JPH0325915A - 電子ビーム描画装置用試料ホルダー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は集積回路部品やフォトマスク製造における電子
線リソグラフィー工程に使用する電子ビーム描画装置用
試料ホルダーに関する。

〔従来の技術〕

電子ビーム描画装置は、電子線を試料であるマスクやウ
エハ上に塗布した電子線感光レジストに照射して、高い
描画精度で回路パターンを描画する装置である。

マスクやウエハは、色々な大きさや厚さや形状があるた
め、直接電子ビーム描画装置のＸＹステージに固定する
のは困難である。そのため、従来のこの種の試料ホルダ
ーは、試料の形状別に製作され、描画の際はこれらの試
料ホルダーにまず試料を固定する。試料ホルダーは外形
が同じに作られているため、あらかじめその外形に合わ
せて設計されたＸＹステージに容易に挿入し固定するこ
とができる。

ＸＹステージの側面には、レーザー干渉測長計のレーザ
ー光線を反射する鏡がＸＹ軸用に２枚取り付けられてい
る。これらはＸＹステージ、試料ホルダー及び試料が露
光中に相対的にずれないという仮定のもとに、ＸＹステ
ージ側面の鏡の位置の変化から試料の位置の変化を測定
している。

従来の電子ビーム描画装置用の試料ホルダーの一例とし
て、第５図にその斜視図を示す。すなわち、試料ホルダ
ー１の満部にマスク２を挿入し、爪とねじで固定する構
造である。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の試料ホルダーは、試料ホルダー１とマス
ク２とが露光中に相対的に位置がずれる可能性がある。

すなわち、マスク２が挿入固定された試料ホルダー１は
、露光前に真空前室からＸＹステージに挿入固定される
。この時、ＸＹステージと試料ホルダー１との間に温度
差があると、これらは材質や形状が異なるため熱膨張係
数に従って伸縮し、相対的な位置が変化する。

又、試料ホルダー１とマスク２も材質や形状が異なるた
め熱膨張係数に従って伸縮し、相対的な位置が変化する
。

通常は、この温度差がないように調整されているが、ど
うしても若干は温度差があるためずれが発生し、描画し
たパターンにもずれが発生するという欠点がある。

又、挿入固定の際の操作ミスや故障で、試料ホルダー１
とマスク２とが異常な相対位置になっていても、従来の
試料ホルダーでは異常が検出できないという欠点がある
。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、電子ビームを照射する試料を固定するための
電子ビーム描画装置用試料ホルダーにおいて、前記試料
により押圧される板ばねを備え、この板ばねに前記試料
との間の熱膨張差による位置変化を検出する歪ケージを
取り付けた電子ビーム描画装置用試料ホルダーである。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第１の実施例を示す斜視図である。試
料ホルダー１のマスクが挿入される溝の側面には板ばね
３が取り付けてあり、マスクが挿入されるとマスクの側
面が接触して板ばね３が曲がるようになっている．そし
て、マスク２は、板ばね３を押圧した状態で試料ホルダ
ー１に固定される。

板ばね３には歪ケージが取り付けてあり、歪ケージから
の信号線は試料ホルダー１とＸＹステージとの接続面に
ある接触端子４に接続され、ここからＸＹステージの接
続端子へとセンサー信号を伝えられるようになっている
。

第２図（ａ），（ｂ）は、この板ばね３のそれぞれ平面
図及び正面図である。板ばね３は、ねじ穴６にねじを通
して試料ホルダー１に固定される。板ばね３にはマスク
と接触する面の裏側に歪ケージ５が取り付けてあって、
これにより板ばね３の曲がり具合を抵抗の変化として検
出できるようになっている。

次に、この試料ホルダー１の機能を説明する．第３図（
ａ）．（ｂ）はそれぞれ試料ホルダー１の部分平面図で
ある。

同図（ａ）は試料ホルダー１の溝の側面にマスク２が接
触している正常なマスクの固定位置を示す例であって、
板ばね３は大きく曲げられている。

これに対し同図（ｂ）は、試料ホルダー１の溝のｍｕ面
からマスク２が大きくずれて離れている異常なマスクの
位置を示す例である。板ばね３は、同図（ａ）に比べて
曲がり方が少ない。

このように、試料ホルダー１とマスク２との位置関係は
、板ばね３の曲がり具合から決定できるので、曲がり具
合を歪ケージで測定すれば、位置関係の良否や変化を測
定できる。

測定精度は、歪ケージの抵抗を測定する抵抗計の分解能
に依存するが、０，１％の抵抗変化も検出できるので、
マスク２の位置変化は容易に検出できる． なお、本実施例では板ばねは２枚であるが、これを増加
することができる。例えば、３枚以上設けてその変化を
調べると、試料の回転も検出できる． 第４図は本発明の第２の実施例を示す斜視図である．試
料ホルダー１のマスクが挿入される溝の角部には板ばね
３が取り付けてあり、マスクが挿入されるとマスクの角
部が板ばね３に接触して曲がるようになっている。

マスクは板ばね３が設けられている角部にその角部を合
わせて挿入するので、挿入後、ＸＹのどちらの方向にマ
スクが移動しても、位置変化を１枚の板ばねで検出でき
る長所がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明の試料ホルダーは、試料に板
ばねを押し付けてその曲がり具合を歪ケージで測定する
ことにより、試料の試料ホルダーに対する位置変化を測
定し管理できるので、電子ビーム描画装置の描画中の試
料の位置変化による描画パターンの異常を防止できる。

又、試料ホルダーへの試料の挿入位置の異常も検出でき
る効果がある．

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の，第１の実施例の斜視図、第２図（ａ
），（ｂ）はそれぞれ第１図の板ばねの平面図及び正面
図、第３図（ａ），（ｂ）はそれぞれ第１の実施例の機
能を説明する部分平面図、第４図は本発明の第２の実施
例の斜視図、第５図は従来の試料ホルダーの斜視図であ
る．

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 電子ビームを照射する試料を固定するための電子ビーム
   描画装置用試料ホルダーにおいて、前記試料により押圧
   される板ばねを備え、この板ばねに前記試料との間の熱
   膨張差による位置変化を検出する歪ケージを取り付けた
   ことを特徴とする電子ビーム描画装置用試料ホルダー。