JPH03257007A - 熱分解炭素皮膜の生成方法 - Google Patents
熱分解炭素皮膜の生成方法Info
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- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、熱分解炭素皮膜の生成方法に関するものであ
る。
る。
〔従来の技術及び発明が解決しようとする課題〕従来の
炭素皮膜の生成方法としてはメタン、プロパンなどの炭
化水素ガスを高温域に導入し、それらを気相で熱分解さ
せ基体上に蒸着させ炭素皮膜を生成させる方法が知られ
ている。しかし均一な特性を持つ皮膜を得るために高温
真空炉の加熱温度、真空度及びガスの流量を調製しなけ
ればならなかった。
炭素皮膜の生成方法としてはメタン、プロパンなどの炭
化水素ガスを高温域に導入し、それらを気相で熱分解さ
せ基体上に蒸着させ炭素皮膜を生成させる方法が知られ
ている。しかし均一な特性を持つ皮膜を得るために高温
真空炉の加熱温度、真空度及びガスの流量を調製しなけ
ればならなかった。
本発明者らは上記課題を解決するために、鋭意研究を行
った結果、加熱温度、真空度、ガス流量等の調整なしに
簡便に基体上へ均一に熱分解炭素皮膜を生成させる方法
を見出し、本発明を完成するに到った。
った結果、加熱温度、真空度、ガス流量等の調整なしに
簡便に基体上へ均一に熱分解炭素皮膜を生成させる方法
を見出し、本発明を完成するに到った。
即ち、本発明は、熱分解炭素皮膜となりうる有機化合物
を被覆した耐火性粒子を、基体と共に加熱することを特
徴とする熱分解炭素皮膜の生成方法を提供するものであ
る。
を被覆した耐火性粒子を、基体と共に加熱することを特
徴とする熱分解炭素皮膜の生成方法を提供するものであ
る。
本発明に用いられる熱分解炭素皮膜となりうる有機化合
物としては、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族
系のモノマー;ポリエチレン、ポリブテン、石油樹脂、
ジシクロペンタジェン樹脂、クマロンインデン樹脂、ジ
エン樹脂等の炭化水素系樹脂;アクリル酸系樹脂;酢酸
ビニル及びビニルアルコール系ftM脂; 塩化ビニル
樹脂、塩化ビニリデン樹脂等の含ハロゲン系樹脂;フェ
ノールホルマリン樹脂、クレゾールホルマリン樹脂等の
フェノール系樹脂;尿素樹脂、メラミン樹脂等のアミノ
樹脂;キシレン樹脂、トルエン樹脂、アルキルベンゼン
樹脂等の芳香族炭化水素系樹脂;ケトン樹脂;飽和アル
キード樹脂;不飽和ポリエステル樹脂等のポリエステル
型樹脂;6ナイロン、6.6ナイロンなどのポリアミド
型樹脂;グリシジル型エポキサイド、ビスフェノール型
エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂;フェノキシ樹脂;ポリ
フェニレン樹脂;カゼイン等のタンパク質系樹脂;ロジ
ン、リグニン等の天然樹脂;桐油、あまに油等の油脂類
等が挙げられる。
物としては、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族
系のモノマー;ポリエチレン、ポリブテン、石油樹脂、
ジシクロペンタジェン樹脂、クマロンインデン樹脂、ジ
エン樹脂等の炭化水素系樹脂;アクリル酸系樹脂;酢酸
ビニル及びビニルアルコール系ftM脂; 塩化ビニル
樹脂、塩化ビニリデン樹脂等の含ハロゲン系樹脂;フェ
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樹脂;キシレン樹脂、トルエン樹脂、アルキルベンゼン
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型樹脂;グリシジル型エポキサイド、ビスフェノール型
エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂;フェノキシ樹脂;ポリ
フェニレン樹脂;カゼイン等のタンパク質系樹脂;ロジ
ン、リグニン等の天然樹脂;桐油、あまに油等の油脂類
等が挙げられる。
これら有機化合物を耐火性粒子に被覆するには、耐火性
粒子と直接混合しても良いし、予めテトラヒドロフラン
(TIF)等の溶剤で溶解させて混合しても良い。
粒子と直接混合しても良いし、予めテトラヒドロフラン
(TIF)等の溶剤で溶解させて混合しても良い。
本発明に用いられる耐火性粒子としては、粒径が101
1m〜5−のアルミナ、シリカ、石英質を主成分とする
珪砂の他、ジルコン、クロマイト、オリビン、ムライト
、珪石、黒鉛などが挙げられる。
1m〜5−のアルミナ、シリカ、石英質を主成分とする
珪砂の他、ジルコン、クロマイト、オリビン、ムライト
、珪石、黒鉛などが挙げられる。
本発明において、炭素皮膜を生成させる基体は有機化合
物を被覆した耐火性粒子の中へうめ込んでも良いし、耐
火性粒子上へ置いても良い。
物を被覆した耐火性粒子の中へうめ込んでも良いし、耐
火性粒子上へ置いても良い。
また、例えばるつぼ等の耐熱性容器の内壁へ炭素皮膜を
生成させる場合は、るつぼへ耐火性粒子を充填すれば良
い。
生成させる場合は、るつぼへ耐火性粒子を充填すれば良
い。
炉内の雰囲気はN2などの不活性ガスで置換した方が好
ましいが、自己雰囲気が還元性になる場合は特に置換し
なくても良い。また加熱温度は600〜1500℃が好
ましい。
ましいが、自己雰囲気が還元性になる場合は特に置換し
なくても良い。また加熱温度は600〜1500℃が好
ましい。
以下、実施例を挙げて、本発明を具体的に説明するが、
本発明は、これらの実施例のみに限定されるものではな
い。
本発明は、これらの実施例のみに限定されるものではな
い。
実施例
珪砂100重量部と、キシレン樹脂(商品名ニカノール
しLL、三菱瓦斯化学■製)2重量部を混合し、これを
磁製るつぼ中へ充填し、ふたをした。800℃に加熱し
た電気炉へこのるつぼを入れ、空気中で5分間焼成し、
室温まで冷却した後、るつぼ内の珪砂を取り出すと、る
つぼ内壁に厚さ約7−の炭素皮膜が得られた。
しLL、三菱瓦斯化学■製)2重量部を混合し、これを
磁製るつぼ中へ充填し、ふたをした。800℃に加熱し
た電気炉へこのるつぼを入れ、空気中で5分間焼成し、
室温まで冷却した後、るつぼ内の珪砂を取り出すと、る
つぼ内壁に厚さ約7−の炭素皮膜が得られた。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、熱分解炭素皮膜となりうる有機化合物を被覆した耐
火性粒子を、基体と共に加熱することを特徴とする熱分
解炭素皮膜の生成方法。 2、加熱温度が600〜1500℃である請求項1記載
の熱分解炭素皮膜の生成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2056137A JP2911949B2 (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 熱分解炭素皮膜の生成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2056137A JP2911949B2 (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 熱分解炭素皮膜の生成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03257007A true JPH03257007A (ja) | 1991-11-15 |
JP2911949B2 JP2911949B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=13018688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2056137A Expired - Fee Related JP2911949B2 (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 熱分解炭素皮膜の生成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2911949B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8173049B2 (en) | 1999-04-30 | 2012-05-08 | Acep Inc. | Electrode materials with high surface conductivity |
JP2013245372A (ja) * | 2012-05-25 | 2013-12-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 蒸着用ルツボの製造方法 |
-
1990
- 1990-03-06 JP JP2056137A patent/JP2911949B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8173049B2 (en) | 1999-04-30 | 2012-05-08 | Acep Inc. | Electrode materials with high surface conductivity |
US8257616B2 (en) | 1999-04-30 | 2012-09-04 | Acep Inc. | Electrode materials with high surface conductivity |
US8506851B2 (en) | 1999-04-30 | 2013-08-13 | Acep Inc. | Electrode materials with high surface conductivity |
US8506852B2 (en) | 1999-04-30 | 2013-08-13 | Acep Inc. | Electrode materials with high surface conductivity |
JP2013245372A (ja) * | 2012-05-25 | 2013-12-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 蒸着用ルツボの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2911949B2 (ja) | 1999-06-28 |
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