JPH0327044A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

感光性樹脂組成物

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JPH0327044A
JPH0327044A JP16177589A JP16177589A JPH0327044A JP H0327044 A JPH0327044 A JP H0327044A JP 16177589 A JP16177589 A JP 16177589A JP 16177589 A JP16177589 A JP 16177589A JP H0327044 A JPH0327044 A JP H0327044A
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JP
Japan
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epoxy
parts
acid
acrylate
examples
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JP16177589A
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English (en)
Inventor
Norimoto Moriwaki
森脇 紀元
Shigeru Kubota
繁 久保田
Chuichi Miyazaki
忠一 宮崎
Satoshi Kuriyama
智 栗山
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Mitsubishi Electric Corp
Sanyo Chemical Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Sanyo Chemical Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、感光性樹脂組成物に関する。
〔従来の技術] 従来、プリント配線板製造用感光性樹脂組成物としては
、ノボラック型エボキシ化合物と不飽和モノカルポン酸
との反応物と、飽和または不飽和多塩基酸無水物とを反
応せしめて得られる活性エネルギー線硬化性樹脂の感光
性樹脂組成物が知られている(特開昭8 1−2438
139号公報)。
[発明が解決しようとする課題コ しかしながら、従来の感光性樹脂組成物は、水溶性フラ
ックスに対する耐性が低いなどの課題がある。
[課題を解決するための手段] 本発明者らは、上記課題の改善された感光性樹脂組成物
を得るべく鋭意検討した結果、本発明に到達した。
すなわち、本発明は (A)ポリエボキシ化合物に非対称ジアルキルヒドラジ
ンとエステル化合物と不飽 和カルポン酸及び必要によりアミン化 合物を反応してなる、分子中にアミン イミド基と不飽和カルボン酸エステル 基を各!個以上有するエポキシ変性樹脂(B)光重合開
始剤 (C)希釈剤 (D)顔料 を含んでなる水溶液現像可能な光及び/または熱硬化性
p感光性樹脂組成物である。
エボキシ変性樹脂(A)で使用されるポリエボキシ化合
物は分子中にエポキシ基を2個以上含むものなら特に制
限されず通常のもの、例えば「新エボキシ樹脂」 [垣
内弘著、(株)昭晃堂、昭和60年5月!0日発行] 
Is〜97頁、「基礎合成樹脂の化学(新版)」[三羽
忠広著、技報堂、昭和50年発行]371〜392頁,
  rエボキシレジンズ」[マグローヒル●コンバ二一
社l957年発行]6〜23頁に記載のものが使用でき
、具体的には下記のものが挙げられる。
(1)フェノールエーテル系エポキシ樹脂[ビスフェノ
ール類とエビクロルヒドリンとの縮合物、フェノール又
はクレゾールノボラック樹脂とエビクロルヒドリンとの
縮合物などコ:(2)エーテル系エポキシ樹脂〔ボリオ
ール、ポリエーテルポリオールナトトエビクロルヒドリ
ンとの縮合物など]=(3)エステル系エボキシ樹脂[
グリシジル(メタ)アクリレートとエチレン性不飽和単
量体(アクリロニトリルなど)との共重合体など]:(
4)グリシジルアミン系エポキシ樹脂[アミン類とエビ
クロルヒドリンとの縮合物などコ:(5)非グリシジル
型エポキシ樹脂[環状エポキシ樹脂、エポキシ化ポリブ
タジエン、エポキシ化大豆油などコ:及びこれらの2種
以上の混合物が挙げられる。これらのうち好ましいもの
は(1)である。
エポキシ変性樹脂(A)で使用される非対称ジアルキル
ヒドラジン、すなわちNJ−ジアルキルヒドラジンにお
いて、アルキル基としては同一または異なるCI”Cl
h 好ましくは、C1〜Csの直鎖または分岐のアルキ
ル基が挙げられる。その具体例としては非対称のジメチ
ルヒドラジン,ジエチルヒドラジン,ジインプロビルヒ
ドラジン,ジーnーブチルヒドラジン,ジオクチルヒド
ラジンなどが挙げられる。これらのうち好ましいのはジ
メチルヒドラジンである。
エボキシ変性樹脂(A)で使用されるエステル化合物と
しては下記のものがあげられる。例えば飽和脂肪族エス
テル(蟻酸メチル、蟻酸エチル、酢酸メチル、酢酸エチ
ル、酢酸プロビル、酢酸ブチル、酢酸ヘキシル、酢酸セ
ロソルフ等): α一ヒドロキシカルボン酸エステル(
乳酸メチル、乳酸エチル、マンデル酸メチル等);(メ
タ)アクリル酸エステル[ (メタ)アクリル酸メチル
、 (メタ)アクリル酸エチル、 (メタ)アクリル酸
n一ブチル、 (メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル
、(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル、 (メタ)ア
クリル酸ヒドロキシプロビル、 (メタ)アクリル酸ヒ
ドロキシヘキシル];芳香族エステル(安息香酸メチル
、安息香酸エチル、サリチル酸メチル、サリチル酸エチ
ル、桂皮酸エチル等);ポリカルボン酸エステル(マレ
イン酸ジメチノレ、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジメ
チル、イタコン酸ジメチル、アジビン酸ジメチル、ブテ
ントリカルボン酸トリメチル、ブテンテトラカルボン酸
テトラメチル等); ラクトン(β−プロビオラクトン
、ジメチルプロピオラクトン、プチロラクトン、γ一バ
レロラクトン、γ一カブロラクトン、クロトラクトン、
δ−バレロラクトン、δ一カブロラクトン、クマリン等
)等が挙げられる。これらのうち好ましいのは、 (メ
タ)アクリル酸エステル、α−ヒドロキシカルポン酸エ
ステル及び芳香族エステルであり、とくに好ましいのは
、メタクリル酸メチル、アクリル酸メチル、乳酸エチル
及び桂皮酸エチルである。
エポキシ変性樹脂(A)で使用される不飽和カルポン酸
としては炭素数3〜22の脂肪族不飽和モノカルポン酸
、不飽和ポリカルボン酸、芳香族不飽和カルボン酸など
が挙げられる。脂肪族不飽和モノカルボン酸としては、
α,β一不飽和モノカルボン酸がありその例として、 
(メタ)アクリル酸、クロトン酸の他炭素数4〜22の
オレフィンのカルボン酸が挙げられる。α,β一不飽和
ジカルポン酸としてはイタコン酸、フマール酸、マレイ
ン酸、無水マレイン酸などが挙げられる。芳香族不飽和
カルボン酸としては桂皮酸などが挙げられる。これらの
うちで好ましいものは脂肪族不飽和モノカルボン酸及び
芳香族不飽和カルボン酸であり、とくに好ましいのは(
メタ)アクリル酸である。
エポキシ変性樹脂(A)で必要により使用されるアミン
化合物としては、以下のものが挙げられる。例えば、ア
ルカノールアミン(モノエタノーノレアミン、ジエタノ
ーノレアミン、トリエタノーノレアミン、モノイソプロ
パノールアミン、ジイソプロバノールアミン、 トリイ
ソプロバノールアミン等):ケトイミン(例えばジエチ
レントリアミンをメチルエチルケトンでブロックしたも
のなど);脂肪族第一アミン(メチルアミン、エチルア
ミン、プロビノレアミン、インプロピノレアミン、プチ
ルアミン、アミノレアミン、ヘキシノレアミン、ヘブチ
ルアミン等);脂肪族第ニアミン(ジメチルアミン、ジ
エチルアミン、ジプロビルアミン、ジイソプロビノレア
ミン、ジブチルアミン、ジアミルアミン等);脂肪族第
三アミン(トリメチルアミン、トリエチルアミン、 ト
リプリビルアミン、 トリブチルアミン、トリアミルア
ミン等);脂肪族不飽和アミン(アリルアミン、ジアリ
ルアミン等);脂環式アミン(シクロプロビルアミン、
シクロブチルアミン、シクロペンチルアミン、シクロヘ
キシルアミン等);芳香族アミン(アニリン、メチルア
ニリン、ジメチルアニリン、エチルアニリン、ジエチル
アニリン、オルトトルイジン、メタトルイジン、バラト
ルイジン、ペンジルアミン、ジベンジルアミン、ジフェ
ニルアミン、トリフェニルアミン、α−ナフチルアミン
、β−ナフチルアミン等);ポリアミン化合物、例えば
脂肪族ジアミン(エチレンジアミン、トリメチレンジア
ミン、テトラメチレンジアミン、ペンタメチレンジアミ
ン、ヘキサメチレンジアミン、l,7−ジアミノへブタ
ン、!,8−ジアミノオクタン、!,9−ジアミノノナ
ン、1.10−ジアミノデカン);芳香族ジアミン(0
−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、p−
フェニレンジアミン);トリアミン(1,2.3− ト
リアミノプロパン)などである。またアミノ基含有シラ
ンカップリング剤として例えばアミノアルキノレトリア
ノレコキシシラン(γ−アミノブロビルトリメトキシシ
ラン、γ−7ミノプロビルトリエトキシシラン、アミノ
メチルトリエトキシシランなど);N−(アミノアルキ
ル)アミノアルキルトリアルコキシシラン(N−(β−
アミノエチル)アミノメチルトリメトキシシラン、N−
(β−アミノエチル)アミノメチルトリエトキシシラン
、訃(β−アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメト
キシシランなど〕;アミノアルキルアルキルジアルコキ
シシラン (アミノメチルメチルジエトキシシラン、γ
−アミノプロビルメチルジエトキシシランなど);N−
(アミノアルキル)アミノアルキルアルキルジアルコキ
シシラン(N−(β−アミノエチル)一γ−アミノプロ
ビルメチルジメトキシシランなど〕など;およびアミノ
基含有シランカップリング剤と加水分解性シリル基を含
有する化合物の部分加水分解物、たとえば上記アミノ基
含有シランカップリング剤と加水分解性シリル基を含有
する化合物(エチルシリケート、メチルトリメトキシシ
ラン、メチルトリエトキシシラン、テトラメトキシシラ
ン、テトラエトキシシランなど)と水及び必要であれば
酸性またはアルカリ性触媒を加え、部分加水分解ナるこ
とにより得られる反応物などもあげられる。これらのう
ち好ましいものは、アルカノールアミンであり、とくに
好ましくはモノエタノールアミン及びジエタノールアミ
ンでアル。
エポキシ変性樹脂(A)は次の(I)、(II)の反応
と必要により(III)の反応を行なうことにより得ら
れる。すなわち、ポリエポキシ化合物またはエポキシ変
性樹脂と非対称ジアルキルヒドラジンとエステル化合物
の反応(■)、ポリエボキシ化合物またはエポキシ変性
樹脂と不飽和カルボン酸との反応(n)及びポリエポキ
シ化合物またはエポキシ変性樹脂とアミン化合物との反
応(III)である。
この反応の方法には次の様なものがある。通常順を追っ
て、(I) − (II)または(II) − (I)
である。必要により(m)の反応を行なう場合の順序と
しては(I)−(n)一(m)、 (I)−(I[I)
− (n)、 (II)− (I)− (!II)、 
(If)− (III) − (I)、 (III) 
− (I) −(If)、 (II!) −(n) −
 (I)のように反応を行うか、 (I)と(II[)
を同時に行ったのちに(II)を行ってもよいし、また
は先に(n)を行ったのちに(I)と(III)を行っ
てもよい。好ましくは、(工)一(III) − (n
)または(III) − (I) −(II)の順番に
行うか、 (工)と(■)を同時に行った後(n)を行
うのがよい。また(I)の反応を行う時は3者を同時に
反応させてもよいし、ポリエポキシ化合物と非対称ジア
ルキルヒドラジンを反応させてからエステル化合物を反
応させてもよい。
好ましくは、3者を同時に反応するのがよい。
これらの反応の一例を挙げると式(1)、 (2)の様
なものである。
n−R●一00011 ここでks  p.,rfh  nは、1以上の整数で
あり、これらの間にはki= (p+m+n)の関係が
ある。
また式(2)において!)/kは、通常0.1〜0.7
、好ましくは0.1−0.4である。n/kは通常0.
1〜0.95、好ましくは0.3〜OJである。m/k
は通常O〜0.3、好ましくは0.05〜0.2である
ここでXはポリエポキシ化合物の残基、R’NRtは非
対称ジアルキルヒドラジンのアルキル基、R3はエステ
ル化合物の酸成分残基N  R4はエステル化合物のア
ルコール残基、R”,  R●l  R’はアミン化合
物のNを除いた残基、R●は不飽和カルボン酸の残基で
ある。
非対称ジアルキルヒドラジンの使用量は、ポリエボキシ
化合物中のエボキシ基の1モル当り通常0.1−0.7
モル、好ましくは0.1−0.4モルである。
非対称ジアルキルヒドラジンが0.1モルより少ないと
きは、親水性が低くなり、0.7モルより多いときは耐
水性が低くなる。
エステル化合物の使用量は、非対称ジアルキルヒドラジ
ンの1モル当り、通常0.9〜3モル、好ましくは、O
』5〜1.5モルである。過剰分は希釈剤として系内に
残してもよいし、蒸留等の方法で除去してもよい。エス
テル化合物が0.9モルより少ないときはアミンイミド
基の熱分解性が低くなる。
不飽和カルボン酸の使用量は、ポリエポキシ化合物中の
エポキシ基の1モル当り通常 0.1〜3モル、好まし
くは0.3〜2モルである。過剰分は希釈剤として系内
に残してもよいし、蒸留等の方法で除去してもよい。不
飽和カルポン酸が0.1モルより少ないときは、光硬化
性が低くなる。
アミン化合物の使用量は、ポリエポキシ化合物中のエポ
キシ基の1モル当り、通常0〜0.3モル、好ましくは
、0.05〜0.2モルである。アミン化合物が0.3
モルより多いときは、光硬化性が低くなる。
反応温度はCI)については、通常0〜120℃、好ま
しくは、20〜80℃である。 (n)については、通
常O〜iso℃、好ましくは80〜120℃である。 
(III)については通常0−100℃、好ましくは2
0〜80”Cである。
反応時間は、 (工)については通常30分〜30時間
、好ましくは、1〜5時間である。 (n)については
通常!〜10時間、好ましくは2〜5時間である.(I
II)については通常30分〜5時間、好ましくはI〜
3時間である。
圧力は、(I)、(II)、 (DI)すべてにおいて
、通常0.01〜5kg/c/、好ましくは、0.95
〜1.05kg/c一である。
反応は,  (I),  (II)、 (III)それ
ぞれ共通又は別種の溶剤の存在下に行われる。溶剤とし
ては原料を溶解し反応を阻害しなければとくに限定され
ず、例えば脂肪族アルコール(メチルアルコール、エチ
ルアルコール、 i−プロビルアルコール、n−プロビ
ルアルコール、n−ブチルアルコール、tert−ブチ
ルアルコール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、
メチルカービトール、エチルカービトール等);芳香族
アルコール(ベンジルアルコール等);ケトン(アセト
ン、メチルエチルケトン、ジエチノレケトン等); エ
ーテノレ(エチノレエーテル、エチレングリコールジメ
チノレエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、ア
ニソール等):芳香族炭化水素(ベンゼン、トルエン、
キシレン等):アミド(ジメチルホルムアミド、N, 
 N−ジメチルアセトアミド、N−メチルビロリドン等
); ニトリル(アセトニトリル、プロビオニトリル等
)等及びこれらの二種以上の混合物があげられる。好ま
しくは、脂肪族アルコール及び芳香族アルコールであり
、特に好ましくはメチルアルコール、i−プロビルアル
コール、メチルセロソルブ、メチルカービトール及びベ
ンジルアルコールである。
溶剤の使用量は、ポリエポキシ化合物またはエボキシ変
性樹脂の重量に基づいて通常10%〜5 0 0%,好
ましくは、50X〜300%である。
また(II)の反応は、必要により触媒の存在下に行わ
れる。触媒としては、例えばトリフェニルフォスフィン
、4級アンモニウム塩(テトラメチルアンモニウムクロ
ライド、べ冫ジルトリメチルアンモニウムクロライド、
ペンジルトリエチルアンモニウムクロライド、ペンジル
トリブチルアンモニウムクロライド、テトラブチルアン
モニウムブロマイド、テトラプチルアンモニウムハイド
ロゲンサルフェイト、トリオクチルアンモニウムクロラ
イド、N−ラウリルピリジニウムクロライド、N一ラウ
リル−4一ピクリニウムクロライド、N−ラウリルビコ
リニウムクロライド、N−ペンジルピコリニウムクロラ
イド等);第3級アミン化合物(トリメチルアミン、 
トリエチルアミン、 トリプロビルアミン、 トリブチ
ルアミン、ペンジルジメチノレアミン、ピリジン等);
 イミダゾール化合物(2一メチル−4−エチルイミダ
ゾール、2−メチルイミダゾール等)があげられる。好
ましくは、塩化ベンジルトリメチルアンモニウム、トリ
フェニルフtスフィン及びトリエチルアミンである。
(I)、(III)の反応は、通常撹拌下に、必要によ
り不活性気体(窒素等)雰囲気下で行われる。
(II)の反応は、通常攪拌下に、必要により空気等の
ラジカル重合禁止効果のある気体の存在下でおこなわれ
る。
エポキシ変性樹脂(A)は、分子中にアミンイミド基と
不飽和カルボン酸エステル基を各1個以上有し、必要に
よりアミノ基を有する。ここでアミンイミド基とは − N” − N− − GO− J であり、アミノ基には、−1fH2、− NH−、−1
=という基が含まれる。
エポキシ変性樹脂(A)の分子量は、通常280〜30
0,000,  好ましくは、500 〜too,oo
oテある。
本発明で使用される光重合開始剤(B)としてはペンゾ
イン、ベンゾインのアルキルエーテル類(ベゾインメチ
ノレエーテ)レ、ペンゾインイソプロビルエーテル等)
;アセトフェノン類(アセトフェノン、2,2−ジメト
キシ−2−フェニルアセトフェノン、2.2−ジエトキ
シ−2−フェニルアセトフェノン、1,■−ジクロロア
セトフェノン等): アントラキノン類(2−メチルア
ントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−ターシ
ャリーブチルアントラキノン、!−クロロアントラキノ
ン、2−アミルアントラキノン等);チオキサントン類
(2.4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジェチル
チオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−
ジインプロビルチオキサントン等);ケタール類(アセ
トフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケター
ル等);ベンゾフェノン類;キサントン類等が挙げられ
る。これらは安息香酸系又は第三級アミン系等の光重合
促進剤のINあるいは2m以上と組み合わせて用いるこ
とも可能であり、またこれらのうちの2種以上を混合使
用することも可能である。これらのうち好ましくはベン
ゾインのアルキルエーテル類、チオキサントン類であり
、特に好ましくはベンゾインのアルキルエーテル類であ
る。
光重合開始剤(B)の使用量は、光重合開始剤(B)/
エポキシ変性樹脂(A)の重量比で通常0.5/100
〜10/Zoo,  好ましくは1/100〜5/10
0である。
本発明で使用される希釈剤(C)としては、通常の光重
合性オリゴマー 光重合性モノマー エポキシ化合物、
有機溶剤などが挙げられる。
光重合性オリゴマーとしては通常の例えば、エポキシ系
オリゴマー(ビスフェノールA−ジグリシジルジ(メタ
)アクリレート、クレゾールノボラックグリシジル(メ
タ)アクリレート等)、エステル系オリゴマー ボリエ
ーテル系オリゴマーポリエステル系又は不飽和ポリエス
テル系オリゴマー ウレタン系オリゴマー ポリアセタ
ール系オリゴマー ボリブタジエン系オリゴマー等が挙
げられる。これらのうち好ましくは、エポキシ系オリゴ
マーである。
光重合性モノマーとしては、水溶性モノマー(2−ヒド
ロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプ
ロビル(メタ)アクリレート、パービニルビロリドン、
アクリロイルモルフォリン、メトキシテトラエチレング
リコール(メタ)アクリレート、メトキシポリエチレン
グリフール(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート、N,N−ジメチル(メタ
)アクリレート、N−メチロールアクリルアミド、N,
N−ジメチルアミノプロビルアクリルアミド、It,P
+−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレー}、N,
N−ジメチルアミノプロビル(メタ)アクリレート:非
水溶性モノマー(ジエチレングリコールジアクリレート
、 トリエチレング.リコーノレジアクリレート、プロ
ピレングリコールジアクリレート、ジプロピレングリコ
ールジアクリレート、トリブロビレングリコーノレジア
クリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート
、フェノキシエチルアクリレート、テトラヒドロフルフ
リルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、 ト
リメチロールプロパンジアクリレート、トリメチロール
プロパントリアクリレート、グリセリンジグリシジルエ
ーテノレジアクリレート、グリセリントリグリシジルエ
ーテルトリアクリレート、ぺ冫タエリスリトールテトラ
アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート
、ジベンタエリスリトールペンタアクリレート、ジベン
タエリスリトールへキサアクリレート、又は上記アクリ
レートに対応する各メタクリレート等)や、多塩基酸と
のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートとのモノー
 ジートリー又はそれ以上のポリエステル等が挙げられ
る。これらのうち好ましくは水溶性モノマーであり、特
に好ましくは2−ヒドロキシ(メタ)アクリレート、ア
クリロイルモルフオリンなどである。
エボキシ化合物としてはエボキシ変性樹脂(A)と相溶
するものなら特に限定されず、次のようなものが挙げら
れる。単官能エボキシ化合物としては、アリルグリシジ
ルエーテル、フェニルグリシジルエーテル等のグリシジ
ルエーテル類、アクリル酸グリシジルエステル、メタク
リル酸グリシジルエステル等のグリシジルエステル類、
その他としてグリシジルフタルイミド等が挙げられ、多
官能エポキシ化合物としては、エチレングリコールジグ
リシジノレエーテノレ、プロピレングリコールジグリシ
ジルエーテル、1.6−ヘキサンジオールジグリシジル
エーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテ
ル,アジピン酸ジグリシジルエステル、ビスフェノール
Aのジグリシジルエーテル、フェノールノボラックのポ
リグリシジルエーテル、オルトクレゾールノボラックの
ポリグリシジルエーテル、アルキルベンゼン変性フェノ
ールノポラックのポリグリシジルエーテル、レゾルシン
のジグリシジルエーテル、パラアミノフェノールのトリ
グリシジルエーテル等のフェノール系ポリグリシジルエ
ーテル類、その他ブタジエンジエポキサイド、3t 4
−エポキシシクロヘキシルメチル−(3.4−エポキシ
)シクロヘキサンカルボキシレート、4.4’−ジ(1
,2−エポキシエチル)ジフェニルエーテル、4.  
4’ − (1.2−エポキシエチル)ビフェニル、2
,2−ビス(3.4−エポキシシクロヘキシル)プロパ
ン、フロログリシンのジグリシジルエーテル、メチルフ
ロログリシンのジグリシジルエーテル、ビスー(2.3
−エポキシシクロベンチル)エーテル、2−(3.4−
エボキシ)シクロヘキサン−5,5−スビロ(3.4−
エポキシ)一シクロヘキサン−一一ジオキサン、ビスー
(3.4エボキシ−〇一メチルシクロヘキシル)アジペ
ート、N.N’m−フェニレンビス(4. 5−エポキ
シ−1.  2シクロヘキサン)ジカルボキシイミドな
どの2官能エポキシ化合物類、1,  3.  5−}
り(1,2−エポキシエチル)ベンゼン、グリセリンの
トリグリシジルエーテル、 トリメチロールプロパンの
トリグリシジルエーテル等の3官能エポキシ化合物が挙
げらる。
溶剤としては本発明のエボキシ変性樹脂(A)及び他の
成分と相溶するものなら特に限定されないが、アミンイ
ミド基やエポキシ基が極性である為に極性溶剤が好まし
い。溶剤としては例えばアルコール(メタノール、エタ
ノール、i−プロバノール、第3ブタノール等)、セロ
ソルブ(メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プチル
セロソルブ等)、カービトール(メチルカービトール、
エチルカーピトール等)、ケトン(アセトン、メチルエ
チルケトン等)、エステル(酢酸エチル、酢酸ブチル等
)、ニトリル(アセトニトリル等)が挙げられる。これ
らは単独または混合併用することができる。
上記の光重合性オリゴマー 光重合性モノマーエポキシ
化合物及び溶剤中の化合物は、それぞれ単独または混合
併用することも可能である。またこれら411の希釈剤
についても単独または混合併用することも可能である。
各成分のエボキシ変性樹脂(A)に対する重量比は、光
重合性オリゴマー モノマーはトモに、通常1/100
〜50/Zoo,  好ましくは5/100〜30/1
00である。エポキシ化合物は、通常1/100〜10
0/log、好ましくは5/Zoo〜50/100であ
る。溶剤は、通常1/100〜40/100、好ましく
は10/100〜30/100である。
本発明で使用される顔料(D)としては通常の体質顔料
:炭酸カルシウム、マイカ、カオリン、タルク、ケイ酸
アルミ、硫酸バリウム、微粉末シリカ、クレーなど、着
色用顔料; フタロシアニンプルー フタロシアニング
リーン、酸化チタン、カーボンブラックなど挙げられ、
これらを単独または混合して用いることができる。。こ
れらのうち好ましくは硫酸バリウム、タルク、微粉末シ
リカ、フタロシア二ングリーンであり、特に好ましくは
タルク、微粉末シリカ、フタロシアニングリーンである
各顔料成分のエボキシ変性樹脂(A)に対する重量比は
、体質顔料の場合通常 0.5/100〜50/100
.  好ましくは1/100〜40/100である。着
色用顔料は通常0.1/100〜5/1001 好まし
くは0.5/100〜3/100である。
本発明の感光性樹脂組成物は、゛上記の(A)〜(D)
の組成からなるが、必要により下記のものを添加しても
よい。それらは通常の増感剤、熱重合禁止剤、密着性向
上剤、エボキシ硬化剤、化学めっき抑制剤、レベリング
剤、消泡剤などであり、これらを単独または混合併用し
てもよい。
増感剤としては例えば、アミン類(脂肪族アミン、芳香
族アミン、複素環系アミン等)、尿素類(アリル系、チ
オ尿素系等)、イオウ化合物(ナトリウムジエチルジチ
オホスフェート、芳香族スルフィン酸の可溶性塩等)、
ニトリル(L  N−ジ置換一p−アミノベンゾニトリ
ル系化合物等)、リン化合物(トリーn−プチルホスフ
ィン、ナトリウムジエチルジチオホスフェート等)、そ
の他の化合物(N−ニトロソヒドロキシルアミン誘導体
、オキサゾリン化合物、テトラヒド口−1.3−オキサ
ジン化合物、ミヒラーケトン等)が挙げられる。
熱重合禁止剤としては例えば、ハイドロキノン、ハイド
ロキノンモノメチルエーテル、ビロガロール、ターシャ
リープチルカテコール、フェノチアジン等が挙げられる
密着性向上剤としては、例えばべ冫ゾトリアゾール等が
挙げられる。
エボキシ硬化剤としては通常のトリフェニルホスフィン
、亜リン酸トリフェニル等のリン系化合物類、2−メチ
ルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−ウン
デシルイミダゾール、2ーヘプタデシルイミダゾール、
2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール
類、2−(ジメチルアミノメチル)フェノール、2, 
 4,  6,一トリス(ジメチルアミノメチル)フェ
ノール、ベンジルジメチルアミン、α−メチノレベンジ
ノレメチルアミン等の第3級アミン類、1,8−ジアザ
ビシクロ(5,  4.  0)ウンデセン−7等の有
機酸塩類、無水メチルハイミック酸、・無水フタル酸、
無水マレイン酸、ポリアゼライン酸無水物、ポリセバミ
ック酸無水物、ドデセニル無水コハク酸等の酸無水物が
挙げられる。
化学めっき抑制剤としては通常のトリアゾール、べ冫ゾ
トリアゾーノレ、アジミドトルエン、チオ尿素、メルカ
プトベンゾチアゾールなどが挙げられる。
レベリング剤としては通常のもの、例えばモンサンド社
製モダフロー等が使用できる。
消泡剤としては通常のシリコーンオイル系消泡剤が挙げ
られる。
本発明の感光性樹脂組成物は種々のプリント配線板用銅
張り積層板、アルミ板等の金属板及び銅箔のないプラス
ティック板(紙基材フェノール樹脂積層板、ガラス布基
材ポリエステル樹脂積層板、ガラス布基材エポキシ樹脂
積層板、ポリサルフォン樹脂積層板、ポリエーテルサル
フォン樹脂積層板、ポリエーテルイミド樹脂積層板、ガ
ラス布基材テフロン樹脂積層板、ポリイミト樹脂積層板
等)に適用可能である。
塗布量としては通常0 .2g/m” +00g/m”
、好ましくは0.5g/m2〜70g/m2である。
適用方法としては、スクリーン印刷機、ロールコーター
 カーテンコーターなどで塗布する方法、刷毛、ヘラ等
で塗る方法、及び浸漬する方法が挙げられる。
現像液としては通常の工業用水、上水、イオン交換水、
通常の界面活性剤の水溶液、無機酸、有機酸の水溶液、
アルコール系有機溶剤及びその水溶液が挙げられ、これ
らは単独または併用してもよい。
界面活性剤としては通常のカチオン系界面活性剤、アエ
オン系界面活性剤、非イオン系界面活性剤、例えば、ポ
リエチレングリコール型(高級アルコールエチレンオキ
サイド付加物、アルキルフェノールエチレンオキサイド
付加物、アリールフェノールエチレンオキサイド付加物
、脂肪酸エチレンオキサイド付加物、多価アルコール脂
肪酸エステルエチレンオキサイト゜付加物、高級アルコ
ールアルキルアミンエチレンオキサイド付加物、1]W
ff[アミドエチレンオキサイド付加物、油脂のエチレ
ンオキサイド付加物、ポリプロピレングリコールエチレ
ンオキサイド付加物など)多価アルコール型(クリセロ
ールの脂肪酸エステル、ペンタエリスリトールの脂肪酸
エステル、ソルビトール及びソルビタンの脂肪酸エステ
ル、シ1糖の脂肪酸エステル、多価アルコールのアルキ
ルエーテル、アルカノールアミン類の脂肪酸アミドなど
)が挙げられる。これらのうち好ましくはアルキルフェ
ノールエチレンオキサイド付加物、アリールフェノール
エチレンオキサイド付加物である。
無機酸としてはほう酸、燐酸、塩酸、硫酸等、脊機酸と
しては酢酸、蟻酸、酒石酸、し}lロキν酢酸等が挙げ
られる。
アルコール系有機溶剤としては、脂肪族アルコールとし
てメタノール、エタノール、n−プロパノール、1−プ
ロパノール、n−ブタノール等)、セロソルブとしてメ
チルセロソルブ、エチルセロンルブ、プチルセロソルブ
等、カービトールとしてメチルカービトール、エチルカ
ービトール等が挙げられる。
界面活性剤は通常0.Ol〜2 v t%1  好まし
くは0.05〜lvt%の濃度で使用される。
無機酸、有機酸は通常0.1〜10vt%、好ましくは
0.5〜5vt%の濃度で使用される。
アルコール系有機溶剤は通常lG〜1 0 0 v t
%,  好ましくは20〜50vt%の濃度で使用され
る。
現像方法としてはシャワー スプレー 浸漬等の方法が
挙げられる。これらのうち好ましくは、スプレーである
硬化方法は、通常光照射による方法及び熱硬化による方
法が使用できるが、それぞれ単独の硬化方法でもよいし
、両者を併用してもよい。好ましくは光照射により硬化
したのちに熱硬化する、二方法の併用がよい。
光による硬化には、次ぎのような照射光源が適当である
。例えば、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高
圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハロゲンランプ、電
子線照射装置、X線照射装置、レーザー(アルゴンレー
ザー 色素レーザー窒素レーザー ヘリウムカドミウム
レーザー等)等がある。これらのうち、好ましくは高圧
水銀灯及び超高圧水銀灯である。
加熱装置としては、通常の循風乾燥器、電気炉、ガス炉
、遠赤外炉等が使用できる。
加熱硬化温度は通常120℃以上、好ましくは135゜
C〜200℃またはそれ以上である。硬化時間は、10
分〜120分、好ましくは20分〜60分である。
〔実施例〕
以下、実施例により本発明を更に説明するが、本発明は
これに限定されるものではない。以下において部はそれ
ぞれ重量部を示す。
実施例1 還流器、滴下ロート及び攪拌装置を備えた4ロコルベン
にエボキシ当jl202のクレゾールノボラックエボキ
シ樹脂(住友化学工業(株)製 スミーエボキシ ES
CN−195)100g及びプチルセロンルブ 20g
  を入れて約50℃で溶解した。均一になったところ
で、モノエタノールアミン0.9gを加え70℃で3時
間反応した。
終点は、ガスクロマトグラフィー(以下GCと略記)に
よるモノエタノールアミンのピークの消失によって確認
した。次に、メチルメタクリレート19.8gを加えて
均一になるまで攪拌したのち、非対称ジメチルヒドラジ
ン 11.9g  を50℃以下で1時間かけて滴下し
て、さらに約80℃で3時間反応させた。反応は、GC
で追跡し、原料ピークの消失を確認したのち生成物のI
Rスペクトルによりアミンイミド基が生成(1500c
m一言〜IE350cm−’に現れるGO−N−の吸収
)していることを確認した。ここにアクリル酸14.3
gとトリフェニノレフォスフィン0.79gt加,tた
。これを100℃で5時間反応させたところ系内の酸価
は、ほぼOとなった。これによって得たエポキシ変性樹
脂を(A−1)と略記する。
次に下記の配合成分(a)を三本ロールミルにより混練
して感光性樹脂組成物をIi製した。
配合成分(a) (A−1)                    
  100gベンジルジメチルケタール       
 3部(Ciba−Geig’7製1 rgacure
  Ili51)ビスコート540         
    20部(大阪有機化学工業(株)製 ビスフェノールA型エポキシアクリレート)トリメチロ
ールプロパン トリアクリレート       10部硫酸バリウム 
            30部アエロジル200  
          1部(日本アエロジル工業製微粉
末シリカ)フタロシアニングリーン         
1部モダフロ−               1部(
モンサント社製レベリング剤) 次にこの感光性樹脂組成物を銅箔35μmのガラスエポ
キシ基材の銅張積層板およびこれを予めエッチングして
パターンを形成しておいたプリント配線板の全面にスク
リーン印刷法(150メッシュ;テトロン)により塗布
した。これを循風乾量器で70℃、30分間乾燥して得
たもののテストビースNo.  をそれぞれ1 − F
,  1 − Pと略記する。
実施例2 配合成分(a) (A−1) 100部 ペンゾインインプロビルエーテノレ 3部 XP−4200 (日本合成化学工業(株)製 ウレタンアクリレート) ネオペンチルグリコールジアクリレート炭酸カルシウム アエロジル200 1−ベンジル−2−メチルイミダゾールフタロシアニン
グリーン モダフロ− 配合成分(b) エピコート828 (油化シェルエポキシ(株)製 ビスフェノールA型エポキシ化合物) グリセリンジグリシジルエーテル 25部 16部 35部 1部 3部 1部 1部 7部 5部 配合成分(a)を実施例lと同様にインキ化したのち、
配合成分(b)と混合して感光性樹脂組成物を得た。こ
れをさらに実施例1と同様にテストビースN o.  
2 − F,  2 − Pを作製した。
実施例3 配合成分(a) (A−1)             100部ダロキ
ュア1173           3部(メルク社製
光重合開始剤) V−90               20部(昭和
高分子(株)製 ビスフェノールS型エポキシアクリレート)ジエチレン
グリコールジアクリレート  10部ヒドロキシエチル
メタクリレート    10部タルク        
          35部アエロジルsoo    
         t部2−エチル−4−メチルイミダ
ゾール   4部フタロシアニングリーン      
   1部配合成分(b) エピクロンEXA− 1 5 1 4       1
 5部(大日本インキ化学工業(株)製 ビスフェノールS型エポキシ化合物) ヘキサメチレングリコール ジグリシジルエーテル 5部 エチルカービトール 10部 これらについて実施例1と同様に感光性樹脂組成物を得
た後、テストビースN o.  3 − F13 − 
Pを作製した。
実施例4 還流器、滴下ロート及び攪拌装置を備えた四ロコルベン
にエポキシ当量110のグリシジルアミン型エポキシ樹
脂(スミエポキシELM−434)1 0 0 g, 
 プチルカービトール25g及び乳酸エチル53.7g
を入れて約50℃で加熱溶解した。
均一になったところで非対称ジメチルヒドラジン27.
3gを50℃以下で1時間かけて滴下したのち、さらに
約80℃で3時間反応させた。反応は、GCで追跡し原
料ピークの消失を確認したのち、生成物のIRスペクト
ルによりアミンイミド基が生成していることを確認した
。ここにアクリルM28.2gとテトラブチルアンモニ
ウムブロマイド1.40gを加えた。これを100℃で
S時間反応させたところ酸価はほぼOになった。これに
よって得たエボキシ変性樹脂を(A−2)と略記する。
配合成分(a) (A−2) 2−エチルアントラキノン XP−4200 (日本合成化学工業(株)製 ウレタンアクリレート) N−ビニルビロリドン 炭酸カルシウム アエロジル200 フタロシアニングリーン モダフロー 100部 2.5部 25部 10部 30部 1部 1部 0.  5部 これらを実施例1と同様にインキ化して感光性樹脂組成
物を得た後、テストビースN o.4 − F14−P
を作製した。
実施例5 配合成分(a) (A−2)             Zoo部ペンゾ
インイソプロビノレエーテル      3部ビスコー
ト540 (大阪有機化学工業(株)製 ビスフェノールA型エポキシアクリレート)ペンタエリ
スリトールトリアクリレート 10部アクリロイルモル
フォリン       10部硫酸バリウム     
        40部アエロジル200      
      2部フタロシアニングリーン      
   2部2−フェニルイミダゾール        
3部配合成分(b) エビコー}1001             8部(
油化シェルエポキシ(株)製 ビスフェノール型エポキシ化合物) 1.4−ブタンジオール ジグリシジルエーテル 4部 これらを実施例1と同様にインキ化して感光性樹脂組成
物を得たのち、テストピースN o−  5 − FN
5−Pを作製した。
実施例6 配合成分(a) (A−2)             100部2−エ
チノレアントラキノン         3部ZX−8
73             15部(東都化成(株
)製 ノボラック型エポキシアクリレート) ジペンタエリスリトール ヘキサアクリレート       5部2−ヒドロキシ
エチルアクリレー}    10部タルク      
           35部アエロジル200   
          1部2−エチル−4−メチルイミ
ダゾール   3部フタロシアニングリーン 2部 配合成分(b) デナコール EX−301        17部(ナ
ガセ化成工業(株) インシアヌレート型トリグリジルエーテル)トリプロピ
レングリコール ジグリシジルエーテル     4部 これらを実施例1と同様にインキ化して感光性樹脂組成
物を得たのち、テストピースN o−  8 − F1
8−Pを作製した。
比較例1 下記配合成分(a)を実施例1と同様に混練したのち、
配合成分(b)と混合して比較例の感光性樹脂組成物と
した。これをさらに実施例1と同様に処理してテストビ
ースNo.比1−F,比1−Pとした。
配合成分(a) スミーエポキシ ESCN−195    30部(住
友化学工業(株)製 クレゾールノボラックエボキシ樹脂) ビスコート540            20部(大
阪有機化学工業(株)製 ビスフェノールA型エポキシアクリレート)トリメチロ
ールブロバン トリアクリレート      10部 2−ヒドロキシエチルアクリレート    8部ベンジ
ルジメチルケタール        2部無水フタル酸
             18部プチルセロソルブア
セテート      15部硫酸バリウム      
       30部アエロジル200       
     1部フタロシアニングリーン       
  1部モダフロ−               1
部配合成分(b) 2−エチル−4−メチルイミダゾール 2部 比較例2 配合成分(a) スミーエポキシ ELM−195     30部(住
友化学工業(株)製 グリシジルアミン型エボキシ樹脂) ビスコート540            20部(大
阪有機化学工業(株) ビスフェノールA型エポキシアクリレート)トリメチロ
ーノレプロパン トリアクリレート      10部 2−ヒドロキシエチルアクリレート   18部無水フ
タル酸             18部ベンジルジメ
チルケタール        2部タルク      
           35部アエロジル200   
          2部フタロシアニングリーン  
       2部カービトールアセテート     
   20部配合成分(b) 比較例1と同様に上記配合成分(a)、 (b)から感
光性樹脂組成物を得たのち、テストピースNO.比2−
F1 比2−Pを作製した。
比較例3 配合成分(a) デナコール EX−301        35部(ナ
ガセ化成工業(株) イソシアヌレート型トリグリジルエーテル)XP−42
00            25部(日本合成化学工
業(株)製 ウレタンアクリレート) ネオペンチルグリコールジアクリレート 10部アクリ
ロイルモルフォリン        6部ダロキュア1
173            3部(メルク社製光重
合開始剤) 無水フタル酸             20部炭酸カ
ルシウム            30部アエロジル2
00            1部2−エチル−4−メ
チルイミダゾール 2部 モダフロ− 1部 フタロシアニングリーン 2部 プチルセロソルブアセテート 10部 能なため、現像液として「エターナIRJ(旭化成工業
(株)製の変性1,1.1−}リクロロエタン)を用い
た結果である。
配合成分(b) 2−エチル−4−メチルイミダゾール 3部 表  1 比較例1と同様にしてインキ化して感光性樹脂組成物を
得たのち、テストピースNo.  比3−F1比3−P
を作製した。
試験例1 上記実施例1〜6および比較例1〜3で作製した各テス
トビースの上にネガ型パターンフィルムを密着させて、
照度が12mW/CJである露光装置(ウシオユーテッ
ク(株)製 明室ハニカムプリンター)による各照射時
間毎の光硬化性と、この露光後のイオン交換水のシャワ
ーによる現像時の現像性、解像度を測定し表1〜3にま
とめた。ただし比較例についてはイオン交換水による現
像が不可光硬化性 それぞれのテストピースに紫外線 を照射し、次いでlkg/ca+”のイオン交換水でl
分間現像したのちの塗膜 の状態を目視判定した。
全く変化が認められないもの 表面が僅かに変化しているもの 表面が顕著に変化しているもの 塗膜が脱落してしまうもの 表  2 上記表2中の評価判定基準は下記の通りである。
現像性 ◎ 0 Δ × それぞれのテストピースを[io秒間 露光したのち、Ikg/c−のイオン交換水で現像を行
ったときの各時間 毎の現像性をWi微鏡にて目視判定 した。
細かいところまで完全に現像でき たもの 基板表面に薄く現像できないとこ ろがあるもの 現像できていないところがかなり あるもの ほとんど現像されていないもの 表 3 ◎    50μm未満のラインアンドスペースが得ら
れたもの 050〜100μmのラインアンドスペースが得られた
もの Δ     100μm以上のラインアンドスペースが
得られたもの ×     ラインアンドスペースが得られなかったも
の 解像度 それぞれのテストビースをBO秒間 露光したのち、Ikg/am”のイオン交換水で現像を
行ったときの各時間 毎の解像度を顕微鏡にて目視判定 した。
試験例2 試験例1と同様に露光したテストビースについて現像液
を1wt%ノ二ボール90(三洋化成工業製; ノニル
フェノールエチレンオキサイド9モル付加物)イオン交
換水水溶液にかえて現像を行ない現像性、解像度を測定
し表4,5にまとめた。
表  4 ◎ 0 Δ × 細かいところまで完全に現像でき たもの 基板表面に薄く現像できないとこ ろがあるもの 現像できていないところがかなり あるもの ほとんど現像されていないもの 表  5 現像性 それぞれのテストピースをGO秒間 露光したのち、lkg/c+mffiの上記現像液で現
像を行ったときの各時間毎 の現像性を顕微鏡にて目視判定し た。
上記表5中の評価判定基準は下記の通りである。
解像度 ◎ 0 Δ × それぞれのテストビースを80秒間 露光したのちN  Ikg/am’の上記現像液で現像
を行ったときの各時間毎 の解像度を顕微鏡にて目視判定し た。
50μm未満のラインアンドスペー スが得られたもの 50〜100μmのラインアンドスペースが得られたも
の 100μm以上のラインアンドスペ ースが得られたもの ラインアンドスペースが得られな かったもの をエッチングしたときの耐エッチング液性等を測定し表
6にまとめた。
表  6 試験例3 試験例1と同様に露光(照射時間二 80秒)、現像(
lkg/cm黛×90秒)したテストピースをエッチン
グマシーン(東京化工機(株)製)で銅箔なお上記表6
中の各性能の評価判定は下記の通りである。
密着性 JIS D−0202の試験法に従ってそれぞれの◎ 0 テストビースにゴバン目状にクロスカットを入れ、次い
でセロファンテープによるビーリング試験後の剥がれの
状態を目視により判定した。
100/100で全く変化が認められないもの 100/100で線の際が僅かに剥がれたちの Δ 50/100〜90/100 × 0/100〜50/100 鉛筆硬度 JIS K−5400の試験法に従って鉛筆硬度試験機
を用いて荷重IKgをかけた際の皮膜に傷が付かない最
も高い硬度を以て 表示した。使用した鉛筆は「三菱ハイ ユニ」(三菱鉛筆(株)製品)である。
耐エッチング液性 現像の終ったそれぞれのテストビ 50℃の条件で35μmの銅箔が完全 にエッチングされるまでの時間、 エッチング液にさらしたのちの塗 膜の状態を目視判定した。
E−1     塩化第二銅エッチング液E−2   
  塩化第二鉄エッチング液◎    全く変化が認め
られないもの0     塗膜の際が僅かに浮き上がっ
たもの Δ     塗膜際が剥がれたもの ×    塗膜全体が剥がれたもの 試験例4 試験例!と同様に作製したテストピースをさらに150
℃で1時間加熱を行い完全硬化後のソルダーレジストと
しての塗膜特性を測定し表7〜9にまとめた。
−スをスプレー圧1 .5kg/cd、液温表 8 イクルとして、各サイクルでの塗膜 の ”フクレ”と密着性とを総合的 に判定し評価した。なお水溶性ブラ ックスとしては、ケンコ社の旧83を ロジン系フラックスとしてはタムラ 製作所の8−111Rを使用した。
全く変化が認められないもの ltA,の僅か変化しているもの 塗膜の10%未満が剥がれたもの 塗膜が全面的に剥がれたちの 上記表7〜s中の各性能の評価判定は下記の通りである
。なお密着性および鉛筆硬度については表6と同じであ
る。
半田耐熱性 JIS− 6481の試験法に従って、それぞれのテス
トピースを260℃の半田 浴にIO秒間フロートさせるのを1サ 耐薬品性 それぞれのテストビースを下記薬品中 に、25℃で30分浸漬したのちの塗膜の状態と密着性
とを総合的に判定し評価 した。
10vol%LsOa 10vt%NaOH アセトン 塩化メチレン 全く変化が認められないもの ほんの僅か変化しているもの 顕著に変化しているもの 塗膜が膨潤して脱落したちの 産業上利用価値が高い。
上記効果を奏することから本発明の組成物はプリント配
線板の回路形成用レジストインキ及びンルダーレジスト
インキとして有用である。
電気抵抗 JIS−3197に従って、それぞれのテストビースに
ついての表面抵抗、 体積抵抗、絶縁抵抗をタケダ理研

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、(A)ポリエポキシ化合物に非対称ジアルキルヒド
    ラジンとエステル化合物と不飽和カルボン酸及び必要に
    よりアミン化合物を反応してなる、分子中にアミンイミ
    ド基と不飽和カルボン酸エステル基を各1個以上有する
    エポキシ変性樹脂 (B)光重合開始剤 (C)希釈剤 (D)顔料 を含んでなる水溶液現像可能な光及び/または熱硬化性
    の感光性樹脂組成物。
JP16177589A 1989-06-23 1989-06-23 感光性樹脂組成物 Pending JPH0327044A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16177589A JPH0327044A (ja) 1989-06-23 1989-06-23 感光性樹脂組成物

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JP16177589A JPH0327044A (ja) 1989-06-23 1989-06-23 感光性樹脂組成物

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