JPH03268241A - 光ディスク装置の焦点検出用光学系 - Google Patents
光ディスク装置の焦点検出用光学系Info
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- JPH03268241A JPH03268241A JP2067489A JP6748990A JPH03268241A JP H03268241 A JPH03268241 A JP H03268241A JP 2067489 A JP2067489 A JP 2067489A JP 6748990 A JP6748990 A JP 6748990A JP H03268241 A JPH03268241 A JP H03268241A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
光ディスク装置の焦点検出用光学系に関し、記録媒体上
に形成したプリグループによるクロストークを軽減する
ことを目的とし、 光源よりの入射光を記録媒体に照射し、該記録媒体より
の反射光を3分割光検出器で検出する光ディスク装置の
焦点検出用光学系において、記録媒体から3分割光検出
器に至る反射光の光路に前記反射光を透過させるととも
に、散乱させる散乱面を介在させる構成とした。
に形成したプリグループによるクロストークを軽減する
ことを目的とし、 光源よりの入射光を記録媒体に照射し、該記録媒体より
の反射光を3分割光検出器で検出する光ディスク装置の
焦点検出用光学系において、記録媒体から3分割光検出
器に至る反射光の光路に前記反射光を透過させるととも
に、散乱させる散乱面を介在させる構成とした。
本発明は、光ディスク装置に関し、特に、光ディスク装
置の焦点検出用光学系に関する。
置の焦点検出用光学系に関する。
一般に、光ディスク装置においては、記録媒体から最も
正確に記録を再生するため、記録読取用の入射光の焦点
を正確に記録媒体の記録面に合わせるように制御してい
る。この制御は、焦点検出用光学系とフォーカスエラー
信号演算装置(以下、FES演算装置という)により記
録媒体の記録面の位置と入射光の焦点との位置誤差を検
出して、FES演算装置からその位置誤差に対応する信
号値を有するフォーカスエラー信号(以下、FF、Sと
いう)を出力し、このFESを焦点位置を制御するサー
ボ制御機構に入力して前記位置誤差をなくすようにして
いる。
正確に記録を再生するため、記録読取用の入射光の焦点
を正確に記録媒体の記録面に合わせるように制御してい
る。この制御は、焦点検出用光学系とフォーカスエラー
信号演算装置(以下、FES演算装置という)により記
録媒体の記録面の位置と入射光の焦点との位置誤差を検
出して、FES演算装置からその位置誤差に対応する信
号値を有するフォーカスエラー信号(以下、FF、Sと
いう)を出力し、このFESを焦点位置を制御するサー
ボ制御機構に入力して前記位置誤差をなくすようにして
いる。
前記焦点検出用光学系は、例えば第4図に示すように、
光源1から記録媒体(光ディスク)2の記録面に例えば
レーザー光線のようなコーヒーレントな光からなる入射
光3をビームスプリッタ7、ミラー8、対物レンズ9を
介して照射し、この入射光3が記録媒体2の記録面で反
射してできる反射光4を対物レンズ9、ミラー8、ビー
ムスプリンタ7及び収束用レンズ10を介して3分割光
検出器5に受光するように構成している。
光源1から記録媒体(光ディスク)2の記録面に例えば
レーザー光線のようなコーヒーレントな光からなる入射
光3をビームスプリッタ7、ミラー8、対物レンズ9を
介して照射し、この入射光3が記録媒体2の記録面で反
射してできる反射光4を対物レンズ9、ミラー8、ビー
ムスプリンタ7及び収束用レンズ10を介して3分割光
検出器5に受光するように構成している。
上記3分割光検出器5は、例えば第2図に示すように、
同じ平面に3つの受光面5a・5b・5Cを並列に設け
、中央の受光面5bに反射光4の中心部を受光し、その
両側の受光部5a・5cに反射光4の両側縁部を受光す
るように配置される。
同じ平面に3つの受光面5a・5b・5Cを並列に設け
、中央の受光面5bに反射光4の中心部を受光し、その
両側の受光部5a・5cに反射光4の両側縁部を受光す
るように配置される。
また、FES演算装置は各受光面5a・5b・5Cの出
力を入力して、入射光の焦点と記録媒体の記録面との誤
差を演算し、この誤差に対応する信号値を有するFES
を出力するように構成している。
力を入力して、入射光の焦点と記録媒体の記録面との誤
差を演算し、この誤差に対応する信号値を有するFES
を出力するように構成している。
この場合、入射光の焦点と記録媒体の記録面とが一致す
るジャストフォーカスの時に、両側の受光面5a・5C
の合計受光量と中央の受光面すの受光量とが等しくなる
位置(第4図に仮想線で示す)に3分割光検出器を配置
する構成もあるが、検出感度を高めるために、ジャスト
フォーカスの時に両側の受光面5a・5cの合計受光量
が中央の受光面5bの受光量よりも少なくなる位置(第
4図に実線で示す)に3分割光検出器5を配置し、FE
S演算装置で両側の受光面5a・5Cの合計受光量に適
当なゲインを乗じて増幅した値と中央の受光面5bの受
光量とを等しくする構成が多用されている。
るジャストフォーカスの時に、両側の受光面5a・5C
の合計受光量と中央の受光面すの受光量とが等しくなる
位置(第4図に仮想線で示す)に3分割光検出器を配置
する構成もあるが、検出感度を高めるために、ジャスト
フォーカスの時に両側の受光面5a・5cの合計受光量
が中央の受光面5bの受光量よりも少なくなる位置(第
4図に実線で示す)に3分割光検出器5を配置し、FE
S演算装置で両側の受光面5a・5Cの合計受光量に適
当なゲインを乗じて増幅した値と中央の受光面5bの受
光量とを等しくする構成が多用されている。
ところで、記録媒体2の中には、その記録面に、トラッ
キング制御をするために、記録媒体2と同心状に形成さ
れた多数のプリグループと呼ばれる溝を有するものがあ
る。
キング制御をするために、記録媒体2と同心状に形成さ
れた多数のプリグループと呼ばれる溝を有するものがあ
る。
焦点検出用光学系と記録媒体2との間隔を一定にした状
態で上記プリグループを入射光3の照射点(光スポット
)が横断する時には、反射光4の光量が例えば第5図■
ないし[相]に示すように3分割光検出器5の受光状態
が変化する。
態で上記プリグループを入射光3の照射点(光スポット
)が横断する時には、反射光4の光量が例えば第5図■
ないし[相]に示すように3分割光検出器5の受光状態
が変化する。
即ち、従来の光ディスク装置の焦点検出用光学系では、
第5図に示すように、3分割光検出器5の受光面におい
て、光の干渉作用により明点と暗部とが格子状に並び、
反射光が多い部分では隣接する明点が互いに重なり合う
明るい部分(図面上、白い部分)となり、反射光が少な
い部分では明点の広がりが小さくなって暗い部分(図面
上、斜線)となる。その結果、光スポットがプリグルー
プの片側のランド上を照射している時には■に示すよう
に全体が明るい部分になる。また、光スポットの中心が
そのランドからプリグループの中央に進むにつれて■な
いし■に示すように各受光面5a・5b・5Cの受光部
の片側から順に反対側に暗い部分が増え、光スポットが
プリグループの中央に位置する時には■に示すように各
受光面5a・5b・5Cの受光部の中央部が暗くなり、
光スポットがプリグループの中央から反対側のランドに
進むにつれて■ないし■に示すように各受光面5a・5
b・5cの受光部の片側から順に中央寄りに明るい部分
が増え、光スポットが完全に反対側のランドに上がった
時には■に示すように各受光面5a・5b・5Cの受光
部の全体が明るくなる。
第5図に示すように、3分割光検出器5の受光面におい
て、光の干渉作用により明点と暗部とが格子状に並び、
反射光が多い部分では隣接する明点が互いに重なり合う
明るい部分(図面上、白い部分)となり、反射光が少な
い部分では明点の広がりが小さくなって暗い部分(図面
上、斜線)となる。その結果、光スポットがプリグルー
プの片側のランド上を照射している時には■に示すよう
に全体が明るい部分になる。また、光スポットの中心が
そのランドからプリグループの中央に進むにつれて■な
いし■に示すように各受光面5a・5b・5Cの受光部
の片側から順に反対側に暗い部分が増え、光スポットが
プリグループの中央に位置する時には■に示すように各
受光面5a・5b・5Cの受光部の中央部が暗くなり、
光スポットがプリグループの中央から反対側のランドに
進むにつれて■ないし■に示すように各受光面5a・5
b・5cの受光部の片側から順に中央寄りに明るい部分
が増え、光スポットが完全に反対側のランドに上がった
時には■に示すように各受光面5a・5b・5Cの受光
部の全体が明るくなる。
その結果、第3図(b)のFES線で示すように、光ス
ポットがプリグループを横断する時に焦点が記録媒体2
の記録面に対して最大0.8μm程度遠くなった場合と
同じようなFESが出力される。このように、光スポッ
トがプリグループを横断する時にFESが変化すること
はクロストークと呼ばれ、その大きさはクロストーク量
と呼ばれている。
ポットがプリグループを横断する時に焦点が記録媒体2
の記録面に対して最大0.8μm程度遠くなった場合と
同じようなFESが出力される。このように、光スポッ
トがプリグループを横断する時にFESが変化すること
はクロストークと呼ばれ、その大きさはクロストーク量
と呼ばれている。
このクロストークによってサーボ制御機構が焦点位置を
変化させることは全く不必要であるばかりでなく、記録
の再現性を高める上では有害ですらある。
変化させることは全く不必要であるばかりでなく、記録
の再現性を高める上では有害ですらある。
また、従来の光ディスク装置の焦点検出用光学系では、
第5図に示すように、明るい部分と暗い部分との境界線
が明るい部分から暗い部分に向かって凸な曲線となるた
め、中央部の受光面5bの受光量の変化率に対して両側
の受光面5a・5cの受光量の変化率が大きくなるため
、クロストーク量の変化率及び最大値が大きくなる。
第5図に示すように、明るい部分と暗い部分との境界線
が明るい部分から暗い部分に向かって凸な曲線となるた
め、中央部の受光面5bの受光量の変化率に対して両側
の受光面5a・5cの受光量の変化率が大きくなるため
、クロストーク量の変化率及び最大値が大きくなる。
本発明は、上記の事情を考慮してなされたものであり、
記録媒体上に形成したプリグループによるクロストーク
を軽減できるようにした光ディスク装置の焦点検出用光
学系を提供することを目的とするものである。
記録媒体上に形成したプリグループによるクロストーク
を軽減できるようにした光ディスク装置の焦点検出用光
学系を提供することを目的とするものである。
本発明は、例えば第1図に示すように、光源1よりの入
射光3を記録媒体2に照射し、峰記録媒体2よりの反射
光4を3分割光検出器5で検出する光ディスク装置の焦
点検出用光学系において、上記の目的を達成するため、
記録媒体2から3分割光検出器5に至る反射光4の光路
に前記反射光4を透過させるとともに、散乱させる散乱
面6を介在させるという手段を講じている。
射光3を記録媒体2に照射し、峰記録媒体2よりの反射
光4を3分割光検出器5で検出する光ディスク装置の焦
点検出用光学系において、上記の目的を達成するため、
記録媒体2から3分割光検出器5に至る反射光4の光路
に前記反射光4を透過させるとともに、散乱させる散乱
面6を介在させるという手段を講じている。
光スポットがプリグループを横断する際にプリグループ
の反射光量はプリグループの両側のランドからの反射光
量よりも少なくなり、反射光4には反射光量の多い部分
と少ない部分とができる。
の反射光量はプリグループの両側のランドからの反射光
量よりも少なくなり、反射光4には反射光量の多い部分
と少ない部分とができる。
この反射光4が散乱面6を透過する際に、散乱面の回折
作用によって光量の多い部分から少ない部分に光が散乱
されて3分割光検出器5に受光されることになる。この
ため、3分割光検出器5の受光面上での明点の広がりが
大きくなり、明るい部分と暗い部分との境界が不明確に
なるとともに、全体としての光量分布が平均化され、3
分割光検出器5の両側の受光面が受ける光量の変化率と
中央部の受光面が受ける光量の変化率の格差が小さくな
る。
作用によって光量の多い部分から少ない部分に光が散乱
されて3分割光検出器5に受光されることになる。この
ため、3分割光検出器5の受光面上での明点の広がりが
大きくなり、明るい部分と暗い部分との境界が不明確に
なるとともに、全体としての光量分布が平均化され、3
分割光検出器5の両側の受光面が受ける光量の変化率と
中央部の受光面が受ける光量の変化率の格差が小さくな
る。
以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。
第1図は本発明の一実施例に係る光ディスク装置の焦点
検出用光学系の構成図である。
検出用光学系の構成図である。
この焦点検出用光学系は、入射光3を記録媒体2に照射
する光源1と、入射光3が記録媒体2で反射してできる
反射光4を検出する3分割光検出器5とを備え、光源1
から記録媒体2の記録面に至る入射光3の光路には、ビ
ームスプリッタ7、ミラー8及び対物レンズ9が設けら
れている。記録媒体2の記録面から3分割光検出器5に
至る反射光4の光路の一部分は入射光3の光路と重複し
ている。即ち、反射光4は記録媒体2の記録面がら対物
レンズ9及びミラー8を経てビームスプリッタフに至り
、ビームスプリッタ7で入射光3の光路から振り分けら
れた後、収束用レンズ10を経て3分割光検出器5に至
るようにしている。
する光源1と、入射光3が記録媒体2で反射してできる
反射光4を検出する3分割光検出器5とを備え、光源1
から記録媒体2の記録面に至る入射光3の光路には、ビ
ームスプリッタ7、ミラー8及び対物レンズ9が設けら
れている。記録媒体2の記録面から3分割光検出器5に
至る反射光4の光路の一部分は入射光3の光路と重複し
ている。即ち、反射光4は記録媒体2の記録面がら対物
レンズ9及びミラー8を経てビームスプリッタフに至り
、ビームスプリッタ7で入射光3の光路から振り分けら
れた後、収束用レンズ10を経て3分割光検出器5に至
るようにしている。
上記3分割光検出器5は、第2図に示すように、互いに
平行に配置された3つの受光面5a・5b・5cを有し
ている。そして、この3分割光検出器5は、反射光4の
光軸が受光面5bの中央部に直交し、両側の受光部5a
・5Cに反射光4の周縁部がかかるように受光できる位
置に位置させる。
平行に配置された3つの受光面5a・5b・5cを有し
ている。そして、この3分割光検出器5は、反射光4の
光軸が受光面5bの中央部に直交し、両側の受光部5a
・5Cに反射光4の周縁部がかかるように受光できる位
置に位置させる。
ここで、3つの受光面5a・5b・5cの受光量は、ジ
ャストフォーカス時に両側の受光面5a・5cの受光量
A−Cの合計が中央の受光面5bの受光量Bと等しくな
るように設定してもよいが、ここでは、入射光3の焦点
と記録媒体の記録面との位置誤差の検出感度を高めるた
め、ジャストフォーカス時に両側の受光面5a・5cの
受光量A・Cの合計が中央の受光面5bの受光量Bより
も少なくなるように設定している。
ャストフォーカス時に両側の受光面5a・5cの受光量
A−Cの合計が中央の受光面5bの受光量Bと等しくな
るように設定してもよいが、ここでは、入射光3の焦点
と記録媒体の記録面との位置誤差の検出感度を高めるた
め、ジャストフォーカス時に両側の受光面5a・5cの
受光量A・Cの合計が中央の受光面5bの受光量Bより
も少なくなるように設定している。
上記反射光4の光路の途中、特に、入射光3の光路から
分離された後の反射光4の光路の途中に、反射光4を透
過させるとともに散乱させる散乱面6を介在させている
。
分離された後の反射光4の光路の途中に、反射光4を透
過させるとともに散乱させる散乱面6を介在させている
。
この散乱面6は、例えば平滑なガラス板の表面を粒度0
.5μm程度のガラス用紙ヤスリで擦って作らた、目視
的には光沢面に見える程度の凹凸面で構成される。また
、散乱面6は反射光4の光0 路の途中の任意の位置に配置することができるが、ここ
では、その作用を最も確認し易いようにするため、3分
割光検出器5の直前に配置している。
.5μm程度のガラス用紙ヤスリで擦って作らた、目視
的には光沢面に見える程度の凹凸面で構成される。また
、散乱面6は反射光4の光0 路の途中の任意の位置に配置することができるが、ここ
では、その作用を最も確認し易いようにするため、3分
割光検出器5の直前に配置している。
なお、この焦点検出用光学系の3分割光検出器5の出力
に基づき、光学系を制御し、入射光3の焦点と記録媒体
2の記録面とを一致させるため、FES演算装置とサー
ボ制御機構とが設けられる。
に基づき、光学系を制御し、入射光3の焦点と記録媒体
2の記録面とを一致させるため、FES演算装置とサー
ボ制御機構とが設けられる。
このFES演算装置は、3分割光検出器5の各受光面5
a・5b・5cを入力し、両側の受光面5a・5cの受
光量A−Cの合計値に適当なゲインGを乗じた後、これ
から中央の受光面5bの受光量Bを差し引いた値、即ち
、G (A+C) −BをFESの信号値として演算し
、この信号値を有するFESをサーボ制am構に出力す
るようにしている。また、サーボ制御機構は、入力した
FESに基づき、FESがOとなるように光学系を制御
する構成としている。
a・5b・5cを入力し、両側の受光面5a・5cの受
光量A−Cの合計値に適当なゲインGを乗じた後、これ
から中央の受光面5bの受光量Bを差し引いた値、即ち
、G (A+C) −BをFESの信号値として演算し
、この信号値を有するFESをサーボ制am構に出力す
るようにしている。また、サーボ制御機構は、入力した
FESに基づき、FESがOとなるように光学系を制御
する構成としている。
この焦点検出用光学系においては、入射光3の光スポッ
トがプリグループを横断する際に、光スポットのランド
に照射している部分からの反射光1 量は多く、プリグループに照射している部分からの反射
光量は少なくなる。しかし、反射光4が散乱面6を透過
する際に散乱面6が回折格子として作用し、反射光4の
光量の多い部分から少ない部分に光が分散されて3分割
光検出器5に受光される。その結果、各受光面5a・5
b・5cにおける明点の広がりが大きくなり、明るい部
分と暗い部分との境界が不明確になるとともに、全体と
しての光量分布が平均化される。従って、両側の受光面
5a・5cの受光量A−Cの合計にゲインGを乗じた値
と中央の受光面5bの受光量Bとの格差が小さくなり、
クロストークの変化率及び最大値が小さくなる。
トがプリグループを横断する際に、光スポットのランド
に照射している部分からの反射光1 量は多く、プリグループに照射している部分からの反射
光量は少なくなる。しかし、反射光4が散乱面6を透過
する際に散乱面6が回折格子として作用し、反射光4の
光量の多い部分から少ない部分に光が分散されて3分割
光検出器5に受光される。その結果、各受光面5a・5
b・5cにおける明点の広がりが大きくなり、明るい部
分と暗い部分との境界が不明確になるとともに、全体と
しての光量分布が平均化される。従って、両側の受光面
5a・5cの受光量A−Cの合計にゲインGを乗じた値
と中央の受光面5bの受光量Bとの格差が小さくなり、
クロストークの変化率及び最大値が小さくなる。
即ち、従来例においては第3図(b)のFES線に示す
ようにクロストークがフォーカスずれ量に換算して0.
7μm(最大値−最小値)程度に達していたのに対し、
この実施例では第3図のFES線に示すようにクロスト
ークがフォーカスずれ量に換算して0.3μm(最大値
−最小値)以下に軽減されている。
ようにクロストークがフォーカスずれ量に換算して0.
7μm(最大値−最小値)程度に達していたのに対し、
この実施例では第3図のFES線に示すようにクロスト
ークがフォーカスずれ量に換算して0.3μm(最大値
−最小値)以下に軽減されている。
2
なお、この場合、プリグループでの回折による光量分布
の変化(第5図)を利用してトラッキングwJ御をする
ため、この焦点検出用光学系とトラッキング信号演算装
置とを用いてトラッキングエラー信号(以下、TBSと
いう)を求めたところ、第3図(a)のTES線と第3
図(b)のTES線とを比較すれば、散乱面6を設けた
場合でもTBSの演算には何ら支障がないことが分かる
。
の変化(第5図)を利用してトラッキングwJ御をする
ため、この焦点検出用光学系とトラッキング信号演算装
置とを用いてトラッキングエラー信号(以下、TBSと
いう)を求めたところ、第3図(a)のTES線と第3
図(b)のTES線とを比較すれば、散乱面6を設けた
場合でもTBSの演算には何ら支障がないことが分かる
。
なお、上記実施例においては、3分割光検出器5を使用
しているが、3分割光検出器5の中央の受光面5bを各
受光面5a・5b・5cの境界線の方向の中央部で2分
割した4分割光検出器を使用する場合にも本発明を適用
できる。
しているが、3分割光検出器5の中央の受光面5bを各
受光面5a・5b・5cの境界線の方向の中央部で2分
割した4分割光検出器を使用する場合にも本発明を適用
できる。
以上のように、本発明によれば、入射光が記録媒体のプ
リグループを横断して移動する際に、反射光に光量の多
い部分と少ない部分とができるが、反射光の光路に散乱
面を介在させるので、散乱面の回折作用により反射光の
光量の多い部分から少ない部分に光が分散されて光量分
布が平均化される。3分割光検出器の両側の受光面の受
光量の変化率と中央の受光面の受光量の変化率との格差
を小さくすることができるので、クロストークを軽減す
ることができ、サーボ制御機構の不要な動作を少なくし
て記録の再現性を高めることができる。
リグループを横断して移動する際に、反射光に光量の多
い部分と少ない部分とができるが、反射光の光路に散乱
面を介在させるので、散乱面の回折作用により反射光の
光量の多い部分から少ない部分に光が分散されて光量分
布が平均化される。3分割光検出器の両側の受光面の受
光量の変化率と中央の受光面の受光量の変化率との格差
を小さくすることができるので、クロストークを軽減す
ることができ、サーボ制御機構の不要な動作を少なくし
て記録の再現性を高めることができる。
第1図は本発明の一実施例に係る光ディスク装置の焦点
検出用光学系の構成図、第2図はその3分割光検出器の
正面図、第3図(a)は上記焦点検出用光学系により検
出したフォーカスずれ量を示すクロストーク特性線図及
びトラックずれ量を示すトラッキング特性線図、第3図
(b)は従来の焦点検出用光学系により検出したフォー
カスずれ量を示すクロストーク特性線図及びトラックず
れ量を示すトラッキング特性線図、第4図は従来の光デ
ィスク装置の焦点検出用光学系の構成図、第5図は入射
光スポットがプリグループを横断する時の3分割光検出
器の受光状態の変化を順に示3 4 す受光状態図である。 図中、 1・・・光源、 2・・・記録媒体、3・・・入
射光、 4・・・反射光。 5・・・3分割光検出器、 6・・・散乱面。 代 理 人 弁理士 井 桁 貞 5:3分割免験出器 3分かj燵山器の正面図 第 2 図 (a)!−メイ=L4月 クロヌトーク特・Lま冷製■&ぴ′トラはソ1付十剪■
第 3 図 ・■ ■ ■ ■ ■ ■ 受先状態図 プログループ中鵡 ■ ランド上 [相]
検出用光学系の構成図、第2図はその3分割光検出器の
正面図、第3図(a)は上記焦点検出用光学系により検
出したフォーカスずれ量を示すクロストーク特性線図及
びトラックずれ量を示すトラッキング特性線図、第3図
(b)は従来の焦点検出用光学系により検出したフォー
カスずれ量を示すクロストーク特性線図及びトラックず
れ量を示すトラッキング特性線図、第4図は従来の光デ
ィスク装置の焦点検出用光学系の構成図、第5図は入射
光スポットがプリグループを横断する時の3分割光検出
器の受光状態の変化を順に示3 4 す受光状態図である。 図中、 1・・・光源、 2・・・記録媒体、3・・・入
射光、 4・・・反射光。 5・・・3分割光検出器、 6・・・散乱面。 代 理 人 弁理士 井 桁 貞 5:3分割免験出器 3分かj燵山器の正面図 第 2 図 (a)!−メイ=L4月 クロヌトーク特・Lま冷製■&ぴ′トラはソ1付十剪■
第 3 図 ・■ ■ ■ ■ ■ ■ 受先状態図 プログループ中鵡 ■ ランド上 [相]
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 〔1〕光源(1)よりの入射光(3)を記録媒体(2)
に照射し、該記録媒体(2)よりの反射光(4)を3分
割光検出器(5)で検出する光ディスク装置の焦点検出
用光学系において、 記録媒体(2)から3分割光検出器(5)に至る反射光
(4)の光路に前記反射光(4)を透過させるとともに
、散乱させる散乱面(6)を介在させることを特徴とす
る、光ディスク装置の焦点検出用光学系。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2067489A JPH03268241A (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 光ディスク装置の焦点検出用光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2067489A JPH03268241A (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 光ディスク装置の焦点検出用光学系 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03268241A true JPH03268241A (ja) | 1991-11-28 |
Family
ID=13346447
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2067489A Pending JPH03268241A (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 光ディスク装置の焦点検出用光学系 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03268241A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1031838A (ja) * | 1996-04-18 | 1998-02-03 | Samsung Electron Co Ltd | 光出力モニタリング機能を有するレーザーダイオードパッケージ |
US6876454B1 (en) | 1995-03-28 | 2005-04-05 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for in-situ endpoint detection for chemical mechanical polishing operations |
US6875078B2 (en) | 1995-03-28 | 2005-04-05 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for in-situ endpoint detection for chemical mechanical polishing operations |
-
1990
- 1990-03-16 JP JP2067489A patent/JPH03268241A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6876454B1 (en) | 1995-03-28 | 2005-04-05 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for in-situ endpoint detection for chemical mechanical polishing operations |
US6875078B2 (en) | 1995-03-28 | 2005-04-05 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for in-situ endpoint detection for chemical mechanical polishing operations |
US7775852B2 (en) | 1995-03-28 | 2010-08-17 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for in-situ endpoint detection for chemical mechanical polishing operations |
US8506356B2 (en) | 1995-03-28 | 2013-08-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for in-situ endpoint detection for chemical mechanical polishing operations |
JPH1031838A (ja) * | 1996-04-18 | 1998-02-03 | Samsung Electron Co Ltd | 光出力モニタリング機能を有するレーザーダイオードパッケージ |
US5920585A (en) * | 1996-04-18 | 1999-07-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Laser diode package having an optical power monitoring function |
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