JPH03257007A - 熱分解炭素皮膜の生成方法 - Google Patents

熱分解炭素皮膜の生成方法

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JPH03257007A
JPH03257007A JP2056137A JP5613790A JPH03257007A JP H03257007 A JPH03257007 A JP H03257007A JP 2056137 A JP2056137 A JP 2056137A JP 5613790 A JP5613790 A JP 5613790A JP H03257007 A JPH03257007 A JP H03257007A
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resins
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、熱分解炭素皮膜の生成方法に関するものであ
る。
〔従来の技術及び発明が解決しようとする課題〕従来の
炭素皮膜の生成方法としてはメタン、プロパンなどの炭
化水素ガスを高温域に導入し、それらを気相で熱分解さ
せ基体上に蒸着させ炭素皮膜を生成させる方法が知られ
ている。しかし均一な特性を持つ皮膜を得るために高温
真空炉の加熱温度、真空度及びガスの流量を調製しなけ
ればならなかった。
〔課題を解決するための手段〕
本発明者らは上記課題を解決するために、鋭意研究を行
った結果、加熱温度、真空度、ガス流量等の調整なしに
簡便に基体上へ均一に熱分解炭素皮膜を生成させる方法
を見出し、本発明を完成するに到った。
即ち、本発明は、熱分解炭素皮膜となりうる有機化合物
を被覆した耐火性粒子を、基体と共に加熱することを特
徴とする熱分解炭素皮膜の生成方法を提供するものであ
る。
本発明に用いられる熱分解炭素皮膜となりうる有機化合
物としては、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族
系のモノマー;ポリエチレン、ポリブテン、石油樹脂、
ジシクロペンタジェン樹脂、クマロンインデン樹脂、ジ
エン樹脂等の炭化水素系樹脂;アクリル酸系樹脂;酢酸
ビニル及びビニルアルコール系ftM脂; 塩化ビニル
樹脂、塩化ビニリデン樹脂等の含ハロゲン系樹脂;フェ
ノールホルマリン樹脂、クレゾールホルマリン樹脂等の
フェノール系樹脂;尿素樹脂、メラミン樹脂等のアミノ
樹脂;キシレン樹脂、トルエン樹脂、アルキルベンゼン
樹脂等の芳香族炭化水素系樹脂;ケトン樹脂;飽和アル
キード樹脂;不飽和ポリエステル樹脂等のポリエステル
型樹脂;6ナイロン、6.6ナイロンなどのポリアミド
型樹脂;グリシジル型エポキサイド、ビスフェノール型
エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂;フェノキシ樹脂;ポリ
フェニレン樹脂;カゼイン等のタンパク質系樹脂;ロジ
ン、リグニン等の天然樹脂;桐油、あまに油等の油脂類
等が挙げられる。
これら有機化合物を耐火性粒子に被覆するには、耐火性
粒子と直接混合しても良いし、予めテトラヒドロフラン
(TIF)等の溶剤で溶解させて混合しても良い。
本発明に用いられる耐火性粒子としては、粒径が101
1m〜5−のアルミナ、シリカ、石英質を主成分とする
珪砂の他、ジルコン、クロマイト、オリビン、ムライト
、珪石、黒鉛などが挙げられる。
本発明において、炭素皮膜を生成させる基体は有機化合
物を被覆した耐火性粒子の中へうめ込んでも良いし、耐
火性粒子上へ置いても良い。
また、例えばるつぼ等の耐熱性容器の内壁へ炭素皮膜を
生成させる場合は、るつぼへ耐火性粒子を充填すれば良
い。
炉内の雰囲気はN2などの不活性ガスで置換した方が好
ましいが、自己雰囲気が還元性になる場合は特に置換し
なくても良い。また加熱温度は600〜1500℃が好
ましい。
〔実施例〕
以下、実施例を挙げて、本発明を具体的に説明するが、
本発明は、これらの実施例のみに限定されるものではな
い。
実施例 珪砂100重量部と、キシレン樹脂(商品名ニカノール
しLL、三菱瓦斯化学■製)2重量部を混合し、これを
磁製るつぼ中へ充填し、ふたをした。800℃に加熱し
た電気炉へこのるつぼを入れ、空気中で5分間焼成し、
室温まで冷却した後、るつぼ内の珪砂を取り出すと、る
つぼ内壁に厚さ約7−の炭素皮膜が得られた。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、熱分解炭素皮膜となりうる有機化合物を被覆した耐
    火性粒子を、基体と共に加熱することを特徴とする熱分
    解炭素皮膜の生成方法。 2、加熱温度が600〜1500℃である請求項1記載
    の熱分解炭素皮膜の生成方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013245372A (ja) * 2012-05-25 2013-12-09 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 蒸着用ルツボの製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8173049B2 (en) 1999-04-30 2012-05-08 Acep Inc. Electrode materials with high surface conductivity
US8257616B2 (en) 1999-04-30 2012-09-04 Acep Inc. Electrode materials with high surface conductivity
US8506851B2 (en) 1999-04-30 2013-08-13 Acep Inc. Electrode materials with high surface conductivity
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