JPH0325073Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、クリーンルーム用清掃装置、例えば
半導体工業等に用いられるクリーンルーム、製薬
工場、病院等で用いられるバイオロジカリークリ
ーンルーム、あるいはその他一般に用いられるク
リーンルームの室内を清掃する装置に関する。

（従来の技術） 一般に、クリーンルームにおいては、清浄空気
が外部から室内に供給されるとともに室内の汚染
空気が外部に排出されて、クリーンルームの清浄
度が設計値以上に確保されている。一方、クリー
ンルーム内の作業のために、作業員の出入および
物品の搬出入が行われるが、このとき、作業員お
よび物品に付着した鹿埃等によつてクリーンルー
ム内の清浄度が低下する。また、クリーンルーム
を長時間使用すると、室内に清浄空気によつて充
分に置換されない部分が生じ、塵埃等が蓄積され
てクリーンルームの清浄度が低下することがあ
る。このため、必要に応じてクリーンルーム用清
掃装置によるクリーンルーム内の清掃が行われて
いる。

従来のこの種のクリーンルーム用清掃装置とし
ては、例えば可搬式真空掃除機あるいは大規模な
集中除塵方式による清掃装置が知られている。前
者のものにおいては、掃除機の一式がクリーンル
ーム内に搬入されて清掃が行われ、清掃終了後再
び室外に搬出されるようになつている。一方、後
者のものにおいては、クリーンルーム外に設置さ
れた本体装置から各クリーンルームに吸引パイプ
が配設され、各部屋毎に吸引パイプのコネクタが
設けられている。そして、吸引パイプのコネクタ
に清掃用具を接続して清掃を行うようになつてい
る。

（考案が解決しようとする問題点） しかしながら、このような従来のクリーンルー
ム用清掃装置においては、清掃作業の度に掃除機
がクリーンルームに搬入されるので、掃除機ある
いは作業員に付着した塵埃等が室内に持ち込ま
れ、また、掃除機によつて捕集されない塵埃等が
未捕集のまま室内に残されるので、必ずしもクリ
ーンルーム内清掃の目的が達成されず、クリーン
ルーム内の清浄度が低下して、ひいてはクリーン
ルームで生産される製品の品質を低下させるとい
う問題点があつた。

一方、大規模が集中除塵方式による清掃装置に
おいては、上述の問題点に解決されるものの、装
置の設備費が高く、特に、既設のクリーンルーム
では吸引パイプの設置工事のためクリーンルーム
の使用が阻害され、製品の生産が低下するという
問題点があつた。

（考案の目的） そこで、本考案は、クリーンルーム壁部のパス
ボツクスにパイプ状のコネクタを着脱自在に取付
け、コネクタの内方突出端部および外方突出端部
にそれぞれ吸引具および吸引清掃機を連結し、さ
らにコネクタに開閉弁を設けて外気の侵入を防止
することにより、清掃作業によるクリーンルーム
内清浄度の低下を解消して、製品品質の向上を図
り、併せて設備費の低減、改造工事による生産低
下の防止を図ることを目的としている。

（問題点を解決するための手段） 本考案によるクリーンルーム用清掃装置は上記
目的達成のため、クリーンルームの壁部に取付け
られたパスボツクスと、パスボツクスを貫通して
クリーンルームの壁部の内方および外方を互いに
連通するようパスボツクスに着脱自在に取付けら
れ、クリーンルームの壁部の内方および外方にそ
れぞれ突出する内方突出端部および外方突出端部
を有するパイプ状のコネクタと、屈曲自在なパイ
プを介して前記コネクタの内方突出端部に連結さ
れる吸引具と、前記コネクタの外方突出端部に連
結される吸引清掃機と、前記コネクタに設けら
れ、コネクタに吸引具が連結されたときにコネク
タを開放し、コネクタから吸引具が取外されたと
きにコネクタを閉止する開閉弁と、を備えてい
る。

（作用） 本考案では、クリーンルーム壁部のパスボツク
スにパイプ状のコネクタが着脱自在に取付けら
れ、コネクタの内方突出端部および外方突出端部
にそれぞれ吸引具および吸引清掃機が取付けられ
るとともに、コネクタに開閉弁が設けられて外気
の侵入が防止される。そして、清掃作業によるク
リーンルーム内清浄度の低下が解消される。した
がつて、製品の品質が向上し、併せて設備費の低
減、改造工事による生産低下の防止が図られる。

（実施例） 以下、本考案を図面に基づいて説明する。

第１〜３図は本考案の一実施例を示す図であ
る。

第１，２図において、１はクリーンルームの壁
部であり、壁部１にはパスボツクス２が取付けら
れている。パスボツクス２は、第３図に示すよう
に、壁部１を貫通し、フランジ３ａ，３ｂによつ
て壁部１に固着されたケーシング３、ケーシング
３が壁部１の内方（図中右側）に開口するケーシ
ング３の一端に取付けられたフランジ部４、ケー
シング３が壁部１の外方（図中左側）に開口する
ケーシング３の他端に取付けられたフランジ部５
およびフランジ部４，５にそれぞれ開閉自在に設
けられ、ケーシング３の両端の開口を開閉する扉
部６，７よりなつている。そして、パスボツクス
２は、クリーンルームの外部からクリーンルーム
の内部に物品を搬入するとき、外部の汚染空気が
内部に侵入するのを防止する機能を有する。すな
わち、外部からパスボツクス２の扉部７を開放し
てケーシング３内に物品を収納し、再び扉部７を
閉止して外部の空気を遮断した状態で、扉部６を
開閉して物品をクリーンルームの内部に搬入す
る。したがつて、外部の汚染空気がクリーンルー
ム内に侵入するのが最小限度にとどめられる。

第２図において、８は、扉部６，７が開放され
たパスボツクス２の略中央部を貫通してパスボツ
クス２に取付けられるパイプ状のコネクタであ
る。コネクタ８は、壁部１の内方に突出する内方
突出端部９ａを一端に有する第１コネクタ９およ
び壁部１の外方に突出する外方突出端部１０ａを
一端に有する第２コネクタ１０よりなり、第１コ
ネクタ９の他端および第２コネクタ１０の他端は
それぞれカツプリング１１に螺合して、互に連結
される。第１コネクタ９はプレート状の第１カバ
ー１２を貫通して第１カバー１２に固着され、第
１カバー１２は、第１カバー１２の側面に接着さ
れた磁気吸着性を有するシート状のシール部材１
３、例えばプラスチツクマグネツトによつてパス
ボツクス２のフランジ部４に着脱自在に取付けら
れる。一方、１４はプレート状の第２カバーであ
り、前述の第１カバー１２と同様、第２カバー１
４の側面に接着された磁気吸着性を有するシート
状のシール部材１５、例えばプラスチツクマグネ
ツトによつてパスボツクス２のフランジ部５に着
脱自在に取付けられる。また、第２カバー１４の
中央部には第２コネクタ１０が嵌挿されるスタツ
フイングボツクス１６が設けられている。スタツ
フイングボツクス１６は、フランジ１７ａおよび
ボス１７ｂを有し、第２カバー１４に固着された
ネツク部１７と、ボルト１８によつてネツク部１
７のフランジ１７ａに係止されるフランジ１９ａ
およびネツク部１７のボス１７ｂの内周に嵌挿さ
れるスリーブ１９ｂを有するグランド部１９と、
ネツク部１７のボス１７ｂの内周に嵌挿され、第
２コネクタ１０の外周に当接してパスボツクス２
のケーシング３内部を壁部１の外部からシールす
る複数のリング状シール部材２０によつて構成さ
れている。ここで、１２ａは第１カバー１２、シ
ール部材１３を貫通し、フランジ部４に対向して
設けられた押しボルトであり、押しボルト１２ａ
は第１カバー１２に固着して設けられたナツト１
２ｂに螺合してフランジ部４を押圧し、第１カバ
ー１２のフランジ部４からの離脱を容易にしてい
る。同様に、１４ａは第２カバー１４、シール部
材１５を貫通し、フランジ部５に対向して設けら
れた押しボルトであり、押しボルト１４ａは第２
カバー１４に固着して設けられたナツト１４ｂに
螺合してフランジ部５を押圧し、第２カバー１４
のフランジ部５からの離脱を容易にしている。

このように、コネクタ８はパスボツクス２を貫
通して壁部１の内方および外方を互いに連通す
る。そして、スタツフイングボツクス１６のグラ
ンド部１９およびリング状シール部材２０が第２
コネクタ１０に、第２カバー１４およびネツク部
１７がパスボツクス２にそれぞれ着脱自在に取付
けられ、さらに第２コネクタ１０が第１コネクタ
９に、第１コネクタ９が第１カバー１２とともに
パスボツクス２に着脱自在に取付けられるので、
コネクタ８はパスボツクス２に容易に取付け、取
外しすることができる。

一方、２１は第１コネクタ９の内方突出端部９
ａに設けられた真空差込弁（開閉弁）であり、真
空差込弁２１には屈曲自在なパイプ２２、例えば
プラスチツク製の可撓性のホースの先端に取付け
られたホースカツプリング２３が嵌挿され、パイ
プ２２が第１コネクタ９に連結される。そして、
パイプ２２の基端は、第１図に示すように、清掃
用の吸引具２４に連結されており、吸引具２４は
パイプ２２、ホースカツプリング２３および真空
差込弁２１を介して第１コネクタ９の内方突出端
部９ａに連結される。真空差込弁２１には開閉自
在なカバー２１ａが設けられており、カバー２１
ａに形成されたレバー２１ｂによつてカバー２１
ａを開くことによつてホースカツプリング２３が
真空差込弁２１に嵌挿され、ホースカツプリング
２３が取外されるとカバー２１ａは真空差込弁２
１を自動的に閉止する。すなわち、真空差込弁２
１は、コネクタ８に吸引具２４が連結されたとき
にコネクタ８を開放し、コネクタ８から吸引具２
４が取外されたときにコネクタ８を閉止して、ク
リーンルーム外部の汚染空気がクリーンルームの
内部に侵入するのを防止している。また、２５は
吸引清掃機であり、例えばプラスチツク製の可撓
性のホース２６を介して第２コネクタ１０の外方
突出端部１０ａに連結される。

なお、本実施例においては、シール部材１３に
よつて第１カバー１２がフランジ部４に装着さ
れ、同様に、シール部材１５によつて第２カバー
１４がフランジ部５に装着されるが、これに限ら
ず、例えばＴボルト等によつて着脱自在に装着し
ても差支えない。また、コネクタ８に設けられる
開閉弁は本実施例で述べた真空差込弁２１に限ら
ず、真空差込弁２１と同様な機能を有するもので
あれば適用して差支えない。

次に、作用を説明する。

第２図において、先づ、パスボツクス２の扉部
６が壁部１の内方より開放され、パスボツクス２
内に第１コネクタ９が嵌挿され、第１カバー１２
がシール部材１３を介してフランジ部４に装着さ
れる。次いで、パスボツクス２の扉部７が壁部１
の外方より開放される。このとき、第１カバー１
２、シール部材１３によつて壁部１の内方が壁部
１の外方と遮断され、また第１コネクタ９が真空
差込弁２１のカバー２１ａによつて閉止されてい
るので汚染された外気が壁部１の内方に侵入する
のが防止される。第２コネクタ１０がカツプリン
グ１１を介して第１コネクタ９に連結され、第２
カバー１４のネツク部１７が第２コネクタ１０を
嵌挿し、第２カバー１４がシール部材１５を介し
てフランジ部５に装着される。ボス１７ｂの内周
にリング状シール部材２０、グランド部１９のス
リーブ１９ｂが順次に嵌挿される。グランド部１
９のフランジ１９ａがネツク部１７のフランジ１
７ａにボルト１８を介して係止され、スリーブ１
９ｂがリング状シール部材２０を押圧するのでリ
ング状シール部材２０が第２コネクタ１０に密着
し、ケーシング３内が壁部１の外方と遮断され
る。このように、汚染された外気が壁部１の内方
に侵入することなしに、コネクタ８がパスボツク
ス２を貫通して取付けられる。そして、第１図に
示すように第２コネクタ１０の外方突出端部１０
ａに吸引清掃機２５がホース２６を介して連結さ
れて吸引清掃機２５が運転される。一方、レバー
２１ｂによつてカバー２１ａが開放されてホース
カツプリング２３が真空差込弁２１に嵌挿される
と、吸引具２４がパイプ２２、ホースカツプリン
グ２３および真空差込弁２１を介して第１コネク
タ９に連結され、吸引具２４が吸引清掃機２５に
連結される。そして、吸引具２４によつてクリー
ンルーム内の塵俟等が吸引清掃機２５に吸引さ
れ、クリーンルーム内の清掃が行われる。なお、
吸引清掃機２５は、例えばタイマースイツチ等に
よつて清掃時間に対応した所定の時間運転され、
無人運転の場合でも吸引清掃機２５が過熱状態に
ならないようになつている。

クリーンルーム内の清掃が終了すると、ホース
カツプリング２３が真空差込弁２１から取外され
る。このとき、真空差込弁２１のカバー２１ａは
自重によつて自動的に真空差込弁２１を閉止し、
壁部１の外方よりホース２６が第２コネクタ１０
から取外されても、汚染された外気が壁部１の内
方に侵入するのが防止される。このような状態
で、ホース２６が第２コネクタ１０から取外さ
れ、順次に、ボルト１８、グランド部１９および
リング状シール部材２０が第２カバー１４から取
外され、第２カバー１４がパスボツクス２のフラ
ンジ部５から取外される。そして、第２コネクタ
１０がカツプリング１１から取外された後、扉部
７を閉じてパスボツクス２のケーシング３内が壁
部１の外方から遮断される。最後に、壁部１の内
方から第２カバー１４が第１コネクタ９、真空差
込弁２１とともにパスボツクス２のフランジ部４
から取外され、パスボツクス２の扉部６を閉じて
コネクタ８の取外し作業が完了する。なお、第２
カバー１４のフランジ部５からの取外しおよび第
１カバー１２のフランジ部４からの取外しのとき
には、それぞれ押しボルト１２ａおよび押しボル
ト１４ａを用いて容易に取外すことができる。

このように、本実施例によれば、クリーンルー
ムの壁部１に設けられたパスボツクス２に第１コ
ネクタ９、第２コネクタ１０よりなるパイプ状の
コネクタ８を着脱自在に取付け、第１コネクタ９
の内方突出端部９ａに真空差込弁２１、ホースカ
ツプリング２３およびパイプ２２を介して吸引具
２４を連結し、第２コネクタ１０の外方突出端部
１０ａに吸引清掃機２５を連結してクリーンルー
ム内の清掃が行われる。さらに、コネクタ８に真
空差込弁２１が設けられているので、吸引具２４
が取外されたときにコネクタ８を閉止して壁部１
内に外気が侵入するのを防止する。したがつて、
清掃作業によるクリーンルーム内の清浄度の低下
を解消することができる。その結果、製品の品質
を向上するとともに設備費を低減し、改造工事に
よる生産低下を防止することができる。

（効果） 本考案によれば、クリーンルーム壁部のバイパ
スボツクスにパイプ状のコネクタを着脱自在に取
付け、コネクタの内方突出端部および外方突出端
部にそれぞれ吸引具および吸引清掃機を連結し、
さらにコネクタに開閉弁を設けて外気の侵入を防
止しているので、清掃作業によるクリーンルーム
内清浄度の低下を解消することができる。したが
つて、製品の品質を向上するとともに、設備費を
低減し、改造工事による生産低下を防止すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１〜３図は本考案によるクリーンルーム用清
掃装置の一実施例を示す図であり、第１図はその
全体構成図、第２図はそのコネクタがパスボツク
スに取付けられた状態を示す要部断面図、第３図
はそのパスボツクスの側面図である。 １……壁部、２……パスボツクス、８……コネ
クタ、９ａ……内方突出端部、１０ａ……外方突
出端部、２１……真空差込弁（開閉弁）、２２…
…パイプ、２４……吸引具、２５……吸引清掃
機。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. クリーンルームの壁部に取付けられたパスボツ
   クスと、パスボツクスを貫通してクリーンルーム
   の壁部の内方および外方を互いに連通するようパ
   スボツクスに着脱自在に取付けられ、クリーンル
   ームの壁部の内方および外方にそれぞれ突出する
   内方突出端部および外方突出端部を有するパイプ
   状のコネクタと、屈曲自在なパイプを介して前記
   コネクタの内方突出端部に連結される吸引具と、
   前記コネクタの外方突出端部に連結される吸引清
   掃機と、前記コネクタに設けられ、コネクタに吸
   引具が連結されたときにコネクタを開放し、コネ
   クタから吸引具が取外されたときにコネクタを閉
   止する開閉弁と、を備えたことを特徴とするクリ
   ーンルーム用清掃装置。