JPH0325283A - 真空乾燥装置 - Google Patents

真空乾燥装置

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Publication number
JPH0325283A
JPH0325283A JP15961989A JP15961989A JPH0325283A JP H0325283 A JPH0325283 A JP H0325283A JP 15961989 A JP15961989 A JP 15961989A JP 15961989 A JP15961989 A JP 15961989A JP H0325283 A JPH0325283 A JP H0325283A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
main body
drying
vacuum
drying tank
belt conveyor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15961989A
Other languages
English (en)
Inventor
Shin Okuyama
奥山 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Senju Metal Industry Co Ltd
Original Assignee
Senju Metal Industry Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Senju Metal Industry Co Ltd filed Critical Senju Metal Industry Co Ltd
Priority to JP15961989A priority Critical patent/JPH0325283A/ja
Publication of JPH0325283A publication Critical patent/JPH0325283A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は被乾燥物を連続して乾燥させることができる真
空乾燥装置に関する。
〔従来の技術〕
従来、はんだ付け後のプリント基板やメッキ後のIC等
の電子機器の部品の洗浄はフッ素系有機溶剤、或いは塩
素系有S!溶剤で行っていたが、フッ素系有機溶剤は地
球を取り巻くオゾン層を破壊し、太矯の紫外線を多量に
地球に到達させて人間に皮膚ガンを起こさせ、また塩素
系有6!溶剤は地下に滲透して地下水に混入し、地下水
が飲用できなくなるということから、これら有機溶剤の
使用が規制されてきている。
それ故、近時これら有機溶剤の代わりに水溶性洗剤を用
いて洗浄する所謂水洗が行われるようになってきた。し
かしながら、電子機器の部品は水洗後、水分が残ってい
ると金属部が錆びたり、回路に腐食生戊物が付着してw
A紗抵抗を低下させる原因となるため、水洗後は速やか
に水分を乾燥させなければならないものである。
一般に乾燥装置としては加熱乾燥炉、熱風吹付装置、真
空乾燥装置等があるが、複数な構成の電子機器の部品を
隅々まで完全に、しかも短時間で乾燥させるには真空乾
燥装置が最適である。
従来の真空乾燥装置は、一箇所の人口を有する乾燥タン
クが固定設置されたものであり、被乾燥物を該人口から
乾燥タンク内に出し入れすることにより乾燥処理を行っ
ていたものである。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところで、近時の水洗装置はベルトコンベアに被洗浄物
を乗せて搬送しながら洗剤洗浄、水洗浄が連続して行わ
れるようになってきた.従って、水洗後の被洗浄物の乾
燥もベルトコンベアに乗せて搬送しながら行ないたいと
ころであるが、従来の乾燥装置は人口が一つしかない乾
燥タンクが固定されたものであるため、連続作業はでき
ない。
被乾燥物を搬送しながら乾燥させる方法として細長い乾
燥タンクを用意し、その中でベルトコンベアを走行させ
ることも考えられるが、縞長い乾燥タンク内を真空にす
るには多大な真空装置が必要となるばかりでなく、被乾
燥物の出し入れの際の真空の保持ができないため実用化
は不可能である。
〔!!題を解決するための手段〕
本発明者は乾燥タンクを二つ割りにし、その分割部にシ
ールゴムを帖付しておけば、二つ割りの乾燥タンクを合
わせた時に、その間に多少の異物があってもシールゴム
が気密を保持することができることに着目して本発明を
完成させた。
本発明は、乾燥タンクは可撓管で真空装置と接続されて
おり、ベルトコンベアの下部に設置された乾燥タンクの
本体とベルトコンベアの上部に設置された乾燥タンクの
蓋部材とは密着可能に連結されていて、該本体はベルト
コンベア近傍にあるレールに沿ってベルトコンベアとと
もに移動可能となっており、しかも本体には走行方向に
移動した本体をベルトコンベアの走行方向とは逆方向に
戻す機構が設置されていることを特徴とする真空乾燥装
置である。
〔実施例〕
乾燥タンクlは本体2と蓋部材3から構成されており、
零体2はベルトコンベア4の下部に、また蓋部材3はベ
ルトコンベア4の上部に設置されている.該本体と蓋部
材はそれぞれ底の浅い箱形であり、間口周囲にはフラン
ジ5が形成され、さらに該フランジにはシールゴム6が
帖付されている.蓋部材3の両側のフランジ上にはエア
ーシリンダー7が設置されており、そのピストン8の先
端は本体2のフランジに固定されている。零体2の両側
面にはスライドボール9が取り付けられていて、該スラ
イドボールがベルトコンベア4と平行に設置された2本
のレール10を円滑に摺動ずるようになっている.レー
ル10の始端部(第l図右′4)にはストッパー11が
設置されており、終端部(第1図左端〉にはセンサー付
ストッパー12が設置されている。本体2にはレール1
0の終端部まで移動した本体を始端部まで戻す機構が設
置されている.該戻し機構とは、本体の後部に取り付け
られたワイヤー13を巻取りモーター14で巻き取るも
のである。蓋部材3の上部には排気口15が穿設されて
おり、該排気口には可撓管l6が接続されている.可撓
管l6の他端は真空装1117と接続されている。真空
装置l7は真空ボンブl8と一対の真空タンク19、2
0から成り、真空ボンブ14と一対の真空タンク19、
20とはそれぞれバルブVl,V2を介して接続されて
いる。また一対の真空タンクl9、20は2似のバルブ
V3、■4を介して接続されており、この2個のバルブ
の間に前述の可撓管16が接続されている. 次に上記本発明の乾燥装置における乾燥について説明す
る。
先ず準備として、バルブ■3、■4を閉じておいてから
、真空ボンブ18で真空タンク19、20を真空にする
。そして乾燥タンク1は第1図の実線および第2、4図
で示すように蓋部材3を上方に持ち上げた状態にしてお
くとともに、1ノール10の始端部に位置しておく。こ
のようにして真空装置と乾燥タンクの準備ができたなら
ば、水洗して水濡れした被乾燥物Pをベルトコンベア佳
のスタート地点く第1図記載のベルトコンベアの右端)
に乗せる.被乾燥物Pはベルトコンベアで搬送され、上
下に蓋部材3と本体2に分かれた真空タンクの略中央に
くる。これを図示しないセンサー(フォトセンサーまた
は光センサー)が感知し、該センサーの信号はエアシリ
ンダー7を作動させて蓋部材を降下させ、本体2と蓋部
材を密着させる。すると乾燥タンクは本体と蓋部材でベ
ルトコンベア4を挟むため、ベルトコンベアの走行とと
もにレール10に沿って移動する(第1図の中央部の二
点鎖線で示す乾燥タンクおよび第3図)。
乾燥タンクの零体2と蓋部材3とが密着すると同時に一
方の真空タンクl9に通じるバルブv3を開くと、乾燥
タンクl内の空気は一瞬のうちに真空タンク19内に引
かれ減圧となる。この時、乾燥タンク内の真空度が乾燥
に適したほど高くなっていなくても真空ボンブl8を稼
働させておけば直ぐに所望の真空度となる.この様にし
て乾燥タンクlはベルトコンベア40走行とともに走行
しながら、乾燥タンク内の被乾燥物の乾燥を行う.そし
て、乾燥タンクがレールを走行し、レールlOの終端の
センサー付ストッパーl2に達すると該センサーの信号
でエアシリンダー7のピストンを下方に出して蓋部材を
上方に持ち上げる(第1図の左方の二点鎖線で示す乾燥
タンク)。また該センサーの信号はモーター14を回転
させてワイヤー13を巻き取り乾燥タンクをレールの始
端部まで戻すことも行う。この蓋部材3を持ち上げる時
にはバルブ■3を閉じておき図示しない配管回路で乾燥
タンク内に空気を流入させて大気圧にする。乾燥タンク
がレールの始端部まで戻ったならば、次の被乾燥物をベ
ル1・コンベアに乗せて乾燥タンク内に送り込む。先と
同様にこれをセンサーが感知して蓋部材3が降りると今
度はバルブV4を間き、今度はもう一方の真空タンク2
0により乾燥タンク内の空気が抜かれ、乾燥タンクはベ
ルトコンベアの走行とともに走行しているうちに中の被
乾燥物の乾燥を行う。この間、一方の真空タンクl9内
の空気は真空ボンブl8で抜かれ次の乾燥に備える.こ
の様にして次々とベルトコンベアで搬送されてくる被乾
燥物は走行する乾燥タンクで乾燥されることになる. 〔発明の効果〕 本発明の真空乾燥装置は、乾燥タンクがベルトコンベア
を挟んで内部を真空状態にすることができるとともにベ
ルトコンベア上の被乾燥物を走行させながら乾燥を行え
るため、自動化された洗浄装置とのインライン化を可能
にするものである,
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の乾燥装置の正面図、第2図は蓋部材を
上方に持ち上げた状態の乾燥タンクの側面断面図、第3
図は本体と蓋部材とが密着した状態の乾燥タンクの側面
断面図、第4図は蓋部材を上方に持ち上げ状態の乾燥タ
ンクの斜視図である。 1・・・乾燥タンク 2・・・乾燥タンクの本体3・・
・乾燥タンクの蓋部材 4・・・ベルトコンベア5・・
・フランジ 6・・・シールゴム7・・・エアーシリン
ダー 8・・・ピストン9・・・スライドボール lO
・・・レール1l・・・ストッパー l2・・・センサー付ストッパー l3・・・ワイヤー
14・・・モーター lδ・・・排気口 16・・・可
撓管l7・・・真空装置 18・・・真空ボンブ19、
20・・・真空タンク ■1、v2、v3、v4・・・バルブ P・・・被乾燥物

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  乾燥タンクは可撓管で真空装置と接続されており、ベ
    ルトコンベアの下部に設置された乾燥タンクの本体とベ
    ルトコンベアの上部に設置された乾燥タンクの蓋部材と
    は密着可能に連結されていて、該本体はベルトコンベア
    近傍にあるレールに沿ってベルトコンベアとともに移動
    可能となっており、しかも本体には走行方向に移動した
    本体をベルトコンベアの走行方向とは逆方向に戻す機構
    が設置されていることを特徴とする真空乾燥装置。
JP15961989A 1989-06-23 1989-06-23 真空乾燥装置 Pending JPH0325283A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15961989A JPH0325283A (ja) 1989-06-23 1989-06-23 真空乾燥装置

Applications Claiming Priority (1)

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JP15961989A JPH0325283A (ja) 1989-06-23 1989-06-23 真空乾燥装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0325283A true JPH0325283A (ja) 1991-02-04

Family

ID=15697675

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15961989A Pending JPH0325283A (ja) 1989-06-23 1989-06-23 真空乾燥装置

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JP (1) JPH0325283A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0383795U (ja) * 1989-12-13 1991-08-26
JP2005291447A (ja) * 2004-04-02 2005-10-20 Tokai Rubber Ind Ltd 流体封入式の防振連結ロッド

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0383795U (ja) * 1989-12-13 1991-08-26
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