码道检测方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5512409A (en) * 1993-12-10 1996-04-30 Xerox Corporation Fusing method and system with hydrofluoroelastomers fuser member for use with amino functional silicone oils
US5516361A (en) * 1993-12-10 1996-05-14 Xerox Corporation Fusing system with T-type amino functional silicone release agent
US5531813A (en) * 1993-12-10 1996-07-02 Xerox Corporation Fusing system with monoamino functional silicone release agent
US5747212A (en) * 1993-12-10 1998-05-05 Kaplan; Samuel Fusing system with amino functional groups in siloxane release agent for use with toners and fusing members reactive with amine groups
CN110879075A (zh) * 2019-11-08 2020-03-13 杭州电子科技大学 一种高分辨率的增量码道检测方法
CN110879075B (zh) * 2019-11-08 2021-06-22 杭州电子科技大学 一种高分辨率的增量码道检测方法

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