JPH0325842A - 電界放射型電子銃を備えた電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は試料交換等の場合でも、電子ビームの放射を中
断することなく試料交換を行うようにして、常に安定な
電子ビームを得るようにした電界放射型電子銃を備えた
電子顕微鏡に関する。

［従来技術］ 一般に、電界放射型電子銃を備えた電子顕微鏡では、例
えば試料交換時には電子銃室と試料室を真空バルプで遮
断し、この真空バルブ上に電子ビームを照射したり、又
、電子ビーム遮断用シャッターが設けられている場合に
は、この電子ビーム遮断用シャッター上に電子ビームを
照射して電子ビームを遮断し、電子ビームの放射を中断
しないようにしている。これは、特性上電子ビームの放
射開始時は不安定であり、この不安定領域を越えた安定
領域で使用するようにしているためであり、試料交換時
等にその都度ビームの放射（ＯＮ）．中断（ＯＦＦ）を
行うようにすると、立上がりに時間を要すると共に常に
安定な電子ビームを得ることができないためである。

【発明が解決しようとする問題点］ しかしながらこの様に構成された装置では、試料交換時
等に電子ビームの照射を遮断するため電子銃室と試料室
を真空遮断する真空バルプ上に電子ビームを照射するが
、この真空バルブに使用しているＯリングを損傷させた
り、又、電子ビーム遮断用のシャッターの損傷が激しい
という欠点があった。

本発明はこのような欠点を解消して、真空バルブのＯリ
ングの損傷や電子ビーム遮断用のシャッターの損傷なく
して安定した電子ビームを得ることができる電界放射型
電子銃を備えた電子顕微鏡を提供することを目的として
いる。

［問題点を解決するための手段〕 本目的を達成するための本発明は、エミッタ．引出し電
極，加速電極からなる電子銃と、該電子銃を収納する．
超高真空に排気される電子銃室と、該電子銃室下方に設
けられた比較的真空度の低い、大気に晒されることのあ
る真空室と、該電子銃室と真空室を真空遮断する真空バ
ルブと、前記電子銃室内に設けられた電子ビームチジッ
パー用の偏向コイルと、前記真空室よりの信号によって
前記偏向コイル及び真空バルブを制御する制御回路とを
具備したことを特徴としている。

［実施例］ 以下本発明の実施例を図面に基づき詳述する。

図は本発明の一実施例の概略構成図である。図において
、１はエミッタ，２はエミッタ支持部材、３は高圧導入
部、４は引出ｌ７電極、５はた乙えば−ＩＯＯＫＶが印
加されたカソード、６はアース電位のアノードである６
７は収束レンズ用コイル、８はエミッタ１よりの電子ビ
ームＥＢを螢光板９の方向に曲げる所謂電子ビームチジ
ッパー用の偏向コイルである．，１０は電子銃室１１に
設けられた覗き窓で、螢光板９に電子ビームＥＢが照射
されるとこの覗き窓１０から電子ビームＥＢの状態が観
察できるようになっている。１２は螢光板９に電子ビー
ムＥＢが照射された場合の照射電流を検出するための電
流計で、１３は電流計１２の信号によってエミッタ１に
印加する電圧を制御する制御電源である．１４は電子銃
室１１の下方に配置された試料室で、電子銃室１１と試
料室１３は真空バルブ１５によって遮断されている，ｌ
１６は偏向コイル８に偏向電流を供給する偏向？！！源
、１７はバルプ用電源、１８は偏向ｔａ源１６とバルプ
用電源］７を制御する制御回路である。

このように構成された装置で、試料交換を行う場合につ
いて説明する。例えば、サイドエントリー型試料ホルダ
ーを試料室に挿入すると、試料交換信号ｍが制御回路１
８に人力する。この信号ｍが入力すると制御回路１８は
、先ず、偏向電源１６を制御し偏向コイル８に偏向電流
を供給する。

この偏向コイル８の偏向電流の供給によって、電子ビー
ムＥＢは螢光板９の方向に曲げられ螢光板９を照射する
。次に、制御回路１８は、バルブ用電源１７を制御して
真空バルブ１５を閉状態にする。この状態では、電子銃
室１１と試料室１４は真空バルブ１５によって遮断され
ている。そのため、試料交換によって試料室１４の真空
度が低下しても電子銃室内の真空度は低下しない。一方
、螢光板９には電子ビームＥＢが曲げられて照射されて
いるが、この電子ビームＥＢ（フィールドエミッション
）の状態は、覗き窓１０より観察することができる。又
、電流計１２によってビーム電流が検出されているため
、この信号によって制御電源１３が制御されて電子ビー
ムＥＢが常に螢光板９に照射されるよう制御される。従
って、このように構成された装置では、電子ビームチも
ツバー用の偏向コイルを設けて電子ビー・ムを曲げるよ
うにして、電子ビームを真空バルブや電子ビーム遮断用
シャッター上に照射しないようにしたため、真空バルブ
のＯリングの損傷や電子ビーム遮断用シャッターの損傷
を少なくすることができる。又、螢光板に電子ビームの
状態が表示されるようになっているため常に安定な電子
ビームを得ることができる。

上記は例示であり変形して実施することができる。上記
実施例では、電子銃室下方に設けられた試料室よりの試
料交換信号によって電子ビームを偏向するようにしたが
、これに限定されず、カメラ室のフイルム交換信号によ
って電子ビームを偏向するようにしても良い。

又、上記実施例では電子ビームのビーム電流を検出する
ために螢光板を用いたが、ファラデーカップを用いるよ
うにしても良い。

［発明の効果］ 以上詳述した様に本発明によれば、電子銃室下方に設け
られた真空室よりの真空度低下等の信号によって電子ビ
ームを偏向するようにしたので、真空バルブのＯリング
の損傷や電子ビーム遮断用のシャッターの損傷させるこ
となく安定した電子ビームを得ることができる電界放射
型電子銃を備えた電子顕微鏡を提供することが可能にな
る。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例の概略図である １：エミッタ、２：エミッタ支持部材、３：高圧導入部
、・４：引出し電極、５：カソード、６：アノード、７
：収束レンズ用コイル、８：偏向コイル、９：螢光板、
１０：覗き窓、１１：電子銃室、１２：電流計、１３：
制御電源、１４：試料室、１５：真空バルブ、１６：偏
向電源、１７：バルプ用電源、１８：制御回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　エミッタ、引出し電極、加速電極からなる電子銃と、
   該電子銃を収納する超高真空に排気される電子銃室と、
   該電子銃室下方に設けられた比較的真空度の低い、大気
   に晒されることのある真空室と、該電子銃室と真空室を
   真空遮断する真空バルブと、前記電子銃室内に設けられ
   た電子ビームチョッパー用の偏向コイルと、前記真空室
   よりの信号によって前記偏向コイル及び真空バルブを制
   御する制御回路とを具備した電界放射型電子銃を備えた
   電子顕微鏡。