JPH03273802A - 磁気浮上搬送車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は磁気浮上搬送車、特にレール吸着時の衝撃を
緩和した磁気浮上搬送車に関する。

〔従来の技術と発明の課題〕

例えば、半導体工場においては非常に高い清浄度が要求
されている。従って、工場内で使用される搬送装置につ
いても摩擦による発塵を防止する必要があり、磁気吸引
力により車体をレールから非接触に支持して搬送する磁
気浮上搬送車等が注目されている。

この磁気浮上搬送車は、ギャップセンサにより車体とレ
ールとのギャップを検出し、このギャップセンサ信号に
基づいて浮上制御回路が浮上用コイルへの供給電流をフ
ィードバック制御して車体とレールとのギャップを所定
間隔に保っている。

ところで、上記磁気浮上搬送車においては、浮上用コイ
ルへの供給電流を大きくして吸引力を増加させ、車体を
レールに吸着させて緊急停止や充電等を行なうのが一般
的である。

ところが、このときの吸着が急激に行われるため、レー
ルに吸着した瞬間に大きな衝撃が発生し、発塵、車体の
故障、積み荷の損傷の原因となっている。

そこで、この発明の課題は、この種の磁気浮上搬送車に
おいて、車体の吸着制御を改良することにより吸着時に
発生する衝撃等を緩和することにある。

（！！Ｉ！！！！を解決するための手段〕上記の課題を
解決するため、この発明は、ギャップセンサ信号に基づ
いて浮上用コイルへの供給電流をフィードバック制御し
、車体とレールとのギャップを所定間隔に保つ浮上制御
回路を備えた磁気浮上搬送車において、１着指令を受け
て作動するギャップ制御信号の出力手段と、このギャッ
プ制御信号を前記浮上制御回路の手前で前記ギャップセ
ンサ信号に加算する加算器を設け、車体吸着時に、前記
ギャップセンサ信号が、設定ギャップよりわずかに大き
なギャップを示す信号として前記浮上制御回路に一定時
間入力されるように前記ギャップ制御信号を出力する構
成にしたのである。

前記ギャップ制御信号の出力手段としては、コンピュー
タを用いてもよいし、ＣＲの時定数回路を用いてもよい
。

さらに、前記車体の前部側浮上コイルと後部側浮上コイ
ルとをそれぞれ個別に制御し、前記後部側浮上コイルの
ギャップ制御信号の出力手段に吸着遅延回路を設けてお
くと、車体の吸着時に前部側浮上コイルの吸着動作に遅
れて後部側浮上コイルが吸着動作に入るため、吸着時の
消費力が少なくてすむので好ましい。

〔作用〕

ギャップが設定値に保持されているような制御状態にお
いて、ギャップ制御信号が加算されて設定値よりわずか
に大きなギャップを示すように変化したギャップセンサ
信号が浮上制御回路に入力されると、この信号に基づい
てフィードバック制御が行われ、実際にはギャップが設
定値に保たれているにもかかわらず浮上制御回路はギャ
ップを小さくしようとする。そして、ギャップが若干小
さくなることにより、ギャップ制御信号が相殺され、浮
上制御回路に入力される加算されたギャップセンサ信号
は再び設定値を示すようになる。この状態において、続
けて設定値よりわずかに大きなギャップを示すギャップ
センサ信号が浮上制御回路に入力されると、同様にして
実際のギャップがさらに小さくなる。これを一定時間継
続すると、ギャップが徐々に小さくなり、最後には車体
がレールに吸着される。

〔実施例〕

以下、実施例について図面を参照して説明する。

第１図は、この磁気浮上搬送車における車体吸着制御の
概略を示すブロック図である０図示のようにギャップセ
ンサ１１から電圧信号として出力されるギャップセンサ
信号は、加算器１２に入力される。なお、このギャップ
センサ１１は、第３図に示すような、出力電圧−ギヤノ
ブ特性を有している。

前記加算器１２ば、第２図に示すように、前記ギャップ
センサ信号の入力端子１２ａの他、外部入力端子１２ｂ
およびギャンプ設定部１２Ｃを有している。その外部入
力端子１２ｂには、コンピュータ２０からＤ／Ａコンバ
ータ２１を介して電圧信号として出力されるギャップ制
御信号が入力されるようになっている。従って、この加
算器１２では、前記ギャップセンサ信号に、ギャップ制
御信号およびギャップ設定電圧が加算され、実際のギャ
ップを検出したギャップセンサ信号を修正して浮上制御
回路１３に入力することができる。

この浮上制御回路１３では、入力されたギャップ制御信
号に基づいてフィードバック制御が行われ、その出力信
号によりパワーアンプ１４の出力を変化させて浮上コイ
ル１５の吸引力を制御する。

以上のような構成において、まず、車体の定常浮上時に
は、前記ギャップ制御信号の入力電圧がＯＶにおいて設
定したギャップに制御されるように前記ギャップ設定部
１２ｃを調整しておく。

そして、車体をレールに吸着させるときは、ギャップ制
御信号の出力電圧をＯｖから徐々に上げていく、この場
合、浮上制御回路１３には、実際のギャップが設定値よ
りわずかに大きくなったかのように修正されたギャップ
センサ信号が入力される。このため、浮上制御回路１３
は、実際のギャップが設定値を保っているにもががねら
ず、その浮上ギャップを小さくするような信号を出力す
る。これによって、実際の浮上ギャップは徐々に小さく
なっていき、最後には車体がレールに吸着される。

従って、吸着状態を保つためには、常に所定のギャップ
制御信号が出力されていなければならない。

また、吸着状態にある車体を浮上させる場合は、出力さ
れているギャップ制御信号を所定電圧がら０■まで徐々
に下げていくことにより、吸着動作の場合と逆に実際の
ギャップを徐々に大きくしていくことができる。浮上さ
せる場合は、吸着の場合のようにレールに接触する訳で
はないので、発展、車体の故障等の点において必ずしも
ゆっくり浮上させる必要はないが、急激な浮上による不
測の事態を防止する点で有効である。

第４図は、他の実施例における車体吸着制御の概略図を
示すブロックである。

この実施例は、ギャップ制御信号の出力手段を前実施例
のコンピュータに替えてＣＲ時定数回路を用いたもので
ある。また、同図に示すように、車体前部の左右の浮上
コイル１５ａ、１５ｂと車体後部の左右の浮上コイル１
５Ｃ１１５ｄに対して個別にＣＲ時定数回路２０ａ、２
０ｂを設け、しかも車体後部の浮上コイル用ＯＣＲ時定
数回路２０ｂの手前には吸着指令の遅延回路２２ｂを設
けである。

前記ＣＲ時定数回路２０ａ、２０ｂは、第５図に実線で
示すような出力電圧特性を有しており、反転回路２１ａ
、２１ｂによって同図にＭ線で示すような特性に変えて
加算器１２に出力するようになっている。

従って、吸着指令が出力されると、車体前部の浮上コイ
ル用のＣＲ時定数回路２０ａには即座にその信号が入力
され、前記特性を有する電圧がギャップ制御信号として
出力される。このギャブ制御信号は、車体前部の左右の
浮上コイル？５ａ、１５ｂ用の加算器１２にそれぞれ入
力され、前実施例の吸着動作に入る。

これに対して、車体後部の浮上コイル用のＣＲ時定数回
路２０ｂには前記遅延回路２２ｂによって若干の時間遅
れが生じた状態で吸着指令が入力され、前記車体前部の
浮上コイル１５ａ、１５ｂと同様に浮上コイル１５ｃ、
１５ｄが咬着動作に入る。

このため、車体自体は、まず、前部がゆっくりと吸着さ
れ、それに続いて後部がゆっくりと吸着される。

このように、車体の前後で吸着動作をずらしておくと、
吸着時における車載のバフテリの消費電力が少なくてす
み、同一容量のバッテリではその使用時間が延びる。

〔効果〕

以上のように、この発明は、ギャップセンサ信号をギャ
ップ制御信号により修正し、あたかも設定されたギャッ
プかられずかにずれているかのような情報を一定時間強
制的に与えることにより、浮上制御回路が行うフィード
バック制御を利用して吸着方向に徐々にギヤツブを変化
させるようにしたため、吸着した瞬間に大きな衝撃が発
生することがなく、発塵、車体の故障、積み荷の破損等
も防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係る一実施例を示す車体浮上制御
の概略ブロック図、第２図はその中の加算器の回路図、
第３図はギャップセンサの出力特性図、第４図は他の実
施例を示す車体の浮上制御の概略ブロック図、第５図は
ＣＲ時定数回路の出力特性図である。 １１・・・・・・ギヤンブセンサ、 １２・・・・・・加算器、 １２ａ・・・・・・ギャップセンサ入力端子、１２ｂ・
・・・・・外部入力端子、 １２Ｃ・・・・・・ギャップ設定部、 １３・・・・・・浮上制御回路、 １４・・・・・・パワーアンプ、 １５．１５ａ、１５ｂ、１５Ｃ１１５ｄ　・−・−・・
浮上コイル、 ２０・・・・・・コンピュータ、 ２０ａ、２０ｂ・・・・・・ＣＲ時定数回路、２１・・
・・・・Ｄ／Ａコンバータ、 ２１ａ、２１ｂ・・・・・・反転回路、２２ｂ・・・・
・・遅延回路。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）ギャップセンサ信号に基づいて浮上用コイルへの
   供給電流をフィードバック制御し、車体とレールとのギ
   ャップを所定間隔に保つ浮上制御回路を備えた磁気浮上
   搬送車において、吸着指令を受けて作動するギャップ制
   御信号の出力手段と、このギャップ制御信号を前記浮上
   制御回路の手前で前記ギャップセンサ信号に加算する加
   算器を設け、車体の吸着時に、前記ギャップセンサ信号
   が、設定ギャップよりわずかに大きなギャップを示す信
   号として前記浮上制御回路に一定時間入力されるように
   前記ギャップ制御信号を出力することを特徴とする磁気
   浮上搬送車。
2. （２）前記ギャップ制御信号の出力手段としてコンピュ
   ータを用いた請求項（１）記載の磁気浮上搬送車。
3. （３）前記ギャップ制御信号の出力手段としてＣＲの時
   定数回路を用いた請求項（１）記載の磁気浮上搬送車。
4. （４）前記車体の前部側浮上コイルと後部側浮上コイル
   とをそれぞれ個別に制御し、前記後部側浮上コイルのギ
   ャップ制御信号の出力手段に吸着指令の遅延回路を設け
   た請求項（１）乃至（３）のいずれかに記載の磁気浮上
   搬送車。