JPH03263751A - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
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- JPH03263751A JPH03263751A JP2060986A JP6098690A JPH03263751A JP H03263751 A JPH03263751 A JP H03263751A JP 2060986 A JP2060986 A JP 2060986A JP 6098690 A JP6098690 A JP 6098690A JP H03263751 A JPH03263751 A JP H03263751A
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- accelerating voltage
- magnetic field
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- Pending
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 19
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 claims description 7
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 5
- 239000013076 target substance Substances 0.000 claims 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 11
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 241001024304 Mino Species 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は質量分析計の質量分析手法に係り、特に特定の
質量を複数選択し、その質量数の強度変化だけを高範囲
かつ高感度に検出するに好適な質量分析手段に関する。
質量を複数選択し、その質量数の強度変化だけを高範囲
かつ高感度に検出するに好適な質量分析手段に関する。
第2図はデータ制御装置と質量分析計の簡略ブロック図
、第3図はピークを設定する時の磁場強度と加速電圧の
関係図である。第2図において、1はイオン源、2は電
場、3は磁場、4はイオン加速電源、5は磁場電源であ
る。
、第3図はピークを設定する時の磁場強度と加速電圧の
関係図である。第2図において、1はイオン源、2は電
場、3は磁場、4はイオン加速電源、5は磁場電源であ
る。
第2図及び第3図において質量分析計の従来の分析手法
を説明する。通常、−様な磁場中を磁場に垂直な平面内
で運動する荷電粒子が円運動をする事は良く知られてい
る。今、電場磁場を有するセクター形2重収束質量分析
装置の質量数と磁場には、−船釣に下記の関係がある。
を説明する。通常、−様な磁場中を磁場に垂直な平面内
で運動する荷電粒子が円運動をする事は良く知られてい
る。今、電場磁場を有するセクター形2重収束質量分析
装置の質量数と磁場には、−船釣に下記の関係がある。
B r = 144 (’;;T −
(t)ここで B=磁束密度(gauss) r=磁場半径(Ql) M=イオンの分子量(u) U=運動エネルギ(e V) (1)式より明らかに、B、U、rのいずれか2つを固
定し、一つを変化さ(−I: J”1.+ば、任意のM
をもつイオンの分析をする事が下ぎゐ。通常質量分析計
で・は8又はITを掃引1゛る事e質量分析をt−jな
−)でいる。次に運動エネルギ辷速廣ω関係は、(2)
犬山様に表オー)される。
(t)ここで B=磁束密度(gauss) r=磁場半径(Ql) M=イオンの分子量(u) U=運動エネルギ(e V) (1)式より明らかに、B、U、rのいずれか2つを固
定し、一つを変化さ(−I: J”1.+ば、任意のM
をもつイオンの分析をする事が下ぎゐ。通常質量分析計
で・は8又はITを掃引1゛る事e質量分析をt−jな
−)でいる。次に運動エネルギ辷速廣ω関係は、(2)
犬山様に表オー)される。
】
U’ =: −M v ”
・・・(2)之 ここで tJ−運!lJエネルギ(eV) M=イオンの分子量 ■=速度 ここで前述の第3図に於いて従来技術り・説明する。第
3図番Jおいて、X軸は加速電圧、y軸はピーク強度、
z@は磁場強度釦示す。従来技術において、特定ω質量
を複数選択し、ぞω質量数的強度変化のみを同時に検出
1゛る質量分析1゛・法(SIM: Se1.1ect
ecl Ion Mon、1torと呼ばれる。以トこ
の方法をSIM法と呼ぶ)では、磁場を基烟酌質量数M
の検出で倉る強度に−・定こし、測定しよう、!ニする
質量数の検出は加速電圧掃引のみで行なわれていた。第
3図ではMから4M(Mの4倍σ)質量数)まで測定す
るため、加速ミノ土は(1)式より、Mを測定時4Kv
とすれば、4Mを測定時に11、IKvとなるわ 以上説明しまたように1、従来技術では、SIM法を用
いて測定を行うには、磁場を固定し、加速電圧のみを掃
引して行なっている。この種の装置とし2て関連するも
のには、例えば、M−0201形質量分析制御データ処
理装置取扱説明書等に挙げられた質量分析手段がある。
・・・(2)之 ここで tJ−運!lJエネルギ(eV) M=イオンの分子量 ■=速度 ここで前述の第3図に於いて従来技術り・説明する。第
3図番Jおいて、X軸は加速電圧、y軸はピーク強度、
z@は磁場強度釦示す。従来技術において、特定ω質量
を複数選択し、ぞω質量数的強度変化のみを同時に検出
1゛る質量分析1゛・法(SIM: Se1.1ect
ecl Ion Mon、1torと呼ばれる。以トこ
の方法をSIM法と呼ぶ)では、磁場を基烟酌質量数M
の検出で倉る強度に−・定こし、測定しよう、!ニする
質量数の検出は加速電圧掃引のみで行なわれていた。第
3図ではMから4M(Mの4倍σ)質量数)まで測定す
るため、加速ミノ土は(1)式より、Mを測定時4Kv
とすれば、4Mを測定時に11、IKvとなるわ 以上説明しまたように1、従来技術では、SIM法を用
いて測定を行うには、磁場を固定し、加速電圧のみを掃
引して行なっている。この種の装置とし2て関連するも
のには、例えば、M−0201形質量分析制御データ処
理装置取扱説明書等に挙げられた質量分析手段がある。
〔発明が解決しようとする課題]
前記従来技術で述べた動作状態がら従来技術には以トの
問題点がある。
問題点がある。
前辺の0)式より、
ここで、従来技術では磁束密度Bと磁場半符、r IJ
一定なので、比例定数にとするε、(3)式は以下の様
1:なる。
一定なので、比例定数にとするε、(3)式は以下の様
1:なる。
M=−・・・(4)
ここで前述の3図の様にMから4Mまでの質量数を測定
する場合、従来技術では加速電圧掃引のみで質量数測定
を行うため、(4)式より明らかのように、加速電圧は
Mを測定時4kVとすれば、4Mを測定時には1に、V
となり、(2)式より測定した質量数の感度を比較する
と、4Mの質量数の感度はMω質量数感度に比較し、遜
しく低下する。
する場合、従来技術では加速電圧掃引のみで質量数測定
を行うため、(4)式より明らかのように、加速電圧は
Mを測定時4kVとすれば、4Mを測定時には1に、V
となり、(2)式より測定した質量数の感度を比較する
と、4Mの質量数の感度はMω質量数感度に比較し、遜
しく低下する。
この様に従来技術ではSIM法を用いた質量分相手法で
は、測定質量範囲によ&J感度が着しく低1・する問題
点があった5゜ 本発明の目的は、前述のSIMf法に於いて7゜加速電
圧起磁束密度を交互に切幣える手段を設ける事によ&J
、SIM手法を用いた広範囲の質量数測定を感度良く提
供する事にある。
は、測定質量範囲によ&J感度が着しく低1・する問題
点があった5゜ 本発明の目的は、前述のSIMf法に於いて7゜加速電
圧起磁束密度を交互に切幣える手段を設ける事によ&J
、SIM手法を用いた広範囲の質量数測定を感度良く提
供する事にある。
(課題を解決するための手段′1
前述の問題点を解決するための手段は、加速電圧と磁束
密度を、交互に切替える手段を設ける事により達成され
る。
密度を、交互に切替える手段を設ける事により達成され
る。
第2図において前述の技術的手段を用いる社、加速電圧
と磁束密度とピーク強度の関係は第4図のように表オ)
される。第4図においで、X軸は加速電圧、y軸はピー
ク強度、X軸は磁場強度を示す、ここで、第4図の様に
、Mから4Mまでの質量数を測定する場合、前述の4式
より加速電圧の変化幅は、磁束密度と加速電圧を交互に
切替えて測定する為、従来技術より著シ、り少ない。従
゛って、前述の技術的手段を用いると、広範囲のSIM
測定が、感度よく測定できる。
と磁束密度とピーク強度の関係は第4図のように表オ)
される。第4図においで、X軸は加速電圧、y軸はピー
ク強度、X軸は磁場強度を示す、ここで、第4図の様に
、Mから4Mまでの質量数を測定する場合、前述の4式
より加速電圧の変化幅は、磁束密度と加速電圧を交互に
切替えて測定する為、従来技術より著シ、り少ない。従
゛って、前述の技術的手段を用いると、広範囲のSIM
測定が、感度よく測定できる。
〔笑施例〕
以F本発明の一実施例を第1図により説明する。
同図において、1はイオン源、2は電場、3は磁場、4
はイオン加速電源、5は磁場電源、6はデータ処理装置
、7は切替手段a、8は切替手段すである。ここで、7
の切替手段a及び8の切替手段りは、データ処理装置6
により外部コントロール−■能である。今、特定の質量
(Mと4M)の2つを選択し、その質量数の強度変化の
みを同時に検出する場合、最初に切替手段a、7により
、磁束密度を質量数Mより10マス小さい質量数iに設
定する。その後、切替手段す、8により、加速電圧が質
量数MとMの間を掃引する。次に、切替手段a、7によ
り、磁束密度を質量数4Mより40マス小さい質量数4
Mに設定する。その後、切替手段す、8により加速電圧
を質量数4Mと4Mの間を掃引する。上記連続動作は、
データ処理装置により高速に行なわれ、質量数Mと4M
の強度変化のみを同時に検出することができる。
はイオン加速電源、5は磁場電源、6はデータ処理装置
、7は切替手段a、8は切替手段すである。ここで、7
の切替手段a及び8の切替手段りは、データ処理装置6
により外部コントロール−■能である。今、特定の質量
(Mと4M)の2つを選択し、その質量数の強度変化の
みを同時に検出する場合、最初に切替手段a、7により
、磁束密度を質量数Mより10マス小さい質量数iに設
定する。その後、切替手段す、8により、加速電圧が質
量数MとMの間を掃引する。次に、切替手段a、7によ
り、磁束密度を質量数4Mより40マス小さい質量数4
Mに設定する。その後、切替手段す、8により加速電圧
を質量数4Mと4Mの間を掃引する。上記連続動作は、
データ処理装置により高速に行なわれ、質量数Mと4M
の強度変化のみを同時に検出することができる。
この時の質量数Mと質量数Mを測定するための加速電圧
の変化幅は、本実施例では、質量数Mを100、質量数
Mを測定した時の加速電圧を4kVとした結果、(4)
式及び、実測値より、400Vとなった。また質量数4
Mと質量数4Mを測定するための加速電圧の変化幅は、
同様に400Vとなった。従って質量数Mと質量数4M
を測定する時の加速電圧の変化幅は、400Vとなり、
測定質量数Mから4Mまでの間の加速電圧の変化幅は従
来技術の1710となり、測定感度は従来技術と比較し
、1桁上昇した。
の変化幅は、本実施例では、質量数Mを100、質量数
Mを測定した時の加速電圧を4kVとした結果、(4)
式及び、実測値より、400Vとなった。また質量数4
Mと質量数4Mを測定するための加速電圧の変化幅は、
同様に400Vとなった。従って質量数Mと質量数4M
を測定する時の加速電圧の変化幅は、400Vとなり、
測定質量数Mから4Mまでの間の加速電圧の変化幅は従
来技術の1710となり、測定感度は従来技術と比較し
、1桁上昇した。
この様に本実施例によれば、特定の質量数を複数選択し
、その質量数の強度変化だけを測定する方法において、
高範囲かつ高感度に測定することが、容易に行なえる。
、その質量数の強度変化だけを測定する方法において、
高範囲かつ高感度に測定することが、容易に行なえる。
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば
、特定の質量数を複数選択し、その質量数の強度変化を
測定する方法において、極めて高範囲かつ高感度に測定
できる効果がある。
、特定の質量数を複数選択し、その質量数の強度変化を
測定する方法において、極めて高範囲かつ高感度に測定
できる効果がある。
第1図は本発明の一実施例を示すブロック図、第2図は
従来技術のブロック図、第3図は従来技術における加速
電圧とピーク強度と磁場強度の関係図、第4図は本発明
の一実施例による加速電圧とピーク強度と磁場強度の関
係図である。 1・・・イオン源、2・・・電場、3・・・磁場、4・
・・イオン加速電源、5・・・磁場電源、6・・・デー
タ処理装置、第1図 第2図 2 一□ 第 図 770違電反 χ □−−シ艷 第40 力O遠容/F−−−ラー
従来技術のブロック図、第3図は従来技術における加速
電圧とピーク強度と磁場強度の関係図、第4図は本発明
の一実施例による加速電圧とピーク強度と磁場強度の関
係図である。 1・・・イオン源、2・・・電場、3・・・磁場、4・
・・イオン加速電源、5・・・磁場電源、6・・・デー
タ処理装置、第1図 第2図 2 一□ 第 図 770違電反 χ □−−シ艷 第40 力O遠容/F−−−ラー
Claims (1)
- 1、イオンを生成するためのイオン源と、生成されたイ
オンを加速するためのイオン加速電源と、イオンをエネ
ルギ分散させるための電場と、イオンを質量分散させる
ための磁場より構成される質量分析計装置において試料
中の目的物質が持つている特定の質量を複数選択し、そ
の質量数の強度変化だけを同時に検出する質量分析手段
において、前記イオン加速電源の電圧と前記磁場の強度
の切り換えを組み合わせて質量数の強度変化だけを複数
かつ同時に検出できる手段を設けた事を特徴とする質量
分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2060986A JPH03263751A (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2060986A JPH03263751A (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | 質量分析装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03263751A true JPH03263751A (ja) | 1991-11-25 |
Family
ID=13158269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2060986A Pending JPH03263751A (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03263751A (ja) |
-
1990
- 1990-03-14 JP JP2060986A patent/JPH03263751A/ja active Pending
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